JP6791553B2 - スピンドルユニット及び研削装置 - Google Patents
スピンドルユニット及び研削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6791553B2 JP6791553B2 JP2016227994A JP2016227994A JP6791553B2 JP 6791553 B2 JP6791553 B2 JP 6791553B2 JP 2016227994 A JP2016227994 A JP 2016227994A JP 2016227994 A JP2016227994 A JP 2016227994A JP 6791553 B2 JP6791553 B2 JP 6791553B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- spindle
- water
- grinding water
- float
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
20 チャックテーブル
40 研削手段
42 スピンドルユニット
43 マウント
44 研削ホイール
45 研削砥石
46 研削水供給源(研削水供給手段)
49 制御手段
51 ケーシング
55 スピンドル
58 貫通路
61 フロート
63 ノズル(供給部)
64 排水口
67 センサ
W ウエーハ
Claims (2)
- 鉛直方向に延在し中心を貫通する貫通路を有するスピンドルと、該スピンドルの下方の端に接続し研削砥石を環状に配設した研削ホイールを装着するマウントと、該スピンドルの外側壁を回転可能に支持するベアリングを有するケーシングと、該スピンドルの上端側から該貫通路に研削水を供給する供給部と、該スピンドルの下方側から該研削砥石に該研削水を排出する排出部と、を備えるスピンドルユニットであって、
該貫通路に溜まった該研削水によって鉛直方向に移動可能とする円筒状のフロートと、該フロートの上昇を検出するセンサと、を備えたスピンドルユニット。 - ウエーハを保持するチャックテーブルと、請求項1記載のスピンドルユニットを配設して該チャックテーブルが保持したウエーハを研削する研削手段と、該研削水を供給する研削水供給手段と、制御手段とを備えた研削装置であって、
該制御手段は、該センサが該フロートの上昇を検出したことにより該研削水の供給を遮断する制御を行う研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016227994A JP6791553B2 (ja) | 2016-11-24 | 2016-11-24 | スピンドルユニット及び研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016227994A JP6791553B2 (ja) | 2016-11-24 | 2016-11-24 | スピンドルユニット及び研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018083253A JP2018083253A (ja) | 2018-05-31 |
JP6791553B2 true JP6791553B2 (ja) | 2020-11-25 |
Family
ID=62236785
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016227994A Active JP6791553B2 (ja) | 2016-11-24 | 2016-11-24 | スピンドルユニット及び研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6791553B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112917274B (zh) * | 2021-01-26 | 2023-08-18 | 北京久安建设投资集团有限公司 | 一种钢板止水带表面处理设备及其处理方法 |
CN116512118B (zh) * | 2023-07-04 | 2023-09-15 | 云科智能制造(沈阳)有限公司 | 一种龙门式加工中心磨削用主轴动力控制装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63161657U (ja) * | 1987-04-10 | 1988-10-21 | ||
JP2001009699A (ja) * | 1999-07-05 | 2001-01-16 | Nichiden Mach Ltd | 平面研磨装置 |
JP2002355764A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-10 | Mitsuboshi Belting Ltd | 伝動ベルト成形用研削ホイール及びそれを用いた研磨装置 |
-
2016
- 2016-11-24 JP JP2016227994A patent/JP6791553B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018083253A (ja) | 2018-05-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI733849B (zh) | 研磨裝置 | |
JP6166958B2 (ja) | チャックテーブル及び研磨装置 | |
TWI814808B (zh) | 研磨裝置 | |
JP2011042003A (ja) | 保持テーブルおよび研削装置 | |
KR102678971B1 (ko) | 연마 장치 | |
JP6791553B2 (ja) | スピンドルユニット及び研削装置 | |
JP6850591B2 (ja) | スピンドルユニット | |
JP2010017787A (ja) | 研削装置 | |
JP2017034172A (ja) | Cmp研磨装置 | |
JP2018015859A (ja) | スピンドルユニット | |
JP2017127936A (ja) | 研削装置 | |
TWI811412B (zh) | 輪座 | |
JP6774242B2 (ja) | スピンドルユニット | |
US11673219B2 (en) | Spindle unit | |
JP6800689B2 (ja) | チャックテーブル機構 | |
KR20090068189A (ko) | 웨이퍼 연삭기 및 웨이퍼 연삭 방법 | |
JP2017077612A (ja) | 研磨装置 | |
JP2016198830A (ja) | 乾式研磨装置 | |
JP2016132070A (ja) | 研削ホイール及び研削装置 | |
JP2007175834A (ja) | ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 | |
JPH11221767A (ja) | 2頭平面仕上げ加工機用クーラント供給装置 | |
TWI850423B (zh) | 主軸單元 | |
JP2024067347A (ja) | 加工装置 | |
JP6960788B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP7157624B2 (ja) | コアドリル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190920 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200928 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201006 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201030 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6791553 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |