JP2014237200A - チャックテーブル及び研削研磨装置 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 71
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 48
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 46
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 5
- 239000002826 coolant Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 44
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 12
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
また、チャックテーブルは、枠体の側壁において開口する排水口を水路の他端に備えているため、排水口から放出される冷却水によってチャックテーブルの周囲も冷却することができ、チャックテーブルの周囲も含めて温度管理が可能となる。
したがって、研磨時に使用したチャックテーブルに加工前の別の板状ワークを保持させ、板状ワークの研削加工を行ったとしても板状ワークの加工精度を維持することが可能となる。
また、チャックテーブル11は、枠体102の側壁104に至る水路111の他端に排水口113を備えているため、排水口113から放出される冷却水によってチャックテーブル11の周囲の部材等も冷却することができ、チャックテーブル11の周囲も含めて装置の温度管理が可能となる。
4a,4b:カセット 5a,5b,5c:コラム 6:搬送ロボット
7:仮置き手段 8:洗浄手段 9a:第1の搬送手段 9b:第2の搬送手段
10:保持手段 11:チャックテーブル 12:回転軸 13:回転手段
13a:モータ 13b:プーリ 13c:プーリ 13d: ベルト
100:吸引保持機構部 101:吸引板 101a:吸引面 102:枠体
103:凹部 104:側壁 105:吸引路 106:吸引源
110:冷却機構部 111:水路 112:供給口 113:排水口 114:水源
115:ツバ部 116:カバー部
120,120a,120b,120c,120d,120e,120f:冷却機構部
121:延長水路 122:排水口
130a,130b,130c:ツバ部 131:切り欠き部 132:折り曲げ部
133:切り欠き部 134:折り曲げ部
140a,140b:カバー部 141,142:突起部 150:カバー部
20a:第1の研削手段 20b:第2の研削手段 21:スピンドル
22:ハウジング 23:モータ 24:マウント 25:研削ホイール
26a,26b:砥石
30a:第1の研削送り手段 30b:第2の研削送り手段 31:ボールネジ
32:モータ 33:ガイドレール34:ガイド板
40:研磨手段 41:スピンドル 42:ハウジング 43:モータ 44:マウント45:研磨パッド
50:Z軸方向送り手段 51:ボールネジ 52:モータ 53:ガイドレール
54:ガイド板 60:Y軸方向送り手段 61:ボールネジ 62:モータ
63:ガイドレール 64:ガイド板
Claims (3)
- 板状ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、
該チャックテーブルは、板状ワークを吸引保持する吸引保持機構部と、
該チャックテーブルを冷却する冷却機構部とにより構成されており、
該吸引保持機構部は、円盤状の多孔質部材により形成され板状ワークを吸引保持する吸引板と、該吸引板を囲繞する凹形状の枠体と、該枠体の内部に形成され該吸引板と吸引源とを連通させる吸引路と、を少なくとも備え、
該冷却機構部は、該吸引路に連通せずに該枠体の内部に形成され水源に連通する水路と、
該水路の一端に形成され該水源に接続される供給口と、該枠体の側壁において開口し該水路の他端に形成される排水口と、を少なくとも備えるチャックテーブル。 - 前記水路を前記枠体の側壁より径方向外側に延長させるとともに下方向に曲げて形成された延長水路を備え、該延長水路の先端を排水口とする請求項1記載のチャックテーブル。
- 板状ワークを保持する保持手段と、該保持手段に保持された板状ワークを研磨する研磨手段と、該保持手段に保持された板状ワークを研削する研削手段とにより少なくとも構成される研削研磨装置であって、
該保持手段は、請求項1又は2に記載のチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させる回転手段と、該チャックテーブルの前記供給口を介して水源に連通する水路と、を少なくとも備える研削研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013121590A JP6166958B2 (ja) | 2013-06-10 | 2013-06-10 | チャックテーブル及び研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013121590A JP6166958B2 (ja) | 2013-06-10 | 2013-06-10 | チャックテーブル及び研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014237200A true JP2014237200A (ja) | 2014-12-18 |
JP6166958B2 JP6166958B2 (ja) | 2017-07-19 |
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ID=52134827
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013121590A Active JP6166958B2 (ja) | 2013-06-10 | 2013-06-10 | チャックテーブル及び研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6166958B2 (ja) |
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