DE4140676A1 - Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators - Google Patents

Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators

Info

Publication number
DE4140676A1
DE4140676A1 DE4140676A DE4140676A DE4140676A1 DE 4140676 A1 DE4140676 A1 DE 4140676A1 DE 4140676 A DE4140676 A DE 4140676A DE 4140676 A DE4140676 A DE 4140676A DE 4140676 A1 DE4140676 A1 DE 4140676A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
piezo
electrical energy
actuator
disks
individual
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE4140676A
Other languages
English (en)
Inventor
Werner Dipl Phys Kraeussling
Franz Peyr
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KRAEUSSLING SYSTEMS GmbH
Original Assignee
KRAEUSSLING SYSTEMS GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KRAEUSSLING SYSTEMS GmbH filed Critical KRAEUSSLING SYSTEMS GmbH
Priority to DE4140676A priority Critical patent/DE4140676A1/de
Publication of DE4140676A1 publication Critical patent/DE4140676A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/06Drive circuits; Control arrangements or methods
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

Piezo-Aktuatoren wandeln elektrische Ladung annähernd proportional in eine mechanische Längenänderung um. Die erzielbare Längenänderung ist relativ gering. Für Anwendungen, bei denen Wege im Millimeterbereich gefordert sind, werden mehrere Piezo-Scheiben - unter Einbringung einer isolierenden Schicht zwischen den einzelnen Piezo-Aktuator-Scheiben - kaskadiert aneinander gereiht. Durch die Kumulation der Einzelausdehnungen wird eine Vervielfachung des erzielbaren Hubes erreicht.
Diese Struktur weist Nachteile auf, die durch physikalische und elektrische Effekte hervorgerufen werden. Durch den herkömmlichen Aufbau der Stapel-Aktuatoren ergibt sich eine Parallelschaltung der Kapazitäten der einzelnen Piezo-Scheiben. Durch die Variation der Scheiben ergibt sich beim Einwirken der erforderlichen Energie und des daraus resultierenden Stromes bei sehr hoher Spannung (ca. 1 kV) unterschiedliches Zeitverhalten der Ausdehnung der einzelnen Piezo-Scheiben. Insbesondere weisen die einzelnen Piezo-Scheiben, bedingt durch Fertigungsstreuung, unterschiedliche Dielektrizitäts-Konstanten aus. Dies führt zu unterschiedlichen Ausdehnungen bei gleicher angelegter Spannung.
Der Patentanspruch besteht darin, daß ein Stapel-Piezo (1) so mit elektrischer Energie versorgt wird, daß zu einem Zeitpunkt jeweils nur eine Piezo-Scheibe (2) mit der elektrischen Energie beaufschlagt wird und die Energie in einen mechanischen Weg umgeformt wird.
Nachdem die Piezo-Aktuator-Scheibe nach Umformung der elektrischen Energie ihre Ladung, sowie auch ihren mechanischen Hub beibehält, kann die aktuelle Piezo-Aktuator-Scheibe galvanisch getrennt (3), und eine andere z. B. die nächste mit Energie beaufschlagt werden.
Der mechanische Hub von kaskadierten Piezo-Aktuator-Scheiben wird demzufolge in zeitlichen Teilschritten durchgeführt. Bei der Dynamik einer Piezo-Aktuator-Scheibe, welche im Mikrosekunden-Bereich zugeführte elektrische Energie in mechanische Längenänderung wandelt, wird für die meisten Praxisfälle eine ausreichende zeitliche Änderung der Stapellänge erreicht.

Claims (1)

  1. Verfahren zur Ansteuerung von Stapel-Piezo-Aktuatoren (1) aufgebaut aus n-Einzelscheiben (2), dadurch gekennzeichnet:
    • (1) daß jede einzelne Piezo-Scheibe (2) eines Piezo-Stapel-Aktuators (1) zeitlich versetzt mit einer elektrischen Energie beaufschlagt wird,
    • (2) daß durch die serielle Aufbringung der elektrischen Energie der erforderliche Strom auf ein n-tel des ansonst für den Gesamt-Stapel erforderlichen Stromes reduziert wird,
    • (3) daß durch die serielle Ansteuerung der einzelnen Piezo-Aktuator- Scheiben (2) die Kapazität des Stapel-Aktuators (1) auf die Kapazität einer einzelnen Piezo-Scheibe (2) reduziert wird. Dies führt zu einer annähernd proportionalen Erhöhung der Strom­ anstiegsgeschwindigkeit,
    • (4) daß durch die zeitversetzte Ansteuerung der einzelnen Piezo-Aktuator- Scheiben eines Piezo-Stapel-Aktuators (1) die unterschiedlichen physikalischen Kenngrößen der einzelnen Aktuator-Scheiben, bedingt durch die unter­ schiedliche Feinstruktur der Kristalle bei den Ansteuerungs- Methoden berücksichtigt werden können. Dabei erfolgt die Umformung der elektrischen Energie in mechanischen Hub mit optimalem Wirkungsgrad,
    • (5) daß z. B. durch die Verwendung von Isolatoren (3) mit Elektroden (4) zwischen den Piezo-Aktuator-Scheiben (2) in Verbindung mit gesteuerten Halbleitern ohne Leistungszuführung an jede Piezo-Aktuator- Scheibe (2) der gesamte Piezo-Aktuator-Stapel (1) über zwei Leitungen gesteuert und versorgt werden kann,
    • (6) daß z. B. durch die gesteuerten Halbleiter-Schalter über die im Wechselstrombereich niederohmigen (nicht mit elektrischer Energie beaufschlagten) Piezo-Aktuator-Scheiben (2) mit elektrischer Energie versorgt werden,
    • (7) daß z. B. die Energiezuführung zu den Halbleiterschaltern so ausgeführt ist, daß der durchgeschaltete Halbleiter nicht abgeschaltet (hochohmig) werden muß. Dies wird erreicht dadurch, daß die mit elektrischer Energie beaufschlagte Piezo-Aktuator- Scheibe (2) im Wechselstrombereich hochohmig wird und somit keine Energie aufnimmt,
    • (8) daß z. B. die Halbleiterschalter zwischen den Elektroden (4) des Isolators (3) extern oder innerhalb der Isolator-Scheiben (3) angebracht sein können,
    • (9) daß z. B. die Halbleiterschalter nur die zugeführte, extern gesteuerte Spannung und den begrenzten Strom schalten müssen.
DE4140676A 1991-12-10 1991-12-10 Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators Ceased DE4140676A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4140676A DE4140676A1 (de) 1991-12-10 1991-12-10 Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4140676A DE4140676A1 (de) 1991-12-10 1991-12-10 Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4140676A1 true DE4140676A1 (de) 1993-06-17

Family

ID=6446705

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4140676A Ceased DE4140676A1 (de) 1991-12-10 1991-12-10 Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4140676A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010055620A1 (de) * 2010-12-22 2012-06-28 Epcos Ag Aktor, Aktorsystem und Ansteuerung eines Aktors
US9419199B2 (en) 2010-12-22 2016-08-16 Epcos Ag Actuator, actuator system, and control of an actuator

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010055620A1 (de) * 2010-12-22 2012-06-28 Epcos Ag Aktor, Aktorsystem und Ansteuerung eines Aktors
JP2014507785A (ja) * 2010-12-22 2014-03-27 エプコス アクチエンゲゼルシャフト アクチュエータ、アクチュエータシステム、およびアクチュエータの駆動方法
US9419199B2 (en) 2010-12-22 2016-08-16 Epcos Ag Actuator, actuator system, and control of an actuator
US9425378B2 (en) 2010-12-22 2016-08-23 Epcos Ag Actuator, actuator system and actuation of an actuator

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2910959C2 (de) Leistungs-Halbleiterbauelement mit einer Ausgleichsplatte
EP1305874A1 (de) Modular aufgebauter stromrichter
DE112011102203B4 (de) Elektromechanische Schaltereinheit und Verfahren zum Betätigen derselben
DE2352357A1 (de) Halbleitergehaeuse
CH672698A5 (de)
DE2548483A1 (de) Feldeffekttransistor und verfahren zu seiner herstellung
EP1209742A1 (de) Hochleistungshalbleitermodul sowie Anwendung eines solchen Hochleistungshalbleitermoduls
DE4140676A1 (de) Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators
EP1642334B1 (de) Elektronisches leistungsmodul mit gummidichtung und entsprechendes herstellungsverfahren
EP0328778B1 (de) Hochleistungsschalter
DE2039734A1 (de) Verbessertes Metall-Isolator-Halbleiter-Bauelement
EP0046605A2 (de) Anordnung zur potentialunabhängigen Wärmeabführung
DE4440013C1 (de) Modulator zur Erzeugung eines elektrischen Pulses hoher Leistung
DE2148379C3 (de) Negativ-Impedanz-Oszillator für die Erzeugung sehr hochfrequenter elektromagnetischer Spannungen
DE2549670A1 (de) Duennfilmtransformator
DE102021203574A1 (de) MEMS Schalter mit Kappenkontakt
DE4002286A1 (de) Magnetantrieb, insbesondere fuer eine magnetdosierpumpe
DE19737472A1 (de) Schaltungsanordnung mit einem piezoelekrischen Transformator
DE2840399A1 (de) Halbleiteranordnung aus in stapeltechnik in einem gehaeuse in reihe geschalteten, mindestens einen pn-uebergang aufweisenden halbleiterscheiben
DD248454B1 (de) Miniaturisiertes elektromagnetisches schaltelement
EP0313555B1 (de) Stapelförmige diodenanordnung mit hoher spannungsfestigkeit
WO2023001637A1 (de) Anordnung zur kühlung eines hochvoltbauteils
DE4011580C2 (de)
DE2811524A1 (de) Bistabiles piezoelektrisches relais
EP0501261B1 (de) Lateraler Bipolartransistor

Legal Events

Date Code Title Description
8122 Nonbinding interest in granting licences declared
8131 Rejection