JP5384174B2 - 切削ブレード先端形状検出方法 - Google Patents
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4 半導体ウエーハ
6 デバイス
12 外周余剰領域
14 切削溝
16 チャックテーブル
18,20,24 検出用溝
Claims (3)
- 回転しつつ被加工物に切り込むことで被加工物を切削する円盤状の切削ブレードの先端形状を検出する切削ブレード先端形状検出方法であって、
切削ブレードで被加工物の一部を切削して、少なくとも一端が行き止まりの検出用溝を形成する検出用溝形成ステップと、
該検出用溝の前記一端を撮像手段で撮像して撮像画像を取得する撮像ステップと、
該撮像画像から該切削ブレードの先端形状を検出する検出ステップと、
正常に磨耗した状態の切削ブレードの先端形状を記憶手段で記憶する記憶ステップと、
前記検出ステップで検出された切削ブレードの先端形状と、該記憶ステップで記憶された切削ブレードの先端形状とを比較して切削ブレードの交換の要否を判別する判別ステップと、
を備えたことを特徴とする切削ブレード先端形状検出方法。 - 前記検出用溝は、所定の高さに位置づけられた前記切削ブレードに対して被加工物を相対的に水平方向に移動させることで、該切削ブレードが被加工物の外周から切り込むことで形成される請求項1記載の切削ブレード先端形状検出方法。
- 前記検出用溝は、前記切削ブレードと被加工物とを垂直方向において互いに近づく方向に相対的に移動させることで、該切削ブレードが被加工物の被加工面に切り込むことで形成される請求項1又は2に記載の切削ブレード先端形状検出方法。
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