JP2018015859A - スピンドルユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】ゴミによるスピンドル軸の齧りを防止すること。
【解決手段】スピンドルユニット(42)が、研削ホイール(46)が装着されたスピンドル軸(44)と、スピンドル軸を回転可能に支持するケーシング(43)と、ケーシングに形成された多数の噴射口(71)を備え、多数の噴射口から高圧エアを噴射することで、ラジアルエアベアリング及びスラストエアベアリングを介してスピンドル軸をケーシングに支持している。各噴射口がスピンドル軸とケーシングとの隙間より小さい穴で構成されることで、スピンドル軸とケーシングの隙間よりも大きなゴミが噴射口から排出されないため、スピンドル軸の齧りを確実に防止することが可能になっている。
【選択図】図3
【解決手段】スピンドルユニット(42)が、研削ホイール(46)が装着されたスピンドル軸(44)と、スピンドル軸を回転可能に支持するケーシング(43)と、ケーシングに形成された多数の噴射口(71)を備え、多数の噴射口から高圧エアを噴射することで、ラジアルエアベアリング及びスラストエアベアリングを介してスピンドル軸をケーシングに支持している。各噴射口がスピンドル軸とケーシングとの隙間より小さい穴で構成されることで、スピンドル軸とケーシングの隙間よりも大きなゴミが噴射口から排出されないため、スピンドル軸の齧りを確実に防止することが可能になっている。
【選択図】図3
Description
本発明は、先端に加工具が装着されたスピンドルユニットに関する。
切削装置や研削装置等の加工装置では、スピンドルユニットによって加工具を回転させることでウエーハを加工している。これら加工装置のスピンドルユニットは、スピンドル軸を高圧エアで支持するエアスピンドルで構成される。例えば、研削装置のスピンドルユニットは、ケーシング内でスピンドル軸を直立姿勢で支持しており、ケーシングから突出したスピンドル軸の先端のマウントに研削ホイールが装着されている。研削加工では、研削荷重がスピンドル軸方向に作用するため、スピンドル軸に形成されたフランジ部とケーシングの支持面との間に高圧エアでスラストベアリングが形成されている。
ところで、サファイア、シリコンカーバイド等の硬質のウエーハを研削する場合には、研削砥石をウエーハに強く押し付けながら研削ホイールを回転させる必要がある。このとき、研削荷重に耐えられる程度でスピンドル軸の浮上量を少なくし、スピンドル軸とケーシングの隙間を狭くすることでスピンドル軸の傾きを抑えている。しかしながら、スピンドル軸の浮上量が少なくなることで、ベアリング内に進入した小さなゴミがスピンドル軸とケーシングの間に挟まり易くなる。このため、スピンドル軸の表面をコーティングしてゴミを滑り易くする構成も検討されている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載のスピンドルユニットは、スピンドル軸の表面をコーティングしてゴミを滑らせ易くすることで、スピンドル軸とケーシングの間にゴミが挟まり難くなるが、完全にゴミの挟まりを防止することはできない。ゴミによってコーティング層が傷付けられると、コーティング層の傷にゴミが引っ掛ることでスピンドル軸とケーシングの間にゴミが詰まって、スピンドル軸が齧って回転できなくなる。このように、コーティングの有無に関わらず、スピンドル軸が齧ってしまうという問題があった。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ゴミによるスピンドル軸の齧りを防止することができるスピンドルユニットを提供することを目的の1つとする。
本発明の一態様のスピンドルユニットは、先端に加工具を装着するスピンドル軸と、ラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングとを有し該スピンドル軸を回転可能に支持するケーシングと、該ケーシングから該ラジアルエアベアリングと該スラストエアベアリングとに高圧エアを噴射する噴射口とを備えるスピンドルユニットであって、該噴射口は、該ラジアルエアベアリングと該スラストエアベアリングで支持される該スピンドル軸と該ケーシングとの隙間より小さい穴で構成される。
この構成によれば、噴射口から高圧エアが噴射されてスピンドル軸とケーシングの間のラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングでスピンドル軸が浮動支持される。このとき、噴射口を構成する穴がスピンドル軸とケーシングの隙間よりも小さく形成されているため、スピンドル軸とケーシングの隙間よりも大きなゴミが噴射口から排出されることがない。よって、噴射口から排出されたゴミがスピンドル軸とケーシングの隙間に挟み込まれることがなく、スピンドル軸の齧りを確実に防止することができる。
本発明によれば、噴射口を構成する穴がスピンドル軸とケーシングの隙間よりも小さく形成されているため、噴射口から排出されたゴミがスピンドル軸とケーシングの隙間に挟み込まれることがなく、スピンドル軸の齧りを確実に防止することができる。
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の研削装置について説明する。図1は、本実施の形態の研削装置の斜視図である。なお、加工装置として研削装置を例示して説明するが、本実施の形態のスピンドルユニットを備えた加工装置であればよい。また、研削装置は、図1に示すように研削加工専用の装置構成に限定されず、例えば、研削加工、研磨加工、洗浄加工等の一連の加工が全自動で実施されるフルオートタイプの加工装置に組み込まれてもよい。
図1に示すように、研削装置1は、多数の研削砥石47を環状に並べた研削ホイール(加工具)46を用いて、保持テーブル20に保持されたウエーハWを研削するように構成されている。ウエーハWは保護テープTが貼着された状態で研削装置1に搬入され、保護テープTを介して保持テーブル20に保持される。なお、ウエーハWは、研削対象となる板状部材であればよく、シリコン、ガリウム砒素等の半導体ウエーハでもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の光デバイスウエーハでもよいし、デバイスパターン形成前のアズスライスウエーハでもよい。
研削装置1の基台10の上面には、X軸方向に延在する矩形状の開口が形成され、この開口は保持テーブル20と共に移動可能な移動板11及び蛇腹状の防水カバー12に覆われている。防水カバー12の下方には、保持テーブル20をX軸方向に移動させるボールねじ式の進退手段(不図示)が設けられている。保持テーブル20は回転手段(不図示)に連結されており、回転手段の駆動によって回転可能に構成されている。また、保持テーブル20の上面には、多孔質のポーラス材によってウエーハWを吸引保持する保持面21が形成されている。
基台10上のコラム15には、研削手段40を保持テーブル20に対して接近及び離反させる方向(Z軸方向)に研削送りする研削送り手段30が設けられている。研削送り手段30は、コラム15に配置されたZ軸方向に平行な一対のガイドレール31と、一対のガイドレール31にスライド可能に設置されたモータ駆動のZ軸テーブル32とを有している。Z軸テーブル32の背面側には図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ33が螺合されている。ボールネジ33の一端部に連結された駆動モータ34によりボールネジ33が回転駆動されることで、研削手段40がガイドレール31に沿ってZ軸方向に移動される。
研削手段40は、ハウジング41を介してZ軸テーブル32の前面に取り付けられており、スピンドルユニット42で研削ホイール46を中心軸回りに回転させるように構成されている。スピンドルユニット42は、いわゆるエアスピンドルであり、ケーシング43の内側で高圧エアを介してスピンドル軸44を回転可能に支持している。スピンドル軸44の先端にはマウント45が連結されており、マウント45には多数の研削砥石47が環状に配設された研削ホイール46が装着されている。研削砥石47は、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドやレジンボンド等の結合剤で固めて形成されている。
また、研削手段40の高さ位置は、リニアスケール51によって測定されている。リニアスケール51は、Z軸テーブル32に設けた読取部52でガイドレール31の表面に設けたスケール部53の目盛りを読み取ることで、研削手段40の高さ位置を測定している。基台10の上面には、ウエーハWの厚みを測定する厚み測定手段55が設けられている。厚み測定手段55は、保持テーブル20の保持面21及びウエーハWの上面に一対の接触子56、57を接触させ、保持テーブル20の保持面高さとウエーハWの上面高さの差分からウエーハWの厚みを測定している。
また、研削装置1には、装置各部を統括制御する制御手段50が設けられている。制御手段50は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成される。メモリは、用途に応じてROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。この研削装置1では、研削ホイール46に配設された研削砥石47をウエーハWの上面に押し付けながら回転させることでウエーハWが所定厚みまで薄化される。このとき、研削手段40は、リニアスケール51及び厚み測定手段55の測定結果に基づいて制御手段50によって研削送り量が制御される。
ところで、図2に示すように、比較例の研削装置ではスピンドルユニット101としてエアスピンドルが採用されており、ケーシング102の噴射口104から高圧エアを噴射して、ケーシング102に対してスピンドル軸103を非接触で回転させることが可能になっている。この場合、スピンドル軸103の軸ブレを抑えるために、スピンドル軸103とケーシング102の隙間が狭く設計されている。このため、何らかの原因でスピンドル軸103とケーシング102の狭い隙間(例えば、5μm)に小さなゴミ(例えば、5μm以上)が挟まると、スピンドル軸103が齧って回転しなくなるという問題がある。
ここで、本件発明者がゴミの発生原因を調査したところ、ケーシング102内の流路105で発生したバリF等のゴミが噴射口104から排出されることを発見した。ケーシング102内の流路105はL字状に曲げや、複数の流路105の合流を含んで形成されており、流路105の曲げや合流を形成するためには複数の部材を組み合わせてケーシング102を形成する必要がある。この流路105はL字状に曲げや合流の形成する交差部分にバリF等のゴミが残っており、これらのゴミが高圧エアで噴射口104から排出されると考えられる。通常、ケーシング102の流路105内は洗浄されているが、洗浄だけでは流路105内のバリFを取り去ることは難しい。
そこで、本実施の形態のスピンドルユニット42(図3参照)は、ケーシング43の流路72にケーシング102の製造時のバリ等のゴミが残っている点に着目し、スピンドル軸44とケーシング43の隙間よりも小さなゴミだけを噴射口71を通過させるようにしている。スピンドル軸44とケーシング43との隙間よりも小さな穴で噴射口71を構成することで、比較的大きなゴミを噴射口71で捕捉して比較的小さなゴミだけを噴射口71を通過させる。これにより、噴射口71から排出されたゴミがスピンドル軸44とケーシング43の隙間に詰まることがなく、スピンドル軸44の齧りが防止される。
以下、図3及び図4を参照して、本実施の形態のスピンドルユニットについて説明する。図3は、本実施の形態のスピンドルユニットの断面模式図である。図4は、本実施の形態の噴射口の説明図である。なお、図4Aは噴射口の上面模式図、図4Bは噴射口の断面模式図をそれぞれ示している。
図3に示すように、スピンドルユニット42は、直立姿勢のスピンドル軸44をケーシング43で囲繞して、スピンドル軸44の側面に対してケーシング43から高圧エアを噴出させて、スピンドル軸44を回転可能に支持するエアベアリングを形成している。スピンドル軸44の先端には研削ホイール46を装着したマウント45が接続され、スピンドル軸44の後端には回転駆動源のモータ61が連結されている。モータ61は、スピンドル軸44の上端部分に設けられたロータ62と、冷却ジャケット64を介してケーシング43の内周面に設けられたステータ63とで構成されている。冷却ジャケット64内には多数の冷却水路65が形成されており、冷却水路65によってモータ61の発熱が抑えられている。
スピンドル軸44の下端部分及び中間部分には大径の円板部66、67が形成され、ケーシング43の下端部分には円板部66、67の間に入り込むように環状部68が形成されている。この場合、スピンドル軸44の円板部66、67とケーシング43の環状部68の間には、高圧エアの通り路になる僅かな隙間が設けられている。環状部68の外面には多数の噴射口71が形成されており、各噴射口71はケーシング43内に形成された流路72を通じてエア供給源79に接続されている。エア供給源79から供給された高圧エアは、ケーシング43内の流路72のL字状の曲がり箇所や複数の流路72の合流箇所を通って各噴射口71から噴射される。
環状部68の多数の噴射口71からスピンドル軸44の外面に高圧エアが噴射されることで、スピンドル軸44がケーシング43に対して高圧エアを介して浮動支持される。これにより、ケーシング43にラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングが形成され、ラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングによって径方向及び軸方向でスピンドル軸44が回転可能に支持される。このとき、スラストベアリングによって広い範囲でスピンドル軸44の円板部66、67が浮動支持されているため、スピンドル軸44に対してスラスト方向に作用する加工負荷が適度に分散されている。
このとき、ラジアルエアベアリング及びスラストエアベアリングが狭く形成されており、スピンドル軸44の軸ブレが抑えられている。ラジアルエアベアリング及びスラストエアベアリングに対して多数の噴射口71から高圧エアが噴射されることで浮動支持が維持される。スピンドル軸44とケーシング43内の高圧エアは、モータ61を空冷しながらスピンドルユニット42の上方から排気されると共に、ケーシング43の下端に設けられたカバー77の内側を通ってスピンドルユニット42の下方から排気される。カバー77の下部内面には、カバー77内への研削水の進入を防止する帯状のスポンジ材78が取り付けられている。
図4A及び図4Bに示すように、各噴射口71はメッシュ73で構成されており、メッシュ73の網目の間隔L1(目開き)はラジアルベアリング及びスラストベアリングで支持されるスピンドル軸44とケーシング43の隙間L2より小さく形成されている。例えば、スピンドル軸44とケーシング43の隙間L2が5μmである場合には、メッシュ73の網目の間隔L1は5μm以下で形成されている。このため、加工中に流路72の曲がり箇所や複数の流路72の合流箇所からバリFが脱落しても、メッシュ73の網目で大きなバリFが捕捉されるため、スピンドル軸44とケーシング43の隙間L2に大きなバリFが入り込むことがない。
なお、小さなバリFはメッシュ73の網目を通過するが、この小さなバリFはスピンドル軸44とケーシング43の隙間L2よりも小さいため、スピンドル軸44とケーシング43の隙間に挟まることがない。このように、多数の噴射口71のそれぞれをメッシュ73で構成することにより、噴射口71から排出されるゴミの大きさを制限している。これにより、流路72内でバリFが脱落しても、噴射口71からは細かなバリしか排出されないため、スピンドル軸44とケーシング43の隙間L2にバリFが挟まることがなく、スピンドル軸44を齧らせることがない。
続いて、図5を参照して、噴射口によるバリの捕捉について説明する。図5は、本実施の形態の噴射口によるバリの捕捉状態の説明図である。なお、図5Aは流路内のバリが脱落する前の状態、図5Bは流路内のバリが脱落した状態をそれぞれ示している。
図5Aに示すように、研削の開始時にはケーシング43の環状部68の上下面及び内周面に形成された多数の噴射口71から高圧エアが噴射され、ケーシング43とスピンドル軸44の間にラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングが形成される。ラジアルエアベアリング及びスラストエアベアリングによってスピンドル軸44が回転可能に支持され、スピンドル軸44の先端側の研削ホイール46(図3参照)によってウエーハWが研削される。また、ケーシング43内の流路72の曲り箇所や複数の流路72の合流箇所にはバリF(F1、F2)が残っている。
図5Bに示すように、研削中にはケーシング43の流路72内に高圧エアが流れ続けるため、流路72の曲がり箇所や複数の流路72の合流箇所からバリFが脱落する場合がある。流路72内で脱落したバリFは高圧エアの流れに乗って噴射口71まで運ばれるが、噴射口71のメッシュ73によって排出されるバリFの大きさが制限される。ケーシング43とスピンドル軸44の隙間よりも大きなバリF1は噴射口71のメッシュ73に捕捉され、ケーシング43とスピンドル軸44の隙間よりも小さなバリF2は噴射口71を通過してスピンドルユニット42の下方から圧縮エアと共に排出される。
このように、ケーシング43とスピンドル軸44の隙間に挟まらない大きさのバリFだけが噴射口71から排出されている。また、ケーシング43の下部にはカバー77(図3参照)が設けられているため、研削時に発生した研削屑がカバー77の内側に入り込み難くなっている。よって、ケーシング43外で発生する研削屑だけでなく、ケーシング43の流路72内で発生するバリF1の進入を抑えてスピンドル軸44の齧りを防止している。なお、噴射口71のメッシュ73が流路72内のバリFをゴミとして捕捉する構成にしたが、噴射口71のメッシュ73は流路72内の塵埃等をゴミとして捕捉してもよい。
以上のように、本実施の形態のスピンドルユニット42によれば、噴射口71から高圧エアが噴射されて、スピンドル軸44とケーシング43の間のラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングでスピンドル軸44が浮動支持される。このとき、噴射口71のメッシュ73の網目74がスピンドル軸44とケーシング43の隙間よりも小さく形成されているため、スピンドル軸44とケーシング43の隙間よりも大きなゴミが噴射口71から排出されることがない。よって、噴射口71から排出されたゴミがスピンドル軸44とケーシング43の隙間に挟み込まれることがなく、スピンドル軸44の齧りを確実に防止することができる。
なお、本実施の形態では、研削装置1の研削ホイール46を回転させるスピンドルユニット42について説明したが、この構成に限定されない。本発明の構造は切削装置の切削ブレードを回転させるスピンドルユニットに適用することも可能である。以下、図6を参照して、切削装置のスピンドルユニットについて説明する。図6は、変形例の切削装置のスピンドルユニットの断面模式図である。
図6に示すように、スピンドルユニット80は、横向姿勢のスピンドル軸84をケーシング83で囲繞して、スピンドル軸84に対してケーシング83から高圧エアを噴出させて、スピンドル軸84を回転可能に支持するエアベアリングを形成している。スピンドル軸84の先端には切削ブレード(加工具)81を装着したブレードマウント82が連結され、スピンドル軸84の後端にはモータ85が連結されている。モータ85は、スピンドル軸84の後端部分に設けられたロータ86と、冷却ジャケット88の内側に設けられたステータ87とで構成されている。冷却ジャケット88内にはモータ85の発熱を抑える冷却水路89が形成されている。
スピンドル軸84の先端寄りには大径の円板部91が形成されており、ケーシング83には円板部91に対応した環状溝92が形成されている。この場合、ケーシング83とスピンドル軸84の間には高圧エアの通り路となる僅かな隙間が設けられている。ケーシング83の内周面には多数の噴射口93が形成されており、各噴射口93はケーシング83内に形成された流路94を通じてエア供給源95に接続されている。エア供給源95から供給された高圧エアは、ケーシング83内の流路94のL字状の曲がり箇所や複数の流路94の合流箇所を通って各噴射口93から噴射される。
各噴射口93はメッシュで構成されており、メッシュの網目の間隔がスピンドル軸84とケーシング83の隙間より小さく形成されている。このため、加工中に流路94の曲がり箇所や複数の流路94の合流箇所からバリFが脱落しても、噴射口93のメッシュによって排出されるバリFの大きさが制限される。このように、比較例の切削装置のスピンドルユニット80においても、スピンドル軸84とケーシング83の隙間よりも大きなゴミが噴射口93から排出されることがないため、スピンドル軸84の齧りを確実に防止することが可能になっている。
また、本実施の形態及び変形例では、研削装置の研削ホイール、切削装置の切削ブレードを回転させるスピンドルユニットについて説明したが、この構成に限定されない。本発明のスピンドルユニットは、エアベアリングを採用した構造に適用可能であり、例えばチャックテーブル及びターンテーブルを回転させる構造に適用可能である。
また、本実施の形態及び変形例では、噴射口がメッシュで構成されたが、この構成に限定されない。噴射口はスピンドル軸とケーシングとの隙間より小さな穴で構成されていればよく、スリット、細孔等で構成されてもよい。また、噴射口は、ラジアルエアベアリング、スラストエアベアリングを形成するスピンドル軸とケーシングの対向面の全体に形成されていてもよいし、スピンドル軸の回転軸回りの環状の領域に部分的に形成されてもよい。
また、本実施の形態及び変形例を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。
また、本実施の形態では、本発明を研削装置のスピンドルユニットに適用した構成について説明したが、ゴミによるスピンドル軸の齧りを防止することができる装置に適用することが可能である。
以上説明したように、本発明は、ゴミによるスピンドル軸の齧りを防止することができるという効果を有し、特に、研削加工及び切削加工で使用されるスピンドルユニットに有用である。
1 研削装置
42、80 スピンドルユニット
43、83 ケーシング
44、84 スピンドル軸
46、81 研削ホイール(加工具)
71、93 噴射口
72、94 流路
73、96 メッシュ
42、80 スピンドルユニット
43、83 ケーシング
44、84 スピンドル軸
46、81 研削ホイール(加工具)
71、93 噴射口
72、94 流路
73、96 メッシュ
Claims (1)
- 先端に加工具を装着するスピンドル軸と、ラジアルエアベアリングとスラストエアベアリングとを有し該スピンドル軸を回転可能に支持するケーシングと、該ケーシングから該ラジアルエアベアリングと該スラストエアベアリングとに高圧エアを噴射する噴射口とを備えるスピンドルユニットであって、
該噴射口は、該ラジアルエアベアリングと該スラストエアベアリングで支持される該スピンドル軸と該ケーシングとの隙間より小さい穴で構成されるスピンドルユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016149652A JP2018015859A (ja) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | スピンドルユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016149652A JP2018015859A (ja) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | スピンドルユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018015859A true JP2018015859A (ja) | 2018-02-01 |
Family
ID=61075728
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016149652A Pending JP2018015859A (ja) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | スピンドルユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018015859A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109882506A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-06-14 | 北京工业大学 | 一种减少气膜微振动的空气静压轴承结构 |
CN112338706A (zh) * | 2019-08-06 | 2021-02-09 | 株式会社迪思科 | 主轴单元 |
-
2016
- 2016-07-29 JP JP2016149652A patent/JP2018015859A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109882506A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-06-14 | 北京工业大学 | 一种减少气膜微振动的空气静压轴承结构 |
CN112338706A (zh) * | 2019-08-06 | 2021-02-09 | 株式会社迪思科 | 主轴单元 |
JP2021024035A (ja) * | 2019-08-06 | 2021-02-22 | 株式会社ディスコ | スピンドルユニット |
JP7351669B2 (ja) | 2019-08-06 | 2023-09-27 | 株式会社ディスコ | スピンドルユニット |
CN112338706B (zh) * | 2019-08-06 | 2024-03-12 | 株式会社迪思科 | 主轴单元 |
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