JP2014240790A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、本発明は、対象物の変位に伴って変化する信号を検出して変位を計測する計測装置であって、計測データを要求する要求信号に同期して且つ該要求信号に基づいて要求信号の周期より短い周期を有する第１クロック信号を生成するクロック生成部と、第１クロック信号の周期ごとに検出を行う検出部と、検出部の出力に基づいて、計測データを得る演算部と、演算部からの複数の計測データに基づいて単位時間当たりの対象物の変位量を得、第１計測データの要求信号が受信される前に前記第１計測データのための計測が開始された時点と第１計測データの要求信号が受信された時点との間の時間差と、変位量とに基づいて、補正対象の計測データを補正する補正部とを有する。

Claims (10)

1. 対象物の変位に伴って変化する信号を検出して該変位を計測する計測装置であって、
   計測データを要求する要求信号に同期して且つ該要求信号に基づいて該要求信号の周期より短い周期を有する第１クロック信号を生成するクロック生成部と、
   前記第１クロック信号の周期ごとに前記検出を行う検出部と、
   前記検出部の出力に基づいて、前記計測データを得る演算部と、
   前記演算部からの複数の前記計測データに基づいて単位時間当たりの前記対象物の変位量を得、第１計測データの要求信号が受信される前に前記第１計測データのための計測が開始された時点と前記第１計測データの前記要求信号が受信された時点との間の時間差と、前記変位量とに基づいて、前記補正対象の計測データを補正する補正部と、
   を有することを特徴とする計測装置。
2. 前記要求信号の周期は、複数のクロック信号を含む第１期間と、一定値となる第２期間とを含む、ことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
3. 前記クロック生成部は、カウンタと位相同期部とを有し、
   前記カウンタは、前記要求信号に含まれる前記複数のクロック信号のうちのクロック信号をカウントし、
   前記位相同期部は、前記カウンタの出力に基づき、前記第１期間は、前記要求信号に含まれる前記複数のクロック信号のうちの前記クロック信号に同期した前記第１クロック信号を出力し、前記第２期間は、前記第１期間に出力した前記第１クロック信号を継続して出力する、
   ことを特徴とする請求項２に記載の計測装置。
4. 前記クロック生成部は、前記要求信号に同期し且つ該要求信号の周期より短い周期を有する第２クロック信号に同期して前記第１クロック信号を生成する、ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の計測装置。
5. 前記時間差を計測する時間差計測部を有する、ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の計測装置。
6. 前記補正部は、前記補正対象の計測データを補正して、前記要求信号を受信した時点における計測データを得る、
   ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の計測装置。
7. 前記補正部は、前記補正対象の計測データを補正して、前記要求信号を受信した時点より後の時点における計測データを得る、
   ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の計測装置。
8. 前記検出部は、光電変換素子を含み、
   前記第１計測データのための前記計測が開始される前記時点は、前記光電変換素子の受光時間の中間に設定されている、ことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の計測装置。
9. 対象物を処理する処理装置であって、
   前記対象物の変位を計測する請求項１ないし７のいずれか１項に記載の計測装置を有することを特徴とする処理装置。
10. 対象物の変位に伴って変化する信号を検出して該変位を計測する計測方法であって、
    計測データを要求する要求信号に同期して且つ該要求信号に基づいて該要求信号の周期より短い周期を有する第１クロック信号を生成し、
    前記第１クロック信号の周期ごとに前記検出を行い、
    前記検出に基づいて、前記計測データを得、
    複数の前記計測データに基づいて単位時間当たりの前記対象物の変位量を得、第１計測データの要求信号が受信される前に前記第１計測データのための計測が開始された時点と前記第１計測データの前記要求信号が受信された時点との間の時間差と、前記変位量とに基づいて、前記補正対象の計測データを補正する、ことを特徴とする計測方法。