JP2015070123A - 半導体レーザモジュール及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Si導波路23が形成されたシリコン基板21上に、光導波路13が形成された半導体レーザチップ1をフリップチップ実装する。光導波路13及びSi導波路23の光軸を、レーザ光の出射面及び入射面の垂線と所定の角度をなすように設定し、光導波路13の光軸方向に出射されその出射面で屈折するレーザ光が、Si導波路23の入射面で屈折してその光軸方向に入射するように、シリコン基板21上における半導体レーザチップ1の搭載位置を決定する。決定した搭載位置に半導体レーザチップ1を位置合わせするためのアラインメントマーク27−1,27−2をシリコン基板21に、その対となるアラインメントマーク16−1,16−2を半導体レーザチップ1に備える。
【選択図】図1
Description
図5は、従来の半導体レーザモジュールの構成例を示す図であり、(a)は全体構成を示す平面図、(b)はその一部を拡大して示した図である。
2 メサ構造体
10 半導体レーザモジュール
11 n型InP基板(基板)
12,14 クラッド層
13 光導波路(第1の光導波路)
15 コンタクト層
16−1,16−2 開口部(アラインメントマーク)
21 シリコン基板
22,24 SiO2クラッド層
23 Si導波路(第2の光導波路)
25 キャップ層
26 バンプ電極
27−1,27−2 アラインメントマーク
28 光コネクタ部
Claims (5)
- 出射されるレーザ光を導波するための第1の光導波路が形成された半導体レーザチップが、第2の光導波路が形成されたメサ構造体を備えるシリコン基板上に、フリップチップ実装されてなる半導体レーザモジュールであって、
前記第1の光導波路の光軸は、前記第1の光導波路の出射面となる前記半導体レーザチップのへき開端面の垂線と所定の角度をなし、
前記第2の光導波路の光軸は、前記第2の光導波路の入射面となる前記メサ構造体のへき開端面の垂線と前記所定の角度をなし、
前記第1の光導波路の光軸方向に出射されその出射面で屈折するレーザ光が、前記第2の光導波路の入射面で屈折してその光軸方向に入射するように決定された、前記シリコン基板上における前記半導体レーザチップの搭載位置に、前記半導体レーザチップをパッシブアラインメント実装するための2以上の位置合わせ箇所のそれぞれに対応するアラインメントマークを、前記シリコン基板と前記半導体レーザチップとに備える
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 出射されるレーザ光を導波するための第1の光導波路が形成された半導体レーザチップが、第2の光導波路が形成されたメサ構造体を備えるシリコン基板上に、フリップチップ実装されてなる半導体レーザモジュールであって、
前記第1の光導波路の光軸は、前記第1の光導波路の出射面となる前記半導体レーザチップのへき開端面の垂線と所定の角度をなし、
前記半導体レーザチップの前記へき開端面と前記第2の光導波路の入射面となる前記メサ構造体のへき開端面とが平行であり、
前記第2の光導波路の光軸は、前記第1の光導波路の光軸方向に出射されその出射面で屈折するレーザ光が前記第2の光導波路の入射面で屈折して入射するときの屈折光と平行になるように設定され、
前記第1の光導波路の光軸方向に出射されその出射面で屈折するレーザ光が、前記第2の光導波路の入射面で屈折してその光軸方向に入射するように決定された、前記シリコン基板上における前記半導体レーザチップの搭載位置に、前記半導体レーザチップをパッシブアラインメント実装するための2以上の位置合わせ箇所のそれぞれに対応するアラインメントマークを、前記シリコン基板と前記半導体レーザチップとに備える
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体レーザモジュールにおいて、
前記半導体レーザチップは、分布帰還型レーザ構造を有し、前記第1の光導波路及び前記第2の光導波路は、シングルモードで前記レーザ光を導波する
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の半導体レーザモジュールにおいて、
前記第1の光導波路と前記第2の光導波路とが対向する端面における前記第2の光導波路のスポットサイズを、前記第1の光導波路のスポットサイズよりも大きくするための、スポットサイズ変換機構を備える
ことを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の半導体レーザモジュールを製造する製造方法であって、
前記シリコン基板と前記半導体レーザチップとに備える前記アライントマークを用いて、前記シリコン基板上における前記半導体レーザチップの前記搭載位置に、前記半導体レーザチップがパッシブアラインメント実装される
ことを特徴とする半導体レーザモジュールの製造方法。
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