DE102012204251B4 - Verfahren zum Betreiben eines Kraftstoffeinspritzsystems und Kraftstoffeinspritzsystem mit Einspritzventilen mit Piezo-Direktantrieb - Google Patents
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Abstract
Es werden ein Verfahren zum Betreiben eines Kraftstoffeinspritzsystems sowie ein Kraftstoffeinspritzsystem beschrieben. Bei dem Verfahren findet zur Erfassung des im Druckspeicher herrschenden Drucks ein Piezo-Aktuator eines Einspritzventils Verwendung, der zusätzlich zum aktiven, für die Betätigung des Verschlusselementes verwendeten Piezobereich einen passiven Piezobereich als Drucksensor aufweist. Mithilfe dieses Drucksensors wird die auf den passiven Piezobereich einwirkende Kraft des Verschlusselementes und damit der im Druckspeicher herrschende Druck ermittelt.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Kraftstoffeinspritzsystems einer Brennkraftmaschine, das einen Druckspeicher (Rail), mindestens ein Einspritzventil mit Piezo-Direktantrieb, bei dem ein Piezo-Aktuator in direkter Antriebsverbindung mit einem Verschlusselement des Einspritzventils steht, einen Sensor zur Erfassung des im Druckspeicher (Rail) herrschenden Drucks (Raildrucks) und eine Steuer- und Regeleinheit aufweist.
- Kraftstoffeinspritzsysteme, mit denen die Einspritzung von Kraftstoff in einen Brennraum einer Brennkraftmaschine vorgenommen wird, sind seit langem bekannt. Derartige Einspritzsysteme umfassen mindestens ein Einspritzventil (Injektor) und mindestens eine mit dem Einspritzventil verbundene Steuer- und Regeleinheit zur Steuerung des Einspritzvorganges. Das Einspritzventil besitzt dabei einen Raum, aus welchem heraus Kraftstoff durch eine Einspritzöffnung in den Brennraum injizierbar ist. Das Öffnen und Schließen der Einspritzöffnung wird mittels eines Verschlusselementes (Düsennadel) vorgenommen, das von einem Aktuator betätigt (bewegt) werden kann. Der Raum wird über einen Hochdruckspeicher und eine Kraftstoffleitung mit Kraftstoff versorgt.
- Bei dem Aktuator handelt es sich um ein Element zum Bewegen des Verschlusselementes. Damit wird ein Einspritzvorgang mithilfe des Aktuators gesteuert. Der Aktuator steht hierbei in direkter Antriebsverbindung mit dem Verschlusselement, was bedeutet, dass der Aktuator und das Verschlusselement in direktem mechanischen Kontakt stehen oder über zwischengeschaltete feste Körper, wie beispielsweise Pins, Hebel, Kolben, miteinander in Verbindung stehen. Wesentlich ist hierbei, dass keine hydraulische oder pneumatische Kopplung zwischen dem Aktuator und dem Verschlusselement vorliegt.
- Bei dem Aktuator handelt es sich um einen Piezo-Aktuator, der aufgrund des piezoelektrischen Effektes bei Beaufschlagung mit elektrischer Energie sich ausdehnt (seine Länge vergrößert) und auf diese Weise das Verschlusselement direkt bewegt.
- Das Dokument
DE 10129375 A1 offenbart zum Beispiel ein solches Einspritzventil mit einem Piezoaktuator. Dieser Piezoaktuator verfügt über ein zusätzliches integriertes Erkennungsmittel, wobei ein Element des Piezoaktuators zur Kraftmessung verwendet wird, die wiederum Auskunft gibt über den Betätigungszustand des Einspritzventils. - Auch das Dokument
DE 10162250 A1 offenbart ein solches Einspritzventil mit einem Piezoaktuator, bei dem eine oder mehrere Schichten des Aktuators als Messelement ausgebildet sind. Diese dient zur Kraftmessung mit deren Hilfe eine temperaturbedingte Längenänderung des Piezoaktuators ausgeglichen wird. - Auch bei den in den Dokumenten
DE 103 45 730 A1 ,DE 199 60 971 A1 ,DE 31 03 061 A1 offenbarten piezoelektrischen Stellgliedern sind Teile des Piezostacks als Messsensor zur Messung von auf den Piezoaktuator wirkenden Kräften ausgebildet. - Dokument
DE 199 52 774 B4 offenbart dagegen eine Vorrichtung zum Ablassen von Kraftstoff aus einer Common-Rail einer Kraftstoffeinspritzanlage, wobei eine Ventileinrichtung durch zumindest ein Piezoelement entgegen dem Systemdruck verschließbar ist und die aufgrund des Systemdrucks direkt oder indirekt auf das Piezoelement wirkende Kräfte durch eine Spannungsmessung an dem Piezoelement erfassbar sind. - Schließlich zeigt Dokument
DE 19827287 A1 eine Brennstoffeinspritzventil-Drucksensor-Kombination für eine Brennstoffeinspritzanlage eines Verbrennungsmotors, bei der mittels des piezoelektrischen Aktuatorelements, während einer Meßphase der Druck im zugehörigen Brennraum der Brennkraftmaschine erfasst wird. - Bei derartigen Kraftstoffeinspritzsystemen ist es erforderlich, den im Druckspeicher herrschenden Druck zu erfassen, um eine entsprechende Raildruckregelung durchführen zu können. Hierzu finden beim Stand der Technik spezielle Drucksensoren Verwendung, die in den Druckspeicher eingebaut sind. Dies führt zu einer Erhöhung der Gesamtsystemkosten.
- Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs wiedergegebenen Art zu schaffen, das sich besonders kostengünstig durchführen lässt.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch das in Anspruch 1 definierte Verfahren, das sich unter anderem dadurch auszeichnet, dass ein Piezo-Aktuator verwendet wird, der zusätzlich zum aktiven, für die Betätigung des Verschlusselementes verwendeten Piezobereich einen passiven Piezobereich aufweist, der den Drucksensor darstelllt, wobei die auf den passiven Piezobereich einwirkende Kraft des Verschlusselementes und daraus der im Druckspeicher herrschende Druck (Raildruck) ermittelt wird.
- Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren findet kein zusätzlicher, am Druckspeicher, zum Beispiel einem so genannten Common Rail, angebrachter Drucksensor Verwendung, sondern der Druck wird mithilfe des ohnehin im Einspritzventil verwendeten Piezo-Aktuators erfasst. Hierzu findet ein Piezo-Aktuator Verwendung, der durch einen passiven Piezobereich ergänzt wird, der nicht zur Betätigung des Verschlusselementes eingesetzt wird, sondern als Drucksensor dient. Hierbei macht man sich den inversen piezoelektrischen Effekt zunutze, dass durch Druckausübung auf diesen passiven Piezobereich eine elektrische Messgröße erzeugt bzw. verändert wird, die erfasst und aus der der im Druckspeicher herrschende Druck (Raildruck) ermittelt wird.
- Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren findet somit eine Baueinheit Verwendung, die sich aus dem eigentlichen Piezo-Aktuator, der die Betätigung des Verschlusselementes bewirkt, und einem Drucksensor zusammensetzt. Da hierbei der Piezo-Aktuator lediglich durch einen passiven Piezobereich ergänzt werden muss, ist der für die Druckerfassung benötigte Zusatzaufwand relativ gering, so dass sich das erfindungsgemäße Verfahren kostengünstiger durchführen lässt als bei Anordnung eines speziellen gesonderten Drucksensors im Druckspeicher selbst.
- Vorzugsweise wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren der im Druckspeicher herrschende Druck (Raildruck) in der Phase mit geschlossenem Zustand des Verschlusselementes ohne Ansteuerung des aktiven Piezobereiches ermittelt. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren finden daher zwei getrennte Phasen statt: Zum einen eine Einspritzphase, während der der aktive Piezobereich zum Öffnen des Verschlusselementes angesteuert wird, und zum anderen eine Druckerfassungsphase, während der über die Druckbeaufschlagung des passiven Piezobereiches die Druckerfassung im Druckspeicher durchgeführt wird.
- Mithilfe des passiven Piezobereiches (Drucksensors) wird die durch das Verschlußelement auf den passiven Piezobereich ausgeübte Kraft und daraus der Raildruck ermittelt. Dies geschieht vorzugsweise unter Berücksichtigung der zusätzlich auf den passiven Piezobereich einwirkenden Offsetkraft, um eine exakte Druckerfassung zu ermöglichen. Dabei wird die auf den passiven Piezobereich einwirkende Kraft speziell aus der Beziehung
F_s = A_p·P_rail – A_s·P_low - F_s
- = auf den passiven Piezobereich (Drucksensor) ausgeübte Kraft,
- A_p
- = Fläche eines Verbindungsgliedes (Pins) zwischen Piezo-Aktuator und Verschlusselement bzw. weiterem Verbindungsglied (Hebel),
- P_rail
- = im Druckspeicher herrschender Druck,
- A_s
- = Fläche des passiven Piezobereiches (Drucksensors),
- P_low
- = Niederdruck bedeuten.
- Mit Hilfe der aus der obigen Beziehung berechneten Kraft, wird der im Druckspeicher herrschende Druck (Raildruck) P_rail ermittelt.
- Vorzugsweise findet bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ein Einspritzventil mit Direktantrieb Verwendung, bei dem ein Pin den Piezo-Aktuator auf der Niederdruckseite und einen Hebel auf der Hochdruckseite miteinander verbindet, welcher mit dem Verschlusselement in Antriebsverbindung steht. Da der Niederdruck P_low konstant eingehalten wird, ist dieser bekannt. Durch die Fläche des passiven Piezobereiches (Drucksensors) A_s und den Niederdruck P_low wird die Offsetkraft auf den Drucksensor bestimmt. Der Hochdruck, d. h. der im Raum des Verschlusselementes herrschende Druck, ist direkt mit dem Raildruck verbunden und entspricht damit dem Raildruck P_rail. Durch die Fläche des Pins A_p und den Hochdruck wird somit die auf den Drucksensor zusätzlich ausgeübte Kraft F_s bestimmt.
- Vorzugsweise wird die auf den passiven Piezobereich einwirkende Kraft aus der gemessenen elektrischen Spannung des passiven Piezobereiches und hieraus über eine Kennlinie ermittelt. Eine solche Kennlinie kann beispielsweise in der zugehörigen Steuer- und Regeleinheit hinterlegt sein. Somit kann der Raildruck P_rail als IST-Raildruck ermittelt werden.
- Es versteht sich, dass der mithilfe des Piezo-Aktuator-Drucksensors ermittelte, im Druckspeicher herrschende Druck (Raildruck) (IST-Druck) in Verbindung mit einem Solldruckwert zur Druckregelung im Kraftstoffeinspritzsystem verwendet werden kann. Der IST-Druck wird hierbei auf erfindungsgemäße Weise erfasst, mit einem Solldruckwert verglichen, und es wird eine entsprechende Anpassung zur Druckregelung vorgenommen.
- Das erfindungsgemäße Verfahren findet speziell bei einem Kraftstoffeinspritzsystem Verwendung, das mehrere Kraftstoffeinspritzventile aufweist. Hierbei wird vorzugsweise der im Druckspeicher herrschende Druck (Raildruck) in jedem Einspritzventil jeweils vor der Einspritzung mindestens einmal ermittelt. Auf diese Weise kann der nachfolgende Einspritzvorgang unter Berücksichtigung der tatsächlichen Druckverhältnisse gesteuert bzw. geregelt werden, wobei kein gesonderter Drucksensor Verwendung finden muss.
- Bei einem solchen Kraftstoffeinspritzsystem mit mehreren Kraftstoffeinspritzventilen wird vorzugsweise der im Druckspeicher herrschende Druck (Raildruck) aus dem Mittelwert der individuell ermittelten Druckwerte aller Einspritzventile gebildet. Die Druckdifferenz des individuellen Einspritzventils kann dann zur Diagnose verwendet werden.
- Um die Druckmessgenauigkeit zu erhöhen, kann in der Serienfertigung bei einem Funktionstest des Einspritzventils ein definierter Druckwert P_s0 im Druckspeicher eingestellt werden. Hierbei wird die elektrische Spannung V_0 des Drucksensors abgelesen und daraus die Kraft F_s0 bestimmt. Hieraus kann dann injektorindividuell der Kennlinienverlauf, insbesondere die Kennliniensteigung zwischen F_s und P_rail bestimmt und gespeichert werden. Danach kann dieser Wert in der Steuer- und Regeleinheit eingelesen werden.
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich ferner auf ein Kraftstoffeinspritzsystem einer Brennkraftmaschine mit einem Druckspeicher (Rail), mindestens einem Einspritzventil mit Piezo-Direktantrieb, bei dem ein Piezo-Aktuator in direkter Antriebsverbindung mit einem Verschlusselement des Einspritzventils steht, einem Sensor zur Erfassung des im Druckspeicher (Rail) herrschenden Drucks (Raildrucks) und einer Steuer- und Regeleinheit. Dieses Kraftstoffeinspritzsystem ist dadurch gekennzeichnet, dass es zur Durchführung eines Verfahrens der vorstehend beschriebenen Art eingerichtet ist. Dadurch, dass ein derartiges Kraftstoffeinspritzsystem keinen speziellen, im Druckspeicher eingebauten Drucksensor für die Raildruckerfassung und Raildruckregelung benötigt, ist ein solches System im Vergleich zum Stand der Technik mit geringeren Gesamtkosten verbunden und weist einen vereinfachten Aufbau auf.
- Bei dem erfindungsgemäß ausgebildeten Kraftstoffeinspritzsystem weist daher der Piezo-Aktuator einen integrierten Druck/Kraftsensor auf. Der Sensor wird durch einen zusätzlichen passiven Piezobereich gebildet. Hierbei handelt es sich um zumindest eine zusätzliche seriell angeordnete, gegenüber den aktiven Piezoschichten elektrisch isolierte, passive Piezoschicht, die auf einem schichtweise ausgebildeten Piezostapel, der den aktiven Piezobereich bildet, angeordnet ist und von diesem durch eine geeignete Isolation getrennt ist. Der passive Piezobereich weist vorzugsweise auf beiden Seiten Elektroden zum Abgreifen der erzeugten elektrischen Spannung auf.
- Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles in Verbindung mit der Zeichnung im Einzelnen erläutert. Es zeigen:
-
1 einen schematischen Teillängsschnitt durch ein Einspritzventil; -
2 einen schematischen Teillängsschnitt durch einen Piezo-Aktuator mit Kraftsensor; und -
3 ein Ablaufdiagramm des Verfahrens. -
1 zeigt ein Einspritzventil1 , das an eine schematisch dargestellte Steuer- und Regeleinheit2 angeschlossen ist. Das Einspritzventil1 kommt beispielsweise in einem Dieselmotor eines Pkws zum Einsatz. Es dient dazu, Kraftstoff in einen Brennraum einer Brennkraftmaschine einzuspritzen. Es besitzt einen Raum3 , der über eine hier nicht dargestellte Kraftstoffleitung mit einem Druckspeicher (Hochdruckspeicher) verbunden ist. Bei dem hier gezeigten Einspritzventil1 handelt es sich um eines einer Vielzahl von Einspritzventilen, die in einem Common-Rail-System jeweils über Kraftstoffleitungen mit dem selben Druckspeicher verbunden sind. Am unteren Ende des Einspritzventils1 weist dieses eine Einspritzöffnung4 auf, durch welche hindurch Kraftstoff aus dem Raum3 in den Brennraum eingespritzt werden kann. - Im Raum
3 ist eine als Verschlusselement dienende Düsennadel5 angeordnet, mittels welcher die Einspritzöffnung4 geöffnet und geschlossen werden kann. Befindet sich die Düsennadel5 in einer geöffneten Position, in welcher sie die Einspritzöffnung4 freigibt, wird unter Hochdruck stehender Kraftstoff aus dem Raum3 in die Brennkammer eingespritzt. In einer geschlossenen Position der Düsennadel5 , in welcher die Düsennadel5 die Einspritzöffnung4 verschließt, wird das Einspritzen von Kraftstoff in die Brennkraftkammer unterbunden. - Die Düsennadel
5 wird mittels einer im oberen Abschnitt des Raumes3 angeordneten Schließfeder6 mittels eines die Düsennadel5 direkt betätigenden Piezo-Aktuators7 gesteuert, der elektrisch mit der Steuer- und Regeleinheit verbunden ist. Abhängig von einer Ansteuerung durch die Steuer- und Regeleinheit2 kann der Piezo-Aktuator7 seine Länge verändern und eine Kraft auf die Düsennadel5 ausüben, wobei die Kraft über einen in der Figur verdeckten Pin, über eine Glocke8 und über Hebel9 auf die Düsennadel5 übertragbar ist. Über den Pin, die Glocke8 und die Hebel9 sind der Piezo-Aktuator7 und die Düsennadel5 unmittelbar mechanisch gekoppelt. Eine vom Piezo-Aktuator7 ausgeübte Kraft wird daher direkt auf die Düsennadel5 übertragen. Umgekehrt wirkt eine von der Düsennadel5 ausgeübte mechanische Kraft direkt auf den Piezo-Aktuator7 . Wird der Piezo-Aktuator7 nicht mit elektrischer Energie beaufschlagt, drückt die Schließfeder6 die Düsennadel5 in1 nach unten, so dass diese die Einspritzöffnung4 gegen den Druck im Raum3 verschließt und eine Einspritzung unterbindet. Wird der Piezo-Aktuator7 mit elektrischer Energie beaufschlagt, vergrößert der Piezo-Aktuator7 seine Länge und übt eine Kraft auf die Düsennadel5 aus, wodurch die Einspritzöffnung4 mittels der Düsennadel5 geöffnet wird. - Der in
1 nur schematisch dargestellte Piezo-Aktuator7 weist zusätzlich zum aktiven, für die Betätigung der Düsennadel5 verwendeten Piezobereich einen passiven Piezobereich als Drucksensor auf. Mithilfe dieses Drucksensors wird die auf den passiven Piezobereich einwirkende Kraft durch die Düsennadel5 und damit der im Druckspeicher herrschende Druck (Raildruck) ermittelt. -
2 zeigt schematisch den Aufbau des Piezo-Aktuators7 , der eine Baueinheit bildet, welche den aktiven Piezobereich12 zur Betätigung der Düsennadel5 und den passiven Piezobereich13 zur Druckerfassung aufweist. Der aktive Piezobereich12 setzt sich aus einer Vielzahl von aktiven übereinander angeordneten Piezoschichten zusammen, die jeweils links und rechts eine entsprechende Anschlusselektrode10 aufweisen. Auf der obersten aktiven Piezoschicht ist durch eine geeignete Isolierung14 getrennt eine passive Piezoschicht angeordnet, die den als Kraftsensor bzw. Drucksensor wirkenden Piezobereich13 bildet. Beidseitig ist die passive Piezoschicht mit entsprechenden Anschlusselektroden15 versehen. - Der Betrieb des hier beschriebenen Kraftstoffeinspritzsystems läuft folgendermaßen ab. Es gibt eine Druckerfassungsphase und eine Einspritzphase. Vor der Einspritzung wird der Raildruck ermittelt, indem die von der Düsennadel
5 auf den passiven Piezobereich13 ausgeübte Kraft durch Messung der erzeugten elektrischen Spannung des passiven Piezobereiches ermittelt wird. Aus der gemessenen Spannung werden über entsprechende, in der Steuer- und Regeleinheit hinterlegte Kennlinien die zugehörige Kraft und hieraus der Raildruck in der vorstehend beschriebenen Weise ermittelt. Diese Druckerfassungsphase wird bei geschlossener Düsennadel durchgeführt. - Der ermittelte Raildruck (IST-Druck) wird dann zur Raildruckregelung für die nachfolgende Einspritzung verwendet, bei der der aktive Piezobereich des Aktuators angesteuert wird, um die Düsennadel vom Sitz abzuheben und die Einspritzöffnung freizugeben.
- In einer Druckerfassungsphase, d. h. bei geschlossener Düsennadel und vor einem Einspritzvorgang, wird in Schritt
20 die von der Düsennadel auf den passiven Piezobereich ausgeübte Kraft durch Messung der erzeugten elektrischen Spannung des passiven Piezobereiches ermittelt. In Schritt21 wird aus der gemessenen Spannung über eine Kennlinie die zugehörige Kraft und hieraus der Raildruck ermittelt. In Schritt22 wird dann der ermittelte Raildruck für die Druckregelung eines nachfolgenden Einspritzvorgangs verwendet.
Claims (11)
- Verfahren zum Betreiben eines Kraftstoffeinspritzsystems einer Brennkraftmaschine, wobei das Kraftstoffeinspritzsystem einen Druckspeicher, mindestens ein Einspritzventil mit Piezo-Direktantrieb, bei dem ein Piezo-Aktuator in direkter Antriebsverbindung mit einem Verschlusselement des Einspritzventils steht, einen Drucksensor zur Erfassung des im Druckspeicher herrschenden Drucks und eine Steuer- und Regeleinheit aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass ein Piezo-Aktuator verwendet wird, der zusätzlich zu einem aktiven, für die Betätigung des Verschlusselementes verwendeten Piezobereich einen passiven Piezobereich aufweist, der den Drucksensor zur Erfassung des im Druckspeicher herrschenden Drucks darstellt, wobei die durch das Verschlusselement auf den passiven Piezobereich einwirkende Kraft und daraus der im Druckspeicher herrschende Druck ermittelt wird.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der im Druckspeicher herrschende Druck in einer Phase mit geschlossenem Zustand des Verschlusselementes ohne Ansteuerung des aktiven Piezobereiches ermittelt wird.
- Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die auf den passiven Piezobereich einwirkende Kraft unter Berücksichtigung einer zusätzlich auf den passiven Piezobereich einwirkenden Offsetkraft ermittelt wird.
- Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die auf den passiven Piezobereich einwirkende Kraft aus der Beziehung
F_s = A_p·P_rail – A_s·P_low - Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die auf den passiven Piezobereich einwirkende Kraft aus der am passiven Piezobereich gemessenen elektrischen Spannung mit Hilfe einer Kennlinie ermittelt wird.
- Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der mithilfe des Drucksensors ermittelte, im Druckspeicher herrschende Druck in Verbindung mit einem Solldruckwert zur Druckregelung im Kraftstoffeinspritzsystem verwendet wird.
- Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei dem das Kraftstoffeinspritzsystem mehrere Kraftstoffeinspritzventile aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der im Druckspeicher herrschende Druck vor der Einspritzung jedes Einspritzventils mindestens einmal ermittelt wird.
- Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei dem das Kraftstoffeinspritzsystem mehrere Kraftstoffeinspritzventile aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der im Druckspeicher herrschende Druck aus dem Mittelwert der individuell zur gleichen Zeit ermittelten Druckwerte aller Einspritzventile gebildet wird.
- Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei einem Funktionstest des Einspritzventils ein definierter Druck P_s0 im Druckspeicher eingestellt und über den Drucksensor die Kraft F_s0 bestimmt wird, woraus einspritzventilindividuell der Kennlinienverlauf zwischen F_s und P_rail bestimmt und gespeichert wird.
- Kraftstoffeinspritzsystem einer Brennkraftmaschine mit einem Druckspeicher, mindestens einem Einspritzventil mit Piezo-Direktantrieb, bei dem ein Piezo-Aktuator in direkter Antriebsverbindung mit einem Verschlusselement des Einspritzventils steht, einen Drucksensor zur Erfassung des im Druckspeicher herrschenden Drucks und einer Steuer- und Regeleinheit, dadurch gekennzeichnet, dass das System zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der vorangehenden Ansprüche eingerichtet ist.
- Kraftstoffeinspritzsystem nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Piezo-Aktuator einen passiven Piezobereich (
13 ) aufweist, der durch zumindest eine zusätzliche seriell angeordnete, gegenüber den aktiven Piezoschichten elektrisch isolierte, passive Piezoschicht gebildet ist.
Priority Applications (4)
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