JP2020520094A - 仕事関数低減及び熱電子エネルギー変換のためのシステム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2017年5月2日に出願された米国仮特許出願第62/500,300号明細書、及び2017年12月5日に出願された米国仮特許出願第62/595,003号明細書の利益を主張するものであり、これらの明細書のそれぞれは、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
本発明は、米国エネルギー高等研究計画局によって授与された授与番号ARPA−E−DE−AR00000664の下での、及び米国国防高等研究計画局によって授与された契約番号HR0011−17−P−0003及びW911NF−17−P−0034の下での政府支援を受けてなされた。米国政府は、本発明において一定の権利を有する。
熱電子エネルギー変換システム10(TEC)は、(例えば、図1に示すように)アノード100及びカソード200を含むことが好ましい。しかしながら、システム10は、これに加えて又はその代わりに、任意の他の適切な要素を含むことがある。
アノード100は、熱電子的に放出された(例えば、カソード200から放出された)電子を収集するように機能する。アノード100は、1つ又は複数の半導体層110を含むことが好ましく、且つ、任意選択的に、1つ又は複数の補助層105(例えば、電子保護層120、電子ポピュレーション制御層125、電子捕獲層130、光学調節層135、化学的保護層140、仕事関数調節層150、等)、電気接点160、及び/又は任意の他の適切な要素を(例えば、図2A〜2Cに示すように)含むことがある。
アノード100は、1つ又は複数の半導体層110を含むことが好ましく、半導体層110は、光起電力に基づく仕事関数の制御(例えば、仕事関数の低減)を可能にするように(例えば、アノードの他の要素と連携して)機能することができる。実施形態によっては、半導体層110(及び/又は他のアノード要素)は、大きなビルトイン電圧を達成するように(例えば、ビルトイン電圧を最大化するように)設計され、これにより、光起電力に基づく仕事関数のより大幅な低減をもたらすことができる。半導体層110は、バルク半導体111を含むことが好ましく、また任意選択的に、図2Dに示すものなどの、1つ又は複数の追加の半導体層(例えば、低ドーピング層112、逆タイプ層113、キャリア遮断層114、等)を含むことがある。そのような追加の半導体層は、例えば、アノードのビルトイン電圧を高めるように(例えば、それによって潜在的な光起電力効果を高め、仕事関数のより大幅な低減をもたらすことができるように)、望ましくないキャリア再結合を低減するように、アノード光学特性を調節するように(例えば、第1の側面の近傍の半導体内のabove−gap光吸収を高め、第2の側面の近傍の半導体内及び/又はアノードの非半導体領域内のabove−gap光吸収を低減し、below−gap光吸収を低減する、など)、且つ/又は任意の他の適切な機能を実施するように、機能することができる。
半導体層110に加えて(又はその代わりに)、アノードは、1つ又は複数の補助層105、例えば、電子保護層120、電子ポピュレーション制御層125、電子捕獲層130、光学調節層135、化学的保護層140、仕事関数調節層150、及び/又は任意の他の適切な層、のうちの1つ又は複数として機能する層など、を任意選択的に含むことがある。アノードは、単一の補助層(例えば、この層は、補助層に関して本明細書で説明する機能のうちの1つ又は複数を提供する)、若しくは複数の補助層を含むか、又は補助層を全く含まないことがある。
電気接点160は、(例えば、電気負荷を駆動するために)アノード100から電子を抽出するように機能することができる。電気接点160は、アノードの第2の側面上に配置されることが好ましいが、これに加えて又はその代わりに、第1の側面上に(環状接触部などの横方向にパターン形成されて、薄い連続層、等)、側面同士の間に(例えば、アノード100の内部に)、配置されることがあり、且つ/又は、任意の他の適切な配置を有することがある。電気接点160は、半導体層110のうちの1つ又は複数に電気的に接続されることが好ましく、半導体との良好な電気接点(例えば、オーミック接触;例えば、アノード動作温度におけるkBTの0.01、0.05、0.1、0.2、0.5、0.75、1、1.5、2、2.5、3、4、5、10、0.01〜0.1、0.1〜0.5、0.5〜1.5、1.5〜3、3〜5、5〜10、10〜20、又は20〜50倍などの、アノード動作温度に対して無視できるか又は最小のエネルギー障壁を有するショットキー接触、等)を形成するのが、より好ましい。
一実施形態では、アノード100はバルク半導体111を含み、バルク半導体111の背面に(例えば、アノード第2の側面の近位に)電気接点160を好ましくは含み、例えばアノード第1の側面などにおいて仕事関数調節層150(例えば、Cs又はCs−Oコーティング)を好ましくは含み、且つ任意選択的に、1つ又は複数の追加の層(例えば、バルク半導体111と仕事関数調節層150との間に配置される中間層;仕事関数調節層が無い場合には、バルク半導体111の表面に配置される層、等)を含む。例えば、バルク半導体は、バルクn型シリコンウェハ、例えば、50〜250μm厚さのウェハ(例えば、100μm、200μm、等)などであるか、及び/又は、1016〜1018/cm3の平衡キャリア濃度(例えば、1016、2×1016、5×1016、7.5×1016、1017、2×1017、等)を有するウェハであり得る。
カソード200は、(例えば、熱電子的に)電子を放出するように機能することができる。カソード200は、実質的に平面状である(例えば、平坦なウェハである)ことが好ましいが、これに加えて又はその代わりに、任意の適切な形状を画定することがある。カソード200は、表面テクスチャ、横方向のフィーチャ、及び/又は任意の他の適切なフィーチャを任意選択的に含むことがある。
アノード100及びカソード200は結合されていることが好ましく、互いに対して固定されていることがより好ましい。アノード100及びカソード200は、実質的に平行である(例えば、アノード100の広い面がカソード200の広い面と実質的に平行である)ことが好ましい。アノードの第1の側面が、カソード200に面していることが好ましい。
仕事関数低減及び/又は熱電子エネルギー変換のための方法300は、システムに熱エネルギーを入力するステップS310、システムのアノードを照射するステップS320、及び/又はシステムから電力を抽出するステップS330を、(図3A〜図3Bに示すように)含むことがある。方法300は、上述したシステム10及び/又は任意の他の適切なシステムを使用して、実行することができる。
Claims (22)
- 熱電子エネルギー変換器(TEC)を動作させるための方法であって、
前記TECのアノードの仕事関数を低減するステップであって、
前記アノードを複数の光子で照射するステップと、
前記アノードのn型半導体において、前記複数の光子を吸収するステップと、を含むステップ、並びに、
前記仕事関数を低減するステップと実質的に同時に、熱電子電流を生成するステップであって、
前記TECのカソードにおいて、複数の電子を熱電子的に放出するステップと、
前記アノードにおいて、前記複数の光子を吸収するステップと実質的に同時に、前記複数の電子を捕獲するステップと、
前記アノードにおいて、前記複数の電子を電力として供給するステップと、を含むステップを含む方法において、
前記アノードは、
前記n型半導体と、
仕事関数低減層と、
前記n型半導体と前記仕事関数低減層との間に配置される中間層と、を含むことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記中間層は遷移金属酸化物を含むことを特徴とする方法。
- 請求項2に記載の方法において、前記遷移金属酸化物は酸化チタンであることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記n型半導体は、n型シリコン、n型炭化ケイ素、n型ゲルマニウム、及びn型III−V族半導体からなる群から選択されることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、前記アノードを照射するステップは、前記カソードにおいて、前記複数の光子を放出するステップを含むことを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法において、
前記アノードの前記仕事関数を低減するステップは、前記アノードにおいて照射された仕事関数を達成するステップを含み、
実質的に照射されていない場合の前記アノードの暗闇の仕事関数は、少なくとも50meVだけ、前記照射された仕事関数よりも大きい、ことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記仕事関数低減層は、アルカリ金属及びアルカリ土類金属のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする方法。
- 熱電子エネルギー変換器(TEC)を動作させるための方法であって、
前記TECのアノードの仕事関数を低減するステップであって、
前記アノードを複数の光子で照射するステップと、
前記アノードのn型半導体において、前記複数の光子を吸収するステップと、を含むステップ、並びに、
前記仕事関数を低減するステップと実質的に同時に、熱電子電流を生成するステップであって、
前記TECのカソードにおいて、複数の電子を熱電子的に放出するステップと、
前記アノードにおいて、前記複数の光子を吸収するステップと実質的に同時に、前記複数の電子を捕獲するステップと、
前記アノードにおいて、前記複数の電子を電力として供給するステップと、を含むステップを含み、
前記アノードは、
前記n型半導体と、
電気接点と、
前記n型半導体をまたがって前記電気接点と対向する層において、アルカリ金属を含まず、アルカリ土類金属を含まない層と、を含むことを特徴とする方法。 - 請求項8に記載の方法において、前記層は酸化物を含むことを特徴とする方法。
- 請求項8に記載の方法において、前記アノードは仕事関数低減層を更に含み、前記層は前記n型半導体と前記仕事関数低減層との間に配置されることを特徴とする方法。
- 請求項8に記載の方法において、
前記アノードの前記仕事関数を低減するステップは、前記アノードにおいて照射された仕事関数を達成するステップを含み、
実質的に照射されていない場合の前記アノードの暗闇の仕事関数は、少なくとも50meVだけ、前記照射された仕事関数よりも大きい、ことを特徴とする方法。 - 熱電子エネルギー変換器(TEC)であって、
アノードであって、
n型半導体、
仕事関数低減層、及び
前記n型半導体と前記仕事関数低減層との間に配置される中間層、を含むアノードと、
カソードであって、前記TECが前記アノードと前記カソードとの間のギャップを画定する、カソードと、
前記TECの近位の周囲環境から前記ギャップを隔離する筐体と、
前記カソードを前記アノードに電気的に結合する電気負荷と、を含むことを特徴とするTEC。 - 請求項12に記載のTECにおいて、前記中間層は遷移金属酸化物を含むことを特徴とするTEC。
- 請求項13に記載の方法において、前記遷移金属酸化物は酸化チタンであることを特徴とする方法。
- 請求項13に記載の方法において、前記中間層は2nm〜50nmの間の厚さを有することを特徴とする方法。
- 請求項12に記載の方法において、前記n型半導体は、n型シリコン、n型炭化ケイ素、n型ゲルマニウム、及びn型III−V族半導体からなる群から選択されることを特徴とする方法。
- 請求項12に記載の方法において、前記n型半導体はシリコンを含むことを特徴とする方法。
- 請求項17に記載の方法において、前記n型半導体と前記中間層との間に配置されたシリコン酸化物層を更に含むことを特徴とする方法。
- 請求項17に記載の方法において、前記n型半導体と前記中間層との間に配置された酸化物層を更に含み、前記酸化物層はモリブデン及びマンガンのうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする方法。
- 請求項12に記載の方法において、前記n型半導体はヒ化ガリウムを含むことを特徴とする方法。
- 熱電子エネルギー変換器(TEC)であって、
カソードと、
アノードであって、前記TECが前記アノードと前記カソードとの間のギャップを画定する、アノードにおいて、
n型半導体、及び
前記n型半導体と前記ギャップとの間に配置された層において、アルカリ金属を含まず、アルカリ土類金属を含まない層、を含むアノードと、
前記TECの近位の周囲環境から前記ギャップを隔離する筐体と、
前記カソードを前記アノードに電気的に結合する電気負荷と、を含むことを特徴とするTEC。 - 請求項21に記載のTECにおいて、仕事関数低減層を更に含み、前記層は前記n型半導体と前記仕事関数低減層との間に配置されることを特徴とするTEC。
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