JP2014524625A - Rfidチップモジュール - Google Patents

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Abstract

チップモジュールは、第一主表面及び第一主表面の反対側にある第二主表面を有するキャリアを有する。第一リセス構造は、キャリアの第一主表面内に配置されており、チップは、キャリアの第一リセス構造内に配置されている。パターン化された金属化層は、キャリアの第二主表面上に積層されており、前記金属化層は、第一金属化構造及び第二金属化構造を有しており、前記第一金属化構造は、前記第二金属化構造から電気的に絶縁されている。前記チップは、前記第一金属化構造及び前記第二金属化構造と電気的に接続されている。チップモジュールは、特にRFIDチップを備え、また、レーザーリフローはんだ付け方式で繊維基板に接合されるのに適している。
【選択図】図1

Description

RFIDチップモジュール。
本発明はチップモジュール、特に繊維基板に接合されるRFIDチップモジュールに関する。本発明は、更にRFIDチップモジュールを有するラベルと、RFIDチップモジュールを有するラベル製造方法に関する。
RFIDチップは、繊維、例えば、繊維から作られた衣類やその他の製品にラベルを付するのにますます有用になってきている。RFIDチップの適切な機能性を確保するために、RFIDラベルは、電気的なRFIDシグナルを送信及び受信するためのRFIDトランスポンダーチップ及び通信アンテナ構造を備えていなければならない。RFIDラベルは、RFIDチップを用いること、及びRFIDチップを、例えば、金属ストリップが接着され又は織り込まれている繊維基板などの基板内の導電性ストリップに接合することによって製造されてもよい。
RFIDラベルは大量生産品であるため、高い生産性で効率的かつ確実なRFIDラベル製造が必要とされる。
本発明の目的は、チップモジュールを、アンテナ構造を有する基板、例えば、RFIDアンテナを形成している金属化構造を有する繊維基板に接合するために、チップモジュール、特にRFIDチップモジュールを提供することである。チップモジュールを確実にそして効率的に基板に接合するために、チップモジュールは、底面に金属化構造が設けられており、チップモジュールは、前記基板の前記金属化構造にはんだ付けされてもよい。はんだ付けは、レーザーリフローはんだ付け処理によって行われてもよく、この処理ではチップモジュールは、金属化構造を有する面の反対側の面において一つ以上のレーザービームによって照射され、レーザービームは、チップモジュールの本体部を通って金属化構造へ導かれる。レーザービームのエネルギーは、金属化構造上に配置されたはんだ材料をリフローするために、主に金属化構造に蓄積されてもよく、このようにして、チップモジュールと基板の間のはんだ接合が形成される。
従って、本発明の一態様は、独立請求項1に記載のチップモジュールに関連している。チップモジュールは、第一主表面及び前記第一主表面の反対側にある第二主表面を有するキャリアと、前記第一主表面内で前記キャリア内に配置された第一リセス構造と、前記キャリアの前記第一リセス構造内に配置されたチップを備える。パターン化された金属化層は、前記キャリアの前記第二主表面上に積層されており、前記金属化層は、第一金属化構造及び第二金属化構造を有しており、前記第一金属化構造は前記第二金属化構造から電気的に絶縁されている。前記チップは前記第一金属化構造及び前記第二金属化構造と電気的に接続されている。
チップモジュールを基板にはんだ付けする際に、請求項1に記載のチップモジュールと共に、速く、効率よく、そして確実なレーザーリフローはんだ付け処理が利用されてもよい。いくつかの利点の一つは、第一主表面に当たったレーザービームからのエネルギーを、キャリアを通して金属化構造に導くようにチップモジュールが構成されており、そして前記金属化構造においてはんだ付け処理が実行されることである。チップモジュールの主本体を通してレーザーリフローはんだ付けを可能とすることは、処理速度と効率を増加させることとなる。
一実施形態によると、キャリアは可視的であり、UV、及び/又は赤外線光に対して透過的な材料を備えてもよい。これは、レーザーリフローはんだ付けに用いられるレーザービームのエネルギーが、実質的にキャリア材料に吸収されないという利点をもたらす。このため、迅速なリフロー処理を実現することができる。
もう一つの実施形態によると、チップモジュールは、前記第一金属化構造の反対側にある前記第一主表面内で前記キャリア内に配置された第二リセス構造と、前記第二金属化構造の反対側にある前記第一主表面内で前記キャリア内に配置された第三リセス構造とを備える。前記追加のリセス構造は、レーザービームが、チップモジュールのキャリアを通して導かれる領域で、キャリアの厚みを減らすことができるという利点をもたらす。
有利には、前記第二及び第三リセス構造は、前記第一主表面から前記第二主表面へ前記キャリアを通して伸びているビアであってもよい。これは、レーザービームがビアを通って導かれる際に、レーザービームのエネルギーをキャリアの表面上の金属化構造に直接伝達することを可能にする。
一実施形態として、前記ビアは、前記第一及び前記第二金属化構造を通して伸びていてもよい。この場合、レーザービームのエネルギーは、チップモジュールを通してチップモジュールの金属化構造上に積層されているはんだ材料へ直接伝達される。
一実施形態として、前記第一及び前記第二金属化構造が、それぞれ前記第二主表面上で前記チップモジュールの端部に広がっている連続金属化部材と、前記連続金属化部材から前記チップモジュールの中心部へ伸びる金属化領域でパターン化されている。
さらにもう一つの実施形態として、フォトレジスト層が、前記金属化層と前記キャリアの間に配置されてもよい。フォトレジスト層は、チップモジュールを基板へレーザーリフローはんだ付けする際に、レーザービームのエネルギーの、金属化構造における効率的な吸収を可能にする。
さらにもう一つの実施形態として、前記リセス構造内の前記チップが成形材料で成形されていてもよい。これは、チップモジュール内にチップを封じ、チップモジュールの統合性又は機能性を危険にさらす可能性のある外部からの原因に対して、更なる安定性と抵抗力をもたらす。
もう一つの実施形態として、チップは、RFIDチップでもよい。これは、特にRFIDラベルのために、RFIDチップモジュールの効率的で安価な製造を可能にする。
さらにもう一つの実施形態として、チップモジュールは、前記第一金属化構造上に配置されている第一はんだバンプと、前記第二金属化構造上に配置されている第二はんだバンプを備えていてもよい。はんだバンプは、はんだ付け処理を速めるために、チップモジュールを基板に対してレーザーはんだ付けする前に、金属化構造上に配置されるのが好ましい。
本発明のもう一つの態様は、独立請求項11に記載の、基板にチップモジュールを接合する方法に関連しており、チップモジュールは、第一主表面及び前記第一主表面の反対側にある第二主表面を有するキャリアと、前記キャリアの前記第二主表面上に積層されたパターン化された金属化層であって、第一はんだバンプが付着した第一金属化構造及び第二はんだバンプが付着した第二金属化構造を有する前記金属化層とを備えている。前記方法は、基板上に前記チップモジュールを、前記チップモジュールの前記第二主表面が前記基板に面するように設置することと、前記チップモジュールの前記第一はんだバンプ及び前記第二はんだバンプを前記基板上の対応する第一及び第二金属化パターンと位置合わせすることと、前記チップモジュールにレーザービームを、前記レーザービームが前記第一主表面に直角に当たるように照射することと、前記レーザービームによって前記第一及び前記第二はんだバンプを、前記第一及び前記第二はんだバンプと前記基板上の対応する前記第一及び第二金属化パターンとの間にはんだ接合を形成するようにリフローすることを備えている。前記の独創的な方法は、レーザーリフロー処理によってチップモジュールの、基板に対する効率的かつ迅速なはんだ付けが可能になるという利点を有する。
一実施形態によると、前記方法は、テープから前記チップモジュールを型抜くことを更に備えていてもよい。そして、前記テープが複数のチップモジュールから成るものであってもよい。この方法で、製造プロセスの処理能力が十分に高められる。
一実施形態として、チップモジュールは、RFIDチップを備えていてもよく、また、前記基板上の前記第一及び第二金属化パターンは、RFIDアンテナ構造を形成していてもよい。これは、基板のアンテナ構造がRFIDの電気端子と導電的に接続されている限り、RFIDトランスポンダーの迅速で効率的な処理を可能にする。
本発明の更にもう一つの態様は、独立請求項14に記載のRFIDラベルに関連しており、前記RFIDラベルは、本発明に係るチップモジュールと、RFIDアンテナ構造を有する基板を備え、前記チップモジュールは、RFIDアンテナ構造にはんだ付けされている。基板は、特に繊維基板でもよい。
更なる変更形態と変形形態が、従属項で紹介されている。
添付の図面は、本発明の更なる理解をもたらすために含められたものである。図面は、本発明の実施形態を示しており、説明と共に図面は、本発明の基本的性質を説明するのに役立つ。本発明のその他の実施形態及び本発明の多くの所望の有利な点は、以下の詳細な説明を参照することによりそれらがより理解されるにつれて、容易に理解されるものである。図面の構成要素は、必ずしも互いに相対的な縮尺比で描かれていない。特に指定の無い限り、同じ参照番号は対応する同様の部分を示している。
本発明のいくつかの実施形態は以下の添付の図面を参照して、さらに詳細に説明される。
図1は、本発明の一実施形態に係るチップモジュールの概要図を示す。 図2Aは、本発明の更なる実施形態に係る図1のチップジュールの等角図における概略図を示す。図2Bは、本発明の更なる実施形態に係る図1のチップジュールの等角図における概略図を示す。 図3は、本発明のもう一つの実施形態に係るチップモジュールの概要図を示す。 図4は、本発明の更にもう一つの実施形態に係るチップモジュールの概要図を示す。 図5は、本発明の更なる実施形態に係る図4のチップジュールの等角図における概略図を示す。 図6は、本発明の更にもう一つの実施形態に係る、チップモジュールを基板に接合するための製作装置の概要図を示す。 図7は、本発明の更にもう一つの実施形態に係る、チップモジュールを基板に接合する方法の概要図を示す。 図8は、本発明の更にもう一つの実施形態に係る、RFIDラベルの概要図を示す。
ここでは特定の実施形態が図示され、そして説明されているが、当業者にとって当然のことながら、本発明の範囲及び要旨を逸脱しない範囲で、様々な代替の、及び/又は同等の実装が、ここで示され説明されている特定の実施形態と置き換わってもよい。一般に、本出願は、ここで議論されている特定の実施形態のどんな適応形態または変形形態でも範囲に含めることを意図している。特に、もし明示的に他の方法で示されなければ、以下で議論される異なった実施形態の特定の特性、特徴及び性質が兼ね備えられていてもよい。
図1は、本発明の一実施形態に係るチップモジュール10の概要図を示す。チップモジュール10は、ここで上面として示す第一主表面1aと、ここで底面として示す第二主表面1bを有するキャリア1を備えていてもよく、底面1bは上面1aの反対側に位置している。キャリア1は電気的絶縁材料を備えていてもよい。キャリア1は、例えば、半導体材料、あるいはFR4のようなガラス繊維強化エポキシ材料を備えていてもよい。キャリア1は、例えば、ポリエステル、ポリイミド、ポリエーテルイミドまたはポリエチレンナフタレートのようなフレキシブル回路材料を備えることもできる。チップモジュール10は底面1bに配置されている金属化層2を更に備えていてもよい。金属化層2は、例えば、ガルバニック積層、電気めっき、物理蒸着(PVD)、化学気相蒸着(CVD)、スパッタリング又はこれと同様の積層技術といった、標準の積層手段によってキャリア1の底面1bに積層されてもよい。金属化層2はキャリア1に接着される金属シートでもよい。金属化層2は、例えば、銅層又は銅シートを備えていてもよい。金属化層2は、金属化層2の表面に対する酸化作用を低減するために、銀又は金で被覆されてもよい。
チップモジュール10は、上面1a内でキャリア1内に配置された第一リセス構造4を更に備えていてもよい。第一リセス構造4は、例えば、チップモジュール10の実質的に中心部に配置されていてもよい。第一リセス構造4は、任意の所望の形状及び大きさでもよい。特に、第一リセス構造4は、第一リセス構造4の内部にチップ5を収納できるように寸法されてもよい。チップ5は、例えば、RFIDチップでもよい。チップ5は、第一リセス構造4内に配置されてもよい。一実施形態では、第一リセス構造4は、キャリア1の総深さを超えない所定の深さで、キャリア材料に対して凹状に形成されてもよい。この場合、チップ5は、第一リセス構造4の底面に直接接着されることとなる。一実施形態では、第一リセス構造4は、キャリア1を通る穴を形成するようにキャリア材料に配置されてもよい。この場合、チップ5は、金属化層2と、電気的絶縁接着層5aを介して結合されてもよい。
チップモジュール10は、金属化層2に配置される導電性接合材料、特に、はんだ材料を更に備えてもよい。導電性接合材料は、例えば、はんだバンプ3a、3bのように積層されてもよい。図1では、二つのはんだバンプ3a、3bが見本として示されているが、その他の数のはんだバンプも同様に積層可能である。はんだバンプ3a、3bはチップモジュール10の端部に配置されてもよい。特に、はんだバンプ3a、3bは、第一リセス構造4内にチップ5が配置されている部分である中心部の下ではない領域であって、チップモジュール10の領域内に配置されてもよい。はんだ材料の代わりに他の接合材料、例えば、はんだバンプ3a、3bと同様の接合バンプを形成する導電性接着剤を用いることもできる。
チップモジュール10を基板(図示されていない)にはんだ付けするために、レーザービームLがチップモジュール10の照射に用いられてもよい。レーザービームLは、キャリア1の上面1aに対して直角に、又は実質的に直角となるように向けられてもよい。レーザービームLのエネルギーは、キャリア1の主本体を通して金属化層2へ伝達されてもよい。チップモジュール10は、はんだバンプ3a、3bが積層されている底面1bの領域の反対側に直接位置している上面1aの領域に対して照射されてもよい。このようにして、レーザービームLのエネルギーがキャリア1を通して伝達され、そして金属化層2及びはんだバンプ3a、3bを加熱し、その結果、リフローはんだ付け又は材料の接合がなされる。チップモジュール10を、はんだバンプ3a、3bの下の基板にはんだ付けするために、リフローされたはんだ材料が用いられてもよい。
図2A及び2Bは、本発明の更なる実施形態に係る図1のチップモジュールの等角図における概略図を示す。図2Aは、チップモジュール10の上面1aにおける等角図を示しており、一方図2Bはチップモジュール10の底面1aにおける等角図を示している。
金属化層2は、図2Bに見本として示されているように第一及び第二金属化構造2a及び2bを形成するようにパターン化されてもよい。第一及び第二金属化構造2a及び2bは、互いに電気的に絶縁されるようにパターン化されてもよい。第一及び第二金属化構造2a及び2bは、例えば、底面1b上でチップモジュール10の端部に広がっている連続金属化部材と、前記連続金属化部材からチップモジュール10の中心部へ伸びる金属化領域でパターン化されてもよい。第一及び第二金属化構造2a及び2bの各々の金属化領域は、チップモジュール10において向かい合って配置されてもよい。図2A及び2Bにおける第一及び第二金属化構造2a及び2bの形状及び寸法は見本に過ぎず、第一及び第二金属化構造2a及び2bはその他のいかなる形状、大きさ及び構造であってもよい。
第一リセス構造4の内部にあるチップ5は、第一及び第二金属化構造2a及び2bに電気的に接続されていてもよい。電気的接続は、例えば、チップ5の端子から第一及び第二金属化構造2a及び2b各々に伸びるワイヤーボンド(図示されていない)で達成されてもよい。例えば、第一ワイヤーボンドはチップ5の第一端子に接続され、そして第一金属化構造2aの金属化領域に接続されてもよい。第二ワイヤーボンドはチップ5の第二端子に接続され、そして第二金属化構造2bの金属化領域に接続されてもよい。
追加の層(図示されていない)が、金属化層2とキャリア1の間に設けられていてもよい。例えば、フォトレジスト層が、金属化層2とキャリア1の間に設けられていてもよい。キャリア1は、実質的に可視的であり、UV、及び/又は赤外線光に対して透過性のある材料を備えていてもよい。特にキャリア1は、キャリア1を通して導かれるレーザービームLに対して高い透過係数又は透過率を有する材料を備えていてもよい。レーザービームLは、実質的に、エネルギーロスなく、レーザービームLTとしてキャリア1を通して伝達されてもよい。フォトレジスト層は次に、低透過率、言い換えると、レーザービームLTに対して高い吸収度を有する材料を備えていてもよい。レーザーエネルギーのほとんどが、キャリア1を通して伝達され、そして金属化層2及びはんだバンプ3の近傍にあるフォトレジスト層に蓄積されるため、はんだバンプ3に対してレーザーリフローはんだ付け処理を施すためにチップモジュール10の照射に用いられるレーザービームLは、はんだバンプ3をより速く熱することができる。
図3は、チップモジュール20の概要図を示す。チップモジュール20は、追加のリセス構造6a、6bがキャリア1に形成されている点でチップモジュール10と相違する。第二リセス構造6aは、キャリア1の端部に、上面1aから底面1bに向かって形成されている。第三リセス構造6bは、第二リセス構造6aが上面1aから底面1bに向かって形成されている前記端部の反対側にあるキャリア1の端部に形成されている。リセス構造6a、6bは、キャリア1の厚みより浅い深さで形成されてもよい。あるいは、リセス構造6a、6bは、キャリア1の主本体を通してビアとして形成されてもよい。言い換えると、ビアはキャリア1の全厚みを通して伸びていてもよい。リセス構造6a、6bの底面は、リセス構造6a、6bを通して導かれるレーザービームLの吸収度を高めるためにフォトレジストで被覆されてもよい。
図4は、チップモジュール30の概要図を示す。チップモジュール30は、追加のリセス構造6a、6bがキャリア1を通り、そして金属化層2を通るビアとして形成されている点でチップモジュール20と相違する。言い換えると、リセス構造6a、6bは、キャリア1の上面1aからキャリア1の全厚みを通り、そして金属化層2の全厚みを通ってチップモジュール30の底面1bに伸びている。金属化層2に積層されたはんだバンプ3a、3bは、リセス構造6a、6bそれぞれによって形成されたビアの出口を覆うように底面1bに配置されるのが好ましい。
第二及び第三リセス構造6a、6bは、どのような形状及びサイズでもよい。例えば、図5は、図4のチップジュール30の等角図を示したものであるが、これに概略的に示されているように、第二及び第三リセス構造6a、6bは、円形状であってもよく、また、キャリア1及び/又は金属化層2を通って伸びる円筒状の管として形成されてもよい。
図6は、チップモジュールを基板47に接合するための製作装置40の概要図を示す。見本として、チップモジュール10が図6に示されているが、上記で詳細に説明されたその他のチップモジュール10、20又は30が用いられてもよい。製作装置40は、アクティブレーザー部41aを有するレーザー装置41と、ステンシルデバイス42と、ステンシルマスク45及びベースプレート46を備えていてもよい。レーザー装置41とステンシルデバイス42は、ガイドハウジング43を介して、互いに平行に並べられていてもよい。ステンシルデバイス42は、ステンシルヘッド44を備えていてもよい。ステンシルヘッド44は、複数の空洞構造44aを備えていてもよく、これを通して、アクティブレーザー部41aからのレーザービームLがチップモジュール10へ導かれてもよい。
チップモジュール10は、互いに隣接して接続されている複数のチップモジュール10を備えるテープとして提供されてもよい。例えば、テープは、チップモジュール10の多数の平行な列を備えていてもよく、テープは、製作装置40の作動中にステンシルマスク45を通して導かれてもよい。
製作装置の作動は、図7に概略的に示された方法50と併せて説明される。方法50は、チップモジュールを基板47に設置する第一の段階51を含む。これは、複数のチップモジュールを備えるテープから、チップモジュールを型抜くことによって行われてもよい。図1から5と併せて上記に示されたチップモジュール10、20又は30のいずれも、図7の方法50で使用されてもよい。
チップモジュールは、チップモジュールの第二主表面1bが基板47に面するようにステンシルマスク45に配置されてもよい。基板47は、例えば、金属化構造を有した繊維基板でもよい。前記金属化構造は、例えば、RFIDアンテナ構造でもよい。複数のチップモジュール10を備えたテープからチップモジュール10を型抜くために、ステンシルヘッド44は、ガイドハウジング43に沿って下へ移動してもよい。テープから切り離されたチップモジュール10は、ステンシルヘッド44内の通路42aを通して生じる負圧によってステンシルヘッド44に支持されてもよい。
第二の段階52では、チップモジュール10は、チップモジュール10の第一はんだバンプ3a及び第二はんだバンプ3bを、基板47上の対応する第一及び第二金属化パターンと位置合わせすることによって、位置合わせされてもよい。第三の段階53では、チップモジュール10は、レーザービームLで照射されてもよく、前記レーザービームLは、ステンシルヘッド44の空洞構造44aを通って導かれ、そして第一主表面1aに直角に、又は実質的に直角に当てられる。レーザー装置41は、1つ以上のレーザーパルスがチップモジュール10に照射されるように制御されてもよく、そして第四の段階54では、レーザーパルスのエネルギーは、第一及び第二はんだバンプをリフローできるように制御される。その結果、第一及び第二はんだバンプ3a、3bと基板47上の対応する第一及び第二金属化パターンとの間のはんだ接合が形成されてもよい。
チップモジュールを基板に接合するシステムは、チップモジュールの第二主表面が基板に面するようにチップモジュールを基板上に設置する手段と、チップモジュールの第一はんだバンプ及び第二はんだバンプを、基板上の対応する第一及び第二金属化パターンと位置合わせする手段と、レーザービームが第一主表面に直角に当たるようにチップモジュールにレーザービームを照射する手段と、第一及び第二はんだバンプと基板上の対応する第一及び第二金属化パターンとの間のはんだ接合を形成する前記レーザービームによって第一及び第二はんだバンプをリフローする手段とを備えていてもよい。
図8は、例えば、図6及び7で示される製作装置40において方法50を使用して製作されたRFIDラベル60の概要図を示す。RFIDラベル60は、図1から5と併せて詳細に説明されているように、チップモジュール10、20又は30から形成されており、RFIDラベル60は、基板62の表面上にある金属化パターン62にはんだ付けされる。基板62は、例えば、基板47と同じ基板でもよく、特に、繊維基板でもよい。金属化パターン62は、キャリア1のリセス構造4内に配置されているRFIDチップ5のためのRFIDアンテナとして機能しているRFIDアンテナ構造を形成していてもよい。はんだ接合はそれぞれ、リフローされたはんだバンプ3a及び3bによってもたらされ、それらは、実質的に平面構造として図8に示されている。
本発明の実施形態の特定の特徴について、いくつかの実装のうちの一例のみに関して開示されているが、上述の特徴は、所与の又は特定のアプリケーションに対して望ましく、そして有利であるので、その他の実装に係る一又は複数の他の特徴と組み合わせてもよい。更に、“含む”、“有する”、“と共に”又はその他の異形の用語は、それに関して詳細な説明又は特許請求の範囲のいずれか一方で使用されていない限り、そのような用語は、“備える”という用語と同様の意味を含むことを意図する。派生語と同様に、“結合した”及び“接続した”という用語が使用されている。当然のことながら、これらの用語は、二つの要素が同時に働き、又は互いに作用し合うことを意味するために使用されているものであり、それらが直接物理的に又は電気的に接触しているかどうかは関係ない。更に、前述の説明で使用されている、“上”、“底”、“左”、“右”、“下方”、“上方”及び同様の用語といった、図面の中で表現されている実施形態に係る特徴、要素、又は構成要素の空間的配置に関する専門用語は、理解を容易にする目的のためにのみ使用され、決して本発明を限定するものではない。

Claims (15)

  1. 第一主表面(1a)及び前記第一主表面(1a)の反対側にある第二主表面(1b)を有するキャリア(1)と、
    前記第一主表面(1a)内で前記キャリア(1)内に配置された第一リセス構造(4)と、
    前記キャリア(1)の前記第一リセス構造(4)内に配置されたチップ(5)と、
    前記キャリア(1)の前記第二主表面上に積層されたパターン化された金属化層(2)であって、第一金属化構造(2a)及び第二金属化構造(2b)を有しており、前記第一金属化構造(2a)は前記第二金属化構造(2b)から電気的に絶縁されており、前記チップ(5)が前記第一金属化構造(2a)及び前記第二金属化構造(2b)と電気的に接続されている前記金属化層(2)とを備えるチップモジュール(10;20;30)。
  2. 前記キャリア(1)は可視的であり、UV、及び/又は赤外線光に対して透過的な材料を備える請求項1に記載のチップモジュール(10;20;30)。
  3. 前記第一金属化構造(2a)の反対側にある前記第一主表面(1a)内で前記キャリア(1)内に配置された第二リセス構造(6a)と、
    前記第二金属化構造(2b)の反対側にある前記第一主表面(1a)内で前記キャリア(1)内に配置された第三リセス構造(6b)とを更に備える請求項1又は請求項2に記載のチップモジュール(10;20;30)。
  4. 前記第二及び第三リセス構造(6)が前記第一主表面(1a)から前記第二主表面(1b)へ前記キャリア(1)を通して伸びているビアである請求項3に記載のチップモジュール(10;20;30)。
  5. 前記ビア(6)が前記第一及び前記第二金属化構造(2a、2b)を通して伸びている請求項4に記載のチップモジュール(10;20;30)。
  6. 前記第一及び前記第二金属化構造(2a、2b)がそれぞれ前記第二主表面(1b)上で前記チップモジュール(10)の端部に広がっている連続金属化部材と、前記連続金属化部材から前記チップモジュール(10)の中心部へ伸びる金属化領域でパターン化されている請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のチップモジュール(10;20;30)。
  7. 前記金属化層(2)と前記キャリア(1)の間に配置されたフォトレジスト層を更に備える請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のチップモジュール(10;20;30)。
  8. 前記リセス構造(4)内の前記チップ(5)が成形材料で成形されている請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のチップモジュール(10;20;30)。
  9. 前記チップ(5)がRFIDチップである請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のチップモジュール(10;20;30)。
  10. 前記第一金属化構造(2a)上に配置されている第一はんだバンプ(3)と、
    前記第二金属化構造(2b)上に配置されている第二はんだバンプ(3)とを更に備える請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のチップモジュール(10;20;30)。
  11. チップモジュール(10;20;30)を基板に接合するための方法(50)であって、前記チップモジュール(10;20;30)は、第一主表面(1a)及び前記第一主表面(1a)の反対側にある第二主表面(1b)を有するキャリア(1)と、前記キャリア(1)の前記第二主表面上に積層されたパターン化された金属化層(2)であって、第一はんだバンプ(3a)が付着した第一金属化構造(2a)及び第二はんだバンプ(3b)が付着した第二金属化構造(2b)を有する前記金属化層(2)とを備え、
    基板(47;61)上に前記チップモジュール(10;20;30)を、前記チップモジュール(10;20;30)の前記第二主表面(1b)が前記基板(47;61)に面するように設置することと、
    前記チップモジュール(10;20;30)の前記第一はんだバンプ(3a)及び前記第二はんだバンプ(3b)を前記基板(47;61)上の対応する第一及び第二金属化パターン(62)と位置合わせることと、
    前記チップモジュール(10;20;30)にレーザービーム(L)を、前記レーザービーム(L)が前記第一主表面(1a)に直角に当たるように照射することと、
    前記レーザービーム(L)によって前記第一及び前記第二はんだバンプ(3a、3b)を、前記第一及び前記第二はんだバンプ(3a、3b)と前記基板(47;61)上の対応する前記第一及び第二金属化パターン(62)との間にはんだ接合を形成するようにリフローすることを備える方法。
  12. テープから前記チップモジュール(10;20;30)を型抜くこと更に備え、前記テープが複数のチップモジュール(10;20;30)から成る請求項11に記載の方法(50)。
  13. 前記チップモジュール(10;20;30)がRFIDチップ(5)を備え、前記基板(47;61)上の前記第一及び第二金属化パターン(62)がRFIDアンテナ構造を形成している請求項11又は請求項12に記載の方法(50)。
  14. 請求項9に記載のチップモジュール(10;20;30)と、
    RFIDアンテナ構造(62)を有する基板(61)であって、前記チップモジュール(10;20;30)が前記RFIDアンテナ構造(62)にはんだ付けされている基板(61)とを備えるRFIDラベル(60)。
  15. 前記基板(61)が、繊維基板である請求項14に記載のRFIDラベル(60)。
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