KR101936475B1 - 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서 - Google Patents

바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서 Download PDF

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Abstract

본 발명은 감지부에 입자상 물질의 누적량이 증가하도록 전기장을 형성시키는 바이어스 전압을 공급할 수 있는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서에 관한 것이다.
본 발명에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서는, 배기파이프(1)에 장착되는 하우징(11)의 내부에 측정 전극(24)과 그라운드 전극(23)이 서로 교번(交番)하여 배치되고, 상기 측정 전극(24)끼리 전기적으로 연결되며, 상기 그라운드 전극(23)끼리 전기적으로 연결되는 감지부(20)를 구비하여 배기가스의 입자상 물질(PM ; Particulate Matter)을 감지하는 입자상 물질 센서에 있어서, 상기 감지부는, 상기 그라운드 전극(23)들 사이에는 상기 감지부(20)에 바이어스 전압을 인가하는 바이어스 전극(25)들이 배열되고, 상기 바이어스 전극(25)들은 일측이 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 한다.

Description

바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서{Sensor for measuring Particulate Matter With function Suppling bias voltage}
본 발명은 차량의 배기가스에 포함된 입자상 물질(PM ; Particulate Matter)를 측정하는 입자상 물질 센서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 감지부에 입자상 물질의 누적량이 증가하도록 전기장을 형성시키는 바이어스 전압을 공급할 수 있는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서에 관한 것이다.
차량의 배기가스에는 여러 가지 유해물질이 포함되어 있고, 이러한 유해물질은 각종 규제를 통하여 그 배출량이 제한되고 있다.
이를 위하여, 상기 차량에는 배출되는 유해물질을 모니터링하기 위한 각종 센서가 설치된다.
그 일례로서, 배기가스에 포함된 입자상 물질(PM ; Particulate Matter)을 검출하는 입자상 물질 센서가 구비된다. 상기 입자상 물질 센서는 DPF(Diesel Particulate Filter)의 후단에서 배기파이프의 내부에 장착되어 배기가스 중의 입자상 물질의 농도를 측정하여 상기 DPF의 고장여부를 판단한다.
도 1을 통하여 상기 입자상 물질 센서의 구조를 살펴보면, 하우징(11)의 내부에 감지부(120)가 장착된다. 상기 하우징(11)을 고정너트(12)에 의해 배기파이프(1)에 고정되고, 상기 하우징(11)의 내부에는 상기 감지부(120)를 절연시키는 인슐레이터(13)가 구비된다. 상기 감지부(120)의 상단은 크램쉘(14)에 의해 고정되고, 상기 입자상 물질 센서의 상단은 테프론(15, PTFE)이 형성된다. 상기 감지부(120)의 하단은 유동중인 배기가스에 노출되는데, 상기 배기파이프(1)를 유동중인 배기가스가 상기 감지부(120)로 유입되도록 상기 하우징(11)의 하단에는 보호튜브(130)가 결합된다.
상기 감지부(120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(121)에 측정 전극(124)과 그라운드 전극(123)이 형성되고, 상기 측정 전극(124)과 상기 그라운드 전극(123)은 각각 별도의 패드전극(122)을 통하여, 상기 입자상 물질 센서의 외부와 전기적으로 연결된다.
상기 측정 전극(124)과 상기 그라운드 전극(123)은 서로 교번(交番)하여 배치되고, 상기 측정 전극(124)들의 일측과 상기 그라운드 전극(123)들의 일측이 각각 전기적으로 연결된다.
이러한 입자상 물질 센서는 상기 측정 전극(124)과 상기 그라운드 전극(123)에 형성되는 전기자에 의해 입자상 물질들이 상기 감지부(120)의 표면에 누적됨에 따라 정전용량의 변화로써, 상기 입자상 물질의 양을 측정하게 된다.
상기와 같은 종래기술에 따른 입자상 물질 센서에서는 입자상 물질의 양을 측정하기 위해서는 상기 감지부(120)에 누적되는 입자상 물질의 양이 증가시켜야 하는데 한계가 있었다.
또한, 상기 측정 전극(124)과 상기 그라운드 전극(123)은 배기가스에 노출되는 형태로 형성되어 있어서, 고가의 백금(Pt)을 재질로 해야 하므로, 입자상 물질 센서의 원가가 높을 수 밖에 없었다.
한편, 상기 감지부(120)는 상기 하우징(11)의 하단에 체결되는 보호튜브(130)의 내부에 위치하게 되는데, 이는 노이즈를 줄이기 위함이다. 즉, 상기 감지부(120)가 직접 배기가스에 노출되면, 상기 배기가스에 포함된 이물질에 의해 노이즈가 신호가 발생한다. 이를 방지하기 위해, 상기 보호튜브(130)를 이중 튜브 형태로 형성하여, 상기 감지부(120)가 직접 배기가스에 노출되지 않고, 상기 보호튜브(130)의 내부로 유입된 배기가스가 상기 감지부(120)를 통과하도록 한다.
한편, 하기의 선행기술문헌에는 '입자상 물질　센서'에 관한 기술이 개시되어 있다.
KR 10-1401713 B1
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 입자상 물질이 누적되는 부위에 바이어스 전극을 가함으로써, 감지부에 누적되는 입자상 물질의 양이 증가되도록 한 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서를 제공하는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 배기파이프로 유동중인 배기가스가 감지부로 직접 유동하면서 상기 감지부로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서는, 배기파이프에 장착되는 하우징의 내부에 측정 전극과 그라운드 전극이 서로 교번(交番)하여 배치되고, 상기 측정 전극끼리 전기적으로 연결되며, 상기 그라운드 전극끼리 전기적으로 연결되는 감지부를 구비하여 배기가스의 입자상 물질(PM ; Particulate Matter)을 감지하는 입자상 물질 센서에 있어서, 상기 감지부는, 상기 그라운드 전극들 사이에는 상기 감지부에 바이어스 전압을 인가하는 바이어스 전극들이 배열되고, 상기 바이어스 전극들은 일측이 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 한다.
상기 바이어스 전극들은 각각 상기 그라운드 전극의 사이에서 상기 그라운드 전극과 동일한 높이로 배열되고, 서로 인접한 상기 바이어스 전극과 상기 그라운드 전극사이에 상기 측정 전극이 상기 바이어스 전극과 상기 그라운드 전극과 같은 높이로 배열되며, 상기 측정 전극들은 서로 지그재그형태로 연결되는 것을 특징으로 한다.
상기 측정 전극, 상기 그라운드 전극 및 상기 바이어스 전극은 세라믹층의 내부에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 측정 전극, 상기 그라운드 전극 및 상기 바이어스 전극은 몰리브덴(Mo)을 재질로 하는 것을 특징으로 한다.
상기 바이어스 전극은 상기 측정 전극과 동일한 패턴으로 형성되고, 상기 바이어스 전극은 상기 측정 전극의 상방에 위치하는 것을 특징으로 한다.
상기 측정 전극과 상기 그라운드 전극은 세라믹층의 내부에 형성되고, 상기 바이어스 전극은 상기 세라믹층의 표면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 측정 전극과 상기 그라운드 전극은 몰리브덴(Mo)을 재질로 하고, 상기 바이어스 전극은 백금(Pt)을 재질로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 감지부는, 상기 측정 전극, 상기 그라운드 전극 및 상기 바이어스 전극가 형성된 레이어의 하부에 배치되는 레이어에는 상기 감지부을 승온시키는 히터가 패터닝되고, 상기 히터가 형성된 레이어의 하부 레이어에는 상기 히터의 온도를 측정하는 온도센서가 설치되는 것을 특징으로 한다.
통형(筒形)으로 형성되고 둘레를 따라 상향 경사지게 그 외부로부터 내부로 관통되는 유입홀이 둘레를 따라 간격을 두고 형성되는 보호튜브가 상기 하우징의 하단에 체결되고, 상기 배기파이프를 유동하는 배기가스는 상기 유입홀을 통하여 상기 감지부로 유동하는 것을 특징으로 한다.
상기 유입홀은 상기 보호튜브의 길이방향을 따라 복수의 열로 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서에 따르면, 바이어스 전극에 의해 바이어스 전압이 가해짐으로써, 효율적으로 전기장이 형성되도록 함으로써, 동일한 면적에서 누적되는 입자상 물질의 양이 증가한다.
또한, 상기 바이어스 전극은 상기 감지부에 바이어스 전압을 인가함으로써, 초기 신호발생시간을 단축시킬 수 있다.
아울러, 보호튜브의 측면에 상향 경사지게 형성된 유입홀에 의해 유동중인 배기가스가 직접 상기 감지부로 집중적으로 유입되도록 함으로써, 배기가스에 포함된 입자상 물질의 양을 정확하게 측정하여 DPF의 고장여부를 판단할 수 있다.
전극의 재질이 백금이 사용되지 않거나, 백금의 사용량을 줄일 수 있으므로, 입자상 물질 센서의 원가를 낮출 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 입자상 물질 센서를 도시한 단면도.
도 2는 종래기술에 따른 입자상 물질 센서의 감지부를 도시한 평면도.
도 3은 도 2의 A-A선에 따른 단면도.
도 4는 종래기술에 따른 입자상 물질 센서의 요부를 도시한 학대 단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서의 감지부를 도시한 평면도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서의 감지부의 조립전 상태를 도시한 분해사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서의 감지부의 단면도.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서의 감지부를 도시한 분해 사시도.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서의 감지부의 단면도.
도 10 본 발명에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서에서 누적시간에 따른 정전용량의 변화를 도시한 그래프.
도 11본 발명에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서의 보호튜브를 도시한 사시도.
도 12본 발명에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서에 보호튜브가 장착된 상태의 요부 확대 단면도.
도 13본 발명에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서에 다른 예의 보호튜브가 장착된 상태의 요부 확대 단면도.
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서에 대하여 자세히 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서는 하우징(11)의 내부에 구비되는 감지부(20)가 구비된다. 상기 감지부는 서로 교번(交番)하여 측정 전극(24)과 그라운드 전극(23)이 배치되고, 상기 측정 전극(24)끼리 전기적으로 연결되며, 상기 그라운드 전극(23)끼리 전기적으로 연결되며, 상기 상기 그라운드 전극(23)들 사이에는 상기 감지부(20)에 바이어스 전압을 인가하는 바이어스 전극(25)들이 배열되어 상기 바이어스 전극(25)들이 서로 전기적으로 연결된다. 상기 측정 전극(24), 상기 그라운드 전극(23) 및 상기 바이어스 전극(25)은 서로 전기적으로 연결되지 않는다.
도 5 내지 도 7에는 본 발명의 일 실시예가 도시되어 있다.
입자상 물질 센서에 구비되는 감지부(20)는 상기 그라운드 전극(23)과 상기 바이어스 전극(25)이 서로 교번하여 배치되고, 상기 그라운드 전극(23)들의 일측이 서로 전기적으로 연결되고, 상기 바이어스 전극(25)들도 일측이 서로 전기적으로 연결된다.
한편, 상기 그라운드 전극(23)과 상기 바이어스 전극(25) 사이에는 측정 전극(24)이 상기 배치되고, 상기 측정 전극(24)들은 서로 지그재그 형태로 연결된다. 상기 측정 전극(24)은 상기 바이어스 전극(25) 또는 상기 그라운드 전극(23)을 감사는 형태를 갖는다. 이는 상기 측정 전극(24), 상기 그라운드 전극(23) 및 상기 바이어스 전극(25)을 동일한 높이로 배열하기 위함이다. 하지만, 궁극적으로 상기 그라운드 전극(23)의 사이마다 상기 측정 전극(24)이 배치되는 점에서 공통점이 있다.
상기 측정 전극(24), 상기 그라운드 전극(23) 및 상기 바이어스 전극(25)은 세라믹층의 내부에 동일한 층으로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 측정 전극(24), 상기 그라운드 전극(23) 및 상기 바이어스 전극(25)가 동일층에 형성되므로, 기존의 감지부를 패터닝하는 공정에서 패터닝 마스크를 수정하는 것만으로로도 상기 바이어스 전극(25)을 구현할 수 있다(도 6 참조). 도 6에서 가장 상부에 위치하는 레이어 상에 상기 측정 전극(24), 상기 그라운드 전극(23) 및 상기 바이어스 전극(25)가 패터닝되고, 특히 도 6에서 A로 도시된 부분에 상기 측정 전극(24), 상기 그라운드 전극(23) 및 상기 바이어스 전극(25)가 서로 교번하여 배열되도록 패터닝하여 감지부(20)를 형성한다.
상기 측정 전극(24), 상기 그라운드 전극(23) 및 상기 바이어스 전극(25)은 모두 직접 배기가스에 노출되지 않으므로 몰리브덴(Mo)를 재질로 하여 형성될 수 있다. 이로서, 상기 측정 전극(24), 상기 그라운드 전극(23) 및 상기 바이어스 전극(25)이 모두 고가의 백금(Pt)을 사용하지 않아도 되는 효과가 있다.
상기와 같은 감지부(20)에 상기 전원이 인가되면, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 그라운드 전극(23)과 상기 바이어스 전극(25) 사이에 전기장에 형성되면서, 상기 전기장에 의해 입자상 물질의 누적량이 증가된다. 스위칭 회로를 통하여 상기 바이어스 전극(25)에 바이어스 전압이 인가되도록 함으로써, 상기 입자상 물질 센서의 감지부(20)에 입자상 물질 누적량이 증가하고, 상기 입자상 물질 센서로부터 초기신호가 발생하기 까지 걸리는 시간(LOT; Lift-off Time)가 감소한다. 또한, 누적시간에 따른 정전용량의 더 빠르게 증가하게 된다(도 10 참조). 종래에는 측정전극와 그라운드 사이에 바이어스 전압(예컨대, 30V)을 인가한 다음, 측정전극과 그라운드 사이에 측정전압(예컨대, 2V)을 인가하여 정전용량을 측정하고, 이를 지속적으로 반복하였다. 이에 비하여, 본 발명에서는 상기 바이어스 전극(25)와 그라운드 전극(23) 사이에 바이어스 전압(예컨대, 30V)을 인가하고, 측정전극(24)과 바이어스 전극, 그라운드 전극(23) 사이에 측정전압을 인가하여 정전용량을 측정하고, 이를 반복한다. 본 발명에서는 스위칭 회로를 통하여 바이어스 전극을 바이어스 전극을 인가함으로써, 측정면적의 감소를 방지한다.
도 6에서 상기 감지부(20)에서 상기 측정 전극(24), 상기 그라운드 전극(23) 및 상기 바이어스 전극(25)에는 승온을 위한 히터(27)가 구비된다. 상기 측정 전극(24), 상기 그라운드 전극(23) 및 상기 바이어스 전극(25)은 하나의 레이어 상에 형성된다. 상기 측정 전극(24), 상기 그라운드 전극(23) 및 상기 바이어스 전극(25)이 형성된 레이어의 하부에 배치되는 레이어에 상기 히터(27)가 패터닝된다. 상기 히터(27)가 형성된 레이어의 하부에는 상기 히터(27)의 온도를 측정하는 온도센서(26)가 설치되며, 그 하부에는 기판(21)이 구비되고, 상기 기판(21)의 일측에는 상기 레이어들을 전기적으로 연결하는 패드전극(22)이 형성된다. 상기 히터(27)는 운전초기에 승온됨으로써, 상기 감지부(20) 표면에 존재하는 수분이 제거되도록 한다. 또한, 상기 히터(27)의 온도를 PM 재생온도(예컨대, 650℃)이상으로 승온시키면, 상기 감지부(20)의 표면에 누적된 PM이 재생된다.
한편, 도 8과 도 9에는 본 발명의 다른 실시예가 도시되어 있다.
본 발명의 제2 실시예에서는 상기 감지부(20)를 구성하는 전극중에서, 상기 측정 전극(24)과 상기 그라운드 전극(23)이 동일한 높이로 배치된다. 상기 측정 전극(24)과 상기 그라운드 전극(23)은 서로 교번하여 배치되고, 상기 측정 전극(24)들끼리 전기적으로 연결되고, 상기 그라운드 전극(23)들끼리 전기적으로 연결된다.
상기 바이어스 전극(25)은 상기 측정 전극(24)과 동일한 패턴으로 형성되고, 상기 측정 전극(24)의 상방에 위치한다(도 8 참조).
상기 측정 전극(24)와 상기 그라운드 전극(23)은 세라믹층의 내부에 형성되고, 상기 바이어스 전극(25)은 상기 세라믹층의 표면에 형성된다.
상기 측정 전극(24)와 상기 그라운드 전극(23)은 직접 배기가스에 노출되지 않으므로 몰리브덴(Mo)을 재질로 하여 형성될 수 있고, 상기 배기가스에 노출되는 상기 바이어스 전극(25)은 백금(Pt)를 재질로 하여 형성된다. 상기 측정 전극(24)와 상기 그라운드 전극(23)은 고가의 백금(Pt)가 적용되지 안고, 상기 바이어스 전극(25)만 백금(Pt)을 적용하면 되므로, 원가를 절감할 수 있다.
본 실시예에서는 상기 바이어스 전극(25)에 바이어스 전압이 인가되면, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 그라운드 전극(23)과 상기 바이어스 전극(25) 사이에 전기장이 형성되면서, 상기 감지부(20)에 누적되는 입자상 물질의 양이 향상되어 초기신호 발생까지 걸리는 시간(LOT)을 감소시킬 수 있으면서, 정전용량을 증가시킨다.
한편, 본 발명에 따른 입자상 물질 센서에서는 상기 감지부(20)를 이물질로부터 보고하기 위해 상기 하우징(11)의 하단에는 보호튜브(30)가 구비된다.
상기 보호튜브(30)는 통형(筒形)으로 형성된다. 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 보호튜브(30)는 둘레를 따라서, 배기파이프(1)를 유동하는 배기가스가 바로 상기 감지부(20)로 유입될 수 있도록 하는 유입홀(31)이 형성된다. 상기 유입홀(31)은 상기 보호튜브(30)의 외측면으로부터 내부로 갈수록 상향경사지게 형성되도록 하여, 상기 배기가스가 바로 상기 감지부(20)로 유입되도록 한다. 상기 유입홀(31)이 상향경사지게 형성되어 있어서, 상기 배기가스의 유동을 상기 감지부(20)로 집중된다.
상기 보호튜브(30)에서 상기 유입홀(31)은 상기 보호튜브(30)의 둘레를 따라 간격을 두고 복수로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 유입홀(31)은 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 보호튜브(30)의 길이방향을 따라 복수의 열로 형성될 수도 있다.
1 : 배기파이프 11 : 하우징
12 : 고정너트 13 : 인슐레이터
14 : 크램쉘 15 : 테프론
20 : 감지부 21 : 기판
22 : 패드전극 23 : 그라운드 전극
24 : 측정 전극 25 : 바이어스 전극
26 : 온도센서 27 : 히터
30 : 보호튜브 31 : 유입홀
120 : 감지부 121 : 기판
122 : 패드전극 123 : 그라운드 전극
124 : 측정전극 130 : 보호튜브

Claims (10)

  1. 배기파이프에 장착되는 하우징의 내부에 측정 전극과 그라운드 전극이 서로 교번(交番)하여 배치되고, 상기 측정 전극끼리 전기적으로 연결되며, 상기 그라운드 전극끼리 전기적으로 연결되는 감지부를 구비하여 배기가스의 입자상 물질(PM ; Particulate Matter)을 감지하는 입자상 물질 센서에 있어서,
    상기 감지부는,
    상기 그라운드 전극들 사이에는 상기 감지부에 바이어스 전압을 인가하는 바이어스 전극들이 배열되고,
    상기 바이어스 전극들은 일측이 서로 전기적으로 연결되며,
    상기 바이어스 전극들은 각각 상기 그라운드 전극의 사이에서 상기 그라운드 전극과 동일한 높이로 배열되고,
    서로 인접한 상기 바이어스 전극과 상기 그라운드 전극사이에 상기 측정 전극이 상기 바이어스 전극과 상기 그라운드 전극과 같은 높이로 배열되며,
    상기 측정 전극들은 서로 지그재그형태로 연결되는 것을 특징으로 하는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 측정 전극, 상기 그라운드 전극 및 상기 바이어스 전극은 세라믹층의 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 측정 전극, 상기 그라운드 전극 및 상기 바이어스 전극은 몰리브덴(Mo)을 재질로 하는 것을 특징으로 하는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 바이어스 전극은 상기 측정 전극과 동일한 패턴으로 형성되고,
    상기 바이어스 전극은 상기 측정 전극의 상방에 위치하는 것을 특징으로 하는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 측정 전극과 상기 그라운드 전극은 세라믹층의 내부에 형성되고,
    상기 바이어스 전극은 상기 세라믹층의 표면에 형성되는 것을 특징으로 하는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 측정 전극과 상기 그라운드 전극은 몰리브덴(Mo)을 재질로 하고,
    상기 바이어스 전극은 백금(Pt)을 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 감지부는,
    상기 측정 전극, 상기 그라운드 전극 및 상기 바이어스 전극가 형성된 레이어의 하부에 배치되는 레이어에는 상기 감지부을 승온시키는 히터가 패터닝되고,
    상기 히터가 형성된 레이어의 하부 레이어에는 상기 히터의 온도를 측정하는 온도센서가 설치되는 것을 특징으로 하는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서.
  9. 제1항에 있어서,
    통형(筒形)으로 형성되고 둘레를 따라 상향 경사지게 그 외부로부터 내부로 관통되는 유입홀이 둘레를 따라 간격을 두고 형성되는 보호튜브가 상기 하우징의 하단에 체결되고,
    상기 배기파이프를 유동하는 배기가스는 상기 유입홀을 통하여 상기 감지부로 유동하는 것을 특징으로 하는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 유입홀은 상기 보호튜브의 길이방향을 따라 복수의 열로 배치되는 것을 특징으로 하는 바이어스 전압을 인가할 수 있는 입자상 물질 센서.

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