JP6139535B2 - 放電ランプ - Google Patents
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Description
Claims (14)
- 石英ガラスエンベロープと、放電チャンバと、1対の電極とを含む放電ランプであって、
電極の外側端部分は、前記石英ガラスエンベロープのピンチ内に埋め込まれた導電性フォイルと重なり、かつ、
前記電極は、
前記導電性フォイルと前記放電チャンバとの間の前記電極の内側部分に内側構造化ゾーンと、
前記電極の前記外側端部分上に外側構造化ゾーンと、を含み、
前記内側構造化ゾーンと前記外側構造化ゾーンの構造は、前記電極の表面に凹部を形成することによって構成され、
前記外側構造化ゾーンと前記内側構造化ゾーンとは、前記外側構造化ゾーンにおける凹部が前記内側構造化ゾーンにおける凹部よりも浅いことにおいて、互いに異なる、
放電ランプ。 - 前記外側構造化ゾーンにおける凹部の深度は、前記電極の直径の最大で2.0%を含む、請求項1に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーンにおける凹部は、前記電極の本質的に変更されていない表面領域によって境界付けられる、請求項1又は2に記載の放電ランプ。
- 前記内側構造化ゾーンまたは前記外側構造化ゾーンは、前記電極の周りに形成される半径方向のチャネルを含む、請求項1乃至3の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 前記半径方向のチャネルは、前記電極の本体の周りに形成されるらせん状チャネルを含む、請求項4に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーンは、前記外側端部分を越えて延在する、請求項1乃至5の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーンの長さは、前記電極の埋め込まれた全長の最大で20%を含む、請求項1乃至6の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーンと前記内側構造化ゾーンとの間に処理されていない電極領域を含む、請求項1乃至7の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 前記外側構造化ゾーンと前記電極の基部との間に処理されていない電極領域を含む、請求項1乃至8の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 前記石英ガラスエンベロープの前記ピンチにおける前記外側構造化ゾーンについて微視的に小さい亀裂を含む、請求項1乃至9の何れか一項に記載の放電ランプ。
- 放電ランプに使用するための電極であって、
前記電極の内側部分における内側構造化ゾーンであって、前記内側部分は、前記放電ランプの導電性フォイルと放電チャンバとの間の前記放電ランプのピンチ内に埋め込まれる、前記内側構造化ゾーンと、
前記ピンチ内に埋め込まれる場合に前記導電性フォイルと重なる前記電極の外側端部分上に形成される外側構造化ゾーンと、
を含み、
前記内側構造化ゾーンと前記外側構造化ゾーンの構造は、前記電極の表面に凹部を形成することによって構成され、
前記外側構造化ゾーンと前記内側構造化ゾーンとは、前記外側構造化ゾーンにおける凹部が前記内側構造化ゾーンにおける凹部よりも浅いことにおいて、異なる、
電極。 - 放電ランプに使用するための電極を製造する方法であって、
前記放電ランプの導電性フォイルと放電チャンバとの間の前記放電ランプのピンチ内に埋め込まれる前記電極の内側部分に、内側構造化ゾーンを形成するステップと、
前記電極の外側端部分上に外側構造化ゾーンを形成するステップであり、外側端部分は、前記ピンチ内に埋め込まれる場合に前記導電性フォイルと重なる、ステップと、
を含み、
前記内側構造化ゾーンと前記外側構造化ゾーンの構造は、前記電極の表面に凹部を形成することによって構成され、
前記外側構造化ゾーンと前記内側構造化ゾーンとは、前記外側構造化ゾーンにおける凹部が前記内側構造化ゾーンにおける凹部よりも浅いことにおいて、異なる、
方法。 - 前記内側構造化ゾーンまたは前記外側構造化ゾーンを形成する前記ステップは、前記電極の本体に前記凹部を形成するように、前記電極の本体から材料を除去するステップを含む、請求項12に記載の方法。
- 前記凹部は、前記電極の材料を除去するように前記電極の表面にレーザビームを向けることによって形成される、請求項13に記載の方法。
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