JP4106378B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Description
冒頭に述べた圧電アクチュエータは、既に述べたように圧電層の多層構造を有しており、層間に配置された内部電極を備える圧電的にアクティブな領域が形成され、内部電極の接触接続は層ごとに交番し、これに電圧が印加される。センサ部分を形成するために、内部電極を備える別の圧電層が設けられており、この内部電極からは圧電アクチュエータの操作に比例する電気的センサ信号を別の外部電極を介して取り出すことができる。本発明によればアクチュエータ部分に対する圧電層と、少なくとも1つのセンサ部分に対する圧電層とが1つの構成部分に次のように有利に組み込まれている。すなわちセンサ部分に対する個々の圧電層が所定の間隔でアクチュエータ部分に対する圧電層の間に配置されるように組み込まれている。
本発明の、集積されたセンサを備える圧電アクチュエータの実施例を図面に基づいて説明する。
図1は、圧電セラミックとその間にある内部電極からなる層の多層構造を有する圧電アクチュエータの断面図であり、アクチュエータ部分およびセンサ部分に対するものである。
図2は、図1に相応する断面図であり、ここでは圧電アクチュエータが複数のアクティブアクチュエータ部分とパッシブセンサ部分に分割されている。
図3は、図1の圧電アクチュエータの横断面図である。
図4は、並置された2つのセンサ・圧電層を有する圧電アクチュエータの横断面図である。
図5は、並置された3つのセンサ・圧電層を有する圧電アクチュエータの横断面図である。
図6と図7は、それぞれ圧電アクチュエータの同じ側で接触接続されたアクチュエータ部分とセンサ部分を備える圧電アクチュエータの横断面図および斜視図である。
図8と図9は、図6と図7の実施例による別の変形実施例の横断面図および斜視図である。
図10と図11は、センサ部分に対してコーナで接触接続された比較的小さい内部電極を備える圧電アクチュエータの横断面図および斜視図である。
図1には、それ自体公知のように適切な結晶構造を有するセラミック材料の圧電層、例えばいわゆるグリーンシートからなる圧電アクチュエータ1が示されている。ここではいわゆるピエゾ効果を使用して、外部の直流電圧が内部電極2と3に、ここには詳細には示されていないが図3の外部電極4と5を介して印加されると圧電アクチュエータ1の機械的応答が作用方向6ないし7に生じる。内部電極2と3を備える圧電層はここでは圧電アクチュエータ1の全体構造にわたって作用方向6ないし7に分散されており、従来技術から公知のように例えば焼成により相互に焼結される。
Claims (5)
- 多層構造のアクチュエータ圧電層と、センサ内部電極(8,9)を備える別のセンサ圧電層を有する圧電アクチュエータであって、
前記多層構造のアクチュエータ圧電層は前記圧電アクチュエータの機械的応答方向(6,7)に対して垂直であり、当該アクチュエータ圧電層の間に配置されたアクチュエータ内部電極(2,3)には前記圧電アクチュエータの駆動のためにアクチュエータ用外部電極(4,5)を介して電圧が印加され、
前記センサ内部電極(8,9)からは、前記圧電アクチュエータ(1)の変形に比例する電気的センサ信号が別のセンサ用外部電極(10,11;21,22,23,24)を介して取り出される形式の圧電アクチュエータにおいて、
前記アクチュエータ圧電層と、前記センサ圧電層とは1つの構成部分に圧電アクチュエータ(1)として集積されており、
個々のセンサ圧電層は所定の間隔でまたは所定の配置構成で、前記アクチュエータ圧電層の間に配置されており、
複数の前記センサ圧電層がそれぞれ個別に前記センサ用外部電極と接触接続されており、前記センサ圧電層(12,13;14,15,16)は前記機械的応答方向(6,7)に対して横方向の面に並置されており、
前記複数のセンサ圧電層では、それぞれ同じ極性の前記センサ内部電極(8,9)は圧電アクチュエータ(1)の前記機械的応答方向に平行に、前記圧電アクチュエータ(1)の1つの側に並置され、前記センサ用外部電極と接触接続されている、
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 請求項1記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記機械適応答方向(6,7)に対して横方向の、前記圧電アクチュエータ(1)の横断面は矩形であり、
前記アクチュエータ圧電層の電気的に正と負の前記アクチュエータ用外部電極(4,5)と、前記センサ圧電層の電気的に正と負の前記センサ用外部電極(10,11;21,22,23,24)はそれぞれ前記圧電アクチュエータ(1)の対向する側に取り付けられている圧電アクチュエータ。 - 請求項1または2記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記アクチュエータ用外部電極(4,5)と前記センサ用外部電極(10,11)とは前記圧電アクチュエータ(1)の対向する2つの側に並置されている圧電アクチュエータ。 - 請求項1から3までのいずれか1項記載の圧電アクチュエータにおいて、
それぞれの前記センサ内部電極(17,18,19,20)は前記センサ用外部電極と、コーナ領域の異なるエッジにおいて交互に接触接続されている圧電アクチュエータ。 - 請求項1から4までのいずれか1項記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記機械的応答方向(6,7)に積層された複数の前記センサ圧電層が電気的に並列に接続されており、および/または、
前記機械的応答方向(6,7)に積層された複数の前記アクチュエータ圧電層が電気的に並列に接続されている圧電アクチュエータ。
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