DE4140676A1 - Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators - Google Patents
Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuatorsInfo
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
Piezo-Aktuatoren wandeln elektrische Ladung annähernd proportional in eine mechanische
Längenänderung um. Die erzielbare Längenänderung ist relativ gering. Für Anwendungen, bei
denen Wege im Millimeterbereich gefordert sind, werden mehrere Piezo-Scheiben - unter
Einbringung einer isolierenden Schicht zwischen den einzelnen Piezo-Aktuator-Scheiben -
kaskadiert aneinander gereiht. Durch die Kumulation der Einzelausdehnungen wird eine
Vervielfachung des erzielbaren Hubes erreicht.
Diese Struktur weist Nachteile auf, die durch physikalische und elektrische Effekte hervorgerufen
werden. Durch den herkömmlichen Aufbau der Stapel-Aktuatoren ergibt sich eine Parallelschaltung
der Kapazitäten der einzelnen Piezo-Scheiben. Durch die Variation der Scheiben ergibt sich beim
Einwirken der erforderlichen Energie und des daraus resultierenden Stromes bei sehr hoher
Spannung (ca. 1 kV) unterschiedliches Zeitverhalten der Ausdehnung der einzelnen Piezo-Scheiben.
Insbesondere weisen die einzelnen Piezo-Scheiben, bedingt durch Fertigungsstreuung,
unterschiedliche Dielektrizitäts-Konstanten aus. Dies führt zu unterschiedlichen Ausdehnungen bei
gleicher angelegter Spannung.
Der Patentanspruch besteht darin, daß ein Stapel-Piezo (1) so mit elektrischer Energie versorgt
wird, daß zu einem Zeitpunkt jeweils nur eine Piezo-Scheibe (2) mit der elektrischen Energie
beaufschlagt wird und die Energie in einen mechanischen Weg umgeformt wird.
Nachdem die Piezo-Aktuator-Scheibe nach Umformung der elektrischen Energie ihre Ladung,
sowie auch ihren mechanischen Hub beibehält, kann die aktuelle Piezo-Aktuator-Scheibe
galvanisch getrennt (3), und eine andere z. B. die nächste mit Energie beaufschlagt werden.
Der mechanische Hub von kaskadierten Piezo-Aktuator-Scheiben wird demzufolge in zeitlichen
Teilschritten durchgeführt. Bei der Dynamik einer Piezo-Aktuator-Scheibe, welche im
Mikrosekunden-Bereich zugeführte elektrische Energie in mechanische Längenänderung wandelt,
wird für die meisten Praxisfälle eine ausreichende zeitliche Änderung der Stapellänge erreicht.
Claims (1)
- Verfahren zur Ansteuerung von Stapel-Piezo-Aktuatoren (1) aufgebaut aus n-Einzelscheiben (2), dadurch gekennzeichnet:
- (1) daß jede einzelne Piezo-Scheibe (2) eines Piezo-Stapel-Aktuators (1) zeitlich versetzt mit einer elektrischen Energie beaufschlagt wird,
- (2) daß durch die serielle Aufbringung der elektrischen Energie der erforderliche Strom auf ein n-tel des ansonst für den Gesamt-Stapel erforderlichen Stromes reduziert wird,
- (3) daß durch die serielle Ansteuerung der einzelnen Piezo-Aktuator- Scheiben (2) die Kapazität des Stapel-Aktuators (1) auf die Kapazität einer einzelnen Piezo-Scheibe (2) reduziert wird. Dies führt zu einer annähernd proportionalen Erhöhung der Strom anstiegsgeschwindigkeit,
- (4) daß durch die zeitversetzte Ansteuerung der einzelnen Piezo-Aktuator- Scheiben eines Piezo-Stapel-Aktuators (1) die unterschiedlichen physikalischen Kenngrößen der einzelnen Aktuator-Scheiben, bedingt durch die unter schiedliche Feinstruktur der Kristalle bei den Ansteuerungs- Methoden berücksichtigt werden können. Dabei erfolgt die Umformung der elektrischen Energie in mechanischen Hub mit optimalem Wirkungsgrad,
- (5) daß z. B. durch die Verwendung von Isolatoren (3) mit Elektroden (4) zwischen den Piezo-Aktuator-Scheiben (2) in Verbindung mit gesteuerten Halbleitern ohne Leistungszuführung an jede Piezo-Aktuator- Scheibe (2) der gesamte Piezo-Aktuator-Stapel (1) über zwei Leitungen gesteuert und versorgt werden kann,
- (6) daß z. B. durch die gesteuerten Halbleiter-Schalter über die im Wechselstrombereich niederohmigen (nicht mit elektrischer Energie beaufschlagten) Piezo-Aktuator-Scheiben (2) mit elektrischer Energie versorgt werden,
- (7) daß z. B. die Energiezuführung zu den Halbleiterschaltern so ausgeführt ist, daß der durchgeschaltete Halbleiter nicht abgeschaltet (hochohmig) werden muß. Dies wird erreicht dadurch, daß die mit elektrischer Energie beaufschlagte Piezo-Aktuator- Scheibe (2) im Wechselstrombereich hochohmig wird und somit keine Energie aufnimmt,
- (8) daß z. B. die Halbleiterschalter zwischen den Elektroden (4) des Isolators (3) extern oder innerhalb der Isolator-Scheiben (3) angebracht sein können,
- (9) daß z. B. die Halbleiterschalter nur die zugeführte, extern gesteuerte Spannung und den begrenzten Strom schalten müssen.
Priority Applications (1)
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DE4140676A DE4140676A1 (de) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators |
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DE4140676A DE4140676A1 (de) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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DE4140676A1 true DE4140676A1 (de) | 1993-06-17 |
Family
ID=6446705
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE4140676A Ceased DE4140676A1 (de) | 1991-12-10 | 1991-12-10 | Zeitlich versetzte ansteuerung von piezo-scheiben eines piezo-stapel-aktuators |
Country Status (1)
Country | Link |
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DE (1) | DE4140676A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010055620A1 (de) * | 2010-12-22 | 2012-06-28 | Epcos Ag | Aktor, Aktorsystem und Ansteuerung eines Aktors |
US9419199B2 (en) | 2010-12-22 | 2016-08-16 | Epcos Ag | Actuator, actuator system, and control of an actuator |
-
1991
- 1991-12-10 DE DE4140676A patent/DE4140676A1/de not_active Ceased
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010055620A1 (de) * | 2010-12-22 | 2012-06-28 | Epcos Ag | Aktor, Aktorsystem und Ansteuerung eines Aktors |
JP2014507785A (ja) * | 2010-12-22 | 2014-03-27 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | アクチュエータ、アクチュエータシステム、およびアクチュエータの駆動方法 |
US9419199B2 (en) | 2010-12-22 | 2016-08-16 | Epcos Ag | Actuator, actuator system, and control of an actuator |
US9425378B2 (en) | 2010-12-22 | 2016-08-23 | Epcos Ag | Actuator, actuator system and actuation of an actuator |
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