JP6271464B2 - 光集積素子 - Google Patents
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Description
また、本発明の光集積素子の1構成例は、さらに、前記光導波路のミラーを有する出力側の端面と反対の入力側の端面に光を入射させる発光素子を、前記半導体基板上に有することを特徴とするものである。
また、本発明の光集積素子の1構成例において、前記発光素子は、光変調器として機能する半導体レーザである。
また、本発明の光集積素子の1構成例において、前記発光素子は、波長可変半導体レーザである。
また、本発明の光集積素子の1構成例は、さらに、前記光導波路を伝搬する光を増幅する光増幅器を、前記半導体基板上に有することを特徴とするものである。
また、本発明の光集積素子の1構成例は、前記レンズの周囲に単一の前記ヒータ電極を有することを特徴とするものである。
また、本発明の光集積素子の1構成例は、前記レンズの周囲に複数の前記ヒータ電極を有することを特徴とするものである。
図1(A)は本発明の第1の実施の形態に係る光集積素子の平面図、図1(B)は図1(A)の光集積素子のI−I線断面図である。本実施の形態の光集積素子は、発光素子である半導体レーザ1と、光導波路2と、ミラー3と、レンズ4とを同一のチップ上に集積したものであり、レンズ4の周囲にヒータ電極5を配置したものである。
ヒータ電極5の材料としては、例えば窒化チタン、タングステン、モリブデン、白金などがある。ヒータ電極5に電流を流すと、抵抗加熱で発熱する。この場合、ヒータ電極5に流す電流量を調整することで、ヒータ電極5の温度を制御することができ、レンズ4の温度を制御することができる。
なお、電極13から活性層11に注入する電流を変調すれば、レーザ光の強度を直接的に変調する直接変調レーザ(光変調器)として半導体レーザ1を機能させることができる。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。図2は本発明の第2の実施の形態に係る光集積素子の平面図であり、図1と同一の構成には同一の符号を付してある。
第1の実施の形態では、例えばレンズ4からの出射光を外部の光ファイバ(不図示)などに入射させる場合、光導波路2の端面のミラー3やレンズ4の作製誤差の影響で、出射光が所望の方向に出射されず、光ファイバの端面における位置ずれが生じ、光結合効率を低減させる要因となってしまう可能性がある。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。図3は本発明の第3の実施の形態に係る光集積素子の平面図であり、図1、図2と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の光集積素子は、波長可変半導体レーザである半導体レーザアレイ1aと、半導体レーザアレイ1aから出力された光を導波する光導波路アレイ2aと、半導体レーザアレイ1aから出力された光を合波する合波器6と、合波器6から出力された光を導波する光導波路7と、光導波路7の途中に設けられた光増幅器8と、ミラーと、レンズ4とを同一のチップ上に集積したものであり、レンズ4の周囲にヒータ電極5−1〜5−4を配置したものである。
各半導体レーザから出力される光は光導波路アレイ2aによって導波される。光導波路アレイ2a中の各導波路の構造は、第1の実施の形態で説明した光導波路2の構造と同様である。
光導波路7は、合波器6から出力された光を導波する。この光導波路7の途中には、光増幅器8が設けられている。光増幅器8は、半導体レーザ1と同様に、光利得を有する活性層が下部クラッド層10と上部クラッド層12で挟み込まれた構成となっている。上部クラッド層12の上には電極15が形成されている。光増幅器8の活性層上部の電極15から活性層に電流を注入することで、合波器6から出力された光を増幅する作用を得ることができる。
ミラーによって反射されたレーザ光を集光もしくは平行光にするためのレンズ4については、第1の実施の形態で説明したとおりである。
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。図4(A)は本発明の第4の実施の形態に係る光集積素子の平面図、図4(B)は図4(A)の光集積素子のI−I線断面図であり、図1〜図3と同一の構成には同一の符号を付してある。第1〜第3の実施の形態では、半導体基板の表面にレンズ4とヒータ電極5,5−1〜5−4とを形成する例を挙げて説明したが、図4(A)、図4(B)に示すように半導体基板の裏面(本実施の形態の例では下部クラッド層10の下面)にレンズ4とヒータ電極5とを形成するようにしてもよい。
また、本実施の形態では、半導体基板の裏面にレンズ4とヒータ電極5とを形成する構成を第1の実施の形態に適用したが、第2、第3の実施の形態に適用してもよいことは言うまでもない。
Claims (8)
- 半導体基板上に形成された光導波路と、
この光導波路の一方の端面に設けられ、前記光導波路からの光を前記半導体基板の一方の面方向に反射するか、もしくは前記半導体基板の一方の面からの光を反射して前記光導波路に入射させるミラーと、
このミラーの上方または下方の前記半導体基板の一方の面に形成され、前記ミラーによって前記半導体基板の一方の面方向に反射した光を外部に出射するか、もしくは外部からの光を前記ミラーに入射させるレンズと、
このレンズの周囲の半導体基板の一方の面に形成されたヒータ電極とを有することを特徴とする光集積素子。 - 請求項1記載の光集積素子において、
さらに、前記光導波路のミラーを有する出力側の端面と反対の入力側の端面に光を入射させる発光素子を、前記半導体基板上に有することを特徴とする光集積素子。 - 請求項2記載の光集積素子において、
前記発光素子は、光変調器として機能する半導体レーザであることを特徴とする光集積素子。 - 請求項2記載の光集積素子において、
前記発光素子は、波長可変半導体レーザであることを特徴とする光集積素子。 - 請求項1記載の光集積素子において、
さらに、前記光導波路のミラーを有する入力側と反対の出力側で前記光導波路を伝搬する光を受光して電流に変換する受光素子を、前記半導体基板上に有することを特徴とする光集積素子。 - 請求項1記載の光集積素子において、
さらに、前記光導波路を伝搬する光を増幅する光増幅器を、前記半導体基板上に有することを特徴とする光集積素子。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光集積素子において、
前記レンズの周囲に単一の前記ヒータ電極を有することを特徴とする光集積素子。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光集積素子において、
前記レンズの周囲に複数の前記ヒータ電極を有することを特徴とする光集積素子。
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