JP5717575B2 - 切削ブレードの外径サイズ検出方法 - Google Patents
切削ブレードの外径サイズ検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5717575B2 JP5717575B2 JP2011165254A JP2011165254A JP5717575B2 JP 5717575 B2 JP5717575 B2 JP 5717575B2 JP 2011165254 A JP2011165254 A JP 2011165254A JP 2011165254 A JP2011165254 A JP 2011165254A JP 5717575 B2 JP5717575 B2 JP 5717575B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- outer diameter
- diameter size
- workpiece
- detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 173
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 46
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 18
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Dicing (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
ra2=(1/2×Da)2+Z12 ・・・・・・・・・(式1)
2ra=2(1/4×Da2+Z12)1/2 ・・・・・・(式2)
Z3<ra ・・・・(式3)
25 マルチブレード25
26 スピンドル
26a フランジ
28A 切削ブレード
51 外径サイズ検出用被加工物
52A 切削痕
Claims (3)
- スピンドルと該スピンドルの軸心方向に並んで装着された複数の切削ブレードとを含む切削手段を少なくとも備えた切削装置において、複数の切削ブレードの外径サイズをそれぞれ検出する切削ブレードの外径サイズ検出方法であって、
外径サイズ検出用被加工物の上方から該切削手段を下降させて所定高さに位置付けることで該外径サイズ検出用被加工物に複数の該切削ブレードを切り込ませ、該外径サイズ検出用被加工物に複数の切削痕を形成する切削痕形成ステップと、
該切削痕形成ステップを実施した後、複数の該切削痕を撮像して該各切削痕の長さを検出する長さ検出ステップと、
該長さ検出ステップを実施した後、該長さ検出ステップで検出した該各切削痕の長さと該スピンドルの軸心高さ位置から該外径サイズ検出用被加工物の上面高さ位置までの距離とから該各切削ブレードの外径サイズをそれぞれ算出する外径サイズ算出ステップと、
を備えたことを特徴とする切削ブレードの外径サイズ検出方法。 - 前記外径サイズ検出用被加工物は、複数の交差する分割予定ラインで区画された複数のチップ領域を有し、
前記切削痕形成ステップでは、該チップ領域とは異なる領域に前記切削ブレードが切り込み、複数の前記切削痕を形成する、
ことを特徴とする請求項1に記載の切削ブレードの外径サイズ検出方法。 - 前記外径サイズ算出ステップで算出された前記各切削ブレードの外径サイズの差が所定値を超えるか否かを判定する判定ステップをさらに備える、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の切削ブレードの外径サイズ検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011165254A JP5717575B2 (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 切削ブレードの外径サイズ検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011165254A JP5717575B2 (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 切削ブレードの外径サイズ検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013027949A JP2013027949A (ja) | 2013-02-07 |
JP5717575B2 true JP5717575B2 (ja) | 2015-05-13 |
Family
ID=47785520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011165254A Active JP5717575B2 (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 切削ブレードの外径サイズ検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5717575B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6246566B2 (ja) * | 2013-11-11 | 2017-12-13 | 株式会社ディスコ | ドレス方法 |
JP6228044B2 (ja) | 2014-03-10 | 2017-11-08 | 株式会社ディスコ | 板状物の加工方法 |
JP2016192494A (ja) | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
JP6457327B2 (ja) * | 2015-04-28 | 2019-01-23 | 株式会社ディスコ | セットアップ方法 |
JP6464028B2 (ja) * | 2015-05-11 | 2019-02-06 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの外径サイズ検出方法 |
JP6883966B2 (ja) * | 2016-09-29 | 2021-06-09 | 三井精機工業株式会社 | 砥石径の推定方法及びそれを用いた工作機械 |
KR102571055B1 (ko) * | 2017-08-21 | 2023-08-30 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 스크라이빙 방법 및 스크라이빙 장치 |
JP6648398B2 (ja) * | 2018-09-10 | 2020-02-14 | 株式会社東京精密 | ブレード診断方法、ブレード診断装置、ブレード先端形状算出方法及びブレード先端形状算出装置 |
-
2011
- 2011-07-28 JP JP2011165254A patent/JP5717575B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013027949A (ja) | 2013-02-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5717575B2 (ja) | 切削ブレードの外径サイズ検出方法 | |
CN105321880B (zh) | 晶片的加工方法 | |
JP6422388B2 (ja) | 切削溝の形成方法 | |
US9418908B2 (en) | Wafer processing method | |
JP5122880B2 (ja) | レーザー加工装置のアライメント方法 | |
US9779994B2 (en) | Wafer processing method | |
JP6215730B2 (ja) | 加工装置におけるウエーハの中心検出方法 | |
JP2016207808A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
TWI738816B (zh) | 被加工物之切削方法 | |
JP6289980B2 (ja) | 加工方法 | |
KR20150105915A (ko) | 판형물의 가공 방법 | |
JP6464028B2 (ja) | 切削ブレードの外径サイズ検出方法 | |
JP2012151225A (ja) | 切削溝の計測方法 | |
JP4554265B2 (ja) | 切削ブレードの位置ずれ検出方法 | |
JP5991890B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP6229883B2 (ja) | ダイシング装置及びその切削方法 | |
JP6648398B2 (ja) | ブレード診断方法、ブレード診断装置、ブレード先端形状算出方法及びブレード先端形状算出装置 | |
JP6302658B2 (ja) | 加工方法 | |
JP6224462B2 (ja) | レーザー加工装置における加工送り機構の作動特性検出方法およびレーザー加工装置 | |
JP2016186958A (ja) | ダイシング装置及びダイシング装置によるダイシング方法 | |
JP2008251597A (ja) | 切削装置 | |
JP7128073B2 (ja) | 加工方法 | |
JP2011218477A (ja) | 加工装置 | |
JP2014033122A (ja) | 被加工物の加工方法 | |
JP6418030B2 (ja) | カーフ深さ測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140620 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150317 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150319 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150317 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5717575 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |