JP2015056608A - 半導体パッケージおよび半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】はんだを用いて低熱抵抗でヒートシンクに実装することができる半導体パッケージを提供すること。
【解決手段】実施形態に係る半導体パッケージは、ベース金属部12、枠体13、入出力側配線15a、15b、および蓋体14、を具備する。ベース金属部12は、裏面に複数のスリット19を有するとともに、表面に半導体チップ11を搭載可能なものである。枠体13は、ベース金属部12の表面上に配置される。入出力側配線15a、15bは、枠体13の側面を貫通するように設けられる。蓋体14は、枠体13上に配置される。
【選択図】図2
【解決手段】実施形態に係る半導体パッケージは、ベース金属部12、枠体13、入出力側配線15a、15b、および蓋体14、を具備する。ベース金属部12は、裏面に複数のスリット19を有するとともに、表面に半導体チップ11を搭載可能なものである。枠体13は、ベース金属部12の表面上に配置される。入出力側配線15a、15bは、枠体13の側面を貫通するように設けられる。蓋体14は、枠体13上に配置される。
【選択図】図2
Description
本発明の実施形態は、半導体パッケージおよび半導体装置に関する。
半導体パッケージ内部に半導体チップを搭載して使用する従来の半導体装置において、半導体パッケージは、半導体チップが搭載されるベース金属部上に、半導体チップを囲うように枠状のセラミックフレームが設けられ、セラミックフレーム上に蓋体が取り付けられたものである。半導体チップは、セラミックフレームおよび蓋体によって、気密封止される。
このような従来の半導体装置は、半導体チップが発する熱を放熱するために、ヒートシンクに実装される。半導体装置は、できるだけ低熱抵抗でヒートシンクに実装されることが望ましい。
しかしながら、半導体パッケージを構成するそれぞれの部品の線膨張係数の違い、およびベース金属部の表面に平行な面における半導体パッケージの断面形状の違い、等の影響によって、半導体パッケージの製造工程中の熱工程において、ベース金属部が反り、半導体パッケージ全体が反る、という問題がある。このように反りが発生した半導体パッケージをヒートシンクに実装すると、両者の間に空気層が形成される。この空気層は放熱経路とならないため、両者間の熱抵抗が増加する。
半導体装置とヒートシンクとの間に空気層が形成されることを抑制するための手段として、半導体パッケージのベース金属部とヒートシンクとの間に放熱シートを挟み、または放熱グリスを塗布する手段が知られている。
しかしながら、例えばGaAs、またはGaN等を用いたFET等のような発熱量の大きいパワー半導体を半導体パッケージに搭載した場合、上記手法では十分に両者間の熱抵抗を低下させることは困難である。
そこで、半導体装置をヒートシンクに対して直接はんだ付けで実装する手段が考えられる。はんだは、放熱シートや放熱グリスと比べて熱伝導率が高いため、熱抵抗をより一層低下させることができる、と考えられる。
しかし、通常、半導体パッケージのベース金属部の裏面は、半導体パッケージとヒートシンクとの間の熱抵抗をなるべく小さくするために平坦化されるが、実装のために溶融されたはんだは、平坦なベース金属部の裏面において広がりが悪く、はんだ内に気泡が形成される場合がある。
このようにはんだ内に気泡が形成される、すなわちはんだの品質が低下すると、半導体パッケージとヒートシンクとの間の熱抵抗が増加する。
実施形態は、はんだを用いて低熱抵抗でヒートシンクに実装することができる半導体パッケージおよび半導体装置を提供することを目的とする。
実施形態に係る半導体パッケージは、ベース金属部、枠体、複数の配線、および蓋体、を具備する。前記ベース金属部は、裏面に複数の溝を有するとともに、表面に半導体チップを搭載可能なものである。前記枠体は、前記ベース金属部の表面上に配置される。前記複数の配線は、前記枠体の側面を貫通するように設けられる。前記蓋体は、前記枠体上に配置される。
また、実施形態に係る半導体装置は、ベース金属部、半導体チップ、枠体、複数の配線、および蓋体、を具備する。前記ベース金属部は、裏面に複数の溝を有する。前記半導体チップは、前記ベース金属部の表面上に搭載される。前記枠体は、前記ベース金属部の表面上において、前記半導体チップを囲うように配置される。前記複数の配線は、前記枠体の側面を貫通するように設けられており、一端が前記半導体チップに電気的に接続される。前記蓋体は、前記枠体上に配置される。
また、実施形態に係る半導体装置は、表面が平坦なヒートシンクにはんだを介して実装される半導体装置であって、ベース金属部、半導体チップ、枠体、複数の配線、および蓋体、を具備する。前記ベース金属部は、裏面に複数の溝を有する。前記半導体チップは、前記ベース金属部の表面上に搭載される。前記枠体は、前記ベース金属部の表面上において、前記半導体チップを囲うように配置される。前記複数の配線は、前記枠体の側面を貫通するように設けられており、一端が前記半導体チップに電気的に接続される。前記蓋体は、前記枠体上に配置される。
以下に、実施形態に係る半導体パッケージおよび半導体装置について説明する。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る半導体装置を模式的に示す平面図である。また、図2は、図1の一点鎖線A−A´に沿った半導体装置の断面図である。図1および図2に示す半導体装置10は、半導体パッケージの内部に、半導体チップ11が搭載されたものである。なお、図1において、半導体パッケージの内部構造については、点線で示している。
図1は、第1の実施形態に係る半導体装置を模式的に示す平面図である。また、図2は、図1の一点鎖線A−A´に沿った半導体装置の断面図である。図1および図2に示す半導体装置10は、半導体パッケージの内部に、半導体チップ11が搭載されたものである。なお、図1において、半導体パッケージの内部構造については、点線で示している。
半導体パッケージは、ベース金属部12、枠体13、および蓋体14(図2)、によって構成されている。
ベース金属部12は、表面に半導体チップ11等を搭載するものである。このベース金属部12は、例えば銅およびモリブデン等のような異種金属をラミネート加工したもの、もしくは銅およびタングステン等のような異種金属の粉を混ぜて固める粉末冶金法により形成したものである。銅は高い熱伝導性を有し、モリブデンおよびタングステンは、例えばGaAs、GaN等からなる半導体チップ11と線膨張係数が近似する。このような異種金属により形成されるベース金属部12は、高い熱伝導性を有するとともに、搭載される半導体チップ11との線膨張係数の相違によって発生する反りが抑制される。
枠体13は、例えばセラミックからなるセラミックフレームであり、ベース金属部12の表面上に配置されている。そして、枠体13上には、例えば枠体13と同一材料であるセラミックからなる板状の蓋体14が設けられている(図2)。
また、このような半導体パッケージには、内部に搭載される半導体チップ11に高周波信号等を入力する入力側配線15a、および半導体チップ11において処理された高周波信号等を出力する出力側配線15b、が設けられている。これらの配線15a、15bは、枠体13を貫通するように設けられている。
図3は、図2の一点鎖線B−B´に沿った半導体装置の断面図である。図3に示すように、枠体13の一側面には、凹部13aが設けられている。そして、凹部13a内には、第1の誘電体ブロック16a、入力側配線15a、および第2の誘電体ブロック17a、が、凹部13aを埋めるように設けられている。入力側配線15aは、第1の誘電体ブロック16a上に設けられており、第2の誘電体ブロック17aは、第1の誘電体ブロック16a上に、入力側配線15aを覆うように設けられている。
図1および図2を参照する。第1の誘電体ブロック16aおよび入力側配線15aは、枠体13の内側面から半導体パッケージの内部に突出するとともに、枠体13の外側面から半導体パッケージの外部に突出するように設けられている。第2の誘電体ブロック17aも、枠体13の内側面から半導体パッケージの内部に突出するとともに、枠体13の外側面から半導体パッケージの外部に突出するように設けられている。しかし、第2の誘電体ブロック17aは、入力側配線15aの一部を覆うように、すなわち、入力側配線15aの一端および他端を露出させるように設けられている。そして、入力側配線15aのうち、第2の誘電体ブロック17aから露出する他端には、入力リード18aが設けられている。
図3と同様の図示は省略するが、出力側においても同様の構成となっている。すなわち、凹部13aを有する側面に対向する枠体13の他の一側面にも、凹部13bが設けられている。そして、入力側と同様に、この凹部13b内には、第1の誘電体ブロック16b、出力側配線15b、および第2の誘電体ブロック17b、が、凹部13bを埋めるように設けられている(図1および図2)。
第1の誘電体ブロック16bおよび出力側配線15bは、枠体13の内側面から半導体パッケージの内部に突出するとともに、枠体13の外側面から半導体パッケージの外部に突出するように設けられている。第2の誘電体ブロック17bも、枠体13の内側面から半導体パッケージの内部に突出するとともに、枠体13の外側面から半導体パッケージの外部に突出するように設けられている。しかし、第2の誘電体ブロック17bは、出力側配線15bの一端および他端を露出させるように設けられている。そして、出力側配線15bのうち、第2の誘電体ブロック17bから露出する他端には、出力リード18bが設けられている。
図4は、このような半導体パッケージを裏面側から見た場合の平面図である。図4に示すように、半導体パッケージの裏面、すなわち、ベース金属部12の裏面には、複数のスリット19が設けられている。複数のスリット19は、ベース金属部12の裏面全面に、網目状に設けられている。すなわち、複数のスリット19は、互いに離間し、かつ互いに平行に設けられた複数の第1のスリット19aと、同様に互いに離間し、かつ互いに平行に設けられた複数の第2のスリット19bと、が互いに交わるように、ベース金属部12の裏面全面に設けられている。
本実施形態に係る半導体装置において、複数のスリット19は、複数の第1のスリット19aと、複数の第2のスリット19bとが、互いに実質的に垂直に交わるように設けられている。
図2および図3に示されるように、各々のスリット19は、その垂直断面における形状がV字状となるように設けられている。例えば各々のスリット19は、ベース金属部12の厚さの1/3以下程度、例えば0.1〜3.0mm程度の深さを有するように設けられている。ここで、スリット19の深さとは、ベース金属部12の裏面と、スリット19の頂点(図4において点線で示す部分)との距離、を意味する。
このような複数のスリット19を有するベース金属部12は、例えば以下のように形成される。まず、ベース金属部12となる金属板の裏面の中心線平均粗さが例えば1.6a程度となるまで、金属板に対してフライス加工を繰り返し、金属板の裏面を平坦化する。次に、平坦化された金属板の裏面を例えばマシニングセンター等によって加工することにより、複数のスリット19を設ける。このようにして、ベース金属部12が形成される。
なお、ベース金属部12の裏面の複数のスリット19は、例えばフライス加工が終了する前の金属板が有する複数の凹部であってもよい。すなわち、金属板の裏面の中心線平均粗さが6.3a以上である場合、このような金属板の裏面の複数の凹部を、複数のスリットとしてもよい。凹部をスリットとする場合、ベース金属部12を形成する際のフライス加工の繰り返し回数、およびスリット19を形成するための加工工程を省略することができるため、ベース金属部12の形成が容易になる。
以下、本願において、上述のスリット19および凹部を溝と称するが、実施形態の説明においては、溝がスリット19である場合を説明する。
図1および図2を参照する。以上に説明したような、裏面に複数のスリット19が設けられたベース金属部12を有する半導体パッケージの内部には、半導体チップ11および入出力用の整合回路パターン20a、20bがそれぞれ搭載されている。これらは、ベース金属部12の表面上において、枠体13に囲まれるように搭載されている。
半導体チップ11は、例えば窒化ガリウムを用いた高出力トランジスタ(GaN−HEMT)等のパワー半導体であって、ベース金属部12の表面上に搭載されている。なお、図1に示すように、実施形態に係る半導体装置10においては、2個の半導体チップ11が搭載されているが、半導体チップ11の数は限定されない。また、搭載される半導体チップ11は、パワー半導体に限定されない。
また、入力用の整合回路パターン20aは、ベース金属部12の表面上において、入力側配線15aと半導体チップ11との間に設けられた誘電体基板21aの表面上に設けられている。この整合回路パターン20aは、一端において半導体チップ11に接続され、他端において入力側配線15aの一端に接続されている。整合回路パターン20aの一端と半導体チップ11との間、整合回路パターン20aの他端と入力側配線15aの一端との間、はそれぞれ、例えばワイヤー等の接続導体22aによって接続されている。
出力用の整合回路パターン20bは、ベース金属部12の表面上において、出力側配線15bと半導体チップ11との間に設けられた誘電体基板21bの表面上に設けられている。この整合回路パターン20bは、一端において半導体チップ11に接続され、他端において出力側配線15bの一端に接続されている。整合回路パターン20bの一端と半導体チップ11と間、整合回路パターン20bの他端と出力側配線15bの一端との間、はそれぞれ、例えばワイヤー等の接続導体22bによって接続されている。
なお、図1に示すように、実施形態に係る半導体装置10においては、2個の半導体チップ11が搭載されている。従って、入力用の整合回路パターン20aは、入力側配線15aから半導体チップ11に向かって2分岐される分岐回路となっており、出力用の整合回路パターン20bは、半導体チップ11から出力側配線15bからに向かって2つの線路が合波される合波回路となっている。しかし、入力用の整合回路パターン20aの分岐数、および出力用の整合回路パターン20bの合波数はそれぞれ、搭載される半導体チップ11の数によって決定される。
図5および図6はそれぞれ、ヒートシンクに実装された本実施形態に係る半導体装置を示す図であり、図5は、図2に対応する断面図、図6は、図3に対応する断面図である。図5および図6に示すように、半導体装置10は、表面が平坦なヒートシンク23に対してはんだ24を介して実装されている。はんだ24は、ベース金属部12のスリット19内部を含む半導体装置10の裏面全面に接触するように設けられており、半導体装置10は、このようなはんだ24を介して、表面が平坦なヒートシンク23に実装される。
以上に説明した本実施形態に係る半導体パッケージおよび半導体装置10によれば、ベース金属部12の裏面に複数のスリット19が設けられているため、ベース金属部12が反ることを抑制することができ、半導体パッケージおよび半導体装置10が反ることを抑制することができる。以下、これについて説明する。
半導体パッケージを製造する際の熱工程によって、半導体パッケージを構成する各部品、半導体パッケージの形状に応じて、ベース金属部が反る現象が発生する。この現象は、半導体パッケージを製造する際の熱工程によってベース金属部の各部に応力が発生し、この応力が、ベース金属部表面の長さと、ベース金属部裏面の長さと、を異ならせることによって生ずる。
例えばベース金属部が凸状に反る現象は、応力によって、ベース金属部の表面の長さが長く、ベース金属部の裏面の長さが短くなることによって生ずる。しかし、裏面に複数のスリット19を有するベース金属部12にこのような応力が発生した場合、各スリット19の幅が広がり、ベース金属部12表面の長さと、ベース金属部12裏面の長さと、が異なってしまうことを抑制する。その結果、ベース金属部12が凸状に反ることが抑制される。
また、ベース金属部が凹状に反る現象は、応力によって、ベース金属部の表面の長さが短く、ベース金属部の裏面の長さが長くなることによって生ずる。しかし、裏面に複数のスリット19を有するベース金属部12にこのような応力が発生した場合、各スリット19の幅が収縮し、ベース金属部12表面の長さと、ベース金属部12裏面の長さと、が異なってしまうことを抑制する。その結果、ベース金属部12が凹状に反ることが抑制される。
このように、本実施形態に係る半導体パッケージおよび半導体装置10によれば、ベース金属部12の裏面に設けられる複数のスリット19の幅が伸縮することによって、ベース金属部12表面の長さと、ベース金属部12裏面の長さと、が異なってしまうことが抑制される。その結果、ベース金属部12が反ることが抑制され、半導体パッケージおよび半導体装置10が反ることが抑制される。
次に、以上に説明した本実施形態に係る半導体パッケージおよび半導体装置10によれば、ベース金属部12の裏面に複数のスリット19が設けられているため、半導体装置10をヒートシンク23に実装するためのはんだ24の品質を向上させることができる。以下、これについて、半導体装置10のヒートシンク23への実装方法を説明しながら、説明する。
まず、ヒートシンク23の表面上の所定位置に、所定量のはんだ24を形成し、はんだ24を加熱して溶融させる。
次に、溶融したはんだ24が裏面に接触するように半導体装置10をアライメントして配置する。すると、溶融したはんだ24は、スリット19の毛細管現象により、半導体装置10の裏面全体に良好に広がる。このとき、半導体装置10とヒートシンク23との間に閉じ込められた気泡は、スリット19を介して半導体装置10の外部に放出される。
最後に、半導体装置10の裏面全体に広がったはんだ24を冷却して固める。これにより、図5および図6に示すように、半導体装置10は、ヒートシンク23に対して実装される。
なお、ヒートシンク23の表面上にはんだ24を形成するとともに、予め半導体装置10の裏面にもはんだを形成しておくことにより、実装作業の作業性が向上し、より容易に半導体装置10をヒートシンク23に対して実装させることができる。
以上に説明したように、本実施形態に係る半導体パッケージおよび半導体装置10によれば、ベース金属部12の裏面に複数のスリット19を設けることにより、毛細管現象を利用して、溶融したはんだ24を容易に半導体装置10の裏面全体に広げることができる。さらに、各スリット19が、半導体装置10とヒートシンク23との間に閉じ込められた気泡を半導体装置10の外部に放出するための放出経路となるため、ヒートシンク23と半導体装置10との間のはんだ24内に気泡が形成されることが抑制され、はんだ24の品質を向上させることができる。
これらのように、本実施形態に係る半導体パッケージおよび半導体装置10によれば、ベース金属部12の裏面に複数のスリット19が設けられているため、ベース金属部12の反りが抑制されるとともに、実装のためのはんだ24の品質を向上させることができる。この結果、半導体装置10とヒートシンク23との間の熱抵抗を低下させることができる。
なお、上述の説明においては、裏面に複数のスリット19が設けられたベース金属部12を適用した場合についての説明であるが、裏面の中心線平均粗さが6.3a以上となるような複数の凹部を有するベース金属部を適用しても、同様の効果を得ることができる。
(変形例)
以下に、第1の実施形態に係る半導体パッケージおよび半導体装置10の変形例を説明する。そこでまず、ヒートシンクに実装された従来の半導体装置について、図7および図8を参照して説明する。図7および図8は、従来の半導体装置がヒートシンクに実装された様子を示す図であって、図7は、従来の半導体装置を上側から見た場合の平面図、図8は、図7の一点鎖線C−C´に沿った従来の半導体装置を示す断面図である。
以下に、第1の実施形態に係る半導体パッケージおよび半導体装置10の変形例を説明する。そこでまず、ヒートシンクに実装された従来の半導体装置について、図7および図8を参照して説明する。図7および図8は、従来の半導体装置がヒートシンクに実装された様子を示す図であって、図7は、従来の半導体装置を上側から見た場合の平面図、図8は、図7の一点鎖線C−C´に沿った従来の半導体装置を示す断面図である。
図7および図8に示すように、ベース金属部112の裏面が平坦である従来の半導体装置100をヒートシンク23に実装した場合、半導体装置100をヒートシンク23に実装するためのはんだ24内において、半導体装置100の中央領域下に空気層101が形成され易い。この空気層101は、放熱経路にはならないため、このように半導体装置100がヒートシンク23に実装された場合、両者間の熱抵抗は高くなる。
ここで、第1の実施形態に係る半導体パッケージおよび半導体装置10において、複数のスリット19は、ベース金属部12の裏面全面に設けられた。しかし、複数のスリット19は、必ずしもベース金属部12の裏面全面に設けられる必要はなく、ベース金属部12の裏面の一部領域にのみ設けられてもよい。
図9、図10、および図11はそれぞれ、変形例に係る半導体パッケージおよび半導体装置を示す図であって、図9は、図4に対応する平面図、図10は、図2に対応する断面図、図11は、図3に対応する断面図である。なお、図9〜図11において、第1の実施形態に係る半導体装置10と同一部分については同一符号を付している。
例えば図7および図8に示すように、はんだ24内において、半導体装置100の中央領域下に空気層101が形成され易い場合、図9、図10および図11に示すように、複数のスリット19´は、空気層101が形成され易い領域のみ、すなわち、例えばベース金属部12´裏面の中央部のみに設けてもよい。複数のスリット19´がこのようにベース金属部12´の裏面の一部領域にのみ設けられた変形例に係る半導体パッケージおよび半導体装置10´であっても、第1の実施形態に係る半導体パッケージおよび半導体装置10と同様の効果を得ることができる。
(第2の実施形態)
図12は、第2の実施形態に係る半導体装置の半導体パッケージを裏面側から見た場合の平面図である。また、図13は、図12の一点鎖線D−D´に沿った第2の実施形態に係る半導体装置の断面図であり、図14は、図13の一点鎖線B−B´に沿った第2の実施形態に係る半導体装置の断面図である。以下に、図12〜図14を参照して、第2の実施形態に係る半導体装置30について説明する。なお、以下の説明において、第1の実施形態に係る半導体装置10と同一部分については同一符号を付すとともに、説明を省略する。
図12は、第2の実施形態に係る半導体装置の半導体パッケージを裏面側から見た場合の平面図である。また、図13は、図12の一点鎖線D−D´に沿った第2の実施形態に係る半導体装置の断面図であり、図14は、図13の一点鎖線B−B´に沿った第2の実施形態に係る半導体装置の断面図である。以下に、図12〜図14を参照して、第2の実施形態に係る半導体装置30について説明する。なお、以下の説明において、第1の実施形態に係る半導体装置10と同一部分については同一符号を付すとともに、説明を省略する。
図12〜図14に示すように、第2の実施形態に係る半導体装置30は、第1の実施形態に係る半導体装置10と比較して、半導体パッケージのベース金属部32の裏面に設けられるスリット39の構成が異なっている。
すなわち、第2の実施形態に係る半導体装置30において、半導体パッケージのベース金属部32の裏面全面には、複数のスリット39が、互いに平行に、ストライプ状に設けられている。
図13に示されるように、各々のスリット39は、その垂直断面における形状がV字状となるように設けられている。例えば各々のスリット39は、ベース金属部32の厚さの1/3以下程度、例えば0.1〜3.0mm程度の深さを有するように設けられている。ここで、スリット39の深さとは、ベース金属部32の裏面と、スリット39の頂点(図12において点線で示す部分)との距離、を意味する。
このような複数のスリット39を有するベース金属部32も、第1の実施形態に係る半導体装置10が有する半導体パッケージのベース金属部12と同様に形成される。
また、ベース金属部32の裏面の複数のスリット39は、例えばフライス加工が終了する前の金属板が有する複数の凹部であってもよい。すなわち、金属板の裏面の中心線平均粗さが6.3a以上である場合、このような金属板の裏面の複数の凹部を、複数のスリット39としてもよい。この点についても、第1の実施形態に係る半導体装置10が有する半導体パッケージのベース金属部12と同様である。
なお、このような半導体装置30についても、第1の実施形態に係る半導体装置10と同様に、はんだ24を介してヒートシンク23に実装されるが、その際のはんだ24は、スリット39内部を含む半導体装置30の裏面全面に接触するように設けられる。
このような本実施形態に係る半導体パッケージおよび半導体装置30においても、ベース金属部32の裏面に複数のスリット39が設けられているため、ベース金属部32の反りが抑制されるとともに、実装のためのはんだ24の品質を向上させることができる。この結果、半導体装置30とヒートシンク23との間の熱抵抗を低下させることができる。
なお、本実施形態に係る半導体装置30において、裏面の中心線平均粗さが6.3a以上となるような複数の凹部を有するベース金属部を適用しても、同様の効果を得ることができる。また、図示は省略するが、第1の実施形態に係る半導体装置の変形例と同様に、互いに平行な複数のスリット39は、ベース金属部32の中央領域等、ベース金属部32の一部領域にのみ設けられてもよく、このような半導体装置であっても、本実施形態に係る半導体装置と同様の効果を得ることができる。
以上に、本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10、10´、30、100・・・半導体装置
11・・・半導体チップ
12、12´、32、112・・・ベース金属部
13・・・枠体
13a、13b・・・凹部
14・・・蓋体
15a・・・入力側配線
15b・・・出力側配線
16a、16b・・・第1の誘電体ブロック
17a、17b・・・第2の誘電体ブロック
18a・・・入力リード
18b・・・出力リード
19、19´、39・・・スリット
19a・・・第1のスリット
19b・・・第2のスリット
20a、20b・・・整合回路パターン
21a、21b・・・誘電体基板
22a、22b・・・接続導体
23・・・ヒートシンク
24・・・はんだ
101・・・空気層
11・・・半導体チップ
12、12´、32、112・・・ベース金属部
13・・・枠体
13a、13b・・・凹部
14・・・蓋体
15a・・・入力側配線
15b・・・出力側配線
16a、16b・・・第1の誘電体ブロック
17a、17b・・・第2の誘電体ブロック
18a・・・入力リード
18b・・・出力リード
19、19´、39・・・スリット
19a・・・第1のスリット
19b・・・第2のスリット
20a、20b・・・整合回路パターン
21a、21b・・・誘電体基板
22a、22b・・・接続導体
23・・・ヒートシンク
24・・・はんだ
101・・・空気層
Claims (13)
- 裏面に複数の溝を有し、表面に半導体チップを搭載可能なベース金属部と、
このベース金属部の表面上に配置された枠体と、
この枠体の側面を貫通するように設けられた複数の配線と、
前記枠体上に配置された蓋体と、
を具備することを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記溝は、前記ベース金属部の裏面の全面に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記溝は、前記ベース金属部の裏面を加工することにより形成されたスリットであることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体パッケージ。
- 複数の前記スリットは、網目状に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の半導体パッケージ。
- 複数の前記スリットは、ストライプ状に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の半導体パッケージ。
- 前記ベース金属部は、裏面の中心線平均粗さが6.3a以上となる複数の凹部を有し、
前記溝は、このベース金属部が有する凹部であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体パッケージ。 - 裏面に複数の溝を有するベース金属部と、
このベース金属部の表面上に搭載された半導体チップと、
前記ベース金属部の表面上において、前記半導体チップを囲うように配置された枠体と、
この枠体の側面を貫通するように設けられ、一端が前記半導体チップに電気的に接続された複数の配線と、
前記枠体上に配置された蓋体と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記溝は、前記ベース金属部の裏面の全面に設けられたことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記溝は、前記ベース金属部の裏面を加工することにより形成されたスリットであることを特徴とする請求項7または8に記載の半導体装置。
- 複数の前記スリットは、網目状に設けられていることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。
- 複数の前記スリットは、ストライプ状に設けられていることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。
- 前記ベース金属部は、裏面の中心線平均粗さが6.3a以上となる複数の凹部を有し、
前記溝は、このベース金属部が有する凹部であることを特徴とする請求項7または8に記載の半導体装置。 - 表面が平坦なヒートシンクにはんだを介して実装される半導体装置であって、
裏面に複数の溝を有するベース金属部と、
このベース金属部の表面上に搭載された半導体チップと、
前記ベース金属部の表面上において、前記半導体チップを囲うように配置された枠体と、
この枠体の側面を貫通するように設けられ、一端が前記半導体チップに電気的に接続された複数の配線と、
前記枠体上に配置された蓋体と、
を具備することを特徴とする半導体装置。
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