JP6166958B2 - チャックテーブル及び研磨装置 - Google Patents
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Description
また、チャックテーブルは、枠体の側壁において開口する排水口を水路の他端に備えているため、排水口から放出される冷却水によってチャックテーブルの周囲も冷却することができ、チャックテーブルの周囲も含めて温度管理が可能となる。
したがって、研磨時に使用したチャックテーブルに加工前の別の板状ワークを保持させ、板状ワークの研磨加工を行ったとしても板状ワークの加工精度を維持することが可能となる。
また、チャックテーブル11は、枠体102の側壁104に至る水路111の他端に排水口113を備えているため、排水口113から放出される冷却水によってチャックテーブル11の周囲の部材等も冷却することができ、チャックテーブル11の周囲も含めて装置の温度管理が可能となる。
4a,4b:カセット 5a,5b,5c:コラム 6:搬送ロボット
7:仮置き手段 8:洗浄手段 9a:第1の搬送手段 9b:第2の搬送手段
10:保持手段 11:チャックテーブル 12:回転軸 13:回転手段
13a:モータ 13b:プーリ 13c:プーリ 13d: ベルト
100:吸引保持機構部 101:吸引板 101a:吸引面 102:枠体
103:凹部 104:側壁 105:吸引路 106:吸引源
110:冷却機構部 111:水路 112:供給口 113:排水口 114:水源
115:ツバ部 116:カバー部
120,120a,120b,120c,120d,120e,120f:冷却機構部
121:延長水路 122:排水口
130a,130b,130c:ツバ部 131:切り欠き部 132:折り曲げ部
133:切り欠き部 134:折り曲げ部
140a,140b:カバー部 141,142:突起部 150:カバー部
20a:第1の研削手段 20b:第2の研削手段 21:スピンドル
22:ハウジング 23:モータ 24:マウント 25:研削ホイール
26a,26b:砥石
30a:第1の研削送り手段 30b:第2の研削送り手段 31:ボールネジ
32:モータ 33:ガイドレール34:ガイド板
40:研磨手段 41:スピンドル 42:ハウジング 43:モータ 44:マウント45:研磨パッド
50:Z軸方向送り手段 51:ボールネジ 52:モータ 53:ガイドレール
54:ガイド板 60:Y軸方向送り手段 61:ボールネジ 62:モータ
63:ガイドレール 64:ガイド板
Claims (3)
- 板状ワークを吸引保持して回転するチャックテーブルであって、
該チャックテーブルは、板状ワークを吸引保持する吸引保持機構部と、
該チャックテーブルを冷却する冷却機構部とにより構成されており、
該吸引保持機構部は、円盤状の多孔質部材により形成され板状ワークを吸引保持する吸引板と、該吸引板を囲繞する平面視円形で凹形状の枠体と、該枠体の内部の中心に形成され該吸引板と吸引源とを連通させる吸引路と、を少なくとも備え、
該冷却機構部は、該吸引路に連通せずに該枠体の内部に形成され水源に連通し該吸引路の周囲に形成された円環状水路を有する水路と、該水路の一端に形成され該水源に接続される供給口と、該円環状水路よりも該枠体の径方向外側に位置し該枠体の側壁において開口し該水路の他端に形成される排水口と、を少なくとも備え、
該供給口は、該円環状水路に連通しており、該供給口に流入した冷却水が、該円環状水路を経て、該チャックテーブルの回転により発生する遠心力を利用して該枠体の径方向外側に向けて直線状に流れて該排水口から排水される
チャックテーブル。 - 前記水路を前記枠体の側壁より径方向外側に延長させるとともに下方向に曲げて形成された延長水路を備え、該延長水路の先端を排水口とし、
該枠体の側壁から外周側に突出しその先端において屈曲して垂下する下端が外周側に折り曲げられた折り曲げ部を有するツバ部と、
該ツバ部の下方に配設され該排水口から排水された冷却水が装置内部に流れ込むのを防止するカバー部と、
該折り曲げ部よりも高い位置において該カバー部と平行に配設された水上昇抑制カバーと、
を備えた請求項1記載のチャックテーブル。 - 板状ワークを保持する保持手段と、該保持手段に保持された板状ワークを研磨する研磨手段とにより少なくとも構成される研磨装置であって、
該保持手段は、請求項1又は2に記載のチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させる回転手段と、該チャックテーブルの前記供給口を介して水源に連通する水路と、を少なくとも備える研磨装置。
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