JPH09321359A

JPH09321359A - 積層型圧電アクチュエータ

Info

Publication number: JPH09321359A
Application number: JP8138431A
Authority: JP
Inventors: Makoto Higashibetsupu; 誠東別府; Koki Ashida; 幸喜芦田; Shuichi Fukuoka; 修一福岡; Katsuhiko Onizuka; 克彦鬼塚; Takeshi Setoguchi; 剛瀬戸口
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1996-05-31
Filing date: 1996-05-31
Publication date: 1997-12-12

Abstract

(57)【要約】【課題】駆動時において発生する自己発熱を含めた素子
内部の温度や圧力等を正確に検知できる積層型圧電アク
チュエータを提供する。【解決手段】積層された複数の圧電磁器板１１と、これ
らの圧電磁器板１１の間に介装された内部電極１５とを
具備してなる積層型圧電アクチュエータであって、圧電
磁器板１１間に、セラミック板４１を取出電極４３によ
り挟持したセンサ５を設けてなる。センサは圧電磁器板
の積層方向における中央部に設けられ、センサのセラミ
ック板が圧電磁器板と同一の組成物により形成されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層型圧電アクチ
ュエータに係わり、例えば、Ｘ−Ｙステージ等の精密位
置決め装置や高速位置制御等に用いられる積層型圧電ア
クチュエータに関するものである。

【０００２】

【従来技術】従来から、圧電磁器板を複数枚積層して、
積層型のアクチュエータを作製する方法が多数開示され
ている。

【０００３】一般に、積層型圧電アクチュエータは、基
本的に使用する圧電素子がその圧電特性に温度依存性、
圧力依存性を有していることにより、駆動する際の運転
環境或いは、素子自身の状態を正確に把握し、状況によ
っては、補正回路を付加した状態で使用する必要があ
る。特に、積層型圧電アクチュエータにおいて、変位量
の温度依存性と圧力依存性は大きい。

【０００４】即ち、従来、積層型圧電アクチュエータを
高電圧で高速駆動する際に素子自身の自己発熱が発生
し、素子の圧電特性の温度依存性によって、電圧−変位
特性が変動し、所望の変位量が得られないという問題が
あった。従って、素子自身の温度を正しく計測し、これ
をフィードバックする必要があった。

【０００５】このため、従来、熱電対などの温度測定用
センサを外付けすることにより測定を行っていた。

【０００６】また、圧力の測定に関しては、圧電式、或
いはダイヤフラム方式などの圧力センサを積層型圧電ア
クチュエータの近傍に接続したり、その側面に貼付した
りすることによって、作動中の積層型圧電アクチュエー
タの圧力変化の測定を行っていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高電圧
かつ高速で電圧印加を繰り返すと圧電素子自身が発熱す
るため、アクチュエータが配置されている雰囲気以上
に、積層型圧電アクチュエータの内部温度、内部圧力は
上昇し、従来の上記方法によってはアクチュエータの外
面温度や圧力しか測定できず、内部温度や内部圧力は測
定できないという問題があった。このため、変位量を厳
密に制御することができないという問題があった。

【０００８】本発明は、積層型圧電アクチュエータの内
部温度や圧力等を正確に検知できる積層型圧電アクチュ
エータを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の積層型圧電アク
チュエータは、積層された複数の圧電磁器板と、これら
の圧電磁器板の間に介装され交互に電気的に接続された
内部電極とを具備してなる積層型圧電アクチュエータで
あって、前記圧電磁器板間に、セラミック板を取出電極
により挟持したセンサを設けてなるものである。

【００１０】ここで、センサは圧電磁器板の積層方向に
おける中央部に設けられることが望ましい。また、セン
サのセラミック板が圧電磁器板と同一の組成物により形
成されることが望ましい。さらに、センサが、温度セン
サおよび／または圧力センサであることが望ましい。さ
らにまた、センサの取出電極には突起部が形成されてお
り、この突起部が内部電極の接続部分と異なる位置でセ
ラミック板から突出していることが望ましい。

【００１１】

【作用】本発明の積層型圧電アクチュエータでは、圧電
磁器板間に、セラミック板を取出電極により挟持した、
例えば、温度センサや圧力センサを設けたので、高電圧
かつ高速で電圧印加を繰り返し、圧電素子自身が発熱し
たとしても、積層型圧電アクチュエータの内部温度、内
部圧力を正確に測定することができ、その状態に対応す
る印加電圧等の制御因子にフィードバックでき、変位量
を厳密に制御することができる。

【００１２】また、センサを積層型圧電アクチュエータ
の圧電磁器板の積層方向における中央部に設けることに
より、積層型圧電アクチュエータの駆動時においてセン
サに作用する応力を抑制することができ、正確な温度や
圧力等を検知できる。

【００１３】さらに、センサのセラミック板を圧電磁器
板と同一の組成物により形成することにより、製造が容
易になる。

【００１４】また、センサの取出電極の突起部は、内部
電極の接続部と異なる位置で、セラミック板から突出し
ているため、内部電極と電気的に短絡することがない。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１および図２は本発明の積層型
圧電アクチュエータを示すもので、円柱状の積層圧電体
１の外周面には、正極側外部電極２および負極側外部電
極３が形成されており、積層圧電体１の中央部には、セ
ンサ５が内蔵されている。外部電極２，３にはリード線
４が接続されている。

【００１６】積層圧電体１は、図３に示すように、円板
状の圧電磁器板１１を複数積層して構成されている。こ
れらの圧電磁器板１１はＰｂ（ＺｒＴｉ）Ｏ₃（以下Ｐ
ＺＴと略す）を主成分とする焼結体である。

【００１７】圧電磁器板を構成する圧電材料は、例え
ば、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミッ
クス材料などが使用されるが、これに限定されるもので
はなく、圧電性を有するセラミックスであれば何れでも
良い。この圧電磁器板を構成する圧電材料としては、圧
電歪み定数ｄ₃₃が高いものが望ましい。

【００１８】特に、金属成分としてＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｚｎ、Ｓｂ、Ｎｉ、Ｔｅと、ＳｒおよびＢａのうち少な
くとも一種を含む複合ペロブスカイト型化合物であっ
て、これらの金属元素のモル比による組成式を、Ｐｂ
_1-x-yＳｒ_xＢａ_y（Ｚｎ_1/3Ｓｂ_2/3）_a（Ｎｉ_1/2
Ｔｅ_1/2）_bＺｒ_cＴｉ_1-a-b-cＯ₃と表わした時、
ｘ，ｙ，ａ，ｂ，ｃのモル比が、０≦ｘ≦０．１２、０
≦ｙ≦０．１２、０＜ｘ＋ｙ、０．０５≦ａ≦０．１
２、０≦ｂ≦０．０１５、０．４３≦ｃ≦０．５２を満
足する基本成分１００重量部に対して、等モル比からな
るＰｂＯおよびＮｂ₂Ｏ₅を合量で０．２〜１．２重量
部添加含有してなる圧電磁器組成物が望ましい。

【００１９】この圧電磁器板の厚みｔは、小型化および
高い電圧を印加するという点から、０．２〜０．６ｍｍ
であることが望ましい。

【００２０】そして、複数の圧電磁器板１１が積層され
ており、その間には導電性接着層１３が形成され、導電
性接着層１３間には内部電極となる金属薄板１５が介装
されている。これらの金属薄板１５には、図４に示すよ
うに、接続用突起部１６および接続部材１７が一体的に
形成されており、これらの接続用突起部１６および接続
部材１７からなる接続部１８は、図３に示したように、
圧電磁器板１１の径方向に突出している。また、接続部
１８は交互に１８０度反対を向くように、金属薄板１５
が圧電磁器板１１の間に介装されており、これらの金属
薄板１５は、その接続部１８の位置により正電極用金属
薄板１９，負電極用金属薄板２１とされている。そし
て、正電極用金属薄板１９の接続用突起部１６が接続部
材１７により相互に電気的に接続され、また負電極用金
属薄板２１の接続用突起部１６が接続部材１７により相
互に電気的に接続されている。この図３では、接続用突
起部１６と接続部材１７が一体的に形成されている。

【００２１】使用する金属薄板１５は導電性を有するも
ので、例えば、銀、真鍮、銅、ステンレス等の金属が好
ましい。金属薄板１５の厚さは変位量に寄与しないため
にできるだけ薄いもの、例えば、２０〜５０μｍのもの
が好ましい。また、金属薄板１５としては、他の金属薄
板１５との短絡や放電を防止するため、積層圧電体１の
外周面に露出しないように圧電磁器板１１よりも小さい
ことが望ましい。

【００２２】金属薄板１５の接続部１８は、図４に示し
たように、縦１〜３ｍｍ、横１ｍｍ以上が望ましい。

【００２３】接続部材１７と積層圧電体１の外周部との
距離ｃは、短絡や放電を防止するという点から０．２〜
０．６ｍｍが望ましい。

【００２４】導電性接着層１３は、導電性接着層用ペー
ストを圧電磁器板１１に塗布し乾燥することにより形成
されるが、この導電性接着層用ペーストは、Ａｇ等の金
属粉末とガラス成分を含有し、４００〜６００℃程度で
溶融するものが望ましい。これは、積層時に加圧加熱す
ると導電性接着層用ペーストに含有されるガラス成分が
溶融し、圧電磁器板１１同士を強固に接合し、高電界の
繰り返し印加によって発生する界面での剥離等を防止す
ることができ、積層型圧電体の信頼性を向上できるから
である。導電性接着層用ペーストは、特に、Ａｇ粉末を
４０〜６０重量％と、ＰｂＯ−ＳｉＯ₂−Ｂ₂Ｏ₃から
なるガラス成分４０〜６０重量％とからなることが望ま
しい。

【００２５】そして、接続部材１７と圧電磁器板１１の
外周部との間の空隙３１は、隙間がないように耐水性樹
脂３３で充填されている。使用される耐水性樹脂３３
は、絶縁性が高く、常温から２００℃までの温度で硬化
できる有機樹脂であればどのようなものでも良いが、絶
縁性が高く、充填し易いという点からシリコン系樹脂、
あるいはエポキシ系樹脂であることが望ましい。

【００２６】空隙３１を耐水性樹脂３３で充填するに
は、粘度等の条件を調整し、空隙３１内に耐水性樹脂３
３が流れこんでいくようにすることが必要である。この
ような耐水性樹脂３３を刷毛等で塗布したり、ペースト
中に浸漬することにより充填できる。

【００２７】また、本発明では、積層圧電体１の外周面
が耐水性樹脂層で被覆されていることが望ましい。これ
は、積層圧電体１における沿面放電を防止できるからで
ある。しかしながら、湿度等が高い場所で使用する場合
には、この部分で一旦放電すると被覆した樹脂が炭化し
て導通し、圧電磁器板１１が破損し、圧電アクチュエー
タが使用不可能となる虞がある。このため積層圧電体１
の外周面を耐電圧性材料の耐電圧層で被覆した後、耐水
性樹脂層により被覆することが望ましい。この耐電圧層
により、放電が生じた場合でも圧電磁器板１１の破損を
防止できる。

【００２８】耐水性樹脂としては、上記空隙充填用の樹
脂と同様のものが使用でき、このような耐水性樹脂層
は、空隙３１の充填と同時に行うことができる。耐水性
樹脂層は、耐水性樹脂を刷毛等で塗布したり、ペースト
中に浸漬して形成できる。耐水性樹脂層の厚みは、耐水
性向上という点で５０μｍ以上が望ましい。

【００２９】また、耐電圧材料としては、例えば、加熱
接合温度（４００〜６００℃）で溶融するＰｂＯ−Ｓｉ
Ｏ₂−Ｂ₂Ｏ₃ガラスが望ましい。このような耐電圧材
料により予め圧電磁器板１１の外周面に耐電圧層を形成
し、このような圧電磁器板１１を積層し、加圧しながら
加熱して圧電磁器板１１同士を接合すると同時に、圧電
磁器板１１の外周面の耐電圧層が溶融し、積層圧電体１
全面を耐電圧材料で被覆することができる。

【００３０】そして、積層圧電体１の中央部に内蔵され
たセンサ５は、図２に示すように、圧電磁器板１１と同
一の組成物、同一形状のセラミック板４１と、前記金属
薄板１５と同一形状で同一材料からなり前記セラミック
板４１を挟持する一対の取出電極４３と、セラミック板
４１と前記取出電極４３を挟持するように配置され圧電
磁器板１１と同一の組成物からなる一対のダミー層４５
とにより構成されている。

【００３１】また、図１に示したように、取出電極４３
に形成された突起部４７は、正極側外部電極２および負
極側外部電極３と異なる位置で、セラミック板４１から
突出しており、これらの突起部４７にリード線が接続さ
れる。突起部４７は同じ位置ではなく、図１に示したよ
うに少々ずれた位置に形成することが、リード線との接
続が容易という観点から望ましい。

【００３２】ダミー層４５は、センサ５と上下の圧電磁
器板１１とを隔離するために設けられており、センサ５
が圧電磁器板１１の変位の影響を受けないように設けら
れている。これらのダミー層４５の厚みは自由に設定す
ることができる。ダミー層４５とセラミック板４１との
間には、上記した導電性接着層用ペーストと同様のペー
ストにより取出電極４３が接着固定され、電気的に絶縁
されている。また、ダミー層４５と圧電磁器板１１との
間にも、上記した導電性接着層用ペーストと同様のペー
ストにより金属薄板１５が接着固定されている。

【００３３】このような積層型圧電アクチュエータは、
圧電磁器板１１の両面にそれぞれ導電性ペーストを塗布
し、この導電性接着層用ペーストを乾燥した後、複数の
圧電磁器板１１の間、即ち、上記導電性接着層用ペース
ト間に接続用突起部１６を有する金属薄板１５を介装し
て積層した上側積層体および下側積層体を作成する。

【００３４】そして、下側積層体の表面にダミー層４
５、取出電極４３、セラミック板４１、取出電極４３、
ダミー層４５を導電性接着層用ペーストを介して積層
し、この上に上側積層体を配置する。この後加熱しなが
ら加圧し、上側積層体、センサ５および下側積層体を接
合することにより形成される。

【００３５】そして、圧電磁器板１１を挟持している正
電極用金属薄板１９および負電極用金属薄板２１の接続
部１８をそれぞれ接続する。即ち、正電極用金属薄板１
９の接続用突起部１６同士を接続部材１７により電気的
に接続し、負電極用金属薄板２１の接続用突起部１６同
士を接続部材１７により電気的に接続し、接続部材１７
と圧電磁器板１１の外周部との間の空隙３１を樹脂で充
填することにより製造される。接続部材１７同士はハン
ダや溶接により接合される。

【００３６】尚、本発明の積層型圧電アクチュエータは
四角柱等どのような形状であっても良い。

【００３７】図３に示しような積層型圧電アクチュエー
タでは、接続部１８の接続部材１７と圧電磁器板１１の
外周部との間の空隙３１には、隙間がないように耐水性
樹脂３３が充填されているので、正極側の接続用突起部
１６と他の負極側の金属薄板１５との絶縁性を確保し
て、沿面放電を抑制でき、これにより、高い電圧を圧電
磁器板１１に印加し、大きい変位量を確保することがで
きる。

【００３８】また、圧電磁器板１１が複数積層された積
層圧電体１の外周面に耐水性樹脂を被覆することによ
り、放電をさらに防止でき、また、耐水性樹脂による被
覆とともに耐水性樹脂３３による接続部材１７と積層圧
電板１の外周部との間の空隙３１の充填を同時に行うこ
とができるので製造も容易である。

【００３９】さらに、積層圧電体１を耐電圧材料で被覆
した後、耐水性樹脂で被覆することにより、この耐水性
樹脂により積層圧電体１の沿面放電を抑制でき、また、
放電した場合でも耐電圧材料の被覆層により圧電磁器板
の破損を防止できる。

【００４０】尚、センサは、積層型圧電アクチュエータ
の圧電磁器板の積層方向のどこに設けてもよいが、中央
部がセンサに作用する応力を抑制することができるため
最も望ましい。また、センサのセラミック板は圧電磁器
板と同一の組成物とする必要はないが、製造容易という
観点から同一組成で形成することが望ましい。さらに、
センサの取出電極は同一位置に形成しても良い。また、
ダミー層は必ずしも設ける必要はない。

【００４１】さらに、内部電極の接続については、正電
極用金属薄板１９および負電極用金属薄板２１の接続用
突起部１６を接続部材１７により接続した例について説
明したが、これに限定されるものではない。

【００４２】

【実施例】Ｐｂ_1-x-yＳｒ_xＢａ_y（Ｚｎ_1/3Ｓ
ｂ_2/3）_a（Ｎｉ_1/2Ｔｅ_1/2）_bＺｒ_cＴｉ_1-a-b-c
Ｏ₃と表わした時、ｘ＝０．０４、ｙ＝０．０２、ａ＝
０．０７５、ｂ＝０．００５、ｃ＝０．４７を満足する
基本成分１００重量部に対して、等モル比からなるＰｂ
ＯおよびＮｂ₂Ｏ₅を合量で０．５重量部添加含有した
焼結体の両面を研磨して、直径２０ｍｍ、厚み０．５ｍ
ｍの円板状の圧電磁器板１１を形成した。

【００４３】この圧電磁器板１１の両主面に、Ａｇ粉末
５５重量％、ＰｂＯ−ＳｉＯ₂−Ｂ₂Ｏ₃ガラス４５重
量％の電気伝導性ペーストを１０μｍの厚みになるよう
に印刷した後、１００℃にて乾燥した。厚さ２５μｍの
Ａｇ製薄板を、図４に示したような２ｍｍ×２ｍｍの突
起部を有する直径２０ｍｍの円形に打ち抜き、内部電極
となる金属薄板１５とし、この金属薄板１５を圧電磁器
板１１の間に挟み込み、圧電磁器板１１を５０層積層し
た下側積層圧電体を作製した。

【００４４】この後、下側積層圧電体の上面にセンサ５
を設けた。即ち、下側積層圧電体の圧電磁器１１の上面
に、上記と同様の電気伝導性ペーストを１０μｍの厚み
になるように印刷した後、１００℃にて乾燥し、この上
面に、上記と同様の金属薄板１５を配置し、さらに、上
記と同様の電気伝導性ペーストを同様の厚みで印刷し、
１００℃で乾燥した後、圧電磁器板１１と同様の組成か
らなるダミー層４５を配置した。このダミー層４５の上
部に、上記と同様の電気伝導性ペーストを同様の厚みで
印刷し、１００℃で乾燥した後、上記と同様の金属薄板
１５を配置して取出電極４３とし、この取出電極４３の
上面に、上記と同様の電気伝導性ペーストを同様の厚み
で印刷し、１００℃で乾燥した後、圧電磁器板１１と同
様の組成からなるセラミック板４１を配置した。この
後、上記と同様に電気伝導性ペーストの塗布、取出電極
４３の配置、電気伝導性ペーストの塗布、ダミー層４５
の配置、電気伝導性ペーストの塗布、金属薄板１５を配
置しセンサ５を形成した。

【００４５】次に、下側積層圧電体と同様の方法によ
り、圧電磁器板１１を５０層積層した上側積層圧電体を
形成し、これをセンサ５の上に載置した。

【００４６】尚、金属薄板１５の接続部１８は一層おき
に同じ位置にくるように、他方は１８０度反対側に来る
ように配置した。また、それぞれの取出電極４３の突起
部４７は、図１に示したように、積層圧電体１の正極側
と負極側の内部電極の間、即ち負極側外部電極３とそれ
ぞれの突起部４７とのなす角度θが８５度と９０度をな
すように配置した。

【００４７】そして、この積層体を、位置ずれが生じな
いように軽く圧力を加えた後、積層体の上部に約４ｋｇ
の重りを乗せて、６００℃、１時間で加圧接合した。

【００４８】次に、図３に示したように、圧電磁器板１
１の径方向に突出した接続用突起部１６に形成された接
続部材１７を軸方向に折曲げ、一層おいた隣の接続部材
１７とハンダにより接続し、正電極用金属薄板１９の接
続用突起部１６同士を接続部材１７により電気的に接続
するとともに、負電極用金属薄板２１の接続用突起部１
６同士を接続部材１７により電気的に接続した。

【００４９】接続部材１７の長さは１．５ｍｍであり、
他の接続部材１７との当接部分の長さは１．０ｍｍであ
り、接続部材１７と積層圧電体の外周部との距離ｃは、
０．５ｍｍとした。

【００５０】これを８０℃のシリコンオイル中で１．５
ｋｖ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分極処理を行
なった。

【００５１】得られた圧電アクチュエータの接続部材１
７と圧電磁器板１１の外周部との間の空隙３１を、刷毛
により隙間がないようにエポキシ樹脂で充填し、１２０
℃において１時間加熱して硬化させた。また、取出電極
４３の突起部４７にリード線をハンダ付けし、このリー
ド線を静電容量の変化を測定する装置に接続した。

【００５２】得られた積層型圧電アクチュエータに５０
０Ｖの直流電圧を印加した結果、４０μｍの変位量が得
られた。更にこのアクチュエータに０Ｖから＋５００Ｖ
の交流電界を１０Ｈｚの周波数にて印加した結果、印加
回数３×１０⁶回まで４０μｍの変位量を維持した。

【００５３】また、印加回数３×１０⁶回までの間に、
センサにより静電容量を測定したところ６ｎＦから６．
２ｎＦに容量が変化し、予め測定しておいたセンサのセ
ラミック板の容量の温度変化率から、積層型圧電アクチ
ュエータの内部温度がΔＴ＝３０℃上昇したことが判っ
た。

【００５４】さらに、本発明の積層型圧電アクチュエー
タ１００個を、湿度９５％の大気中で、０Ｖから＋５０
０Ｖの交流電界を１０Ｈｚの周波数にて１×１０⁶回印
加した場合でも、全く放電が生じず、破損もしなかっ
た。

【００５５】尚、変位量の測定は、試料を防振台上に固
定し、試料上面にアルミニウム箔を張り付けて、レーザ
ー変位計により、素子の中心部及び周囲部３箇所で測定
した値の平均値で評価した。

【００５６】

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、圧
電磁器板間に、セラミック板を取出電極により挟持し
た、例えば、温度センサや圧力センサを設けたので、高
電圧かつ高速で電圧印加を繰り返し、圧電素子自身が発
熱したとしても、積層型圧電アクチュエータの内部温
度、内部圧力を正確に測定することができ、その状態に
対応する印加電圧等の制御因子にフィードバックでき、
変位量を厳密に制御することができる。

【００５７】また、センサを積層型圧電アクチュエータ
の圧電磁器板の積層方向における中央部に設けることに
より、積層型圧電アクチュエータの駆動時においてセン
サに作用する応力を抑制することができ、正確な温度や
圧力等を検知できる。

【００５８】さらに、センサのセラミック板を圧電磁器
板と同一の組成物により形成することにより、製造が容
易になる。

【００５９】さらにまた、センサの取出電極は、内部電
極の接続部分と異なる位置で、セラミック板から突出し
ているため、内部電極と短絡することがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の円柱状の積層型圧電アクチュエータを
示す斜視図である。

【図２】図１のセンサ部を拡大して示す側面図である。

【図３】本発明の積層型圧電アクチュエータのアクチュ
エータ部分を示す縦断面図である。

【図４】図３の金属薄板を示す平面図である。

【符号の説明】

１・・・積層圧電体２，３・・・外部電極４・・・リード線５・・・センサ１１・・・圧電磁器板１３・・・導電性接着層１５・・・金属薄板（内部電極）１８・・・接続部１９・・・正電極用金属薄板２１・・・負電極用金属薄板３１・・・空隙３３・・・耐水性樹脂４１・・・セラミック板４３・・・取出電極４５・・・ダミー層４７・・・突起部ｔ・・・圧電磁器板の厚みｃ・・・接続部材と積層圧電体の外周部との距離

フロントページの続き (72)発明者鬼塚克彦鹿児島県国分市山下町１番４号京セラ株式会社総合研究所内 (72)発明者瀬戸口剛鹿児島県国分市山下町１番４号京セラ株式会社総合研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】積層された複数の圧電磁器板と、これらの
圧電磁器板の間に介装された内部電極とを具備してなる
積層型圧電アクチュエータであって、前記圧電磁器板間
に、セラミック板を取出電極により挟持したセンサを設
けてなることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
【請求項２】センサは圧電磁器板の積層方向における中
央部に設けられる請求項１記載の積層型圧電アクチュエ
ータ。
【請求項３】センサのセラミック板が圧電磁器板と同一
の組成物により形成されている請求項１記載の積層型圧
電アクチュエータ。
【請求項４】センサが温度センサおよび／または圧力セ
ンサである請求項１記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項５】内部電極に圧電磁器板から突出する接続部
が形成され、かつ、センサの取出電極にセラミック板か
ら突出する突起部が形成されており、この突起部が前記
内部電極の接続部と異なる位置に設けられる請求項１記
載の積層型圧電アクチュエータ。