JP2014501478A - アクチュエータ、アクチュエータシステム、およびアクチュエータの駆動方法 - Google Patents
アクチュエータ、アクチュエータシステム、およびアクチュエータの駆動方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014501478A JP2014501478A JP2013545311A JP2013545311A JP2014501478A JP 2014501478 A JP2014501478 A JP 2014501478A JP 2013545311 A JP2013545311 A JP 2013545311A JP 2013545311 A JP2013545311 A JP 2013545311A JP 2014501478 A JP2014501478 A JP 2014501478A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- electrode
- sections
- section
- internal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/065—Large signal circuits, e.g. final stages
- H02N2/067—Large signal circuits, e.g. final stages generating drive pulses
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
【選択図】 図3
Description
1つの実施形態例では、同様に第1の外部電極は分離された電極セグメントを備え、これらはそれぞれ、第1の内部電極の1つの部分においてのみ、すなわちアクチュエータ区画の1つあるいはアクチュエータ区画の1つのグループにおいて、内部電極に電気的に導通するように接続されている。2つに分割した外部電極を設けることで、アクチュエータの設計で大きな自由度が可能となる。第1および第2の外部電極でのセグメントの分割は同じになるようにしてよい。あるいはこの分割は非対称である。
なお、端子210,220,230,410,420,430での電圧上昇あるいは降下の時間的順序は、伸張および収縮に対して同じであるが、符号に関しては、個々の端子210,220,230,410,420,430での電圧上昇あるいは降下の場合で異なっている。
4,2 : 外部電極
5,3 : 内部電極
6 : 制御装置
7 : 基準電位
16 : 圧電素子
21,21,23,41,42,43: 電極セグメント
81,82,83,84,85 : アクチュエータ区画
210,210,230,410,420,430: 端子
Claims (12)
- 積層構造に配置された圧電素子(16)と、
前記圧電素子(16)の間に交互に配置された第1および第2の内部電極(5,3)と、
前記第1の内部電極(5)と電気的に導通するように接続された第1の外部電極(4)と、
前記第2の内部電極(3)と電気的に導通するように接続された第2の外部電極(2)とを有するアクチュエータ(1)であって、
前記アクチュエータ(1)は、複数のアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)を備え、前記第2の外部電極(2)は分離された電極セグメント(21,22,23)を備え、当該電極セグメントはそれぞれ、アクチュエータ区画(81,82,83,84,85)の1つまたはアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)の1つのグループにおいて、前記第2の内部電極(3)と電気的に導通するように接続されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1に記載のアクチュエータ(1)において、
前記第1の外部電極(4)は分離された電極セグメント(41,42,43)を備え、当該電極セグメントはそれぞれ、前記アクチュエータ区画(81,82,83,84,85)の1つまたは前記アクチュエータ区画(81,82,83,84,85)の1つのグループにおいて、前記第1の内部電極(5)と電気的に導通するように接続されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1または2に記載のアクチュエータ(1)において、
前記電極セグメント(21,22,23,41,42,43)はそれぞれ、隣接するアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)において、前記第1または第2の内部電極(5,3)と電気的に導通するように接続されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のアクチュエータ(1)において、
第1の電極セグメント(42,43)は、第1のアクチュエータ区画およびこれに隣接した第2のアクチュエータ区画(82,83;84,85)において、前記第1の内部電極(5)と電気的に導通するように接続され、第2の電極セグメント(21,22)は、第2のアクチュエータ区画およびこれに隣接した第3のアクチュエータ区画(82,81;84,83)において、前記第2の内部電極(3)と電気的に導通するように接続されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のアクチュエータ(1)において、
少なくとも前記第2の外部電極(2)の前記電極セグメント(21,22,23)はそれぞれ、駆動信号(U1,U2,U3,U4,U6)が印加可能な端子(210,220,230)を備えることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のアクチュエータ(1)と、制御装置(6)とを備えるアクチュエータシステムであって、
これらを用いて第1の駆動信号(U1,U2,U3,U4,U5,U6)を前記アクチュエータ区画(81,82,83,84,85)の1つまたはアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)の1つのグループに印加可能であり、第2の駆動信号(U1,U2,U3,U4,U5,U6)を時間をずらしてアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)の次の1つまたはアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)の次の1つのグループに印加可能であることを特徴とするアクチュエータシステム。 - 請求項6に記載のアクチュエータシステムにおいて、
前記アクチュエータ(1)は、1つの方向に伸張可能であり、
第1のアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)は、前記方向で第2のアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)に対し当該方向に配置され、
前記制御装置(6)は、前記第1の駆動信号(U1,U2,U3,U4,U5,U6)を前記第1のアクチュエータ区画(81,82,83,84,85,86)に、前記第2のアクチュエータ区画((1,82,83,84,85)への前記第2の駆動信号(U1,U2,U3,U4,U5,U6)に対して時間遅延して印加することを特徴とするアクチュエータシステム。 - 請求項6または7に記載のアクチュエータシステムにおいて、
前記制御装置(6)は、前記第1の内部電極(5)と接続されている前記電極セグメント(41,42,43)と、前記第2の内部電極(3)と接続されている前記電極セグメント(21,22,23)とに基準電位(7)に対して異なる符号の電圧(U1,U2,U3,U4,U5,U6)を印加することを特徴とするアクチュエータシステム。 - 請求項6乃至8のいずれか1項に記載のアクチュエータシステムにおいて、
前記時間ずれは、前記アクチュエータ(1)における音速に依存して選択されることを特徴とするアクチュエータシステム。 - 積層構造に配置された圧電素子(16)と、当該圧電素子(16)の間に交互に配置された第1および第2の内部電極(5,3)とを有し、複数のアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)を備えるアクチュエータ(1)の駆動方法であって、
第1のアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)またはアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)の第1のグループにおいて、前記第1および第2の内部電極(5、3)の間に印加する第1の駆動電圧を、第2のアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)またはアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)の第2のグループにおける前記第1および第2の内部電極(5,3)の間に印加する第2の駆動電圧に対して時間をずらして印加することを特徴とする駆動方法。 - 請求項10に記載の駆動方法において、
前記アクチュエータ(1)は1つの向きに伸張し、前記第1のアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)は、前記第2のアクチュエータ区画(81,82,83,84,85)に対する前記向きに配置され、前記第1の駆動電圧は、前記第2の駆動電圧に対して時間遅延されていることを特徴とする駆動方法。 - 請求項10または11に記載の駆動方法において、
前記時間ずれは、前記アクチュエータ(1)における音速に依存して選択されることを特徴とする駆動方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010055621.1 | 2010-12-22 | ||
DE102010055621A DE102010055621A1 (de) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | Aktor, Aktorsystem und Ansteuerung eines Aktors |
PCT/EP2011/073421 WO2012084957A1 (de) | 2010-12-22 | 2011-12-20 | Aktor, aktorsystem und ansteuerung eines aktors |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014501478A true JP2014501478A (ja) | 2014-01-20 |
JP5837612B2 JP5837612B2 (ja) | 2015-12-24 |
Family
ID=45406753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013545311A Expired - Fee Related JP5837612B2 (ja) | 2010-12-22 | 2011-12-20 | アクチュエータ、アクチュエータシステム、およびアクチュエータの駆動方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9419199B2 (ja) |
EP (1) | EP2656408B1 (ja) |
JP (1) | JP5837612B2 (ja) |
CN (1) | CN103262273B (ja) |
DE (1) | DE102010055621A1 (ja) |
WO (1) | WO2012084957A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5883202B1 (ja) * | 2014-08-28 | 2016-03-09 | 京セラ株式会社 | 圧電素子及びこれを備えた音響発生器、音響発生装置、電子機器 |
DE102015117203A1 (de) * | 2015-10-08 | 2017-04-13 | Epcos Ag | Drucksensor |
DE202016102203U1 (de) * | 2016-04-26 | 2016-06-29 | Epcos Ag | Vielschichtbauelement |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6273787A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-04 | Toshiba Corp | 変位発生装置 |
JPH05327054A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-10 | Nec Corp | 圧電効果素子の駆動方式 |
US5686777A (en) * | 1995-09-21 | 1997-11-11 | New Jersey Institute Of Technology | High accuracy piezoelectric positioning device |
JP2004216899A (ja) * | 2003-01-15 | 2004-08-05 | Samsung Electronics Co Ltd | インク吐出方法及びそれを採用したインクジェットプリントヘッド |
JP2009266921A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Honda Motor Co Ltd | 積層型圧電アクチュエータ素子 |
JP2010245187A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Honda Motor Co Ltd | 積層型圧電アクチュエータ素子 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3378704A (en) * | 1966-01-05 | 1968-04-16 | Bourns Inc | Piezoelectric multilayer device |
DE1591330B2 (de) * | 1966-09-30 | 1972-05-25 | Nippon Electric Co. Ltd., Tokio | Piezoelektrischer biegeschwinger |
GB1207974A (en) * | 1966-11-17 | 1970-10-07 | Clevite Corp | Frequency selective apparatus including a piezoelectric device |
US3489931A (en) * | 1968-08-30 | 1970-01-13 | Bourns Inc | Monolithic electrical transformer |
JPS5917876A (ja) * | 1982-02-12 | 1984-01-30 | West Electric Co Ltd | 圧電駆動装置 |
US4564782A (en) * | 1983-09-02 | 1986-01-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ceramic filter using multiple thin piezoelectric layers |
JPS6066882A (ja) * | 1983-09-22 | 1985-04-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電変位素子およびその分極方法 |
JPS6378582A (ja) * | 1986-09-22 | 1988-04-08 | Hitachi Ltd | 電気機械変換素子 |
JPS63120480A (ja) | 1986-11-10 | 1988-05-24 | Tokin Corp | 積層型圧電アクチユエ−タ |
JPS63194377A (ja) | 1987-02-06 | 1988-08-11 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 積層型圧電素子の駆動方法及びその装置 |
JPH0193184A (ja) | 1987-10-05 | 1989-04-12 | Tokin Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
EP0313072B1 (en) * | 1987-10-23 | 1993-05-05 | Hitachi, Ltd. | Method of and apparatus for conveying object by utilizing vibration |
US4932119A (en) | 1989-03-28 | 1990-06-12 | Litton Systems, Inc. | Method of making standard electrodisplacive transducers for deformable mirrors |
JPH05160459A (ja) * | 1991-12-09 | 1993-06-25 | Hitachi Metals Ltd | 積層型変位素子 |
DE4140676A1 (de) | 1991-12-10 | 1993-06-17 | Kraeussling Systems Gmbh | Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators |
JPH07223315A (ja) | 1994-02-15 | 1995-08-22 | Fujitsu Ltd | 圧電アクチュエータ及びインクジェットプリンタ用ヘッド |
JP2822994B2 (ja) * | 1996-09-11 | 1998-11-11 | 日本電気株式会社 | モード同期半導体レーザ |
DE19802302A1 (de) * | 1998-01-22 | 1999-07-29 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktor |
CN1138287C (zh) * | 1999-06-01 | 2004-02-11 | 李竑一 | 扩张振模的多输出复合结构压电变压器 |
JP3838024B2 (ja) * | 2000-11-27 | 2006-10-25 | 株式会社村田製作所 | 縦結合型マルチモード圧電フィルタ |
JP3852308B2 (ja) | 2001-07-09 | 2006-11-29 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電体素子及びその製造方法、並びに、圧電アクチュエータ |
DE10321705A1 (de) | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Piezoelektrisches Antriebselement |
JP2005005680A (ja) | 2003-05-21 | 2005-01-06 | Denso Corp | 圧電アクチュエータ |
JP2005347484A (ja) | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Nano Control:Kk | 積層型圧電アクチュエータ素子、位置決め装置および位置決め方法 |
DE502006000647D1 (de) | 2006-02-16 | 2008-05-29 | Delphi Tech Inc | Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Bauteils |
DE102007046315A1 (de) | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102010048880A1 (de) * | 2010-10-19 | 2012-04-19 | Epcos Ag | Stapelbares piezoelektrisches Aktorbauelement |
DE102010055620A1 (de) * | 2010-12-22 | 2012-06-28 | Epcos Ag | Aktor, Aktorsystem und Ansteuerung eines Aktors |
-
2010
- 2010-12-22 DE DE102010055621A patent/DE102010055621A1/de not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-12-20 CN CN201180061765.0A patent/CN103262273B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-20 US US13/995,940 patent/US9419199B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-20 JP JP2013545311A patent/JP5837612B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-20 WO PCT/EP2011/073421 patent/WO2012084957A1/de active Application Filing
- 2011-12-20 EP EP11801739.1A patent/EP2656408B1/de not_active Not-in-force
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6273787A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-04 | Toshiba Corp | 変位発生装置 |
JPH05327054A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-10 | Nec Corp | 圧電効果素子の駆動方式 |
US5686777A (en) * | 1995-09-21 | 1997-11-11 | New Jersey Institute Of Technology | High accuracy piezoelectric positioning device |
JP2004216899A (ja) * | 2003-01-15 | 2004-08-05 | Samsung Electronics Co Ltd | インク吐出方法及びそれを採用したインクジェットプリントヘッド |
JP2009266921A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Honda Motor Co Ltd | 積層型圧電アクチュエータ素子 |
JP2010245187A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Honda Motor Co Ltd | 積層型圧電アクチュエータ素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130342083A1 (en) | 2013-12-26 |
WO2012084957A1 (de) | 2012-06-28 |
EP2656408A1 (de) | 2013-10-30 |
US9419199B2 (en) | 2016-08-16 |
JP5837612B2 (ja) | 2015-12-24 |
CN103262273B (zh) | 2016-01-20 |
EP2656408B1 (de) | 2015-10-21 |
CN103262273A (zh) | 2013-08-21 |
DE102010055621A1 (de) | 2012-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2000116162A5 (ja) | ||
JP5837612B2 (ja) | アクチュエータ、アクチュエータシステム、およびアクチュエータの駆動方法 | |
US10069440B2 (en) | Vibrator and ultrasonic motor | |
JPH10304686A (ja) | 圧電式のアクチュエータ | |
JPWO2012073958A1 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
CN103943772B (zh) | 单片压电换能器及其制作方法 | |
CN106416295A (zh) | 具有声能反射中间层的微机电声换能器 | |
EP3134925B1 (en) | Piezoelektric actuator | |
JP2014507785A (ja) | アクチュエータ、アクチュエータシステム、およびアクチュエータの駆動方法 | |
JP2017055594A (ja) | 発電デバイスの実装構造及び発電方法 | |
US9056333B2 (en) | Ultrasound probe and method of producing the same | |
JP4106378B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
WO2020026824A1 (ja) | 誘電エラストマートランスデューサーシステム | |
WO2020152905A1 (ja) | 積層型圧電素子及び圧電アクチュエーター | |
WO2013175662A1 (ja) | スピーカー | |
US11309481B2 (en) | Multi-layer piezoelectric ceramic component-mounted piezoelectric device | |
CN104205387A (zh) | 压电振动元件、使用其的压电振动装置以及便携终端 | |
CN203445159U (zh) | 一种圆环形多层独石结构压电马达陶瓷片 | |
JP4611450B2 (ja) | 超音波モータおよび超音波モータ付電子機器 | |
JP3043124B2 (ja) | 進行波型モータ装置 | |
CN102636787B (zh) | 超声探测器 | |
JP2011176962A (ja) | 駆動装置 | |
JPS61103397A (ja) | 圧電ブザ− | |
JP5031153B2 (ja) | 積層電気−機械エネルギー変換素子および振動波駆動装置 | |
JP2009252950A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141112 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150210 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150311 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150410 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151014 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151105 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5837612 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |