JP2015101529A - シリコン単結晶の炭素濃度測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン単結晶に電子線を照射して生成させたシリコン単結晶の複合欠陥に起因するフォトルミネッセンス又はカソードルミネッセンスにおいて、波長が1280nmのスペクトルの強度を同じく波長が1570nmのスペクトルの強度で除法した強度除法値と、そのシリコン単結晶から測定される炭素濃度を酸素濃度で除法した濃度除法値を、炭素濃度及び酸素濃度が異なる複数のシリコン単結晶毎に取得することで定立した相関関係と、炭素濃度が未知の測定用シリコン単結晶から測定した酸素濃度と、測定用シリコン単結晶に電子線を照射することで取得した強度除法値と、から未知の炭素濃度を測定するシリコン単結晶の炭素濃度測定方法。
【選択図】図2
Description
シリコン単結晶に電子線を照射し、シリコン単結晶に生成させた複合欠陥を起因としたルミネッセンスのスペクトルの異なる2つの波長の強度比と、シリコン単結晶中の炭素濃度及び酸素濃度より求められる所定値に関し、炭素濃度が異なる複数のシリコン単結晶から強度比と所定値の相関関係を定立し、炭素濃度が未知の測定用シリコン単結晶から測定された強度比と相関関係に基づいて測定用シリコン単結晶の炭素濃度を測定するシリコン単結晶の炭素濃度測定方法であって、
ルミネッセンスはフォトルミネッセンス又はカソードルミネッセンスであり、
強度比は、波長が1280nmであるスペクトルの強度を波長が1570nmであるスペクトルの強度で除法した強度除法値であり、
相関関係は、所定値をシリコン単結晶の炭素濃度をその酸素濃度で除法した濃度除法値とし、濃度除法値と強度除法値とを炭素濃度と酸素濃度が異なる複数のシリコン単結晶毎に取得することで定立される除法値相関関係であり、
除法値相関関係、測定用シリコン単結晶から測定される強度除法値、及び測定用シリコン単結晶から測定される酸素濃度により測定用シリコン単結晶の未知の炭素濃度を測定することを特徴とする。
Claims (2)
- シリコン単結晶に電子線を照射し、前記シリコン単結晶に生成させた複合欠陥を起因としたルミネッセンスのスペクトルの異なる2つの波長の強度比と、前記シリコン単結晶中の炭素濃度及び酸素濃度より求められる所定値に関し、炭素濃度が異なる複数のシリコン単結晶から前記強度比と前記所定値の相関関係を定立し、炭素濃度が未知の測定用シリコン単結晶から測定された前記強度比と前記相関関係に基づいて前記測定用シリコン単結晶の炭素濃度を測定するシリコン単結晶の炭素濃度測定方法であって、
前記ルミネッセンスはフォトルミネッセンス又はカソードルミネッセンスであり、
前記強度比は、波長が1280nmである前記スペクトルの強度を波長が1570nmである前記スペクトルの強度で除法した強度除法値であり、
前記相関関係は、前記所定値を前記シリコン単結晶の炭素濃度をその酸素濃度で除法した濃度除法値とし、前記濃度除法値と前記強度除法値とを炭素濃度と酸素濃度が異なる前記複数のシリコン単結晶毎に取得することで定立される除法値相関関係であり、
前記除法値相関関係、前記測定用シリコン単結晶から測定される前記強度除法値、及び前記測定用シリコン単結晶から測定される酸素濃度により前記測定用シリコン単結晶の未知の炭素濃度を測定することを特徴とするシリコン単結晶の炭素濃度測定方法。 - 前記除法値相関関係は、前記強度除法値の指標を示す強度除法軸と前記濃度除法値の指標を示す濃度除法軸が互いに直交して設定されるグラフ上において、前記強度除法値と前記濃度除法値の関係が前記シリコン単結晶毎に表示されることにより導出される検量線である請求項1に記載のシリコン単結晶の炭素濃度測定方法。
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