JP2015056995A - 熱電子発電素子 - Google Patents
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Abstract
Description
電気伝導性を有するコレクタ基板を少なくとも有し、上記エミッタに対面して間隙を介して配置され熱電子を収集するコレクタとを有し、
上記電子放出層の膜厚が40nm以下であることを特徴とする熱電子発電素子にある。
上記熱電子発電素子の実施例について、図1〜図4を用いて説明する。図1に示すように、熱電子発電素子1は、熱電子を発生させるエミッタ2と、エミッタ2に対面して間隙dを介して配置され、熱電子を収集するコレクタ3とを有している。エミッタ2は、電気伝導性を有するエミッタ基板21と、エミッタ基板21に積層され、リンをドナーとして含有するn型ダイヤモンド半導体よりなる低抵抗層22と、低抵抗層22に積層され、窒素をドナーとして含有するn型ダイヤモンド半導体よりなる電子放出層23とを有している。
・基板温度:1000℃
・H2ガス流量に対するCH4ガス流量の比(CH4流量/H2流量):0.01
・CH4ガス流量に対するPH3ガス流量の比(PH3流量/CH4流量):0.05
・成膜時圧力:30Torr
・マイクロ波出力:750W
・基板温度:1000℃
・H2ガス流量に対するCH4ガス流量の比(CH4流量/H2流量):0.01
・CH4ガス流量に対するN2ガス流量の比(N2流量/CH4流量):10
・成膜時圧力:50Torr
・マイクロ波出力:1000W
本例は、実施例1における電子放出層23の膜厚を種々の厚みに変更した例である。本例においては、実施例1と同様の成膜条件を用い、表1に示すように、膜厚が20nm、40nm、60nm及び1000nmとなるように電子放出層23を形成したエミッタ2(試料1〜試料4)を作成した。その他は実施例1と同様である。
Jo=ATE 2exp{−e(Vo+ΦE)/kTE} ・・・(2)
Wo(W/cm2):単位面積当たりの最大出力密度
Jo(A/cm2):最大出力密度が得られるときの熱電子電流の電流密度
Vo(V):最大出力密度が得られるときの電圧
TE(K):エミッタの温度
ΦE(eV):エミッタの仕事関数
A(A/cm2K2):リチャードソン定数
e(C):電気素量
k(J/K):ボルツマン定数
2 エミッタ
21 エミッタ基板
22 低抵抗層
23 電子放出層
3 コレクタ
31 コレクタ基板
Claims (6)
- 電気伝導性を有するエミッタ基板(21)と、該エミッタ基板(21)に積層され、リンをドナーとして含有するn型ダイヤモンド半導体よりなる低抵抗層(22)と、該低抵抗層(22)に積層され、窒素をドナーとして含有するn型ダイヤモンド半導体よりなる電子放出層(23)とを有し、熱電子を発生させるエミッタ(2)と、
電気伝導性を有するコレクタ基板(31)を少なくとも有し、上記エミッタ(2)に対面して間隙(d)を介して配置され上記熱電子を収集するコレクタ(3)とを有し、
上記電子放出層(23)の膜厚が40nm以下であることを特徴とする熱電子発電素子(1)。 - 上記エミッタ(2)は、上記コレクタ(3)に対面するエミッタ表面(24)が水素終端されていることを特徴とする請求項1に記載の熱電子発電素子(1)。
- 上記エミッタ(2)は、上記エミッタ基板(21)と上記エミッタ表面(24)との間の厚み方向における内部抵抗が1Ωcm2以下であり、上記コレクタ(3)は、上記コレクタ基板(31)と上記エミッタ(2)に対面するコレクタ表面(34)との間の厚み方向における内部抵抗が1Ωcm2以下であることを特徴とする請求項1また2に記載の熱電子発電素子(1)。
- 上記エミッタ基板(21)は、Si、Ti、Mo、Ir、Ta、W、Ru、CrまたはPtのいずれかより構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の熱電子発電素子(1)。
- 上記エミッタ基板(21)と上記低抵抗層(22)との間に界面中間層を有しており、該界面中間層は、その厚み方向の抵抗と、上記エミッタ基板(21)との間の界面抵抗と、上記低抵抗層(22)との間の界面抵抗との和が、上記エミッタ基板(21)と上記低抵抗層(22)との間の界面抵抗よりも小さくなるよう構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の熱電子発電素子(1)。
- 上記界面中間層は、金属炭化物より構成されていることを特徴とする請求項5に記載の熱電子発電素子(1)。
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