JP6418030B2 - カーフ深さ測定装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態のカーフ深さ測定装置が搭載されたダイシング装置10の外観図である。
加工部20には、カメラ(幅測定部、撮像部)26が設けられる。このカメラ26は、半導体ウェーハWの表面を撮像して、半導体ウェーハWを既知のパターンマッチング法によりアライメントするための部材として、かつ、カーフの溝寸法を測定するための部材として使用される。
ダイシング装置10では、まず、複数枚の半導体ウェーハWが収納されたカセットが、不図示の搬送装置、又は手動によってロードポート12に載置される。載置されたカセットから半導体ウェーハWが取り出され、搬送装置16によってテーブル18の表面に載置される。この後、半導体ウェーハWの裏面が、テーブル18の吸着部34の表面に真空吸着保持される。これにより、半導体ウェーハWがテーブル18に保持される。
図3は、カーフ深さ測定装置50として、流量式のエアマイクロメータ52を利用した説明図である。
図4は、エアマイクロメータ52によるカーフkの深さ測定方法の原理を説明した図である。
A2=d×Pi×H+2×W2×L2…式2
なお、dは、ノズル66の内径であり既知の値である。Piは円周率である。Hは、通常のエアマイクロメータ52のギャップ測定にて設定される既知の値である。W1、W2はカーフk1、k2の幅寸法であり、ダイシング装置10のカメラ26によって得られた画像を画像処理する画像計算によって得られた既知の値である。
V12/2=V22/2
Vは流速である。
連続の法則より、〔case1〕での流量Q1、〔case2〕での流量Q2は、以下の式4、式5により算出することができる。
流量Q2=A2×V2…式5
ここで、式3、式4、式5により、以下の式6の如く、〔case1〕及び〔case2〕における、流量を断面積で除算した値は等しくなる。
エアマイクロメータ52は流量をカーフの断面積に変位換算でき、ゲージとなるカーフとの差異を見る機能を有する。
〔Case3〕のカーフ深さL3を求める場合には、
A3=d×Pi×H+2×W3×L3の式に、上記既知の値(A3、d、H、W3)を代入すれば、カーフ深さL3を得ることができる。
測定ヘッド64を移動機構部54に取り付け、半導体ウェーハWの表面に向けてノズル66から圧縮エアを噴射しながら、移動機構部78、80によって測定ヘッド64を半導体ウェーハWの表面に沿って相対的に平行移動させる。
ダイシング装置10のカメラ26及び画像処理部74を、カーフkの幅を測定する幅測定部として利用している。
Claims (3)
- ウェーハの面に備えられたカーフの深さを測定するカーフ深さ測定装置において、
前記カーフの幅を測定する幅測定部と、
前記ウェーハの前記カーフに対して離間して配置され、前記カーフに向けて圧縮エアを噴射するノズルを有する測定ヘッドと、
前記ノズルと前記カーフとの隙間から流出するエアの流量、又は流量の変化で生じる圧力変化に基づき前記カーフの断面積を算出する第1演算部と、
前記幅測定部によって測定された前記カーフの幅、及び前記第1演算部にて算出された前記カーフの断面積に基づき前記カーフの深さを算出する第2演算部と、
を備えるカーフ深さ測定装置。 - 前記測定ヘッドを前記ウェーハの面に沿って相対的に移動させる移動部を備える請求項1に記載のカーフ深さ測定装置。
- 前記ウェーハは、前記ウェーハをダイシング加工するダイシング装置のウェーハチャックに保持され、
前記幅測定部は、前記カーフを撮像する撮像部と、前記撮像部によって得られた画像を画像処理することにより前記カーフの幅を演算する画像処理部とからなり、
前記測定ヘッドは、前記ダイシング装置のブレードが支持されるスピンドル又はスピンドル支持部に支持され、
前記測定ヘッドと前記第1演算部とがエアマイクロメータとして構成され、
前記移動部は、前記ダイシング装置の前記ウェーハチャック及び前記スピンドルを水平方向に移動させる移動機構部である請求項2に記載のカーフ深さ測定装置。
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