JP2015020226A - 切削ブレード先端形状検出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明では、凹凸検出ステップで検出された凹凸の差が許容値を超えた際に報知する報知ステップを実施することにより、適切なタイミングで切削ブレードのフラットドレスやブレード交換を行うことができ、被加工物の加工品質が悪化するのを防ぐことができる。
図1に示すように、切削手段1によって保持テーブル4に保持されるウェーハWを切削する。ウェーハWは、被加工物の一例であって、特に限定されるものではなく、例えばテスト用のダミーウェーハを使用することができる。ウェーハWの上面Waは、切削手段1によって切削される面となっており、ウェーハWの上面Waと反対側にある裏面が保持テーブル4に保持される下面Wbとなっている。切削手段1は、回転可能なスピンドル2と、スピンドル2の先端に装着された切削ブレード3と、を少なくとも備えており、スピンドル2が回転することにより切削ブレード3を所定の回転速度で回転させることができる。
切削ブレードで形成された切削痕の溝底には切削ブレードの先端形状が転写されるため、ウェーハWを切削する際に切削ブレード3の先端に偏磨耗が発生していると、切削痕30の底部31が切削ブレードの先端形状に対応した凹凸状に形成される。そのため、切削痕形成ステップを実施した後、図3に示す凹凸検出手段10によって切削痕30の凹凸を検出する。
凹凸検出ステップで検出した切削痕30の凹凸の差ΔHが、あらかじめ設定された凹凸の差の許容値を超えた場合には、切削ブレード3の先端形状に偏磨耗が発生していると判断し、例えば切削装置に備えたディスプレイに偏磨耗が生じている旨を表示させたり警報音を鳴らすなどして作業者に報知する。報知があった場合には、図示していないドレスボードに回転する切削ブレード3を切り込ませてフラットドレスを行う。また、切削ブレード3の偏磨耗の程度によっては、新品の切削ブレードに交換してもよい。このようにして切削ブレードの先端形状を検出する一連の処理を終了する。
また、凹凸検出ステップで検出された凹凸の差が許容値を超えた際に報知する報知ステップを実施することにより、適切なタイミングで切削ブレード3のフラットドレスやブレード交換を行うことができ、ウェーハWの加工品質が悪化することを防ぐことができる。
5:フレーム載置部 6:クランプ部
10:凹凸検出手段 11:投光素子 12:帯状レーザービーム形成手段
13:受光レンズ 14:受光素子 15:帯状レーザービーム 16:反射光
20:切り残し部 30:切削痕 31:底部 32:凸部
W:ウェーハ Wa:上面 Wb:下面 T:テープ F:フレーム
Claims (2)
- 切削ブレードの先端形状を検出する切削ブレード先端形状検出方法であって、
被加工物の厚み方向に切り残し部が形成されるように所定幅を有する切削ブレードで被加工物を切削して該切削ブレードの幅に対応する幅を有する切削痕を形成する切削痕形成ステップと、
該切削痕の幅方向に伸長する帯状レーザービームを該切削痕に照射し、該切削痕の底で反射した反射光をもとに該底の凹凸を検出する凹凸検出ステップと、を備え、
該凹凸検出ステップで検出された該切削痕の該底の凹凸を該切削ブレードの先端形状とする切削ブレード先端形状検出方法。 - 前記凹凸検出ステップで検出された凹凸の差が許容値を超えた際に報知する報知ステップを備えた請求項1に記載の切削ブレード先端形状検出方法。
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