JP2015035547A - 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 59
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 265
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims abstract description 264
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 76
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 76
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims abstract description 58
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 54
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims abstract description 54
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims abstract description 54
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 102
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 85
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 58
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 52
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 48
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 18
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 18
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 37
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 34
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 32
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 31
- 230000008569 process Effects 0.000 description 30
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 26
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 22
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 16
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 12
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 12
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 9
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 8
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 8
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 4
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 4
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 3
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N strontium oxide Chemical compound [O-2].[Sr+2] IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 2
- IVHJCRXBQPGLOV-UHFFFAOYSA-N azanylidynetungsten Chemical compound [W]#N IVHJCRXBQPGLOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005264 electron capture Effects 0.000 description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 hafnium aluminate Chemical class 0.000 description 2
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019044 CoSix Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003855 HfAlO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004129 HfSiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910005889 NiSix Inorganic materials 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004200 TaSiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008486 TiSix Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006501 ZrSiO Inorganic materials 0.000 description 1
- CFOAUMXQOCBWNJ-UHFFFAOYSA-N [B].[Si] Chemical compound [B].[Si] CFOAUMXQOCBWNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021523 barium zirconate Inorganic materials 0.000 description 1
- DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N barium(2+);dioxido(oxo)zirconium Chemical compound [Ba+2].[O-][Zr]([O-])=O DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002926 oxygen Chemical class 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66825—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with a floating gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/401—Multistep manufacturing processes
- H01L29/4011—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes
- H01L29/40114—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes the electrodes comprising a conductor-insulator-conductor-insulator-semiconductor structure
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/49—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET
- H01L29/51—Insulating materials associated therewith
- H01L29/511—Insulating materials associated therewith with a compositional variation, e.g. multilayer structures
- H01L29/513—Insulating materials associated therewith with a compositional variation, e.g. multilayer structures the variation being perpendicular to the channel plane
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/49—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET
- H01L29/51—Insulating materials associated therewith
- H01L29/518—Insulating materials associated therewith the insulating material containing nitrogen, e.g. nitride, oxynitride, nitrogen-doped material
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
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- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/40—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the peripheral circuit region
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- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/40—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the peripheral circuit region
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Abstract
【課題】フローティングゲートの構成及び製造方法を最適化することで、メモリ領域と周辺回路領域の特性の最適化を可能にする不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】フローティングゲートとコントロールゲートを具備する複数のメモリセルトランジスタと、下部電極部及び上部電極部を具備する複数の周辺回路トランジスタを有する。フローティングゲートは第1のポリシリコンを有し、下部電極は第2のポリシリコンを有する。第1のポリシリコンはボロンがドープされたp型半導体であり、第2のポリシリコンはリン及びボロンがドープされたn型半導体である。【選択図】図4
Description
本発明の実施形態は、不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法に関する。
不揮発性半導体記憶装置として、例えばNAND型フラッシュメモリのセル構造には、FG(フローティングゲート)型構造が採用されている。FG型構造は、メモリ動作の動作ウィンドウが広く、電荷保持特性に優れている。
しかし、近年、セルの微細化が進み、メモリセルトランジスタの特性と周辺回路のトランジスタの特性を同時に調整することが難しくなってきている。
しかし、近年、セルの微細化が進み、メモリセルトランジスタの特性と周辺回路のトランジスタの特性を同時に調整することが難しくなってきている。
メモリ領域と周辺回路領域の特性を同時に調整することを容易にする不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法を提供する。
本実施形態の不揮発性半導体記憶装置は、フローティングゲートとコントロールゲートを具備する複数のメモリセルトランジスタと、下部電極部及び上部電極部を具備する複数の周辺回路トランジスタを有する。フローティングゲートは第1のポリシリコンを有し、下部電極は第2のポリシリコンを有する。第1のポリシリコンはボロンがドープされたp型半導体であり、第2のポリシリコンはリン及びボロンがドープされたn型半導体である。
本実施形態の不揮発性半導体装置の製造方法は、フローティングゲートとコントロールゲートを具備する複数のメモリセルトランジスタと、下部電極部及び上部電極部を具備する複数の周辺回路トランジスタを有する。フローティングゲートは第1のポリシリコンを有し、下部電極は第2のポリシリコンを有する。第1のポリシリコンと第2のポリシリコンにp型不純物をドープする工程の前に、第2のポリシリコンにn型不純物をドープする工程を含む。
(第1の実施形態)
以下、第1の実施形態について、不揮発性半導体記憶装置としてNAND型のフラッシュメモリ装置に適用したものを図1〜図13を参照して説明する。なお、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは必ずしも一致しない。また、上下左右の方向についても、後述する半導体基板における回路形成面側を上とした場合の相対的な方向を示し、必ずしも重力加速度方向を基準としたものとは一致しない。なお、以下の説明において、説明の便宜上、XYZ直交座標系を使用することがある。この座標系においては、半導体基板10の表面(主平面)に対して平行な方向であって相互に直交する2方向をX方向およびY方向とし、これらX方向およびY方向の双方に対して直交する方向をZ方向とする。
以下、第1の実施形態について、不揮発性半導体記憶装置としてNAND型のフラッシュメモリ装置に適用したものを図1〜図13を参照して説明する。なお、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは必ずしも一致しない。また、上下左右の方向についても、後述する半導体基板における回路形成面側を上とした場合の相対的な方向を示し、必ずしも重力加速度方向を基準としたものとは一致しない。なお、以下の説明において、説明の便宜上、XYZ直交座標系を使用することがある。この座標系においては、半導体基板10の表面(主平面)に対して平行な方向であって相互に直交する2方向をX方向およびY方向とし、これらX方向およびY方向の双方に対して直交する方向をZ方向とする。
図1は、NAND型フラッシュメモリ装置1のセルアレイArの等価回路を示す図の一例である。図1に示すように、セルアレイArは、互いに交差する複数のデータ選択線WL1〜WLn(nは1以上の整数)、及び複数のデータ転送線BL1〜BLm(mは1以上の整数)を備える。データ選択線WL1〜WLnは、それぞれが図中Y方向(行方向)に延伸し、複数がX方向に並行に配置されている。データ転送線BL1〜BLmは、それぞれが図中X方向(列方向)に延伸し、複数がY方向に並行に配置されている。セルアレイArは、データ選択線WL1〜WLnに並行な方向、すなわち、図中Y方向(行方向)に延伸するソース線SL、ソース側選択ゲート線SGS、及びドレイン側選択ゲート線SGDを有する。セルアレイArは、直列接続された複数のメモリセルトランジスタMT1〜MTnを有する複数のメモリストリングMS1〜MSmを備える。メモリセルトランジスタMTi(iは1〜nの整数)は、コントロールゲート電極及びフローティングゲート電極を有するFG型構造のトランジスタとなっている。各メモリストリングMSj(jは1〜mの整数)に属する各メモリセルトランジスタMT1〜MTnのコントロールゲート電極は、各データ選択線WLiに共通接続されている。データ選択線WLiには、m個のメモリセルトランジスタMTiが共通接続されている。各メモリストリングMSjの一端には、選択トランジスタSTSが接続される。メモリストリングMSjは、選択トランジスタSTSを介してソース線SLに接続される。各メモリストリングMSjの他端には、選択トランジスタSTDが接続される。メモリストリングMSjは、選択トランジスタSTDを介してデータ転送線BLjに接続される。選択トランジスタSTS及びSTDのゲート電極は、それぞれソース側選択ゲート線SGS及びドレイン側選択ゲート線SGDに共通接続される。ソース側選択ゲート線SGS及びドレイン側選択ゲート線SGDには、それぞれm個の選択トランジスタSTS及びSTDが共通接続されている。
図2は、セルアレイArの一部の平面レイアウトパターンを模式的に示す図の一例である。なお、以下、個々のデータ転送線BL1〜BLmをデータ転送線BLと、個々のデータ選択線WL1〜WLnをデータ選択線WLと、個々のメモリセルトランジスタMT1〜MTnをメモリセルトランジスタMTと称する。
図2において、複数のデータ転送線BLがX方向に延伸し、Y方向に所定の間隔で離間して並列に配置されている。半導体基板10には、トレンチ内に絶縁膜を埋め込むSTI(shallow trench isolation)構造の素子分離領域Sbが図中X方向に沿って延伸して形成されている。この素子分離領域Sbは、図中Y方向に所定間隔で複数形成されている。これにより、素子領域SaがX方向に沿って延伸形成されることになり、半導体基板10の表層部に複数の素子領域SaがY方向に所定間隔で分離して形成される。すなわち、素子領域Sa間には素子分離領域Sbが設けられており、半導体基板10は素子分離領域Sbによって複数の素子領域Saに分離されている。
データ選択線WLは、素子領域Saと直交する方向(図2中Y方向)に沿って延伸形成されている。データ選択線WLは、図中X方向に所定間隔で離間し複数本形成されている。データ選択線WLと素子領域Saの交点部分にはメモリセルトランジスタMTが配置されている。
以上が、第1の実施形態が適用されるNAND型フラッシュメモリ装置1のセルアレイArの基本的な構成である。
以上が、第1の実施形態が適用されるNAND型フラッシュメモリ装置1のセルアレイArの基本的な構成である。
図3は、周辺回路トランジスタPTの断面構造を模式的に示す図の一例である。周辺回路領域において、図3に示すように、半導体基板10の主平面上に、矩形状に区画された2つの素子領域Saが、素子分離領域Sb中に島状に隣接して形成されている。ここでは、X方向において周辺ゲート電極PGが2つの素子領域Saの中央部に跨るように形成され、その端部は素子分離領域Sb上に形成される一例を示している。Y方向において周辺ゲート電極PGの両側の素子領域Sa上には、コンタクト50が接続されている。2つの素子領域Sa間の周辺ゲート電極PG上にはコンタクト54が接続されている。2つの周辺回路トランジスタPTは周辺ゲート電極PGと素子領域Saの交点部分に形成されている。2つの周辺回路トランジスタPTは共通の周辺ゲート電極PGを有している。
次に、図4〜図13を参照して、第1の実施形態におけるNAND型フラッシュメモリ装置1の具体的な構成について説明する。
図4(a)はメモリセルトランジスタMTの断面構造を模式的に示す図の一例であり、図2の4A−4A線における断面構造を示している。図4(b)は、周辺回路トランジスタPTの断面構造を模式的に示す図の一例であり、図3の4B−4B線における断面構造を示している。図4(b)は、隣接する2つの周辺回路トランジスタPTのゲート長方向における断面構造を示している。
図4(a)はメモリセルトランジスタMTの断面構造を模式的に示す図の一例であり、図2の4A−4A線における断面構造を示している。図4(b)は、周辺回路トランジスタPTの断面構造を模式的に示す図の一例であり、図3の4B−4B線における断面構造を示している。図4(b)は、隣接する2つの周辺回路トランジスタPTのゲート長方向における断面構造を示している。
図4(a)において、半導体基板10表面(主平面)に、素子分離領域Sbが複数形成されている。素子分離領域Sbには所定の幅及び深さを有する素子分離溝62が形成されている。素子分離溝62内には素子分離絶縁膜60が充填されている。素子領域Saは素子分離領域Sbにより図中X方向に複数に分断されている。半導体基板10上にはメモリセルゲート電極MGが設けられている。メモリセルゲート電極MGは、半導体基板10上に設けられたゲート絶縁膜12上に、フローティングゲート電極20、電極間絶縁膜24及びコントロールゲート電極32を有している。
半導体基板10としては例えばp型のシリコン基板を用いることができる。また、pウェルを設けたシリコン基板を用いても良い。ゲート絶縁膜12は例えばシリコン酸化膜又はオキシナイトライド膜により形成されており、トンネル絶縁膜として用いられる。フローティングゲート電極20は、第1ポリシリコン膜22を有している。コントロールゲート電極32は第2ポリシリコン膜26、バリアメタル28及び金属膜30を有している。フローティングゲート電極20とコントロールゲート電極32の間には電極間絶縁膜24が設けられている。金属膜30上には第1絶縁膜40が設けられている。
第1ポリシリコン膜22は、例えば不純物がドープされたポリシリコン膜により形成されている。不純物としては例えば1×1020〜1022atms/cm3程度の濃度でボロン(B)がドープされている。不純物としてリン(P)が僅かにドープされていても良い。この場合のリンの濃度は、例えば1×1015〜1017atms/cm3程度である。電極間絶縁膜24は例えばシリコン酸化膜/シリコン窒化膜/シリコン酸化膜の積層膜によるONO(Oxide Nitride Oxide)膜により形成されている。バリアメタル28は、例えば窒化タングステン(WN)により形成されている。金属膜30は例えばタングステン(W)により形成されている。第1絶縁膜40は、例えばシリコン窒化膜により形成されている。
第1絶縁膜40上には、第2絶縁膜42、第3絶縁膜44及び層間絶縁膜46が設けられている。第2絶縁膜42は例えばシリコン酸化膜により形成されている。第3絶縁膜44は例えばシリコン窒化膜により形成されている。層間絶縁膜46は例えばシリコン酸化膜により形成されている。
図4(b)において、図の中央部に素子領域Saを分離する素子分離領域Sbが形成されている。半導体基板10上にゲート絶縁膜12を介して周辺ゲート電極PGが形成されている。周辺ゲート電極PGは第3ポリシリコン膜34、電極間絶縁膜24、第4ポリシリコン膜36、バリアメタル28、金属膜30を有している。第3ポリシリコン膜34は周辺ゲート電極PGの下部電極を構成する。第4ポリシリコン膜36、バリアメタル28及び金属膜30は周辺ゲート電極PGの上部電極を構成する。第3ポリシリコン膜34には、n型不純物とp型不純物の両者がドープされている。第3ポリシリコン膜34には、不純物として例えばリン又はヒ素、及びボロンがドープされている。第3ポリシリコン膜34には、リン又はヒ素が例えば1×1020〜1022atms/cm3程度の濃度でドープされている。また、第3ポリシリコン膜34には、ボロンが例えば1×1019atms/cm3程度の濃度でドープされている。従って、第3ポリシリコン膜34は、導電型としてはn型となっている。第4ポリシリコン膜36には、例えばリン又はヒ素がドープされており、n型となっている。
なお、ポリシリコン中の不純物濃度は、SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)分析などにより測定することが可能である。
電極間絶縁膜24には開口部38が設けられている。開口部38においては電極間絶縁膜24が除去されており、上部電極の第3ポリシリコン膜34と下部電極の第4ポリシリコン膜36が接触し、導通している。これにより、周辺回路トランジスタPTはフローティングゲート電極20と同じ層に位置する電極をフローティング状態にすることなく電極として用いるトランジスタとなる。金属膜30上には第1絶縁膜40、第2絶縁膜42、第3絶縁膜44及び層間絶縁膜46が設けられている。
電極間絶縁膜24には開口部38が設けられている。開口部38においては電極間絶縁膜24が除去されており、上部電極の第3ポリシリコン膜34と下部電極の第4ポリシリコン膜36が接触し、導通している。これにより、周辺回路トランジスタPTはフローティングゲート電極20と同じ層に位置する電極をフローティング状態にすることなく電極として用いるトランジスタとなる。金属膜30上には第1絶縁膜40、第2絶縁膜42、第3絶縁膜44及び層間絶縁膜46が設けられている。
このように、第1の実施形態では、メモリセルゲート電極MGのフローティングゲート電極20(第1ポリシリコン膜22)はp型となっている。従って、フローティングゲート電極20に電子を注入した場合、電子の捕獲特性が向上し、データリテンション特性が向上する。また、これにより、メモリセルゲート電極MGの閾値のバラつき幅を小さくできる。従って、書き込んだデータの誤読み出しを防止することができる。
また、周辺ゲート電極PGにおいては、第3ポリシリコン膜34及び第4ポリシリコン膜36の導電型はn型となっている。従って、周辺回路トランジスタPTをサーフェース型に維持しつつ、フローティングゲート電極20をp型にすることができる。その結果、フローティングゲート電極20の特性に合わせて周辺回路トランジスタをベリード型に変更する必要がなく、メモリ領域と周辺回路領域の特性を同時に調整することが容易になる。
[第1の実施形態の製造方法]
次に、図4〜図13を参照して、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造方法について説明する。図4〜図11は第1の実施形態による不揮発性半導体記憶装置の製造方法を示すための図の一例である。図4〜図11の各図(a)は、図2の4A−4A線における断面構造を示しており、メモリセル領域の断面構造を示している。図4〜図11の各図(b)は、図3の4B−4B線における断面構造を示しており、各図(a)と同一工程での周辺回路トランジスタPTの断面構造を示している。
次に、図4〜図13を参照して、第1の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造方法について説明する。図4〜図11は第1の実施形態による不揮発性半導体記憶装置の製造方法を示すための図の一例である。図4〜図11の各図(a)は、図2の4A−4A線における断面構造を示しており、メモリセル領域の断面構造を示している。図4〜図11の各図(b)は、図3の4B−4B線における断面構造を示しており、各図(a)と同一工程での周辺回路トランジスタPTの断面構造を示している。
まず、図5(a)及び(b)に示すように、半導体基板10上にゲート絶縁膜12を形成する。ゲート絶縁膜12としてはシリコン酸化膜を用いることができる。ゲート絶縁膜12は、例えば750℃〜1000℃程度の温度で、ドライO2雰囲気中で半導体基板10を熱酸化することによって形成することができる。ゲート絶縁膜12としては、シリコン酸化膜に代えてオキシナイトライド膜を形成しても良い。次に、ゲート絶縁膜12上に、ポリシリコン膜を形成する。ポリシリコンはCVD法により成膜することができる。次いで、リソグラフィ法及びイオン注入法を用いて、周辺回路トランジスタPT形成領域(図5(b)に示す領域)に選択的にn型不純物をドープする。不純物としては例えばリン又はヒ素を用いることができる。その後、ドープしたn型不純物を活性化するための熱処理を施す。熱処理は、例えば温度800℃〜1100℃で、O2及びN2を含む雰囲気中で施される。この工程により、メモリセルトランジスタMT形成領域(図5(a)に示す領域)に、不純物がドープされていない第1ポリシリコン膜22が形成され、周辺回路トランジスタPT形成領域(図5(b)に示す領域)にはn型不純物がドープされた第3ポリシリコン膜34が形成される。不純物がドープされていない第1ポリシリコン膜22に代えて、例えばボロンがドープされた第1ポリシリコン膜22を形成しても良い。
次に、図6(a)及び(b)に示すように、全面にマスク絶縁膜70を形成する。マスク絶縁膜70は例えばシリコン窒化膜を用いることができる。シリコン窒化膜は例えばCVD法を用いて成膜することができる。
次に、図7(a)及び(b)に示すように、リソグラフィ法及びRIE(Reactive Ion Etching)法を用いて、マスク絶縁膜70、第1ポリシリコン膜22、第3ポリシリコン膜34、及びゲート絶縁膜12を順次エッチングする。さらに半導体基板10をエッチングし、ゲート絶縁膜12の下面よりも深い素子分離溝62を形成する。素子分離溝62が形成された領域は素子分離領域Sbとなり、素子分離領域Sbにより分離された領域は素子領域Saとなる。
次に、図8(a)及び(b)に示すように、素子分離絶縁膜60を形成する。素子分離絶縁膜60は素子分離溝62を埋設し、さらにマスク絶縁膜70上部を覆うように形成される。素子分離絶縁膜60としては例えばシリコン酸化膜が用いられる。素子分離絶縁膜60は、例えば、CVD法によりライナー膜となるシリコン酸化膜を形成し、次いで、ポリシラザン溶液をスピンコート法により塗布し、水蒸気雰囲気中で熱処理を施すことにより形成できる。ポリシラザンは−SiH2−NH−の基本構造を有するポリマーであり、水蒸気雰囲気でアニールすることによってシリコン酸化膜に転換される。次いで、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法を用いて素子分離絶縁膜60を研磨する。素子分離絶縁膜60の研磨はマスク絶縁膜70をストッパとして用い、マスク絶縁膜70上面高さにてストップさせる。
続いて、図9(a)及び(b)に示すように、素子分離絶縁膜60をエッチバックし、素子分離絶縁膜60表面高さが、マスク絶縁膜70下面高さ(第1ポリシリコン膜22及び第3ポリシリコン膜34上面高さ)と同じになるように設定する。エッチバックは例えば希釈フッ酸溶液を用いたエッチングにより行うことができる。素子分離絶縁膜60のエッチバック量は、希釈フッ酸溶液によるエッチング処理時間を調整することにより制御する。この希釈フッ酸溶液によるエッチングに代えて、RIE法によるエッチングを用いても良い。
次に、図10(a)及び(b)に示すように、リソグラフィ法及びRIE法を用いて、メモリセルトランジスタMT形成領域(図10(a)に示す領域)の素子分離絶縁膜60をエッチングし、素子分離絶縁膜60の上面高さを、第1ポリシリコン膜22上面よりも低く、第1ポリシリコン膜22下面よりも高い所定の位置となるように調整する。続いて、マスク絶縁膜70を除去する。マスク絶縁膜70の除去は、例えば140℃程度に加熱したリン酸(ホットリン酸)を用いたエッチングにより行うことができる。この工程により、第1ポリシリコン膜22の上面及び側面の一部が露出する。また第3ポリシリコン膜34の表面が露出する。
続いて、上面及び側面のおよそ上半分が露出した第1ポリシリコン膜22、及び表面が露出した第3ポリシリコン膜34が形成された半導体基板10を、温度500℃〜1000℃程度で、不純物ソースガスを含む雰囲気中に暴露する。これにより、ポリシリコン中に熱平衡的に不純物をドープすることができる(以下、ガスによる不純物ドープ法という)。不純物ソースガスとしてはボロンを含むソースガスを用いることができ、例えばBCl3、BH3、B2H6、又はBF系ガスを用いることができる。
続いて、上面及び側面のおよそ上半分が露出した第1ポリシリコン膜22、及び表面が露出した第3ポリシリコン膜34が形成された半導体基板10を、温度500℃〜1000℃程度で、不純物ソースガスを含む雰囲気中に暴露する。これにより、ポリシリコン中に熱平衡的に不純物をドープすることができる(以下、ガスによる不純物ドープ法という)。不純物ソースガスとしてはボロンを含むソースガスを用いることができ、例えばBCl3、BH3、B2H6、又はBF系ガスを用いることができる。
ここで、ガスによる不純物ドープ法によってポリシリコン中にボロンをドープする場合、発明者らは以下の現象を発見した。
すなわち、発明者らは、あらかじめリン又はヒ素をドープしたポリシリコンにガスによる不純物ドープ法によってボロンをドープする場合、ボロンが高々1×1019atms/cm3程度しかドープされないことを発見した。そして、これを利用すると、あらかじめリン又はヒ素をドープしたポリシリコンと、ノンドープのポリシリコンを形成しておくことで、自己整合的に、n型/p型のポリシリコンを作り分けることができることを着想した。その詳細は以下のとおりである。
すなわち、発明者らは、あらかじめリン又はヒ素をドープしたポリシリコンにガスによる不純物ドープ法によってボロンをドープする場合、ボロンが高々1×1019atms/cm3程度しかドープされないことを発見した。そして、これを利用すると、あらかじめリン又はヒ素をドープしたポリシリコンと、ノンドープのポリシリコンを形成しておくことで、自己整合的に、n型/p型のポリシリコンを作り分けることができることを着想した。その詳細は以下のとおりである。
ノンドープ・ポリシリコンに、ガスによる不純物ドープ法によってボロンをドープする場合、ポリシリコンには固溶限程度の濃度までボロンをドープすることができる。この場合、ボロンの濃度は1×1020〜1×1022atms/cm3程度である。また、この場合、ポリシリコン中に僅かにリン又はヒ素が混入していても同様の結果となる。僅かなリン又はヒ素の濃度はおよそ1×1015〜1×1017atms/cm3程度である。従って、この場合、ボロンの濃度がリン又はヒ素濃度よりも3ケタ以上高いため、ポリシリコンはp型となる。
一方、あらかじめ、リン又はヒ素が固溶限程度にドープされたポリシリコンに、ガスによる不純物ドープ法によってボロンをドープすると、ボロンがあまりドープされない。この場合、リン又はヒ素の濃度はおよそ1×1020〜1×1022atms/cm3程度である。また、ボロンの濃度はおよそ1×1019atms/cm3程度以下である。従って、この場合、リン又はヒ素の濃度は、ボロンの濃度よりも少なくとも1桁以上高いため、ポリシリコンはn型となる。
このように、ガスによる不純物ドープ法によってボロンをドープする場合、ノンドープのポリシリコンはボロンが十分にドープされてp型となる。あらかじめリン又はヒ素を固溶限程度にドープした部分のポリシリコンにおいては、ガスによる不純物ドープ法を用いたボロンのドープが抑制され、n型となる。すなわち、ポリシリコンにあらかじめリン又はヒ素をドープした領域と、ノンドープの領域を形成しておくことで、p型となる領域とn型となる領域を、リソグラフィ法を用いず、自己整合的に形成することが可能となる。
なお、ノンドープのポリシリコンに代えて、あらかじめボロンがドープされたポリシリコンを用いても同様の結果が得られる。
なお、ノンドープのポリシリコンに代えて、あらかじめボロンがドープされたポリシリコンを用いても同様の結果が得られる。
第1の実施形態では、あらかじめ、第1ポリシリコン膜22をノンドープ若しくはボロンをドープしたポリシリコンとし、第3ポリシリコン膜34にはリン又はヒ素を固溶限程度の濃度までドープしておく。次に、ボロンを含むガスによって、熱平衡的にボロンをポリシリコン中にドープする。これにより、第1ポリシリコン膜22にはボロンが高濃度にドープされてp型となる。一方、第3ポリシリコン膜34にはボロンがあまりドープされることがなく、n型となる。
また、ポリシリコン中に拡散したボロンは熱により外部拡散してしまい、ポリシリコン中のボロン濃度が低くなる場合がある(アウトディフュージョン)。ここで、あらかじめ、第1ポリシリコン膜22の形成時(図5に示す工程)にてボロンをドープしていたとしても、素子分離絶縁膜60をエッチバックする工程(図9に示す工程)の間にアウトディフュージョンにより第1ポリシリコン膜22のp型の不純物濃度が低くなる場合がある。この場合、ガスによる不純物ドープ法により第1ポリシリコン膜22にボロンを追加ドープすることが有効である。よって、工程省略をしつつ、周辺回路トランジスタをサーフェース型に維持しつつ、かつ、メモリセルトランジスタMTの特性を向上させることができる。
図12は、上記の場合の第1ポリシリコン膜22及び第3ポリシリコン膜34の不純物濃度プロファイルを説明するためのグラフである。図12において、縦軸は不純物濃度(atms/cm3)であり、横軸はポリシリコン表面からの距離(μm)である。なお、縦軸はログスケールであり、横軸はリニアスケールである。図12は、上述の不純物ドープを行った後に十分な熱処理を加え、不純物の活性化を行った状態での不純物濃度プロファイルを示している。図12では、p型不純物としてボロンを用いた場合を例示し、n型不純物としてリンを用いた場合を例示している。
濃度B1はメモリセルトランジスタMT形成領域のフローティングゲート電極20(第1ポリシリコン膜22)におけるボロンの不純物濃度プロファイルを示している。濃度P2及びB2は周辺回路トランジスタPT形成領域の第3ポリシリコン膜34における不純物濃度プロファイルを示しており、濃度P2はリンの濃度プロファイルを、濃度B2はボロンの濃度プロファイルを示している。なお、メモリセルトランジスタMT形成領域の第1ポリシリコン膜22中のリン濃度プロファイルは、上述のように僅かな濃度であるため示していない。
図12において、濃度B1、P2及びB2は、ポリシリコン表面から内部に向かうに従って漸減し、ポリシリコン内部ではほぼフラットなプロファイルとなっている。
第1ポリシリコン膜22のボロン濃度B1は、ポリシリコン表面から内部に向かうに従って、ほぼ固溶限程度の濃度範囲(1×1020〜1×1022atms/cm3)で漸減している。第1ポリシリコン膜22におけるリンの濃度範囲は1×1015〜1×1017atms/cm3である。第1ポリシリコン膜22ではボロン濃度がリン濃度に比較して3ケタ以上濃いため、p型となっている。
第1ポリシリコン膜22のボロン濃度B1は、ポリシリコン表面から内部に向かうに従って、ほぼ固溶限程度の濃度範囲(1×1020〜1×1022atms/cm3)で漸減している。第1ポリシリコン膜22におけるリンの濃度範囲は1×1015〜1×1017atms/cm3である。第1ポリシリコン膜22ではボロン濃度がリン濃度に比較して3ケタ以上濃いため、p型となっている。
第3ポリシリコン膜34におけるリン濃度P2は、ポリシリコン表面から内部に向かうに従って、ほぼ固溶限程度の濃度範囲(1×1020〜1×1022atms/cm3)で漸減している。ボロン濃度B2は、ポリシリコン表面から内部に向かうに従って、1×1019atms/cm3程度の濃度で漸減している。リンの濃度はボロンの濃度に比較し、1桁以上濃いため、n型となっている。リン濃度P2とボロン濃度B2の濃度差は、内部に向かうほど大きくなっている。
上記のように、リンが固溶限程度の濃度範囲でドープされているポリシリコンに対して、ガスによる不純物ドープ法によってボロンをドープする場合、ボロンの濃度はリンの濃度に比較して1ケタ以上少なくドープされる。これにより、n型/p型のポリシリコンをリソグラフィ法を用いることなく自己整合的に形成することができる。
従って、例えばイオン注入法によってn型/p型のポリシリコンを形成する場合に比較して、不純物種を打ち分けるためのリソグラフィ工程が不要となり、工程数が削減され、ひいては製造コストが削減される。
従って、例えばイオン注入法によってn型/p型のポリシリコンを形成する場合に比較して、不純物種を打ち分けるためのリソグラフィ工程が不要となり、工程数が削減され、ひいては製造コストが削減される。
また、発明者らは、ガスによる不純物ドープ法を施した場合、この処理によって、あらかじめリン又はヒ素をドープしたポリシリコンに形成されるシリコン酸化膜厚が、ノンドープのポリシリコンに形成されるシリコン酸化膜厚よりも厚いことを発見した。そして、これを利用すると、あらかじめリン又はヒ素をドープしたポリシリコンと、ノンドープのポリシリコンを形成しておくことで、形成されるシリコン酸化膜厚の相違によって、自己整合的に、n型/p型のポリシリコンを作り分けることができることを着想した。その詳細は以下のとおりである。
図13は、ガスによる不純物ドープ法による場合の、シリコン酸化膜による不純物ドープ阻害効果について説明するための図である。図13において、縦軸はシリコン酸化膜厚(nm)であり、横軸は酸化時間(分)である。なお、縦軸はリニアスケールであり、横軸はログスケールである。ガスによる不純物ドープ法を用いる場合、室温若しくは処理温度による熱によって、ポリシリコン表面にシリコン酸化膜が形成される。図13において、不純物としてリンがドープされたポリシリコンの酸化レートTpと、ノンドープ・ポリシリコンの酸化レートTnoが示されている。図13には、酸化レートTpは酸化レートTnoよりも大きいことが示されている。ガスによる不純物ドープ法を用いて処理をする場合、リンがドープされたポリシリコンにおけるシリコン酸化膜厚は、ノンドープのポリシリコンにおけるシリコン酸化膜厚よりも厚くなる。不純物のポリシリコン中へのドーピングは、厚いシリコン酸化膜が形成される領域において、より阻害されることになる。第3ポリシリコン膜34にはリンが固溶限程度に高濃度にドープされているため、シリコン酸化膜はノンドープの領域に比較して、より厚く形成される。従って、ガスによる不純物ドープ法において、ボロンのドープは、このシリコン酸化膜によって阻止され、第3ポリシリコン膜34中にボロンがドープされにくくなる。従って、第3ポリシリコン膜34中のボロン濃度は、第1ポリシリコン膜22中のボロン濃度よりも低くすることができる。
このように、ガスによる不純物ドープ法によってボロンをドープする場合、ノンドープのポリシリコンに形成されるシリコン酸化膜は薄いためボロンが十分にドープされてp型となる。リンがドープされた領域のポリシリコンに形成されるシリコン酸化膜は厚いため、これによってボロンのドープが阻害され、ボロンがあまりドープされず、n型となる。すなわち、ポリシリコンにあらかじめリン又はヒ素をドープした領域と、ノンドープの領域を形成しておくことで、p型となる領域とn型となる領域を、リソグラフィ法を用いず、自己整合的に形成することが可能となる。
また、メモリセルトランジスタMT形成領域において、第1ポリシリコン膜22の上面及び側面の一部が露出しているため、第1ポリシリコン膜22にコンフォーマルにボロンをドープすることができる。これにより、フローティングゲート電極20の電子の捕獲特性が向上し、データリテンション特性が向上する。
以上の工程により、第1ポリシリコン膜22はp型に、第3ポリシリコン膜34はn型に形成される。
次に、図11(a)及び(b)に示すように、電極間絶縁膜24、第2ポリシリコン膜26(図11(b)においては第4ポリシリコン膜36)、バリアメタル28、金属膜30及び第1絶縁膜40を成膜する。電極間絶縁膜24としては、例えばCVD法で成膜したONO膜を用いることができる。第2ポリシリコン膜26及び第4ポリシリコン膜36としてはCVD法で形成したポリシリコン膜を用いることができる。メモリセルトランジスタMT形成領域においては例えばボロンをドープしてp型の第2ポリシリコン膜26を形成し、周辺回路トランジスタPT形成領域にはリン又はヒ素をドープしてn型の第3ポリシリコン膜34を形成する。バリアメタル28としては例えばCVD法により形成した窒化タングステン(WN)を用いることができる。金属膜30としては例えばCVD法で形成したタングステンを用いることができる。第1絶縁膜40としては例えばCVD法で形成したシリコン窒化膜を用いることができる。次いで、図11(a)及び(b)に示す断面には表示されないが、リソグラフィ法及びRIE法を用いて、これらの膜をパターニングし、メモリセルゲート電極MG及び周辺ゲート電極PGを形成する。続いて、第2絶縁膜42、第3絶縁膜44及び層間絶縁膜46を順次成膜する。第2絶縁膜42としては例えばCVD法によって形成したシリコン酸化膜を用いることができる。第3絶縁膜44としては例えばCVD法によって形成したシリコン窒化膜を用いることができる。層間絶縁膜46としては例えばTEOS(Tetraethyl orthosilicate、テトラエトキシシラン)をソースガスとして用いたCVD法によって形成されたシリコン酸化膜を用いることができる。
次に、図11(a)及び(b)に示すように、電極間絶縁膜24、第2ポリシリコン膜26(図11(b)においては第4ポリシリコン膜36)、バリアメタル28、金属膜30及び第1絶縁膜40を成膜する。電極間絶縁膜24としては、例えばCVD法で成膜したONO膜を用いることができる。第2ポリシリコン膜26及び第4ポリシリコン膜36としてはCVD法で形成したポリシリコン膜を用いることができる。メモリセルトランジスタMT形成領域においては例えばボロンをドープしてp型の第2ポリシリコン膜26を形成し、周辺回路トランジスタPT形成領域にはリン又はヒ素をドープしてn型の第3ポリシリコン膜34を形成する。バリアメタル28としては例えばCVD法により形成した窒化タングステン(WN)を用いることができる。金属膜30としては例えばCVD法で形成したタングステンを用いることができる。第1絶縁膜40としては例えばCVD法で形成したシリコン窒化膜を用いることができる。次いで、図11(a)及び(b)に示す断面には表示されないが、リソグラフィ法及びRIE法を用いて、これらの膜をパターニングし、メモリセルゲート電極MG及び周辺ゲート電極PGを形成する。続いて、第2絶縁膜42、第3絶縁膜44及び層間絶縁膜46を順次成膜する。第2絶縁膜42としては例えばCVD法によって形成したシリコン酸化膜を用いることができる。第3絶縁膜44としては例えばCVD法によって形成したシリコン窒化膜を用いることができる。層間絶縁膜46としては例えばTEOS(Tetraethyl orthosilicate、テトラエトキシシラン)をソースガスとして用いたCVD法によって形成されたシリコン酸化膜を用いることができる。
次に、図4(a)及び(b)に示すように、層間絶縁膜46表面から周辺ゲート電極PGの金属膜30に達するコンタクト54を形成する。コンタクト54はリソグラフィ法及びRIE法を用いて形成される。コンタクト54内には、例えばCVD法によって成膜されたタングステンを埋設することができる。コンタクト54上には例えばタングステンによって形成された配線56が設けられる。
以上により、第1の実施形態によるNAND型フラッシュメモリ装置1を形成することができる。
以上により、第1の実施形態によるNAND型フラッシュメモリ装置1を形成することができる。
第1の実施形態においては以下の変形が可能である。ガスによる不純物ドープ法によってポリシリコン中にボロンをドープする工程を、図5に示す工程の後に行うことができる。すなわち、周辺回路トランジスタPT形成領域に選択的にn型不純物(例えばリン)をドープし、不純物を活性化するための熱処理を施した後に、ガスによる不純物ドープ法による不純物(ボロン)のドープを施すことができる。ガスによる不純物ドープ法による不純物ドープの前に、自然酸化膜を除去するための希フッ酸処理を行っても良い。
また、ガスによる不純物ドープ法に代えて、不純物を含むプラズマ雰囲気中で処理することにより、ポリシリコン中にボロンをドープしても同様の結果を得ることができる。
また、周辺回路トランジスタPT形成領域に選択的にn型不純物(例えばリン)をドープし、活性化するための熱処理を施す工程を、図10に示す工程において、ホットリン酸を用いたエッチングの後、ガスによる不純物ドープ法による不純物(ボロン)ドープの前に行っても良い。
また、周辺回路トランジスタPT形成領域に選択的にn型不純物(例えばリン)をドープし、活性化するための熱処理を施す工程を、図10に示す工程において、ホットリン酸を用いたエッチングの後、ガスによる不純物ドープ法による不純物(ボロン)ドープの前に行っても良い。
このように、第1の実施形態による製造方法によれば、あらかじめリン又はヒ素をドープしたポリシリコンと、ノンドープのポリシリコンを形成しておくことで、自己整合的に、n型/p型のポリシリコンを作り分けることができる。従って、リソグラフィ工程を削減できるため、工程を削減することができ、ひいては製造コストを削減することができる。
また、ガスによる不純物ドープ法によれば、ポリシリコン中にボロンが固溶限を越えて余分にドープされないため、活性化されない余剰のボロンの発生を抑制することができ、クラスター化を抑制することができる。従って、メモリセルトランジスタMTの閾値バラツキを抑制することができる。
(第2の実施形態)
次に、図14〜図22を参照して、第2の実施形態におけるNAND型フラッシュメモリ装置1の具体的な構成について説明する。第2の実施形態におけるNAND型フラッシュメモリ装置1の基本的な構成については、図1〜図2において説明した第1の実施形態における基本構成と同じである。また、周辺回路トランジスタPTの平面レイアウトパターンは、図3において説明したものと同じである。以下の説明において、第1の実施形態と共通する部分については同一の符号を使用し、その説明については適宜省略する。
次に、図14〜図22を参照して、第2の実施形態におけるNAND型フラッシュメモリ装置1の具体的な構成について説明する。第2の実施形態におけるNAND型フラッシュメモリ装置1の基本的な構成については、図1〜図2において説明した第1の実施形態における基本構成と同じである。また、周辺回路トランジスタPTの平面レイアウトパターンは、図3において説明したものと同じである。以下の説明において、第1の実施形態と共通する部分については同一の符号を使用し、その説明については適宜省略する。
図14(a)はメモリセルトランジスタMTの断面構造を模式的に示す図の一例であり、図2の4A−4A線における断面構造を示している。図14(c)は、周辺回路トランジスタPTの断面構造を模式的に示す図の一例であり、図3の4B−4B線における断面構造を示している。隣接する2つの周辺回路トランジスタPTのゲート長方向における断面構造を示している。図14(b)は、図14(a)に示す領域と図14(c)に示す領域との境界部分を模式的に示した図の一例である。
図14(a)におけるメモリセルトランジスタMT形成領域の構成及び図14(c)における周辺回路トランジスタPT形成領域の構成において、第1の実施形態と異なる点は、フローティングゲート電極20を構成する第1ポリシリコン膜22には、炭素(C)、窒素(N)の何れか、若しくはその両方が含まれていることである。そして、第3ポリシリコン膜34にはこれら元素が含まれていないことである。
第1ポリシリコン膜22にはp型不純物がドープされてp型になっている点と、第3ポリシリコン膜34にはn型不純物及びp型不純物の両者がドープされており、n型になっている点については、第1の実施形態と同様である。
第1ポリシリコン膜22に炭素又は窒素、若しくはその両方がドープされることにより、フローティングゲート電極20(第1ポリシリコン膜22)において、GRセンター(generation-recombination center;生成再結合中心)を形成することができる。フローティングゲート電極20に対し、コントロールゲート電極32からの容量カップリングにより電圧が印加された場合に、フローティングゲート電極20には空乏層が生じる。しかし、形成されたGRセンターから電子−正孔対が発生しやすくなり、これによって電圧印加によって形成された空乏層が広がりにくくなる。従って、空乏層の広がりによるカップリング比の低下を抑制することができる。なお、ポリシリコン中の炭素及び窒素の濃度は、例えば赤外線分光法を用いて測定することができる。
また、第1ポリシリコン膜22は、酸素ドープ層を含むようにしても良い。酸素ドープ層は、第1ポリシリコン膜22の成膜途中に少量の酸素を流すことによって第1ポリシリコン膜22に形成された、少量の酸素を含む層である。酸素ドープ層は、シリコンリッチな層であり、シリコン酸化膜のような絶縁性を有してはいない。酸素ドープ層は、ポリシリコンの結晶粒界を分断する結晶分断層となっている場合がある。この酸素ドープ層によって、第1ポリシリコン膜22中にGRセンターを形成することができる。従って、これにより、空乏層が広がりにくくなるという効果を有する。酸素ドープ層と、上述の炭素、窒素のドープは併用しても良い。
また、第3ポリシリコン膜34には炭素(C)及び窒素(N)はドープされていない方が良い。また、第3ポリシリコン膜34には酸素ドープ層も有していない方が良い。言い換えれば、第3ポリシリコン膜34の炭素(C)及び窒素(N)の不純物濃度は第1ポリシリコン膜22のそれよりも低いと言える。このように、第3ポリシリコン膜34に炭素(C)等をドープしないことにより、第3ポリシリコン膜34の抵抗率を低くすることができる。その結果、周辺回路トランジスタの動作を遅くすることなく、メモリセルトランジスタMTの特性を向上させることができる。
上述のように、第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様に第1ポリシリコン膜22はp型であり、第3ポリシリコン膜34はn型となっている。従って、第1の実施形態と同様の効果を有する。さらに、上述のように、第1ポリシリコン膜22において、炭素又は窒素のドープ、若しくは酸素ドープ層の形成がなされているため、GRセンターが形成される。従って、電圧印加によって形成された空乏層が広がりにくくなり、空乏層の広がりによるカップリング比の低下を抑制することができる。
[第2の実施形態の製造方法]
次に、図14〜図22を参照して、第2の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造方法について説明する。図14〜図22は、第2の実施形態による不揮発性半導体装置の製造方法を示すための図の一例である。図14〜図22の各図(a)は、図2の4A−4A線における断面構造を示しており、メモリセル領域の断面構造を示している。図14〜図22の各図(c)は、図3の4B−4B線における断面構造を示しており、各図(a)と同一工程の周辺回路トランジスタPTの断面構造を示している。図14〜図22の各図(b)は、各図(a)と各図(b)の境界領域の構成を示す図の一例である。
次に、図14〜図22を参照して、第2の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の製造方法について説明する。図14〜図22は、第2の実施形態による不揮発性半導体装置の製造方法を示すための図の一例である。図14〜図22の各図(a)は、図2の4A−4A線における断面構造を示しており、メモリセル領域の断面構造を示している。図14〜図22の各図(c)は、図3の4B−4B線における断面構造を示しており、各図(a)と同一工程の周辺回路トランジスタPTの断面構造を示している。図14〜図22の各図(b)は、各図(a)と各図(b)の境界領域の構成を示す図の一例である。
まず、図15(a)、(b)及び(c)に示すように、半導体基板10上にゲート絶縁膜12、第1ポリシリコン膜22及び第4絶縁膜72を順次形成する。ゲート絶縁膜12としては例えば熱酸化法により形成したシリコン酸化膜を用いることができる。第1ポリシリコン膜22は例えばCVD法により成膜することができる。第1ポリシリコン膜22は、CVD法による成膜中に、成膜ガス中に炭素を含むガスを導入ことにより、ポリシリコン中に炭素をドープすることができる。炭素を含むガスに代えて、窒素を含むガスを導入すれば、ポリシリコン中に窒素をドープすることができる。また、成膜ガスに、炭素を含むガスと窒素を含むガスの両者を導入すれば、成膜するポリシリコン中に炭素及び窒素をドープすることができる。炭素を含むガスと窒素を含むガスを導入する時期を異ならせて、成膜するポリシリコン中の異なる部位に炭素と窒素をドープするようにしても良い。炭素若しくは窒素は、例えば第1ポリシリコン膜22の上面(表面)から5nm〜35nmの範囲に含まれるように形成する。また、第1ポリシリコン膜22に含まれる炭素又は窒素の濃度は5×1019〜5×1021atms/cm3である。
また、酸素ドープ層を形成する場合は、ポリシリコンの成膜途中の所定時間、成膜ガス中に酸素ガスを導入する。これにより、ポリシリコンの途中に酸素ドープ層を形成することができる。これによりポリシリコンの結晶粒界の成長が一旦ストップし、結晶を分断する酸素ドープ層(結晶分断層)が形成される。従って、酸素ドープ層(結晶分断層)は、メモリセルトランジスタMTが有するフローティングゲート電極20において、第1ポリシリコン膜22の同じ位置に形成されている。第1ポリシリコン膜22は、不純物をドープしないノンドープ・ポリシリコンとして形成しても良いし、成膜中に不純物をドープしながら成膜したポリシリコンを形成しても良い。不純物としては例えばボロンを用いることができる。第4絶縁膜72としては例えばCVD法により形成したシリコン酸化膜又はシリコン窒化膜を用いることができる。
次に、図16(a)、(b)及び(c)に示すように、リソグラフィ法及びRIE法を用いて、図16(c)の周辺回路トランジスタPT形成領域から、図16(b)に示す境界領域のB領域(周辺回路トランジスタPT形成領域に隣接する領域)に至る領域の第4絶縁膜72及び第1ポリシリコン膜22をエッチング除去する。このエッチングは異方性条件にて行われる。エッチングはゲート絶縁膜12をストッパとして利用し、ゲート絶縁膜12上にてストップさせる。
次に、図17(a)、(b)及び(c)に示すように、全面に第3ポリシリコン膜34を形成する。第3ポリシリコン膜34はCVD法を用いて形成したポリシリコンを用いることができる。第3ポリシリコン膜34においては、炭素又は窒素のドープ、若しくは酸素ドープ層の形成は行わない。第3ポリシリコン膜34としては、不純物がドープされていないノンドープ・ポリシリコンを形成しても良いし、成膜中に不純物をドープしながら成膜したポリシリコンを形成しても良い。ノンドープ・ポリシリコンとして第3ポリシリコン膜34を形成した場合には、成膜後にイオン注入法によって不純物をドープする。この場合不純物としてはリン又はヒ素を用いることができる。次いで、不純物活性化のための熱処理を施す。これにより第3ポリシリコン膜34はn型となる。次いで、図17(c)に示す周辺回路トランジスタPT形成領域、及び図17(b)に示す境界領域のB領域(周辺回路トランジスタPT形成領域に隣接する領域)までを覆うレジスト80を形成する。
次に、図18(a)、(b)及び(c)に示すように、レジスト80をマスクとして、RIE法により、メモリセルトランジスタMT形成領域及び境界領域のA領域(メモリセルトランジスタMT形成領域に隣接する領域)上の第3ポリシリコン膜34をエッチング除去する。このエッチングでは等方性条件を用い、第4絶縁膜72をストッパとしてエッチングをストップさせる。これにより、メモリセルトランジスタMT形成領域及び境界領域のA領域には第1ポリシリコン膜22が形成される。一方、周辺回路トランジスタPT形成領域及び境界領域のB領域には第3ポリシリコン膜34が形成される。なお、図18(b)に示す境界領域の第1ポリシリコン膜22及び第3ポリシリコン膜34は、後の工程で全面的に除去されるため、この工程で若干の凹凸が形成されていても良い。
次に、図19(a)、(b)及び(c)に示すように、第4絶縁膜72をエッチング除去する。第4絶縁膜72のエッチング除去は、例えば希釈フッ酸溶液により行うことができる。これにより、第1ポリシリコン膜22表面及び第3ポリシリコン膜34表面が露出する。
次に、図20(a)、(b)及び(c)に示すように、全面にマスク絶縁膜70を形成する。マスク絶縁膜70としては、シリコン窒化膜を用いることができる。シリコン窒化膜はCVD法により形成することができる。
次に、図21(a)、(b)及び(c)に示すように、リソグラフィ法及びRIE法を用いて、マスク絶縁膜70、第1ポリシリコン膜22、第3ポリシリコン膜34、及びゲート絶縁膜12を順次エッチングする。さらに半導体基板10をエッチングし、ゲート絶縁膜12の下面よりも深い素子分離溝62を形成する。図21(b)に示す境界領域においては、この領域の全面において、第1ポリシリコン膜22及び第3ポリシリコン膜34がエッチング除去され、さらに、半導体基板10がエッチングされて素子分離溝62となっている。
次に、第1の実施形態の製造方法における図8〜図10で説明した工程を経ることにより、図22(a)、(b)及び(c)に示す構造が形成される。図22(a)においては、第1ポリシリコン膜22の上面及び側面のおよそ上半分が露出している。図22(b)においては、全面が素子分離領域Sbとなっており、素子分離溝62に素子分離絶縁膜60が埋設されている。図22(c)においては、第3ポリシリコン膜34の上面が露出している。この状態で、ガスによる不純物ドープ法によって不純物ドープを行う。ガスによる不純物ドープ法においては、温度500℃〜1000℃程度で、不純物ソースガスを含む雰囲気中に半導体基板10を暴露する。これにより、ポリシリコン中に熱平衡的に不純物をドープすることができる。不純物ソースガスとしてはボロンを含むソースガスを用いることができ、例えばBCl3、BH3、B2H6、及びBF系ガスを用いることができる。これにより、第1の実施形態の場合と同様に、第1ポリシリコン膜22にはボロンが固溶限程度の濃度程度、すなわち1×1020〜1022atms/cm3程度でドープされ、第1ポリシリコン膜22はp型となる。この場合、ポリシリコン中に僅かにリン又はヒ素が混入していても良い。
一方、第3ポリシリコン膜34にはあらかじめリン又はヒ素がドープされている。ここにガスによる不純物ドープ法によってボロンをドープすると、ボロンがあまりドープされない。この場合、リン又はヒ素の濃度はおよそ1×1020〜1022atms/cm3程度である。また、ボロンの濃度はおよそ1×1019atms/cm3程度以下である。従って、この場合、リン又はヒ素の濃度は、ボロンの濃度よりも少なくとも1桁以上高いため、ポリシリコンはn型となる。
次いで、第1の実施形態の製造方法における図11及び図4にて説明した工程を経ると、図14(a)、(b)及び(c)に示す構造が形成される。
以上により、第2の実施形態によるNAND型フラッシュメモリ装置1を形成することができる。
以上により、第2の実施形態によるNAND型フラッシュメモリ装置1を形成することができる。
第2の実施形態においては以下の変形が可能である。ガスによる不純物ドープ法によってポリシリコン中にボロンをドープする工程を、図19に示す工程の後に行うことができる。すなわち、周辺回路トランジスタPT形成領域に選択的にn型不純物(例えばリン又はヒ素)をドープし、不純物を活性化するための熱処理を施した後に、ガスによる不純物ドープ法による不純物(例えばボロン)のドープを施すことができる。ガスによる不純物ドープ法による不純物ドープの前に、自然酸化膜を除去するための希フッ酸処理を行っても良い。
また、ガスによる不純物ドープ法に代えて、不純物を含むプラズマ雰囲気中で処理することにより、ポリシリコン中にボロンをドープしても同様の結果を得ることができる。
また、周辺回路トランジスタPT形成領域に選択的にn型不純物(例えばリン又はヒ素)をドープし、活性化するための熱処理を施す工程を、図22に示す工程において、ホットリン酸を用いたエッチングの後、ガスによる不純物ドープ法による不純物(例えばボロン)ドープの前に行っても良い。
また、周辺回路トランジスタPT形成領域に選択的にn型不純物(例えばリン又はヒ素)をドープし、活性化するための熱処理を施す工程を、図22に示す工程において、ホットリン酸を用いたエッチングの後、ガスによる不純物ドープ法による不純物(例えばボロン)ドープの前に行っても良い。
第2の実施形態による製造方法によれば、実施形態1の製造方法と同様の効果を有する。さらに、メモリセルゲート電極MGのフローティングゲート電極20を構成する第1ポリシリコン膜22に、炭素又は窒素のドープ、若しくは酸素ドープ層の形成がなされているため、GRセンターが形成される。従って、電圧印加によって形成された空乏層が広がりにくくなり、空乏層の広がりによるカップリング比の低下を抑制することができる。このように、フローティングゲート電極20に好適な第1ポリシリコン膜22を形成しつつ、周辺回路トランジスタPT形成領域においては、周辺回路トランジスタPTに適したn型の第3ポリシリコン膜34を形成することができる。
(第3の実施形態)
次に、図23〜図26を参照して、第3の実施形態におけるNAND型フラッシュメモリ装置1の具体的な構成について説明する。以下の説明において、第1及び第2の実施形態と共通する部分については同一の符号を使用し、その説明については適宜省略する。
次に、図23〜図26を参照して、第3の実施形態におけるNAND型フラッシュメモリ装置1の具体的な構成について説明する。以下の説明において、第1及び第2の実施形態と共通する部分については同一の符号を使用し、その説明については適宜省略する。
第3の実施形態におけるNAND型フラッシュメモリ装置1の基本的な構成については、図1〜図2において説明した第1の実施形態における基本構成と同じである。また、周辺回路トランジスタPTの平面レイアウトパターンは、図3において説明したものと同じである。第3の実施形態におけるNAND型フラッシュメモリ装置1の断面構造については、第2の実施形態における図14(a)、(b)及び(c)に示す構造と同じである。
第3の実施形態は、その製造方法において、第2の実施形態の製造方法の図15〜図18における工程を、図23〜図26に示す工程に変更したものである。以下、図23〜図26を参照して具体的に説明する。
まず、図23(a)、(b)及び(c)に示すように、半導体基板10上にゲート絶縁膜12、第3ポリシリコン膜34及び第4絶縁膜72を順次形成する。ゲート絶縁膜12としては例えば熱酸化法により形成したシリコン酸化膜を用いることができる。第3ポリシリコン膜34はCVD法を用いて形成したポリシリコンを用いることができる。第3ポリシリコン膜34には、炭素又は窒素、若しくは酸素ドープ層はドープされていない。第3ポリシリコン膜34は不純物がドープされていないノンドープ・ポリシリコンを形成しても良いし、成膜中に不純物をドープしながら成膜したポリシリコンを形成しても良い。ノンドープ・ポリシリコンとして第3ポリシリコン膜34を形成した場合には、成膜後にイオン注入法によって不純物(例えばリン又はヒ素)をドープする。次いで、不純物活性化のための熱処理を施す。これにより第3ポリシリコン膜34はn型となる。第4絶縁膜72としては例えばCVD法により形成したシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜を用いることができる。
次に、図24(a)、(b)及び(c)に示すように、リソグラフィ法及びRIE法を用いて、図24(a)のメモリセルトランジスタMT形成領域から、図24(b)に示す境界領域のA領域(メモリセルトランジスタMT形成領域に隣接する領域)に至る領域の第4絶縁膜72及び第3ポリシリコン膜34をエッチング除去する。このエッチングは異方性条件にて行われる。エッチングはゲート絶縁膜12をストッパとして利用し、ゲート絶縁膜12上にてストップする。
次に、図25(a)、(b)及び(c)に示すように、全面に第1ポリシリコン膜22を形成する。第1ポリシリコン膜22は例えばCVD法により成膜することができる。第1ポリシリコン膜22は、CVD法による成膜中に、成膜ガス中に炭素、又は窒素、若しくはその両者を含むガスを導入して、ポリシリコン中に炭素、窒素、又はその両者をドープすることができる。また、第1ポリシリコン膜22の成膜途中に酸素ガスを導入することにより、酸素ドープ層を形成しても良い。第1ポリシリコン膜22は、不純物をドープしないノンドープ・ポリシリコンとして形成しても良いし、成膜中に不純物(例えばボロン)をドープしながら成膜したポリシリコンを形成しても良い。次いで、図25(a)に示すメモリセルトランジスタMT形成領域、及び図25(b)に示す境界領域のA領域までを覆うレジスト80を形成する。
次に、図26(a)、(b)及び(c)に示すように、RIE法により、レジスト80をマスクとして周辺回路トランジスタPT形成領域および境界領域のB領域上の第1ポリシリコン膜22をエッチング除去する。このエッチングでは異方性条件を用い、第4絶縁膜72をストッパとしてエッチングをストップさせる。これにより、メモリセルトランジスタMT形成領域及び境界領域のA領域には第1ポリシリコン膜22が形成される。一方、周辺回路トランジスタPT形成領域及び境界領域のB領域には第3ポリシリコン膜34が形成される。
続いて、実施形態1の、図19〜図22及び図14において説明した工程を経ると、第3の実施形態に係るNAND型フラッシュメモリ装置1が形成される。
第2の実施形態に係る製造方法においては、第1ポリシリコン膜22を先に成膜してから第3ポリシリコン膜34を成膜するプロセスの一例を示した。これに対し、第3の実施形態に係る製造方法においては、第3ポリシリコン膜34を先に成膜し、後に第1ポリシリコン膜22を成膜するプロセスの一例を示した。
以上説明したように、第3の実施形態に係る製造方法によれば、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。
第2の実施形態に係る製造方法においては、第1ポリシリコン膜22を先に成膜してから第3ポリシリコン膜34を成膜するプロセスの一例を示した。これに対し、第3の実施形態に係る製造方法においては、第3ポリシリコン膜34を先に成膜し、後に第1ポリシリコン膜22を成膜するプロセスの一例を示した。
以上説明したように、第3の実施形態に係る製造方法によれば、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。
(他の実施形態)
上記に説明した実施形態では、不揮発性半導体記憶装置の一例としてNAND型のフラッシュメモリ装置に適用した例を示したが、その他、NOR型のフラッシュメモリ装置、EEPROM等の不揮発性半導体記憶装置に適用しても良い。
上記に説明した実施形態では、不揮発性半導体記憶装置の一例としてNAND型のフラッシュメモリ装置に適用した例を示したが、その他、NOR型のフラッシュメモリ装置、EEPROM等の不揮発性半導体記憶装置に適用しても良い。
半導体基板10としては、p型のシリコン半導体基板、pウェルが形成されたシリコン基板の他、p型のシリコン領域を有するSOI(Silicon on Insulator)基板を用いても良い。
ゲート絶縁膜12として、シリコン酸化膜を適用した一例を示したが、SiN/SiO2、SiN/SiO2/SiN、SiON/SiO2/SiON、SiO2/SiN/SiO2、SiO2/高誘電率膜/SiO2、又は高誘電率膜/SiO2のような積層構造を適用しても良い。
メモリセルゲート電極MG若しくは周辺ゲート電極PGの膜構成としては、多結晶シリコン、シリコンの金属化合物(シリサイド)、金属酸化物、金属(W、WSix、WN、Ni、NiSix、Co、CoSix、TaSiN、Ta、TaSix、TiSix、TiN、Pt、PtSix、を含む)、若しくはこれら材料の積層構造を適用しても良い。
電極間絶縁膜24として、ONO膜を適用した一例を示したが、NONON(nitride-oxide-nitride-oxide-nitride)膜あるいはその他の高誘電率を有する絶縁膜等を適用しても良い。また、この他に、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、ハフニウムアルミネート膜(HfAlO)、アルミナ膜(Al2O3)、酸化マグネシウム膜(MgO)、酸化ストロンチウム膜(SrO)、酸化バリウム膜(BaO)、酸化チタン膜(TiO2)、酸化タンタル膜(Ta2O5)、チタン酸バリウム膜(BaTiO3)、ジルコニウム酸バリウム膜(BaZrO)、酸化ジルコニウム膜(ZrO2)、酸化ハフニウム膜(HfO2)、酸化イットリウム膜(Y2O3)、ジルコニウムシリケート膜(ZrSiO)、ハフニウムシリケート膜(HfSiO)、又はランタンアルミネート膜(LaAlO)等の高誘電率膜を含む積層膜、または単層膜を適用しても良い。
また、素子分離絶縁膜60として、NSG(Non Doped Silicate Glass)、PSG(Phosphorous Silicon Glass)、BSG(Boron Silicon Glass)、PSZ(Polysilazane)、BPSG(Boron Phosphorous Silicon Glass)、又はHTO(High Temperature Oxide)などを含む絶縁膜を用いても良い。
上述のように、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
図面中、1はNAND型フラッシュメモリ装置、10は半導体基板、20はフローティングゲート電極、22は第1ポリシリコン膜、32はコントロールゲート電極、34は第3ポリシリコン膜である。
Claims (13)
- フローティングゲートとコントロールゲートを具備する複数のメモリセルトランジスタと、下部電極部及び上部電極部を具備する複数の周辺回路トランジスタを有し、
前記フローティングゲートは第1のポリシリコンを有し、
前記下部電極は第2のポリシリコンを有し、
前記第1のポリシリコンはボロンがドープされたp型半導体であり、
前記第2のポリシリコンはリン及びボロンがドープされたn型半導体であることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第2のポリシリコンにドープされたリンの濃度は、1×1020〜1×1022atms/cm3であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第2のポリシリコンには、リンとボロンが共にドープされており、リンの濃度は1×1020〜1×1022atms/cm3であり、ボロンの濃度が1×1019atms/cm3以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第2のポリシリコンには、リンとボロンが共にドープされており、前記第2のポリシリコンの内部に向かうほど、ボロンの濃度とリンの濃度の差が大きくなることを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1のポリシリコンは炭素、窒素、及び酸素から選択される1、2又はすべての元素を含むことを特徴とする請求項1から4の何れか一項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1のポリシリコンに含まれる炭素又は窒素の濃度は5×1019〜5×1021atms/cm3であり、前記第1のポリシリコンの下面から5nm〜35nmの範囲に含まれていることを特徴とする請求項5に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1のポリシリコンに含まれる炭素又は窒素の濃度は5×1019〜5×1021atms/cm3であり、前記第1のポリシリコンの上面から5nm〜35nmの範囲に含まれていることを特徴とする請求項5又は6に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1のポリシリコンは酸素を含む分断層を含み、前記半導体基板の主平面に垂直な方向において、それぞれの前記複数のメモリセルトランジスタが有する前記第1のポリシリコンの前記分断層は同じ位置に形成されていることを特徴とする請求項1から7の何れか一項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- フローティングゲートとコントロールゲートを具備する複数のメモリセルトランジスタと、下部電極部及び上部電極部を具備する複数の周辺回路トランジスタを有し、前記フローティングゲートは第1のポリシリコンを有し、前記下部電極は第2のポリシリコンを有し、
前記第1のポリシリコンと、n型不純物がドープされた前記第2のポリシリコンを形成するポリシリコン形成工程と、
前記ポリシリコン形成工程の後に、前記第1のポリシリコンと前記第2のポリシリコンにp型不純物をドープする工程と、
を含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 前記第1のポリシリコンと前記第2のポリシリコンにp型不純物をドープする工程は、雰囲気中にボロンを含むガス又はプラズマを用いておこなうことを特徴とする請求項9に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 前記第1のポリシリコンと前記第2のポリシリコンにp型不純物をドープする工程において、前記第1のポリシリコンは前記第2のポリシリコンよりもp型不純物が多くドープされることを特徴とする請求項9又は10に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 前記第1のポリシリコンと前記第2のポリシリコンを成膜する工程は別工程であることを特徴とする請求項9から11の何れか一項に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 前記第1のポリシリコンには、成膜中に炭素又は窒素、又はその両方がドープされることを特徴とする請求項9から12の何れか一項に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013166588A JP2015035547A (ja) | 2013-08-09 | 2013-08-09 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
US14/195,022 US9123747B2 (en) | 2013-08-09 | 2014-03-03 | Nonvolatile semiconductor memory device and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013166588A JP2015035547A (ja) | 2013-08-09 | 2013-08-09 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015035547A true JP2015035547A (ja) | 2015-02-19 |
Family
ID=52447876
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013166588A Pending JP2015035547A (ja) | 2013-08-09 | 2013-08-09 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9123747B2 (ja) |
JP (1) | JP2015035547A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020035789A (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | キオクシア株式会社 | 半導体装置 |
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JP2013153064A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP3830541B2 (ja) | 1993-09-02 | 2006-10-04 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置及びその製造方法 |
EP0649172B1 (en) | 1993-10-15 | 2002-01-02 | Sony Corporation | Non-volatile memory device |
JPH07169861A (ja) | 1993-12-14 | 1995-07-04 | Nec Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JPH08306888A (ja) | 1995-03-09 | 1996-11-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置とその製造方法 |
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JP2000299395A (ja) | 1999-04-14 | 2000-10-24 | Nec Corp | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
US6573140B1 (en) * | 2000-08-29 | 2003-06-03 | Advanced Micro Devices, Inc. | Process for making a dual bit memory device with isolated polysilicon floating gates |
JP4309078B2 (ja) | 2001-08-10 | 2009-08-05 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003068888A (ja) | 2001-08-22 | 2003-03-07 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
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JP2005235987A (ja) | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及び半導体記憶装置の製造方法 |
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JP5228012B2 (ja) | 2010-09-10 | 2013-07-03 | 株式会社東芝 | 不揮発性プログラマブルロジックスイッチおよび半導体集積回路 |
SG10201408390TA (en) | 2010-11-18 | 2015-01-29 | Toshiba Kk | Nonvolatile semiconductor memory device and manufacturing method of nonvolatile semiconductor memory device |
JP5591668B2 (ja) | 2010-11-30 | 2014-09-17 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置および不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
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2013
- 2013-08-09 JP JP2013166588A patent/JP2015035547A/ja active Pending
-
2014
- 2014-03-03 US US14/195,022 patent/US9123747B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9123747B2 (en) | 2015-09-01 |
US20150041815A1 (en) | 2015-02-12 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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