JP2015021961A - 粒子状物質センサユニット - Google Patents
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Abstract
Description
110 センサ部
112 接続電極
120 ヒータ電極
130 保護パッド
140 センサ電極
300 伝導性ペースト
400 シリコンウエハー
410 フォトレジスト
420 絶縁層
430 センサボディー
Claims (8)
- 電荷を帯びた粒子状物質が近い所を通るときに反応する静電誘導方式のセンサ部と;
伝導性ペーストによって前記センサ部が一側に付着される保護パッドと;
前記保護パッドに形成されて、前記センサ部で付着された粒子状物質を燃焼させて除去するヒータ電極と;
前記保護パッドに形成されて、前記センサ部から発生する信号を外部に伝達するセンサ電極と;
を含むことを特徴とする、粒子状物質センサユニット。 - 前記センサ部は、
上部面にセンサ突出部が形成されるシリコン材質のセンサボディーと;
前記センサボディーの上下部面をカバーする絶縁層と;
前記絶縁層が形成されない部分を通じて前記センサボディーと前記センサ電極を接続する接続電極と;
を含むことを特徴とする、請求項1に記載の粒子状物質センサユニット。 - 前記センサ電極は前記保護パッドの上部面に形成され、前記ヒータ電極は前記保護パッドの下部面に形成され、
前記伝導性ペーストは、前記センサ電極の一部をカバーするように前記保護パッドの上部面の一側に塗布され、
前記センサ部が前記伝導性ペーストの上に付着されて、前記保護パッドの上部面の一側に固定されることを特徴とする、請求項1に記載の粒子状物質センサユニット。 - 前記センサ部または前記ヒータ電極は、Pt、Mo、Wのうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項1に記載の粒子状物質センサユニット。
- 前記保護パッドは、セラミック材質を含むことを特徴とする、請求項1に記載の粒子状物質センサユニット。
- 前記センサボディーは、シリコンウエハーをエッチングさせて製造されることを特徴とする、請求項2に記載の粒子状物質センサユニット。
- 前記絶縁層は、SiO2またはSi3O4で製造されることを特徴とする、請求項2に記載の粒子状物質センサユニット。
- 前記セラミック材質は、Si3O4、ムライト、またはガラスセラミックを含むことを特徴とする、請求項5に記載の粒子状物質センサユニット。
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