JP2014534556A - 放電ランプ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 石英ガラスエンベロープと、放電チャンバと、1対の電極とを含み、電極の外側端部分は、前記石英ガラスエンベロープのピンチ内に埋め込まれた導電性フォイルと重なり、前記電極は、前記導電性フォイルと前記放電チャンバとの間の前記電極の内側部分に内側構造化ゾーンと、前記電極の前記外側端部分上に外側構造化ゾーンとを含み、前記外側構造化ゾーンと前記内側構造化ゾーンとは、互いに異なる、放電ランプ。
- 構造化ゾーンは、前記電極の表面に形成される幾つかの凹部を含む、請求項1に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーンにおける凹部の深度は、前記電極の直径の最大で2.0%、好適には最大で0.8%、より好適には最大で0.25%を含む、請求項1又は2に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーンにおける凹部は、前記電極の本質的に変更されていない表面領域によって境界付けられる、請求項1乃至3の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 構造化ゾーンは、前記電極の周りに形成される半径方向のチャネルを含む、請求項1乃至4の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 前記半径方向のチャネルは、前記電極の本体の周りに形成されるらせん状チャネルを含む、請求項5に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーンは、前記外側端部分を越えて延在する、請求項1乃至6の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーンの長さは、前記電極の埋め込まれた全長の最大で20%、より好適には最大で10%、最も好適には最大で5%を含む、請求項1乃至7の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーンと前記内側構造化ゾーンとの間に構造化されていない電極領域を含む、請求項1乃至8の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーンと前記電極の基部との間に構造化されていない電極領域を含む、請求項1乃至9の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーン内の前記電極の表面と、前記ピンチの石英ガラスとの間に人工弾性界面を含む、請求項1乃至10の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 放電ランプに使用するための電極において、
前記電極の内側部分における内側構造化ゾーンであって、前記内側部分は、前記放電ランプの導電性フォイルと放電チャンバとの間の前記放電ランプのピンチ内に埋め込まれる、前記内側構造化ゾーンと、
前記ピンチ内に埋め込まれる場合に前記導電性フォイルと重なる前記電極の外側端部分上に形成される外側構造化ゾーンと、
を含み、
前記外側構造化ゾーンは、前記内側構造化ゾーンとは異なる、電極。 - 放電ランプに使用するための電極を製造する方法であって、
前記放電ランプの導電性フォイルと放電チャンバとの間の前記放電ランプのピンチ内に埋め込まれる前記電極の内側部分に、内側構造化ゾーンを形成するステップと、
前記電極の外側端部分上に外側構造化ゾーンを形成するステップと、
を含み、
前記外側端部分は、前記外側構造化ゾーンが前記内側構造化ゾーンとは異なるように、前記ピンチ内に埋め込まれる場合に前記導電性フォイルと重なる、方法。 - 構造化ゾーンを形成する前記ステップは、前記電極の本体に幾つかの凹部を形成するように、前記電極の本体から材料を除去するステップを含む、請求項13に記載の方法。
- 前記凹部は、前記電極の材料を除去するように前記電極の表面にレーザビームを向けることによって形成される、請求項14に記載の方法。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000164172A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 放電管 |
JP2001015067A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Koito Mfg Co Ltd | 放電ランプ装置用アークチューブ |
JP2009532840A (ja) * | 2006-04-05 | 2009-09-10 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 亀裂開始手段を備える電極ロッドを備える高圧ガス放電ランプ |
JP2010272308A (ja) * | 2009-05-20 | 2010-12-02 | Koito Mfg Co Ltd | 車輌用放電灯 |
JP2011034758A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Ushio Inc | 高圧放電ランプ |
WO2011073862A1 (en) * | 2009-12-18 | 2011-06-23 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | An electrode for use in a lamp |
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DE102004012242A1 (de) * | 2004-02-23 | 2005-09-01 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Elektrodensystem für eine Hochdruckentladungslampe |
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DE102005013759A1 (de) * | 2005-03-22 | 2006-09-28 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Lampe mit Stromzuführung und Elektrode |
JP5081148B2 (ja) * | 2005-05-19 | 2012-11-21 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ランプ、ランプ部材の製造方法、およびランプの製造方法 |
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DE202006002833U1 (de) * | 2006-02-22 | 2006-05-04 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Hochdruckentladungslampe mit keramischem Entladungsgefäß |
WO2008119375A1 (de) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Entladungslampe, insbesondere hochdruckentladungslampe |
JP4972172B2 (ja) * | 2007-12-12 | 2012-07-11 | ハリソン東芝ライティング株式会社 | 放電ランプ |
US20090295290A1 (en) * | 2008-06-02 | 2009-12-03 | General Electric Company | Metal lead-through structure and lamp with metal lead-through |
JP2010272307A (ja) * | 2009-05-20 | 2010-12-02 | Koito Mfg Co Ltd | 車輌用放電灯 |
JP4924664B2 (ja) | 2009-06-10 | 2012-04-25 | ウシオ電機株式会社 | 高圧放電ランプ |
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---|---|---|---|---|
JP2000164172A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 放電管 |
JP2001015067A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Koito Mfg Co Ltd | 放電ランプ装置用アークチューブ |
JP2009532840A (ja) * | 2006-04-05 | 2009-09-10 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 亀裂開始手段を備える電極ロッドを備える高圧ガス放電ランプ |
JP2010272308A (ja) * | 2009-05-20 | 2010-12-02 | Koito Mfg Co Ltd | 車輌用放電灯 |
JP2011034758A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Ushio Inc | 高圧放電ランプ |
WO2011073862A1 (en) * | 2009-12-18 | 2011-06-23 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | An electrode for use in a lamp |
JP2011146204A (ja) * | 2010-01-13 | 2011-07-28 | Ushio Inc | 高圧放電ランプ |
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