JP6643288B2 - 振動波モータ及び振動波モータを有したレンズ駆動装置 - Google Patents

Description

本発明は振動波モータに係り、特に弾性体が板状のリニア用振動波モータとリニア用振動波モータを用いてレンズを光軸方向に駆動するレンズ駆動装置に関するものである。

従来から小型軽量、高速駆動、かつ、静音駆動を特徴とする超音波モータは撮像装置のレンズ鏡筒等のアクチュエータに採用されている。様々な形態の超音波モータが存在するが、中でもリニア駆動用の超音波モータが特許文献１に開示されている。特許文献１に開示された超音波モータは、圧電素子及び振動板で構成された振動子と、振動子に加圧接触する比較的厚くかつ均一な厚さを有する摩擦部材（スライダ）と、振動子を摩擦部材に対して加圧する加圧バネとで構成される。振動子に高周波振動を生成し、振動子上に形成された突起部の先端に楕円運動を生成することで、振動体が摩擦部材と相対移動できる。

特開２０１６−８２８０２号公報

特許文献１に開示された超音波モータでは、摩擦部材に生じる振動を振動吸収部材によって抑制している。そして、更なる小型化やコストダウンを目的として、摩擦部材の薄型化が求められている。しかしながら、摩擦部材を薄型化すると、共振周波数の間隔が狭くなるため、駆動周波数帯域近傍での共振が発生しやすくなる。この共振により摩擦部材に不要振動が発生して、超音波モータの特性が低下し、また異音を生じるといった問題があった。

本発明の目的は、摩擦部材の不要振動の低減を図るために減衰部材を設け、摩擦部材の不要振動に起因する振動波モータの異音を抑制し、小型化及びコストダウンを達成した振動波モータを提供することである。

上記の課題を解決するために、圧電素子を有する振動体と、該振動体と摩擦接触する摩擦部材と、前記振動体を前記摩擦部材に加圧する加圧部材と、前記摩擦部材を固定するベース部材と、前記摩擦部材に発生する振動を減衰する減衰部材と、を有し、前記振動体と前記摩擦部材とが相対移動する振動波モータにおいて、前記摩擦部材は、前記振動体と当接する第１の領域を有する第１の面と、前記第１の面の裏面であって前記ベース部材と当接する第２の領域を有する第２の面とを備え、前記第１の面と前記第２の面の少なくともどちらか一方は、前記減衰部材と接する第３の領域を有し、前記加圧部材の加圧方向における前記第１の領域及び前記第３の領域の位置は、それぞれ異なり、前記振動体は突起部と平板部とを備え、前記第２の面は、前記第３の領域を有し、前記加圧方向において前記第３の領域は前記第１の領域よりも前記平板部に近いことを特徴とする。

本発明によれば、摩擦部材の不要振動の低減を図るために減衰部材を設け、摩擦部材の不要振動に起因する振動波モータの異音を抑制し、小型化及びコストダウンを達成した振動波モータを提供することができる。

（Ａ）、（Ｂ）第１の実施例の振動体１０の構成を示す図である。 （Ａ）、（Ｂ）第１の実施例の振動波モータ１１０の構成を示す断面図である。 （Ａ）〜（Ｃ）第１の実施例の摩擦部材１３と減衰部材１５の構成を示す図である。 （Ａ）、（Ｂ）第１の実施例の摩擦部材１３の構成を示す斜視図である。 第２の実施例の振動波モータ１２０の構成を示す断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）第２の実施例の摩擦部材２３の構成を示す斜視図である。 第３の実施例の振動波モータ１３０の構成を示す断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）第３の実施例の摩擦部材３３の構成を示す斜視図である。 （Ａ）、（Ｂ）第３の実施例の摩擦部材３３の共振周波数ｆ_ｎの特性を示す図である。 第４の実施例の振動波モータ１４０の構成を示す断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）第４の実施例の摩擦部材４３の構成を示す斜視図である。 （Ａ）、（Ｂ）第５の実施例の振動波モータ１５０の構成を示す断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）第５の実施例の摩擦部材５３の構成を示す斜視図である。 第５の実施例の摩擦部材５３の共振による振動を示す模式図である。 図１２（Ａ）の部分拡大図である。 （Ａ）本発明の適用例のレンズ駆動装置２００を示す正面図である。（Ｂ）同断面図である。

以下、添付図面を参照して本発明を実施するための実施形態について説明する。図面において、同一符号は同一部材を示している。本明細書中において、後述する振動体１０と後述する摩擦部材１３とが相対移動する相対移動方向をＸ方向、振動体１０を摩擦部材１３に対して加圧する加圧方向をＺ方向とする。Ｚ方向において、振動体１０から摩擦部材１３への向きを＋Ｚ方向、摩擦部材１３から振動体１０への向きを−Ｚ方向と定義する。また、Ｘ方向及びＺ方向と直交する直交方向をＹ方向とする。

図１（Ａ）は、本発明の実施形態の振動体１０の正面図、図１（Ｂ）は振動体１０の底面図である。振動体１０は、振動板１１及び圧電素子１２によって構成されている。振動板１１は、矩形状の平板部１１ｂと平板部１１ｂ上に設けられた突起部１１ａを有する。振動板１１には、高周波振動する圧電素子１２が固定されている。

圧電素子１２に超音波領域の周波数ｆを有する高周波の駆動電圧を印加することによって、振動体１０は高周波振動（超音波振動）し、長手方向であるＸ方向と短手方向であるＹ方向にそれぞれの固有振動モードで共振する。この共振によって突起部１１ａの先端には楕円運動が生じる。振動体１０は、後述の摩擦部材１３（接触部材）に対して加圧されており、突起部１１ａと平板部１１ｂとを備えた振動体１０と摩擦部材１３が接触（摩擦接触）した状態で前述の楕円運動を生じさせることで、摩擦力を介して駆動力を得ることができる。この駆動力により、振動体１０は摩擦部材１３に対して相対移動することができる。更に振動板１１には、振動体１０を後述の保持部材６に固定するための保持部１１ｃが設けられている。

次に、本発明の実施形態の振動波モータ１１０の構成について説明する。図２（Ａ）は、実施形態の振動波モータ１１０の加圧部材１６の中心を通るＸ−Ｚ平面における断面図、図２（Ｂ）は、同加圧部材１６の中心を通るＹ−Ｚ平面における断面図である。

振動体１０は、振動板１１の保持部１１ｃの端部に設けられた保持孔１１ｄを保持部材６の保持軸６ａに係合させることで保持部材６に固定されている。加圧部材１６は、振動体１０を摩擦部材１３に加圧するための部材であって、可動部材３と加圧板５に作用する。加圧板５は、加圧部材１６によって生じた加圧力を、緩衝部材４を介して振動体１０に与える。加圧板５を介して加圧することで加圧力を圧電素子１２の面に均一に与えることができる。また、緩衝部材４を介して加圧することで振動体１０の振動の減衰を抑えつつ、振動体１０を加圧することができる。

可動部材３は、後述のレンズ２０１に振動波モータ１１０の駆動力を伝達するための部材であり、レンズ２０１と振動波モータ１１０を連結するための連結部３ａを有する。そして、保持部材６と可動部材３は、転動部材７を介して連結されているため、保持部材６が相対移動方向に移動する際、可動部材３は保持部材６と一体的に移動することができる。また、転動部材７が転動することによって、保持部材６と可動部材３は加圧方向に相対的に移動することができる。このような構成のため、部品の寸法誤差や組立誤差等が生じた際でも、安定して加圧部材１６の加圧力により振動体１０を摩擦部材１３に対して加圧することができる。

ベース部材１４は、摩擦部材１３が固定される部材である。更に、カバー部材９が図示されていないねじ等によってベース部材１４に固定されている。可動部材３とカバー部材９との間には、ボール部材８が設けられており、可動部材３が相対移動方向に移動する際、ボール部材８が転動することで加圧部材１６の加圧反力によって生じる摺動負荷が低減されている。

上述のとおり、高周波振動により生じる駆動力により、振動体１０は摩擦部材１３に対して相対移動することができる。このような駆動力により、振動体１０、保持部材６及び可動部材３を一体的に相対移動方向に移動させることができる。

次に、摩擦部材１３の形状及び固定方法について説明する。図３（Ａ）〜（Ｃ）は摩擦部材１３と減衰部材１５の構成を示す図であって、摩擦部材１３、ベース部材１４、減衰部材１５のみを示した平面図である。図４（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ異なる角度から摩擦部材１３を見た斜視図である。摩擦部材１３は、薄型化された板状の部材から構成されており、振動板１１側の面であって振動体１０と当接する第１の面を画定する摺動側面１３ｆ１、及び第１の面の裏面であってベース部材１４と当接する第２の面を画定する固定側面１３ｆ２を有する。第１の面には、振動体１０と当接する摺動領域１３ａ（第１の領域）が相対移動方向に延在して設けられている。第２の面には、ベース部材１４と当接し、摩擦部材１３を固定するための固定領域１３ｂ（第２の領域）が設けられている。

減衰部材１５は摩擦部材１３に接し、摩擦部材１３に発生する不要振動を減衰する部材である。図３（Ａ）及び図４（Ａ）に示す実施形態では、第１の面には、減衰部材１５と接する減衰領域１３ｃ（第３の領域）が更に設けられており、減衰部材１５が第１の面に接している。しかしながら、減衰部材１５と接する第３の領域が第２の面に設けられた別の形態も実施可能である。すなわち、第１の面と第２の面の少なくともどちらか一方に第３の領域が備えられることにより、減衰部材１５により摩擦部材１３に発生する不要振動が低減される。

更に、摩擦部材１３は均一な厚さを有する平板ではないため、加圧方向において、第１の領域と第３の領域をそれぞれ異なる位置とすることができる。このような構成とすることで、減衰部材１５が第１の領域を干渉するのを防ぐとともに、装置の小型化及びコストダウンをすることが可能となる。

（第１の実施例）
本発明の第１の実施例について、図２（Ｂ）、図４（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。第１の実施例の振動波モータ１１０に用いられている摩擦部材１３は、摺動側面１３ｆ１と固定側面１３ｆ２を有しており、摺動側面１３ｆ１の裏側の面に固定側面１３ｆ２が設けられている。摺動側面１３ｆ１側には、振動体１０の突起部１１ａと当接する摺動領域１３ａ及び減衰部材１５と接する減衰領域１３ｃが設けられている。一方、固定側面１３ｆ２には、ベース部材１４の固定面１４ａと当接し摩擦部材１３を固定する固定領域１３ｂが設けられている。減衰領域１３ｃは相対移動方向に延在し、摺動領域１３ａの両外側に分割されて、かつ摺動領域１３ａに対して直交方向（Ｙ方向）に隣接して設けられているため、摺動領域１３ａに対して相対移動方向ではなく直交方向に減衰部材１５が設けられている。そして、固定領域１３ｂは、固定側面１３ｆ２の全面に広がっている。なお、摺動側面１３ｆ１、固定側面１３ｆ２、摺動領域１３ａ、固定領域１３ｂ及び減衰領域１３ｃは、それぞれ請求項の記載の第１の面、第２の面、第１の領域、第２の領域、第３の領域に相当する。

第１の実施例の摩擦部材１３は、均一な厚さを有する平板ではなく、２つの減衰領域１３ｃにおける厚さが摺動領域１３ａにおけるＺ方向の厚さよりも薄くなっている、薄型化された平板であって、その断面が凸形状である。言い換えると、摺動領域１３ａは２つの減衰領域１３ｃよりも振動体１０側に突出しており、減衰領域１３ｃは摺動領域１３ａに対して＋Ｚ方向に位置するため、加圧部材１６の加圧方向において減衰領域１３ｃは摺動領域１３ａよりも振動体１０から離れている。すなわち、加圧部材１６の加圧方向における摺動領域１３ａと減衰領域１３ｃの位置が異なっている。更に、減衰領域１３ｃの面粗さが摺動領域１３ａの面粗さよりも粗くなっている。

第１の実施例のベース部材１４には、摩擦部材１３の固定領域１３ｂ及び減衰部材１５に当接する固定面１４ａが平面として設けられている。

第１の実施例の減衰部材１５は接着剤であり、摩擦部材１３の固定領域１３ｂとベース部材１４の固定面１４ａが接した状態で、減衰領域１３ｃに減衰部材１５が充填される。そして、減衰部材１５を硬化させることで摩擦部材１３がベース部材１４上に接着固定される。液状の接着剤を硬化させて減衰部材１５が形成されるため、減衰領域１３ｃにはばらつきが生じやすく、減衰部材１５が摺動領域１３ａにまで及んでしまうと突起部１１ａが減衰部材１５と接触し、駆動特性が低下してしまう。しかしながら、第１の実施例では、摺動領域１３ａが減衰部材１５の設けられる減衰領域１３ｃよりも−Ｚ方向に高くなっているため、減衰部材１５がばらついた際でも、減衰部材１５が摺動領域１３ａにまで及ぶことがない。また、図３（Ａ）に示すように、接着剤である減衰部材１５の充填面積が大きいと接着剤硬化時の収縮量が大きくなり、残留応力が大きくなる。しかしながら、図３（Ｂ）に示すように、減衰部材１５の充填領域を分割することで収縮量を小さくし、残留応力を減らすとともに接着強度を向上させることができる。更に、図３（Ｃ）に示すように、減衰部材１５を全域ではなく固有振動モードの腹ＡＮの箇所に部分的に充填することで、減衰部材１５の量を減らしコストダウンを図るとともに、上記腹ＡＮを上から押さえることで振動を抑制することができる。

次に、比較のため従来例の構成について説明する。特許文献１の図１は、従来例の超音波モータの構成を示す図である。従来例の超音波モータでは、比較的厚くかつ均一な厚さを有するスライダが用いられており、スライダは、ねじによってベース部材に固定されている。超音波モータのベース部材がモータ保持部材に固定される際に、スライダに生じる振動を吸収する振動吸収部材が組み込まれる。そして、超音波モータの駆動の際は、振動子の高周波振動がスライダに伝達されてスライダには共振が発生するものの、振動吸収部材が振動子の影響による不要な振動を低減している。しかしながら、超音波モータの更なる小型化やコストダウンのためにスライダを薄型化すると、共振周波数の間隔が狭くなるため、駆動周波数帯域近傍での共振が発生しやすくなる。この共振によりスライダには不要振動が発生し、振動子の振動が阻害されて超音波モータの特性が低下する、またスライダに異音が生じるといった問題があった。

次に、従来例の構成に対して、第１の実施例の構成によって得られる効果について説明する。第１の実施例の振動波モータ１１０では、薄型化された摩擦部材１３が用いられている。このような薄型化された摩擦部材１３であっても、摺動領域１３ａと減衰領域１３ｃの厚さが異なるため、減衰領域１３ｃに充填された減衰部材１５が摺動領域１３ａにまで及ぶことがない。すなわち、減衰部材１５と突起部１１ａが接触しないため駆動特性が低下しない。そして、この摩擦部材１３の摺動側面１３ｆ１の減衰領域１３ｃに減衰部材１５が設けられており、減衰部材１５が摩擦部材１３に接するように構成されている。すなわち、摩擦部材１３をベース部材１４に対して押さえ付けるように固定することで、薄型化された摩擦部材１３に生じる不要振動（面外振動）を減衰させることができる。更に、突起部１１ａが摺動領域１３ａを摺動する範囲よりも減衰部材１５と接する減衰領域１３ｃの範囲の方が広くなっており、減衰効果が大きくなる。減衰領域１３ｃの面粗さが摺動領域１３ａの面粗さよりも粗くなっているため、相対移動方向に位置ずれが発生しにくい。減衰部材１５を設けて摩擦部材１３の不要振動を低減することにより、結果として、振動波モータ１１０の特性低下及び異音の抑制を達成することができる。更に、摺動領域１３ａに対して相対移動方向ではなく直交方向に減衰部材１５が設けられているため、振動波モータ１１０全体が相対移動方向に大型化しない。

第１の実施例では、減衰部材１５が接着剤であり摩擦部材１３の固定と減衰を兼ねているが、減衰部材１５が接着剤以外の例えばシリコンゴムやゲル状素材といった減衰効果のある材料であってもよい。例えば、摩擦部材１３の固定側面１３ｆ２とベース部材１４の固定面１４ａをねじや接着剤等の別の固定手段で完全に固定し、シリコンゴムやゲル状素材等の減衰効果のある材料を摩擦部材１３の周りに充填してもよい。すなわち、減衰効果のある材料が減衰領域１３ｃに接するような構成とすることで、摩擦部材１３に発生する不要振動を減衰させることができる。

（第２の実施例）
次に、本発明の第２の実施例について、図５、図６（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。第１の実施例では、摩擦部材１３の固定側面１３ｆ２の全面が固定領域１３ｂであってベース部材１４の固定面１４ａに接し、減衰部材１５が接する減衰領域１３ｃが摺動側面１３ｆ１側のみに設けられた構成であった。第２の実施例では、薄型化された摩擦部材２３の減衰領域２３ｃが摺動側面２３ｆ１だけでなく固定側面２３ｆ２にも設けられるとともに、ベース部材２４に凹部２４ｂが設けられている。これらの構成が第１の実施例と異なっている。なお、第１の実施例と異なる構成について詳説する。

図５は、第２の実施例の振動波モータ１２０の構成を示す断面図であり、図２（Ｂ）に対応している。図６（Ａ）、（Ｂ）は、第２の実施例の振動波モータ１２０に用いられている摩擦部材２３をそれぞれ異なる角度から見た斜視図である。摩擦部材２３の摺動側面２３ｆ１側には、振動体２０の突起部２１ａと当接する摺動領域２３ａ及び減衰部材２５と接する減衰領域２３ｃが設けられている。一方、固定側面２３ｆ２には、ベース部材２４の固定面２４ａと当接し摩擦部材２３を固定する固定領域２３ｂと、固定領域２３ｂの両外側かつ固定領域２３ｂに対して直交方向（Ｙ方向）に隣接して減衰部材２５と接する減衰領域２３ｃが設けられている。すなわち、第２の実施例の摩擦部材２３には、減衰部材２５が接する減衰領域２３ｃが摺動側面２３ｆ１と固定側面２３ｆ２のそれぞれ両方に分割されて設けられている。なお、摺動側面２３ｆ１、固定側面２３ｆ２、摺動領域２３ａ、固定領域２３ｂ及び減衰領域２３ｃは、それぞれ請求項の記載の第１の面、第２の面、第１の領域、第２の領域及び第３の領域に相当する。

第２の実施例の摩擦部材２３の形状は、第１の実施例の摩擦部材１３と同様な形状であるためその説明を省略する。

第２の実施例のベース部材２４には、摩擦部材２３の固定領域２３ｂに当接する固定面２４ａと、固定面２４ａの両外側かつ固定面２４ａに対して直交方向（Ｙ方向）に隣接して凹部２４ｂが設けられている。固定面２４ａと凹部２４ｂはいずれも相対移動方向に延在している。この凹部２４ｂには、減衰部材２５が充填される。

第２の実施例の減衰部材２５は接着剤であり、摩擦部材２３の固定領域２３ｂとベース部材２４の固定面２４ａが接した状態で、凹部２４ｂに減衰部材２５が充填される。そして、摺動側面２３ｆ１と固定側面２３ｆ２のそれぞれの減衰領域２３ｃに減衰部材２５が接するまで減衰部材２５が充填される。そして、減衰部材２５を硬化させることで摩擦部材２３がベース部材２４上に接着固定される。第２の実施例では、第１の実施例と同様、摺動領域２３ａが減衰部材２５の設けられる摺動側面２３ｆ１の減衰領域２３ｃよりも−Ｚ方向に高くなっているため、減衰部材２５がばらついた際でも、減衰部材２５が摺動領域２３ａにまで及ぶことがない。

次に、第２の実施例の構成によって得られる効果について説明する。第２の実施例の振動波モータ１２０では、薄型化された摩擦部材２３が用いられている。このような薄型化された摩擦部材２３であっても、摺動領域２３ａと摺動側面２３ｆ１の減衰領域２３ｃの厚さが異なるため、減衰領域２３ｃに充填された減衰部材２５が摺動領域２３ａにまで及ぶことがない。すなわち、減衰部材２５と突起部２１ａが接触しないため駆動特性が低下しない。そして、この摩擦部材２３の摺動側面２３ｆ１と固定側面２３ｆ２の両方の減衰領域２３ｃに減衰部材２５が設けられており、減衰部材２５が摩擦部材２３に接するように構成されている。すなわち、摩擦部材２３をベース部材２４に対して押さえ付けるように固定することで、薄型化された摩擦部材２３に生じる不要振動（面外振動）を減衰させることができる。更に、突起部２１ａが摺動領域２３ａを摺動する範囲よりも減衰部材２５と接する減衰領域２３ｃの範囲の方が広くなっており、減衰効果が大きくなる。減衰領域２３ｃの面粗さが摺動領域２３ａの面粗さよりも粗くなっているため、相対移動方向に位置ずれが発生しにくい。減衰部材２５を設けて摩擦部材２３の不要振動を低減することにより、結果として、振動波モータ１２０の特性低下及び異音の抑制を達成することができる。更に、摺動領域２３ａに対して相対移動方向ではなく直交方向に減衰部材２５が設けられているため、振動波モータ１２０全体が相対移動方向に大型化しない。

第２の実施例では、摩擦部材２３の両側の面に減衰領域２３ｃが設けられており、減衰部材２５と摩擦部材２３との接触面積が大きいため、減衰部材２５による減衰効果がより大きくなるというメリットがある。また、固定領域２３ｂは加圧部材２６により振動体２０が摩擦部材２３に対して加圧される加圧力の延長線上に設けられている。このため、加圧力が摩擦部材２３に与えられた際に摩擦部材２３が塑性変形するといった問題が生じない。また、減衰部材２５は接着剤であるが、接着剤以外の例えばシリコンゴムやゲル状素材といった減衰効果のある材料であってもよいことは第１の実施例と同様である。

（第３の実施例）
次に、本発明の第３の実施例について図７乃至図９（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。第２の実施例では、摩擦部材２３は断面が凸形状であり、摺動領域２３ａを減衰領域２３ｃよりも振動体２０側に突出させることで減衰部材２５が摺動領域２３ａまで及ばないようにした構成であった。第３の実施例では、均一な厚さの薄板状の摩擦部材３３を折り曲げることで、摺動領域３３ａが減衰領域３３ｃよりも振動体３０側に突出した構成となっている。すなわち、摩擦部材３３の断面が凸形状でない構成が第２の実施例と異なっている。なお、第２の実施例と異なる構成について詳説する。

図７は、第３の実施例の振動波モータ１３０の構成を示す断面図であり、図２（Ｂ）に対応している。図８（Ａ）、（Ｂ）は、第３の実施例の振動波モータ１３０に用いられている摩擦部材３３をそれぞれ異なる角度から見た斜視図である。摩擦部材３３の摺動側面３３ｆ１側には、振動体３０の突起部３１ａに当接する摺動領域３３ａ及び減衰部材３５と接する減衰領域３３ｃが設けられている。一方、固定側面３３ｆ２には、ベース部材３４の固定面３４ａと当接し摩擦部材３３を固定する固定領域３３ｂと、固定領域３３ｂの両外側かつ固定領域３３ｂに対して直交方向（Ｙ方向）に隣接して減衰部材３５と接する減衰領域３３ｃが設けられている。すなわち、第３の実施例の摩擦部材３３には、減衰部材３５が接する減衰領域３３ｃが摺動側面３３ｆ１と固定側面３３ｆ２のそれぞれ両方に分割されて設けられている。なお、摺動側面３３ｆ１、固定側面３３ｆ２、摺動領域３３ａ、固定領域３３ｂ及び減衰領域３３ｃは、それぞれ請求項の記載の第１の面、第２の面、第１の領域、第２の領域及び第３の領域に相当する。

第３の実施例の摩擦部材３３の形状は、第２の実施例とは異なり、均一な厚さの薄板状の部材から構成されている。振動体３０と摩擦部材３３は相対移動方向に相対移動するため、摺動領域３３ａは相対移動方向に長くなっている。摩擦部材３３は、摺動領域３３ａの両外側でベース部材３４側に折り曲げられている。摩擦部材３３の折り曲げられた部分の摺動側面３３ｆ１と固定側面３３ｆ２の両方に減衰領域３３ｃが設けられており、摩擦部材３３がベース部材３４の凹部３４ｂに充填された減衰部材３５と接するように構成されている。

第３の実施例のベース部材３４には、減衰部材３５が充填される凹部３４ｂが備えられており、ベース部材３４の形状は第２の実施例のベース部材２４と同様であるためその説明を省略する。

第３の実施例の減衰部材３５は接着剤であり、摩擦部材３３の固定領域３３ｂとベース部材３４の固定面３４ａが接した状態で、凹部３４ｂに減衰部材３５が充填される。そして、摺動側面３３ｆ１と固定側面３３ｆ２のそれぞれの減衰領域３３ｃに減衰部材３５が接するまで減衰部材３５が充填される。そして、減衰部材３５を硬化させることで摩擦部材３３がベース部材３４上に接着固定される。第３の実施例では、第２の実施例と同様、摺動領域３３ａが減衰部材３５の設けられる摺動側面３３ｆ１の減衰領域３３ｃよりも−Ｚ方向に高くなっているため、減衰部材３５がばらついた際でも、減衰部材３５が摺動領域３３ａにまで及ぶことがない。更に、突起部３１ａが摺動領域３３ａを摺動する範囲よりも減衰部材３５と接する減衰領域３３ｃの範囲の方が広くなっている。

次に、第３の実施例の構成によって得られる効果について説明する。第３の実施例の振動波モータ１３０では、均一な厚さの薄板状の摩擦部材３３が用いられている。このような均一な厚さの薄板状の摩擦部材３３の摺動領域３３ａの両外側部分がベース部材３４側に折り曲げられているため、摺動側面３３ｆ１の減衰領域３３ｃが摺動領域３３ａよりも振動体３０から離れており、摺動領域３３ａが振動体３０側に突出している。この構成により、減衰領域３３ｃに充填された減衰部材３５が摺動領域３３ａにまで及ぶことがない。すなわち、減衰部材３５と突起部３１ａが接触しないため駆動特性が低下しない。そして、この摩擦部材３３の摺動側面３３ｆ１及び固定側面３３ｆ２の両方の減衰領域３３ｃに減衰部材３５が設けられており、減衰部材３５が摩擦部材３３に接するように構成されている。すなわち、摩擦部材３３をベース部材３４に対して押さえ付けるように固定することで、均一な厚さの薄板状の摩擦部材３３に生じる不要振動（面外振動）を減衰させることができる。更に、突起部３１ａが摺動領域３３ａを摺動する範囲よりも減衰部材３５と接する減衰領域３３ｃの範囲の方が広くなっており、減衰効果が大きくなる。減衰領域３３ｃの面粗さが摺動領域３３ａの面粗さよりも粗くなっているため、相対移動方向に位置ずれが発生しにくい。減衰部材３５を設けて摩擦部材３３の不要振動を低減することにより、結果として、振動波モータ１３０の特性低下及び異音の抑制を達成できる。更に、摺動領域３３ａに対して相対移動方向ではなく直交方向に減衰部材３５が設けられているため、振動波モータ１３０全体が相対移動方向に大型化しない。

第３の実施例では、均一な厚さの薄板状の摩擦部材３３を折り曲げることで減衰部材３５を作成することができるため、摩擦部材３３の加工が容易であるというメリットがある。更に、摩擦部材３３を相対移動方向に沿って折り曲げることにより、摩擦部材３３の相対移動方向の剛性が高くなる。摩擦部材３３は薄板状の部材であるため、特定の周波数ｆで共振する固有振動モードを有する。摩擦部材３３は高周波振動する振動体３０と当接しているため、振動体３０の振動が摩擦部材３３に伝達される。摩擦部材３３が振動体３０の高周波振動の周波数ｆで共振する固有振動モードを有する場合、振動体３０の振動に起因して摩擦部材３３が共振する。

次に、摩擦部材３３に生じる振動モードの共振周波数ｆ_ｎについて説明をする。図９（Ａ）は、摩擦部材３３の剛性が低い場合の共振周波数ｆ_ｎａを示すグラフ、図９（Ｂ）は摩擦部材３３の剛性が高い場合の共振周波数ｆ_ｎｂを示すグラフである。これらグラフは、横軸が周波数ｆ、縦軸が振幅Ａであり、それぞれ特定の周波数ｆで共振が生じることが示されている。振動波モータ１３０では、振動体３０の高周波振動の周波数ｆを制御することで相対移動速度を制御するため、振動体３０を所定の使用周波数領域で高周波振動させている。図９（Ａ）に示すように剛性が低い場合には、共振周波数ｆ_１ａ、ｆ_２ａ、ｆ_３ａ、ｆ_４ａの間隔が狭く、いずれかの共振周波数ｆ_ｎａが使用周波数領域に入ってしまうため摩擦部材３３に不要振動が生じやすくなる。しかしながら、摩擦部材３３の剛性が高いと、図９（Ｂ）に示すように共振周波数ｆ_１ｂ、ｆ_２ｂ、ｆ_３ｂ、ｆ_４ｂの間隔が広くなる。そのため、それぞれの共振周波数ｆ_ｎｂを使用周波数領域の外にすることができ、摩擦部材３３に生じる不要振動を低減することができる。

（第４の実施例）
次に、本発明の第４の実施例について、図１０、図１１（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。第１の実施例では、減衰部材１５が摩擦部材１３の摺動側面１３ｆ１側にのみ設けられた構成であった。第４の実施例では、均一な厚さの薄板状の摩擦部材４３の固定側面４３ｆ２に減衰部材４５が設けられるとともに、摩擦部材４３を折り曲げることで、減衰部材４５が摺動領域４３ａまで及ばない構成としている。すなわち摩擦部材４３の断面が凸形状でない構成が第１の実施例と異なっている。なお、第１の実施例と異なる構成について詳説する。

図１０は、第４の実施例の振動波モータ１４０の構成を示す断面図であり、図２（Ｂ）に対応している。図１１（Ａ）、（Ｂ）は、第４の実施例の振動波モータ１４０に用いられている摩擦部材４３をそれぞれ異なる角度から見た斜視図である。摩擦部材４３の摺動側面４３ｆ１側には、振動体４０の突起部４１ａと当接する摺動領域４３ａが設けられている。一方、固定側面４３ｆ２には、ベース部材４４の固定面４４ａと当接し摩擦部材４３を固定する固定領域４３ｂが設けられている。更に、固定側面４３ｆ２には、固定領域４３ｂの両外側に分割されて、かつ固定領域４３ｂに対して直交方向（Ｙ方向）に隣接して減衰部材４５と接する減衰領域４３ｃが設けられている。すなわち、第４の実施例の摩擦部材４３には、減衰部材４５が接する減衰領域４３ｃが固定側面４３ｆ２にのみ設けられている。なお、摺動側面４３ｆ１、固定側面４３ｆ２、摺動領域４３ａ、固定領域４３ｂ及び減衰領域４３ｃは、それぞれ請求項の記載の第１の面、第２の面、第１の領域、第２の領域及び第３の領域に相当する。

第４の実施例の摩擦部材４３の形状は、第１の実施例とは異なり、均一な厚さの薄板状の部材から構成されている。摩擦部材４３は摺動領域４３ａで振動体４０の突起部４１ａに当接し、固定領域４３ｂでベース部材４４の固定面４４ａに当接する。振動体４０と摩擦部材４３は相対移動方向に相対移動するため、摺動領域４３ａは相対移動方向に長くなっている。摩擦部材４３は、摺動領域４３ａの両外側で振動体４０側に略９０度に折り曲げられている。摩擦部材４３の折り曲げられた部分が更に摺動領域４３ａに対して外側にもう一度略９０度に折り曲げられており、固定領域４３ｂがベース部材４４側に突出した形状となっている。摩擦部材４３の折り曲げられた先の固定側面４３ｆ２側が減衰領域４３ｃとなっており、摩擦部材４３とベース部材４４との間に充填された減衰部材４５と接するように構成されている。すなわち、固定側面４３ｆ２は、固定領域４３ｂ及び減衰部材４５と接する減衰領域４３ｃを有する。また、加圧部材４６の加圧方向における摺動領域４３ａと減衰領域４３ｃの位置が異なる。更に、平板部４１ｂから摺動領域４３ａまでの距離Ｌ_１が平板部４１ｂから減衰領域４３ｃまでの距離Ｌ_２よりも大きいため、加圧部材４６の加圧方向において減衰領域４３ｃは摺動領域４３ａよりも平板部４１ｂに近い。

第４の実施例のベース部材４４の形状は、第１の実施例のベース部材４４と同様な形状であるためその説明を省略する。

第４の実施例の減衰部材４５は接着剤であり、摩擦部材４３の固定領域４３ｂとベース部材４４の固定面４４ａが接した状態で、固定側面４３ｆ２側の減衰領域４３ｃと固定面４４ａとによって囲まれる空間に減衰部材４５が充填される。そして、固定側面４３ｆ２の減衰領域４３ｃに減衰部材４５が接するまで減衰部材４５が充填される。そして、減衰部材４５を硬化させることで摩擦部材４３がベース部材４４上に接着固定される。第４の実施例では、摩擦部材４３が振動体４０側に折り曲げられており、減衰部材４５が固定側面４３ｆ２とベース部材４４との間に設けられた構成となっているため、減衰部材４５がばらついた際でも、減衰部材４５が摺動領域４３ａにまで及ぶことがない。

次に、第４の実施例の構成によって得られる効果について説明する。第４の実施例の振動波モータ１４０では、均一な厚さの薄板状の摩擦部材４３が用いられている。このような均一な厚さの薄板状の摩擦部材４３であっても、摩擦部材４３が振動体４０側に折り曲げられているため、固定側面４３ｆ２の減衰領域４３ｃに充填された減衰部材４５が摺動領域４３ａにまで及ぶことがない。すなわち、減衰部材４５と突起部４１ａが接触しないため駆動特性が低下しない。そして、この摩擦部材４３の固定側面４３ｆ２の減衰領域４３ｃに減衰部材４５が設けられており、減衰部材４５が摩擦部材４３に接するように構成されているため、均一な厚さの薄板状の摩擦部材４３に生じる不要振動を減衰させることができる。更に、突起部４１ａが摺動領域４３ａを摺動する範囲よりも減衰部材４５と接する減衰領域４３ｃの範囲の方が広くなっており、減衰効果が大きくなる。減衰領域４３ｃの面粗さが摺動領域４３ａの面粗さよりも粗くなっているため、相対移動方向に位置ずれが発生しにくい。減衰部材４５を設けて摩擦部材４３の不要振動を低減することにより、結果として、振動波モータ１４０の特性低下及び異音の抑制を達成できる。更に、摺動領域４３ａに対して相対移動方向ではなく直交方向に減衰部材４５が設けられているため、振動波モータ１４０全体が相対移動方向に大型化しない。

第４の実施例では、均一な厚さの薄板状の摩擦部材４３を振動体４０側に折り曲げることで、減衰領域４３ｃは摺動領域４３ａの外側かつ摺動領域４３ａに対して直交方向（Ｙ方向）に設けられている。このような構成により、振動体４０の突起部４１ａの両側の空いている空間に摩擦部材４３と減衰部材４５を配置することができるため、加圧方向に大型化することなく摩擦部材４３の振動を減衰させることができるというメリットがある。

また、第４の実施例では、摩擦部材４３を折り曲げているため摩擦部材４３の相対移動方向の剛性が高くなっている。このため、第３の実施例と同様に、摩擦部材４３が有する複数の共振周波数ｆ_ｎｂを使用周波数の領域の外にすることができるという、摩擦部材４３の剛性が高い際の効果が得られるとともに、摩擦部材４３に生じる不要振動を低減できる。

（第５の実施例）
次に、本発明の第５の実施例について、図１２（Ａ）、（Ｂ）乃至図１４を参照して説明する。第１の実施例では、摩擦部材１３の固定側面１３ｆ２の全面が固定領域１３ｂであってベース部材１４の固定面１４ａに接し、減衰部材１５が接する減衰領域１３ｃが摺動側面１３ｆ１側のみに設けられた構成であった。第５の実施例では、薄型化された摩擦部材５３は平板の形状であるとともに、減衰領域５３ｃが固定側面５３ｆ２に相対移動方向に沿って配置されている。更にベース部材５４には減衰部材５５を充填する凹部５４ｂが相対移動方向に沿って複数設けられている。これらの構成が第１の実施例と異なっている。なお、第１の実施例と異なる構成について詳説する。

図１２（Ａ）は、第５の実施例の振動波モータ１５０の加圧部材５６の中心を通るＸ−Ｚ平面における断面図、図１２（Ｂ）は図１２（Ａ）の断面線ＸＩＩＢ−ＸＩＩＢにおける断面図である。図１３（Ａ）、（Ｂ）は、第５の実施例の振動波モータ１５０に用いられている摩擦部材５３をそれぞれ異なる角度から見た斜視図である。摩擦部材５３の摺動側面５３ｆ１側には、振動体５０の突起部５１ａと当接する摺動領域５３ａが設けられている。一方、固定側面５３ｆ２には、ベース部材５４の固定面５４ａと当接し摩擦部材５３を固定する複数の固定領域５３ｂが相対移動方向ではなく直交方向（Ｙ方向）に延在して設けられている。更に、固定領域５３ｂに対して相対移動方向に隣接して減衰部材５５と接する減衰領域５３ｃが分割して複数設けられており、減衰領域５３ｃは固定領域５３ｂと同一平面に位置する。なお、摺動側面５３ｆ１、固定側面５３ｆ２、摺動領域５３ａ、固定領域５３ｂ及び減衰領域５３ｃは、それぞれ請求項の記載の第１の面、第２の面、第１の領域、第２の領域及び第３の領域に相当する。

第５の実施例の摩擦部材５３の形状は、第１の実施例とは異なり、薄型化された板状の形状であり、相対移動方向の両端部には、摩擦部材５３をベース部材５４に固定するためのねじ孔５３ｄが設けられている。摩擦部材５３は高周波振動する振動体５０と当接しているため、振動体５０の振動が伝達される。摩擦部材５３は、振動体５０の高周波振動の周波数ｆの近傍で共振する固有振動モードを有するため、振動体５０の振動に起因して摩擦部材５３が共振する。

第５の実施例のベース部材５４には、摩擦部材５３の固定領域５３ｂに当接する固定面５４ａと、固定面５４ａに隣接して配置される複数の凹部５４ｂが相対移動方向に沿って交互に、且つ加圧部材５６の加圧方向に設けられている。固定面５４ａと凹部５４ｂはいずれも相対移動方向ではなく直交方向（Ｙ方向）に延在している。この凹部５４ｂには、減衰部材５５が充填される。

第５の実施例の減衰部材５５は、接着剤であり、摩擦部材５３の固定領域５３ｂとベース部材５４の固定面５４ａが接した状態で、凹部５４ｂに減衰部材５５が充填される。そして、減衰部材５５を硬化させることで摩擦部材５３がベース部材５４上に接着固定される。接着剤は硬化の際に収縮するため、硬化後には接着剤内部には硬化収縮による収縮応力が蓄積されている。この収縮応力が大きい場合には接着強度の低下などの問題を生じる。しかしながら、第５の実施例では減衰部材５５が相対移動方向に分割されているため、硬化収縮による収縮応力が小さくなり、接着強度を向上させることができる。

図１４は、摩擦部材５３の共振による振動を模式的に示しており、点線は振動体５０の高周波振動の周波数ｆで共振する摩擦部材５３の固有振動モードの腹ＡＮを示す。第５の実施例では、減衰部材５５は相対移動方向に少なくとも複数分割され、この摩擦部材５３の固有振動モードの腹ＡＮ上（若しくは腹近傍）に減衰部材５５が接している。なお、上記の説明では腹ＡＮが４つある４次の固有振動モードを例にして説明したが、振動体５０の高周波振動の周波数ｆや摩擦部材５３の形状によって生じる固有振動モードは異なる。

図１５は図１２（Ａ）の一部を拡大した図であり、振動体５０、摩擦部材５３、ベース部材５４、減衰部材５５のみを示し、それ以外の記載は省略している。振動体５０は突起部５１ａを複数備え、相対移動方向における各突起部５１ａの間隔をｄ２とする。そして、１つの減衰部材５５（若しくは凹部５４ｂ）の相対移動方向の長さをｄ１とすると、長さｄ１は、間隔ｄ２より短くなっている。また、凹部５４ｂの相対移動方向の中心は、摩擦部材５３が有する共振モードの腹ＡＮと略一致する。

次に、第５の実施例の構成によって得られる効果について説明する。第５の実施例では、薄型化された板状の摩擦部材５３が用いられている。このような薄型化された板状の摩擦部材５３であっても、摺動領域５３ａと減衰領域５３ｃが隣接しないため、凹部５４ｂに充填された減衰部材５５が摺動領域５３ａにまで及ぶことがない。すなわち、減衰部材５５と突起部５１ａが接触しないため駆動特性が低下しない。また摩擦部材５３の固有振動モードの腹ＡＮの近傍に減衰部材５５が設けられているため、薄型化された板状の摩擦部材５３に生じる不要振動を積極的に減衰させることができる。減衰部材５５を設けて摩擦部材５３の不要振動を低減することにより、結果として、振動波モータ１５０の特性低下及び異音の抑制を達成できる。更に、減衰部材５５が相対移動方向ではなく、その直交方向（Ｙ方向）でもなく、加圧方向に設けられているため、振動波モータ１５０のＹ方向の大きさを小型化することが可能である。

第５の実施例では、減衰部材５５が接着剤であり摩擦部材５３の固定と減衰を兼ねているが、減衰部材５５が接着剤以外の例えばシリコンゴムやゲル状素材といったベース部材５４と比較して剛性の低い材料であってもよい。この場合、摩擦部材５３、ベース部材５４、減衰部材５５を含む固定部の剛性が、従来例と比較して低くなる。固定部の剛性が低いと振動体５０の突起部５１ａの先端の楕円運動を効率的に駆動力に変換することができず、駆動性能が低下する。第５の実施例では減衰部材５５を相対移動方向（Ｘ方向）に複数分割し、摩擦部材５３の減衰領域５３ｃ以外を固定領域５３ｂとしてベース部材５４で支持することで、固定部の剛性の低下を抑制し、駆動性能の低下を抑えることができる。更に減衰部材５５の相対移動方向の長さｄ１が、突起部５１ａの間隔ｄ２より大きい場合、加圧部材５６による加圧力によって、摩擦部材５３が塑性変形、あるいは脆性破壊する可能性がある。しかしながら、第５の実施例では減衰部材５５の相対移動方向の長さｄ１を、突起部５１ａの間隔ｄ２未満としているため、反りや脆性破壊を抑制することができる。

減衰部材５５としてシリコンゴムやゲル状素材を用いる場合、摩擦部材５３の相対移動方向の端部をねじ５７や接着剤等の別の固定手段で完全に固定し、固定側面５３ｆ２とベース部材５４の固定面５４ａを当接させる。端部を完全固定することによって、摩擦部材５３の共振周波数ｆ_ｎを固定することができる。または、摩擦部材５３をモールドと一体のインサート成形によって構成してもよい。

以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。

（適用例）
以下に、本発明の振動波モータ１１０を例示的に適用したレンズ駆動装置２００の構成について説明する。図１６（Ａ）はレンズ駆動装置２００の正面図であり、図１６（Ｂ）は図１６（Ａ）のＸＶＩＢ−ＸＶＩＢ断面図である。

レンズ２０１はレンズ保持部材２０２に固定されている。レンズ保持部材２０２は貫通孔２０２ａとＵ溝部２０２ｂでそれぞれガイドバー２０３ａ、ガイドバー２０３ｂと係合しており、レンズ２０１及びレンズ保持部材２０２は光軸Ｉ方向に直進案内されている。係合部２０２ｃは振動波モータ１１０の可動部材３に設けられた連結部３ａに係合しており、可動部材３とレンズ保持部材２０２は一体的に移動する。

レンズ駆動装置２００はレンズ２０１と、振動波モータ１１０を有しており、前述のとおり可動部材３は振動体１０と一体的に移動するため、振動体１０と摩擦部材１３の相対移動によって、レンズ２０１を光軸方向に移動させることができる。

本発明は、小型軽量かつ広い駆動速度レンジが要求される電子機器、特にレンズ駆動装置等に利用可能である。

１０、５０ 振動体
１１ａ、５１ａ 突起部
１１ｂ 平板部
１２ 圧電素子
１３、５３ 摩擦部材
１３ａ、５３ａ 摺動領域（第１の領域）
１３ｂ、５３ｂ 固定領域（第２の領域）
１３ｃ、５３ｃ 減衰領域（第３の領域）
１３ｆ１、５３ｆ１ 摺動側面（第１の面）
１３ｆ２、５３ｆ２ 固定側面（第２の面）
１４、５４ ベース部材
１５、５５ 減衰部材
１６、５６ 加圧部材
５４ｂ 凹部
１１０〜１５０ 振動波モータ
２００ レンズ駆動装置
２０１ レンズ
ＡＮ 固有振動モードの腹
ｄ１ 相対移動方向の長さ
ｄ２ 間隔

Claims (15)

1. 圧電素子を有する振動体と、
   該振動体と摩擦接触する摩擦部材と、
   前記振動体を前記摩擦部材に加圧する加圧部材と、
   前記摩擦部材を固定するベース部材と、
   前記摩擦部材に発生する振動を減衰する減衰部材と、
   を有し、
   前記振動体と前記摩擦部材とが相対移動する振動波モータにおいて、
   前記摩擦部材は、前記振動体と当接する第１の領域を有する第１の面と、前記第１の面の裏面であって前記ベース部材と当接する第２の領域を有する第２の面とを備え、
   前記第１の面と前記第２の面の少なくともどちらか一方は、前記減衰部材と接する第３の領域を有し、
   前記加圧部材の加圧方向における前記第１の領域及び前記第３の領域の位置は、それぞれ異なり、
   前記振動体は突起部と平板部とを備え、前記第２の面は、前記第３の領域を有し、前記加圧方向において前記第３の領域は前記第１の領域よりも前記平板部に近いことを特徴とする振動波モータ。
2. 前記第１の面は、前記第３の領域を有し、前記加圧方向において前記第３の領域は前記第１の領域よりも前記振動体から離れていることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
3. 前記第１の面及び前記第２の面は、それぞれ前記第３の領域を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動波モータ。
4. 前記第３の領域は、相対移動方向に延在し、前記第１の領域の外側かつ前記第１の領域に対して前記相対移動方向と直交する方向に隣接して設けられることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の振動波モータ。
5. 前記減衰部材は、前記第１の面又は前記第２の面と前記ベース部材との両方に接触していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の振動波モータ。
6. 圧電素子を有する振動体と、
   該振動体と摩擦接触する摩擦部材と、
   前記振動体を前記摩擦部材に加圧する加圧部材と、
   前記摩擦部材を固定するベース部材と、
   前記摩擦部材に発生する振動を減衰する減衰部材と、
   を有し、
   前記振動体と前記摩擦部材とが相対移動する振動波モータにおいて、
   前記ベース部材は、前記摩擦部材と当接する面に凹部を有し、前記凹部は相対移動方向に沿って複数設けられており、前記凹部に前記減衰部材が充填されることを特徴とする振動波モータ。
7. 前記摩擦部材は、前記振動体と当接する第１の領域を有する第１の面と、前記ベース部材と当接する第２の領域及び前記減衰部材と接する第３の領域を有する第２の面とを備え、前記第２の領域と前記第３の領域とは、同一平面において前記相対移動方向に交互に設けられることを特徴とする請求項６に記載の振動波モータ。
8. 前記振動体は、複数の突起部を備え、前記減衰部材の前記相対移動方向の長さは前記突起部の間隔より短いことを特徴とする請求項６又は７に記載の振動波モータ。
9. 前記振動体に発生させる高周波振動の周波数で共振する前記摩擦部材の固有振動モードの腹近傍に前記減衰部材を設けることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の振動波モータ。
10. 前記摩擦部材は、前記減衰部材により前記ベース部材の上に固定されることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の振動波モータ。
11. 前記摩擦部材は、前記相対移動の方向における端部を前記ベース部材にねじ又は接着剤で完全に固定されていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の振動波モータ。
12. 前記減衰部材は、接着剤であることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の振動波モータ。
13. 前記圧電素子に駆動電圧を印加することにより前記振動体に発生させる高周波振動は、超音波領域の周波数の振動であり、前記振動波モータは前記超音波領域の周波数の振動を用いた超音波モータであることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の振動波モータ。
14. 前記減衰部材は、前記ベース部材よりも剛性が低いことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の振動波モータ。
15. レンズを有し、前記振動体と前記摩擦部材の前記相対移動によって、前記レンズが光軸方向に移動することを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか一項に記載の振動波モータを有したレンズ駆動装置。

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