JP6648398B2 - ブレード診断方法、ブレード診断装置、ブレード先端形状算出方法及びブレード先端形状算出装置 - Google Patents
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- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 title claims description 23
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 18
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 8
- 238000002405 diagnostic procedure Methods 0.000 claims description 2
- 244000309466 calf Species 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- ZLHLYESIHSHXGM-UHFFFAOYSA-N 4,6-dimethyl-1h-imidazo[1,2-a]purin-9-one Chemical compound N=1C(C)=CN(C2=O)C=1N(C)C1=C2NC=N1 ZLHLYESIHSHXGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Images
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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Description
図1は、本実施形態に係るブレード診断装置を含むダイシング装置1の外観を示す斜視図である。ダイシング装置1は、互いに対向配置され、先端に円盤状のブレード21とホイールカバー(不図示)が取り付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル22、22、ダイシング加工される平板状の半導体ウェーハW(ワークの一例)の表面を撮像するカメラ23、ワークWをXY平面に平行な面に吸着保持するワークテーブル31を有する加工部2、加工済みの半導体ウェーハWをスピン洗浄する洗浄部52、多数枚の半導体ウェーハWを収納したカセットを載置するロードポート51、半導体ウェーハWを搬送する搬送手段53、及びダイシング装置1の架台内部に組み込まれ、各部の動作を統括制御するコントローラ10等から構成されている。
図3は、ダイシング装置1のうちブレード診断装置に係るシステム構成を示すブロック図である。ダイシング装置1は、前述のブレード21、スピンドル22、カメラ23、ワークテーブル31、Zテーブル43を含む加工部2、及びコントローラ10等を備えている。
次に、ダイシング装置1に用いるブレード21の異常を検出するためのブレード診断方法について説明する。図4は、ブレード診断方法の処理を示すフローチャートである。
Claims (4)
- ブレードでワークに形成された溝の中心から幅方向に所定距離だけ離れた位置における前記溝の幅方向に直交する方向の長さに基づいて、前記ブレードの中心から厚み方向に前記所定距離だけ離れた位置における前記ブレードの端部の位置を算出して前記ブレードの先端形状を算出する算出工程と、
前記ブレードの先端形状に基づいて前記ブレードの異常の有無を診断する診断工程と、
を有する、ブレード診断方法。 - ブレードでワークに形成された溝の中心から幅方向に所定距離だけ離れた位置における前記溝の幅方向に直交する方向の長さに基づいて、前記ブレードの中心から厚み方向に前記所定距離だけ離れた位置における前記ブレードの端部の位置を算出して前記ブレードの先端形状を算出する算出部と、
前記ブレードの先端形状に基づいて前記ブレードの異常の有無を診断する診断部と、
を有する、ブレード診断装置。 - ブレードでワークに形成された溝の中心から幅方向に所定距離だけ離れた位置における前記溝の幅方向に直交する方向の長さに基づいて、前記ブレードの中心から厚み方向に前記所定距離だけ離れた位置における前記ブレードの端部の位置を算出して前記ブレードの先端形状を算出する算出工程を有する、
ブレード先端形状算出方法。 - ブレードでワークに形成された溝の中心から幅方向に所定距離だけ離れた位置における前記溝の幅方向に直交する方向の長さに基づいて、前記ブレードの中心から厚み方向に前記所定距離だけ離れた位置における前記ブレードの端部の位置を算出して前記ブレードの先端形状を算出する算出部を有する、
ブレード先端形状算出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018168976A JP6648398B2 (ja) | 2018-09-10 | 2018-09-10 | ブレード診断方法、ブレード診断装置、ブレード先端形状算出方法及びブレード先端形状算出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018168976A JP6648398B2 (ja) | 2018-09-10 | 2018-09-10 | ブレード診断方法、ブレード診断装置、ブレード先端形状算出方法及びブレード先端形状算出装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016051840A Division JP6402734B2 (ja) | 2016-03-16 | 2016-03-16 | ダイシング装置、ブレード診断装置、ブレード診断方法及びプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018201043A JP2018201043A (ja) | 2018-12-20 |
JP6648398B2 true JP6648398B2 (ja) | 2020-02-14 |
Family
ID=64667390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018168976A Active JP6648398B2 (ja) | 2018-09-10 | 2018-09-10 | ブレード診断方法、ブレード診断装置、ブレード先端形状算出方法及びブレード先端形状算出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6648398B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021084200A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 株式会社東京精密 | ワーク加工装置及びワーク加工装置の制御方法 |
JP2021084201A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 株式会社東京精密 | ワーク加工装置、ワーク加工装置の制御方法、及びサーバ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4879012B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2012-02-15 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの先端形状検査方法 |
JP5384174B2 (ja) * | 2009-04-06 | 2014-01-08 | 株式会社ディスコ | 切削ブレード先端形状検出方法 |
JP5717575B2 (ja) * | 2011-07-28 | 2015-05-13 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの外径サイズ検出方法 |
JP5757831B2 (ja) * | 2011-09-14 | 2015-08-05 | 株式会社ディスコ | 切削ブレード先端形状検出方法 |
JP5919002B2 (ja) * | 2012-01-20 | 2016-05-18 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6139325B2 (ja) * | 2013-08-07 | 2017-05-31 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの摩耗検査方法 |
JP6259653B2 (ja) * | 2013-12-17 | 2018-01-10 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの形状検出方法 |
JP2015214002A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | 切削方法 |
JP6498486B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2019-04-10 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6562725B2 (ja) * | 2015-06-10 | 2019-08-21 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
-
2018
- 2018-09-10 JP JP2018168976A patent/JP6648398B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018201043A (ja) | 2018-12-20 |
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