KR101755469B1 - 미세 물질 측정 센서 - Google Patents

미세 물질 측정 센서 Download PDF

Info

Publication number
KR101755469B1
KR101755469B1 KR1020150174465A KR20150174465A KR101755469B1 KR 101755469 B1 KR101755469 B1 KR 101755469B1 KR 1020150174465 A KR1020150174465 A KR 1020150174465A KR 20150174465 A KR20150174465 A KR 20150174465A KR 101755469 B1 KR101755469 B1 KR 101755469B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
substrate
temperature sensor
heater electrode
concave portion
Prior art date
Application number
KR1020150174465A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170067607A (ko
Inventor
김동구
양상혁
Original Assignee
현대자동차 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대자동차 주식회사 filed Critical 현대자동차 주식회사
Priority to KR1020150174465A priority Critical patent/KR101755469B1/ko
Priority to US15/178,215 priority patent/US20170160179A1/en
Priority to DE102016214349.2A priority patent/DE102016214349A1/de
Publication of KR20170067607A publication Critical patent/KR20170067607A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101755469B1 publication Critical patent/KR101755469B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/043—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a granular material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/0656—Investigating concentration of particle suspensions using electric, e.g. electrostatic methods or magnetic methods
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
    • F01N11/00—Monitoring or diagnostic devices for exhaust-gas treatment apparatus, e.g. for catalytic activity
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
    • F01N11/00—Monitoring or diagnostic devices for exhaust-gas treatment apparatus, e.g. for catalytic activity
    • F01N11/002—Monitoring or diagnostic devices for exhaust-gas treatment apparatus, e.g. for catalytic activity the diagnostic devices measuring or estimating temperature or pressure in, or downstream of the exhaust apparatus
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00—Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M15/00—Testing of engines
    • G01M15/04—Testing internal-combustion engines
    • G01M15/10—Testing internal-combustion engines by monitoring exhaust gases or combustion flame
    • G01M15/102—Testing internal-combustion engines by monitoring exhaust gases or combustion flame by monitoring exhaust gases
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/045—Circuits
    • G01N27/046—Circuits provided with temperature compensation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
    • F01N2560/00—Exhaust systems with means for detecting or measuring exhaust gas components or characteristics
    • F01N2560/05—Exhaust systems with means for detecting or measuring exhaust gas components or characteristics the means being a particulate sensor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
    • F01N2560/00—Exhaust systems with means for detecting or measuring exhaust gas components or characteristics
    • F01N2560/06—Exhaust systems with means for detecting or measuring exhaust gas components or characteristics the means being a temperature sensor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
    • G01N2015/0046—Investigating dispersion of solids in gas, e.g. smoke

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서는 실리콘으로 이루어진 기판 및 상기 기판 위에 서로 이격되어 위치하는 온도 센서, 히터 전극 및 측정 전극을 포함한다.

Description

미세 물질 측정 센서{PARTICLEATE MATTER DETECTION SENSOR}
본 발명은 미세 물질 측정 센서에 관한 것이다.
디젤 엔진을 사용하는 차량에는 배기 가스 중 미세 물질(Particulate Matter, PM)을 처리하기 위한 장치로 DPF(Diesel Particulate Filter)가 설치되어 있다.
DPF(Diesel Particulate Filter)는 배기 가스 중 미세 물질을 포집하고, 포집한 미세 물질에 열을 가하여 제거한다. 이러한 미세 물질의 포집 및 제거는 미세 물질 측정 센서를 사용한다.
일반적인 미세 물질 측정 센서는 온도 조절 기능, 가열 기능, 측정 기능을 하는 구조물이 각각 적층되어 있는 다층 구조로 이루어져 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 미세 물질 측정 센서의 구조를 단순화하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서는 실리콘으로 이루어진 기판 및 상기 기판 위에 서로 이격되어 위치하는 온도 센서, 히터 전극 및 측정 전극을 포함한다.
상기 온도 센서는 상기 기판의 가장자리에 위치하며, 상기 히터 전극을 둘러싸고 있을 수 있다.
상기 측정 전극은 상기 온도 센서 및 상기 히터 전극 위에 위치할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 온도 센서 및 상기 히터 전극 위에 위치하는 절연막을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서는 상기 절연막 위에 위치하는 높이 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 측정 전극은 상기 높이 부재 위에 위치할 수 있다.
상기 기판은 제1 오목부, 제2 오목부 및 볼록부를 포함할 수 있다.
상기 제1 오목부는 상기 기판의 가장자리에 위치하며, 상기 제2 오목무를 둘러싸고 있을 수 있다.
상기 볼록부는 상기 제1 오목부 및 상기 제2 오목부 사이와 상기 제2 오목부들 사이에 위치할 수 있다.
상기 온도 센서는 상기 제1 오목부에 위치하고, 상기 히터 전극은 상기 제2 오목부에 위치하고, 상기 측정 전극은 상기 볼록부에 위치할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 실시예에 따르면, 미세 물질 측정 센서는 하나의 기판 위에 온도 센서, 히터 전극 및 측정 전극이 위치하고 있으므로, 미세 물질 측정 센서의 구조가 단순화되고, 퇴적된 미세 물질을 제거하기 위해, 800℃ 이상으로 가열할 필요가 없기 때문에 종래의 기판보다 저가인 실리콘으로 기판을 사용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서를 간략하게 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 절단선 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 자른 단면의 일 예를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서를 간략하게 도시한 도면이다.
도 4는 도 2의 절단선 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 자른 단면의 일 예를 도시한 도면이다.
첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서는 차량 배기 가스 정화 장치인 DPF(Diesel Particulate Filter)의 후단에 설치되어 DPF에 퇴적되는 미세 물질(Particulate Matter, PM)의 양을 측정하고, 측정된 미세 물질의 양이 기준치 이상일 경우, 퇴적된 미세 물질을 제거한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서를 간략하게 도시한 도면이다. 도 2는 도 1의 절단선 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 자른 단면의 일 예를 도시한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서(100)은 기판(110), 온도 센서(120), 히터 전극(130), 측정 전극(160)을 포함한다. 측정 전극(160) 위로 배기 가스가 지나간다.
기판(110)은 실리콘(Silicon)으로 이루어질 수 있다.
온도 센서(120) 및 히터 전극(130)은 기판(110) 위에 위치하며 서로 이격되어 있다. 온도 센서(120)는 기판(110)의 가장자리 부분에 위치하고, 히터 전극(130)을 둘러싸고 있다.
온도 센서(120), 히터 전극(130) 및 기판(110) 위에 절연막(140)이 위치하고, 절연막(140) 위에 높이 부재(150)가 위치하고, 높이 부재(150) 위에 측정 전극(160)이 위치한다. 높이 부재(150)는 온도 센서(120)와 히터 전극(130) 위에 위치한다. 높이 부재(150)는 온도 센서(120)와 히트 전극(130) 사이에 대응하는 부분 및 히트 전극(130)에 대응하는 부분에 위치한다. 즉, 높이 부재(150)는 히트 전극(130)과 중첩한다. 이에, 높이 부재(150) 위에 위치한 측정 전극(160)도 히터 전극(130)과 중첩한다. 또한, 이에 한정하지 않고, 높이 부재(150)와 측정 전극(160)은 히터 전극(130)과 중첩하지 않을 수도 있다.
측정 전극(160)은 서로 이격되어 있는 복수의 전극을 포함하고, 각 전극은 복수의 가지 전극을 가지는 빗 형상을 가진다. 하나의 전극의 가지 전극은 다른 하나의 전극의 가지 전극과 서로 교대로 배치되어 있다. 여기서, 높이 부재(150)은 복수의 전극 사이에 미세 물질이 퇴적할 수 있는 공간을 확보하는 역할을 한다.
측정 전극(160) 위로 배기 가스가 지나가면, 측정 전극(160) 위에 미세 물질이 퇴적하게 된다. 이 때, 미세 물질은 측정 전극(160) 및 측정 전극(160)을 이루는 복수의 전극 사이에 퇴적된다. 퇴적된 미세 물질의 양에 따라 복수의 전극 사이의 저항 또는 정전 용량이 변화한다. 이러한 복수의 전극 사이의 저항 또는 정전 용량의 변화를 측정하여 미세 물질의 양을 측정한다.
측정된 미세 물질의 양이 기준치를 초과하면, 히터 전극(130)을 사용하여 퇴적된 미세 물질에 열을 가해 퇴적된 미세 물질을 제거한다. 일반적으로 퇴적된 미세 물질을 제거하기 위한 온도는 약 650℃ 정도이며, 온도 센서(120)에서 이러한 온도를 제어한다.
종래의 경우, 미세 물질 측정 센서는 히터 전극이 위치한 기판, 온도 센서가 위치한 기판 및 측정 전극이 위치한 기판이 차례로 적층된 구조를 가진다. 이러한 구조로 인하여, 히터 전극과 측정 전극 사이에는 두 개의 기판이 위치하게 된다. 이에, 퇴적된 미세 물질을 제거하기 위해, 일반적인 퇴적된 미세 물질을 제거하기 위한 온도인 650℃ 보다 더 높은 온도인 800℃ 이상으로 가열해야 한다. 이에 따라, 기판 또한 800℃ 이상의 고온에 견딜 수 있는 기판을 사용해야 한다.
하지만, 본 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서(100)는 하나의 기판(110) 위에 온도 센서(120), 히터 전극(130) 및 측정 전극(160)이 위치하고 있으므로, 퇴적된 미세 물질을 제거하기 위해, 800℃ 이상으로 가열할 필요가 없다. 이에 따라, 종래의 기판보다 저가인 실리콘으로 기판(110)을 사용할 수 있다.
또한, 하나의 기판(110) 위에 온도 센서(120), 히터 전극(130) 및 측정 전극(160)가 위치함에 따라 미세 물질 측정 센서(100)의 구조가 단순화될 수 있다.
그러면, 도 3 및 도 4를 참고하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서에 대해 설명한다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서를 간략하게 도시한 도면이다. 도 4는 도 2의 절단선 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 자른 단면의 일 예를 도시한 도면이다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 본 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서(200)는 기판(210), 기판(210) 위에 위치한 온도 센서(220), 히터 전극(230) 및 측정 전극(240)을 포함한다.
기판(210)은 실리콘으로 이루어져 있으며, 제1 오목부(211), 제2 오목부(212) 및 볼록부(213)를 포함한다. 제1 오목부(211)는 기판(210)의 가장자리를 둘러싸며 위치하고, 제2 오목부(212)는 제1 오목부(211) 사이에 위치한다. 즉, 제1 오목부(211)는 제2 오목부(212)를 둘러싸고 있다. 제1 오목부(211)와 제2 오목부(212) 사이에는 볼록부(213)가 위치한다. 또한, 제2 오목부(212)들 사이에도 볼록부(213)가 위치한다.
제1 오목부(211)에는 온도 센서(220)가 위치하고, 제2 오목부(212)에는 히터 전극(230)이 위치한다. 또한, 볼록부(213)에는 측정 전극(240)이 위치한다. 온도 센서(220), 히터 전극(230) 및 측정 전극(240)은 볼록부(213)에 의해 서로 이격되어 있다.
온도 센서(220), 히터 전극(230) 및 측정 전극(240)의 구조 및 역할은 도 2에 따른 미세 물질 측정 센서의 온도 센서, 히터 전극 및 측정 전극의 구조 및 역할과 동일하다. 이에, 온도 센서(220), 히터 전극(230) 및 측정 전극(240)의 설명은 생략한다.
이와 같이, 본 실시예에 따른 미세 물질 측정 센서(200)는 하나의 기판(210) 위에 온도 센서(220), 히터 전극(230) 및 측정 전극(240)이 위치하고 있으므로, 미세 물질 측정 센서(200)의 구조가 단순화되고, 퇴적된 미세 물질을 제거하기 위해, 800℃ 이상으로 가열할 필요가 없기 때문에 종래의 기판보다 저가인 실리콘으로 기판(210)을 사용할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100, 200: 미세 물질 측정 센서
110, 210: 기판 120, 220: 온도 센서
130, 230: 히터 전극 160, 240: 측정 전극
140: 절연막 150: 높이 부재
211, 212: 제1 및 제2 오목부
213: 볼록부

Claims (10)

  1. 실리콘으로 이루어진 기판,
    상기 기판 위에 서로 이격되어 위치하는 온도 센서 및 히터 전극
    상기 온도 센서 및 상기 히터 전극 위에 위치하는 절연막, 그리고
    상기 절연막 위에 위치하는 측정 전극을 포함하고,
    상기 온도 센서는 상기 기판의 가장자리에 위치하며, 상기 히터 전극을 둘러싸고 있는 미세 물질 측정 센서.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에서,
    상기 절연막과 상기 측정 전극 사이에 위치하는 높이 부재를 더 포함하는 미세 물질 측정 센서.
  6. 삭제
  7. 실리콘으로 이루어져 있고, 제1 오목부, 제2 오목부, 그리고 상기 제1 오목부 및 상기 제2 오목부 사이에 위치하는 볼록부를 포함하는 기판,
    상기 제1 오목부 내에 위치하는 온도 센서,
    상기 제2 오목부 내에 위치하는 히터 전극, 그리고
    상기 볼록부 위에 위치하는 측정 전극를 포함하고,
    상기 제1 오목부는 상기 기판의 가장자리에 위치하며, 상기 제2 오목부를 둘러싸고 있는 미세 물질 측정 센서.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
KR1020150174465A 2015-12-08 2015-12-08 미세 물질 측정 센서 KR101755469B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150174465A KR101755469B1 (ko) 2015-12-08 2015-12-08 미세 물질 측정 센서
US15/178,215 US20170160179A1 (en) 2015-12-08 2016-06-09 Particulate matter sensor
DE102016214349.2A DE102016214349A1 (de) 2015-12-08 2016-08-03 Feinstaubsensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150174465A KR101755469B1 (ko) 2015-12-08 2015-12-08 미세 물질 측정 센서

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170067607A KR20170067607A (ko) 2017-06-16
KR101755469B1 true KR101755469B1 (ko) 2017-07-07

Family

ID=58722521

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150174465A KR101755469B1 (ko) 2015-12-08 2015-12-08 미세 물질 측정 센서

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20170160179A1 (ko)
KR (1) KR101755469B1 (ko)
DE (1) DE102016214349A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190081172A (ko) * 2017-12-29 2019-07-09 현대자동차주식회사 세라믹 입자상 물질 센서의 센서 소자 및 그 제조방법

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6441161B2 (ja) * 2015-04-28 2018-12-19 株式会社デンソー 粒子状物質検出センサ
KR102417385B1 (ko) 2017-12-18 2022-07-06 현대자동차주식회사 급속냉각 방식 pm 센서 및 차량

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011247650A (ja) * 2010-05-24 2011-12-08 Denso Corp 粒子状物質検出センサ、及び粒子状物質検出センサユニット
JP2012012960A (ja) 2010-06-29 2012-01-19 Nippon Soken Inc 粒子状物質検出センサ
JP2012159438A (ja) * 2011-02-01 2012-08-23 Toyota Motor Corp Ｐｍセンサの故障検出装置
JP2013011605A (ja) * 2011-06-29 2013-01-17 Delphi Technologies Inc 粒子状物質センサにおける汚染の識別特性を検出診断するための方法及びシステム

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5846708A (en) * 1991-11-19 1998-12-08 Massachusetts Institiute Of Technology Optical and electrical methods and apparatus for molecule detection
US5731584A (en) * 1995-07-14 1998-03-24 Imec Vzw Position sensitive particle sensor and manufacturing method therefor
US6634210B1 (en) * 2002-04-17 2003-10-21 Delphi Technologies, Inc. Particulate sensor system
DE10241450A1 (de) * 2002-09-06 2004-03-18 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Bauteils mit einem Sensorelement, insbesondere eines Verformungssensors
US20080190173A1 (en) * 2005-04-20 2008-08-14 Heraeus Sensor Technology Gmbh Soot Sensor
ES2307430B1 (es) * 2007-05-09 2009-10-20 Consejo Superior De Investigaciones Cientificas Biosensor y sus aplicaciones.
US20090056416A1 (en) * 2007-08-30 2009-03-05 Nair Balakrishnan G Ceramic Particulate Matter Sensor With Low Electrical Leakage
US7609068B2 (en) * 2007-10-04 2009-10-27 Delphi Technologies, Inc. System and method for particulate sensor diagnostic
DE102008047369A1 (de) * 2008-09-15 2010-04-15 Heraeus Sensor Technology Gmbh Epitaktischer Rußsensor
US8225640B2 (en) * 2008-12-11 2012-07-24 Delphi Technologies, Inc. Soot sensor and method for sensing soot
DE102009049669A1 (de) * 2009-10-16 2011-04-21 Continental Automotive Gmbh Verfahren zur Zustandsbewertung eines Rußsensors in einem Kraftfahrzeug
DE102010011639A1 (de) * 2010-03-16 2011-09-22 Continental Automotive Gmbh Rußsensor, Herstellungsverfahren eines Rußsensors sowie Betriebsverfahren eines Rußsensors
JP2012083210A (ja) * 2010-10-12 2012-04-26 Denso Corp 粒子状物質検出センサ
JP5201194B2 (ja) * 2010-10-28 2013-06-05 株式会社デンソー 粒子状物質検出装置及び粒子状物質検出素子の製造方法
CN103261886B (zh) * 2010-11-19 2015-08-19 韩国生产技术研究院 使用胶体纳米颗粒的用于防止生物膜形成的基板及其制备方法
DE102011016490A1 (de) * 2011-04-08 2012-10-11 Continental Automotive Gmbh Sensorvorrichtung zum Erfassen einer Gaskonzentration und einer Partikelkonzentration eines Abgases
US8627645B2 (en) * 2011-05-25 2014-01-14 Ford Global Technologies, Llc Emission control with a particulate matter sensor
US9389163B2 (en) * 2011-05-26 2016-07-12 Stoneridge, Inc. Soot sensor system
EP2752658B1 (en) * 2011-08-29 2016-09-28 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Microparticle sensor and method for manufacturing microparticle sensor
KR101305198B1 (ko) * 2011-12-09 2013-09-26 현대자동차주식회사 입자상물질 센서유닛
DE102012210525A1 (de) * 2012-06-21 2013-12-24 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Funktionskontrolle eines Sensors zur Detektion von Teilchen und Sensor zur Detektion von Teilchen
DE102012217667A1 (de) * 2012-09-27 2014-03-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Heizelements für einen Sensor zur Detektion von Teilchen
KR101461873B1 (ko) * 2012-10-25 2014-11-20 현대자동차 주식회사 입자상물질 센서유닛
DE102013202980A1 (de) * 2013-02-22 2014-08-28 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Regeneration eines Partikelsensors
DE102013110291A1 (de) * 2013-03-06 2014-09-11 Heraeus Sensor Technology Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Rußsensors mit einem Laserstrahl
KR101500373B1 (ko) * 2013-07-18 2015-03-09 현대자동차 주식회사 입자상 물질 센서유닛
WO2015073596A1 (en) * 2013-11-13 2015-05-21 Stoneridge, Inc. Soot sensor system
US9671380B2 (en) * 2014-10-02 2017-06-06 Delphi Technologies, Inc. Method for diagnosing particulate matter sensor deterioration
KR20160149898A (ko) * 2015-06-19 2016-12-28 현대자동차주식회사 입자상 물질 센서

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011247650A (ja) * 2010-05-24 2011-12-08 Denso Corp 粒子状物質検出センサ、及び粒子状物質検出センサユニット
JP2012012960A (ja) 2010-06-29 2012-01-19 Nippon Soken Inc 粒子状物質検出センサ
JP2012159438A (ja) * 2011-02-01 2012-08-23 Toyota Motor Corp Ｐｍセンサの故障検出装置
JP2013011605A (ja) * 2011-06-29 2013-01-17 Delphi Technologies Inc 粒子状物質センサにおける汚染の識別特性を検出診断するための方法及びシステム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190081172A (ko) * 2017-12-29 2019-07-09 현대자동차주식회사 세라믹 입자상 물질 센서의 센서 소자 및 그 제조방법
KR102463460B1 (ko) * 2017-12-29 2022-11-04 현대자동차주식회사 세라믹 입자상 물질 센서의 센서 소자 및 그 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170067607A (ko) 2017-06-16
DE102016214349A1 (de) 2017-06-08
US20170160179A1 (en) 2017-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101755469B1 (ko) 미세 물질 측정 센서
US9523632B2 (en) Particulate matter sensor and method for manufacturing particulate matter sensor
US8030086B2 (en) Method, particle sensor and particle sensor system for measuring particles
US8707761B2 (en) Particulate matter detection element
JP5565005B2 (ja) Ｄｐｆ故障検出方法及びｄｐｆ故障検出装置
US20170363530A1 (en) Sensor for detecting electrically conductive and/or polarizable particles, sensor system, method for operating a sensor, method for producing a sensor of this type and use of a sensor of this type
US9097151B2 (en) Method and device for measuring the soot load in the exhaust gas systems of diesel engines
US10208643B2 (en) Particulate matter detection apparatus
US10364730B2 (en) Sensor
JP6626901B2 (ja) 粒子状物質の測定装置用部品およびその製造方法
CN104685340A (zh) 用于探测微粒的传感器
JP2015021961A (ja) 粒子状物質センサユニット
JP6421617B2 (ja) 粒子状物質検出センサ及び粒子状物質検出装置
CN106104235B (zh) 陶瓷载体、传感器元件、加热元件、传感器模块及其制备
KR101991265B1 (ko) 입자상 물질 센서
JP6745354B2 (ja) 粒子状物質センサー
JP2008018388A (ja) 電極付ハニカム構造体
JP6920451B2 (ja) 測定装置用部品
JP2017511492A (ja) センサー素子、センサーモジュール、測定アセンブリー、及びこの種のセンサー素子を備えた排ガス再循環システム、及びその製造方法
JP6466002B2 (ja) 粒子状物質センサ及びこれを含む排気ガス浄化システム
EP3444598B1 (en) Particulate matter sensor
WO2017115617A1 (ja) 粒子状物質の測定装置用部品
KR101761185B1 (ko) 입자상 물질 센서
JP6435198B2 (ja) 粒子状物質検出センサ
US10914668B2 (en) Sensor for detecting particles

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant