JP2023145215A - ウエハ加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】チャックとチャックベースを固定している固定ネジの熱膨張を抑えることにより、軸力変化を低減させて高精度に加工を行うことができる構造にしたウエハ加工装置を提供する。【解決手段】チャックテーブル１２に恒温チラー水を供給してチャック１５を略定温に保持する恒温チラー水源２３と、チャックテーブル１２の外周側面から排出される恒温チラー水をチャックテーブル１２の外周側面との間に貯溜して固定ネジ１７側に供給する、少なくともチャック１５の外周側面全体を覆って設けられた環状のカバー２７と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、ウエハ加工装置に関するものであり、特に、回転するチャックテーブルに保持された円板状のウエハに対して、研削及び研磨などの加工を高精度に施すことが可能なウエハ加工装置に関するものである。

従来、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）の表面を平坦に研削加工する加工装置として、円板状のウエハを吸引保持するチャックテーブルと、そのウエハに研削を施す研削用砥石を有する回転加工ホイールを備え、研削用砥石によってウエハの表面研削を行う装置は知られている。

このような研削装置では、研削加工を行う場合に、研削用砥石等に蓄熱された加工熱がウエハを介してチャックテーブルに蓄熱される。その結果、チャックテーブルが熱膨張して、ミクロン単位の精度で加工を行うウエハの加工には、支障をきたすことがある。

そこで、従来、冷却機能を備えるチャックテーブルが提案されている。このチャックテーブルは、ウエハが載置される円板状のチャック（吸引板）と、チャックの裏面側に冷却手段を備えている。そして、チャック内部の流路に、温度調整された水を流すことで、チャックの熱膨張を低減する技術が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。

また、チャックと一体に回転するチャックベース上に流路を設け、チャックベース上の流路に温度調節された水を流すことで、チャックの熱膨張を低減する技術も提案されている（特許文献３参照）。

特開２０１４－２３７２００号公報 特開２０１８－２７５８８号公報 特開２０１７－６９４２９号公報

しかしながら、特許文献１、特許文献２、特許文献３に記載される技術は、チャックの熱膨張は低減できるものの、チャックとチャックベースとの間を固定している固定ネジなどの締結部材は、一般にチャック及びチャックベースなどは異なる材料で形成されている。そのため、固定ネジにチャック及びチャックベースからの熱が伝わり、その固定ネジがチャック及びチャックベースと略同じ温度になるまでに時間がかかり、その間に固定ネジなどが熱膨張を起こす。この固定ネジの熱膨張は、チャックを固定している軸力に変化をもたらし、その結果、チャックの形状が変化してしまう。そのため、１枚目の加工からＮ枚目の加工までの間に、精度差が生じやすいという問題点があった。

そこで、チャックとチャックベースを固定している固定ネジの熱膨張を抑えることにより、軸力変化を低減させて高精度に加工を行うことができる構造にしたウエハ加工装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、ウエハを吸引保持するチャックと前記チャックと一体に回転するチャックベースとの間を複数個の固定ネジで固定したチャックテーブルを備えるウエハ加工装置であって、前記チャックテーブルに恒温チラー水を供給して前記チャックを略定温に保持する恒温チラー水供給手段と、前記チャックテーブルの前記外周側面から排出される前記恒温チラー水を前記チャックテーブルの前記外周側面との間に貯溜して前記固定ネジ側に供給する、少なくとも前記チャックの外周側面の略全体を覆って設けられた環状のカバーと、を備えるウエハ加工装置を提供する。

この構成によれば、恒温チラー水供給手段から恒温チラー水をチャックテーブルに流すことにより、チャック及びチャックベースが定温に保たれる。また、同時に、チャックテーブルに供給された恒温チラー水をチャックテーブルの外周側面から排出させ、その排出された恒温チラー水を、チャックテーブルの外周側面の略全体を覆って設けている環状のカバーとチャックテーブルの間に形成している隙間で受けられる。そして、隙間内に所定量の恒温チラー水を溜め、隙間に溜めた恒温チラー水を固定ネジ側に積極的に供給すると、固定ネジがチャック及びチャックテーブルと同じ温度になるまでの時間を短縮できる。これにより、加工時における固定ネジの熱膨張変化を最小限に抑えることができる。したがって、チャックを固定する軸力の変化を抑えて、ウエハの１枚目の加工からＮ枚目の加工までの間の加工精度差をなくすことができ、ウエハの高精度加工が可能になる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記カバーは、前記固定ネジの頭部と略同じ高さまで延伸され、前記固定ネジの頭部が前記恒温チラー水に浸る位置まで、前記恒温チラー水を貯溜可能である、ウエハ加工装置を提供する。

この構成によれば、カバーが固定ネジの高さまで延伸しているので、環状のカバーとチャックテーブルとの隙間で受けられた恒温チラー水は、固定ネジの頭部が浸る位置まで溜められる。したがって、環状のカバーとチャックテーブルとの隙間で受けられた恒温チラー水は、固定ネジの頭部を通して固定ネジに直接触れ、固定ネジの温度調節を積極的に行うことができる。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成において、前記チャックは、前記チャックの外周側面から前記固定ネジを取り付けた取付孔の内周側面まで切欠しているスリットを有している、ウエハ加工装置を提供する。

この構成によれば、環状のカバーとチャックテーブルとの隙間で受けられた恒温チラー水は、スリットを通して固定ネジの外周側面に直接触れながら、固定ネジの頭頂部まで溜められる。したがって、環状のカバーとチャックテーブルとの隙間で受けられた恒温チラー水は、スリットを通してねじ孔内にネジ止めしている固定ネジの外周側面から頭部に至る範囲に渡って直接触れ、固定ネジの温度調節を積極的に行うことができる。

本発明によれば、恒温チラー水供給手段から恒温チラー水をチャックテーブルに流して、チャックを定温に保つことができると同時に、チャックテーブルに供給した恒温チラー水をチャックテーブルの外周側面から排出させ、その排出された恒温チラー水を、チャックテーブルの外周側面の略全体を覆って設けられている環状のカバーとチャックテーブルの間に形成している隙間で受け、その隙間で受けた恒温チラー水を固定ネジ側に供給し、固定ネジの温度が恒温チラー水と略同じ温度となるように積極的に調整しているので、固定ネジがチャック及びチャックテーブルと同じ温度になるまでの時間を短縮できる。また、加工時における固定ネジの熱膨張変化を最小限に抑えることができる。これにより、チャックを固定する軸力の変化が抑えられて、チャックの形状を略一定に保持することができるので、ウエハ１枚目の加工からＮ枚目の加工までの間の精度差をなくして、ウエハの高精度な加工が可能になる。

本発明の実施の形態に係るウエハ加工装置における回転機構部の要部構成を概略的に示すもので、（Ａ）はその回転機構部の斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ－Ａ線断面矢視図である。 同上回転機構部におけるチャックベースに形成されている恒温制御通路の構造説明図である。 図１に示す回転機構部の部分拡大図であり、（Ａ）はその斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ－Ｂ線断面矢視図である。 図３に示す同上回転機構部の一変形例を示す部分拡大図であり、（Ａ）はその斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のＣ－Ｃ線断面矢視図である。

本発明は、チャックとチャックベースを固定している固定ネジの熱膨張を抑えることにより、軸力変化を低減させて高精度に加工を行うことができる構造にしたウエハ加工装置を提供するという目的を達成するために、ウエハを吸引保持するチャックと前記チャックと一体に回転するチャックベースとの間を複数個の固定ネジで固定したチャックテーブルを備えるウエハ加工装置であって、前記チャックテーブルの前記外周側面から排出される前記恒温チラー水を前記チャックの前記外周側面との間に貯溜して前記固定ネジ側に供給するようにして、少なくとも前記チャックの外周側面の略全体を覆って設けられた環状のカバーと、を備える、ことにより実現した。

以下、本発明の実施形態に係る一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

また、以下の説明において、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明のウエハ加工装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。また、実施例の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。

以下、本発明の実施形態によるウエハ加工装置を、ウエハの表面を平坦に加工する研削装置に適用した場合を例に挙げ、図１乃至図３を参照しながら好適な実施例について詳細に説明する。

図１は本発明に係るウエハ加工装置における回転機構部１０の要部構成を概略的に示すもので、（Ａ）はその回転機構部１０の斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ－Ａ線断面矢視図である。ウエハ加工装置は、装置本体１１に取り付けられた回転機構部１０を有している。また、ウエハ加工装置の全体は、制御装置５０内のプログラムにより予め決められた手順に従って制御される。

回転機構部１０は、図示しないウエハを保持して水平回転するチャックテーブル１２を有している。チャックテーブル１２は、ウエハを保持して図示しない研削部の下方に配置され、研削部の回転している研削用砥石にウエハを当接させてウエハの表面を研削加工する。

チャックテーブル１２は、ロータリジョイント１３を介して回転可能に取り付けられている円板状のチャックベース１４と、チャックベース１４上に一体回転可能に取り付けられている同じく円板状のチャック１５と、チャック１５とチャックベース１４との間に位置してチャックベース１４に設けられている恒温制御部１６などを備えている。チャック１５とチャックベース１４との間は、締結部材である固定ネジ１７で固定されている。

チャック１５は、円板状に形成されている吸引板１８とチャック側枠体１９とを備えている。チャック側枠体１９は、吸引板１８の外周側面及び下面を囲暁して、吸引板１８と一体化されている。吸引板１８は、多孔質保持部材により構成されており、その上面がウエハを吸引保持する吸着面１８Ａとなっている。そして、本実施例では、チャック１５のチャック側枠体１９はアルミナ（酸化アルミニウム）で形成されており、チャックベース１４と固定ネジ１７は共にステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成されている。

チャック側枠体１９には、吸引板１８の外周外側において、上下方向に貫通している取付孔２０を複数個（本実施例では８個）、円周方向に沿って略等間隔で設けられている。一方、チャックベース１４側には、チャック側枠体１９の取付孔２０に対応して、取付孔２０と同じ数のねじ孔３３が形成されている。そして、取付孔２０とねじ孔３３とを対応させて、チャックベース１４上にチャック側枠体１９を重ね、チャック側枠体１９の上側から取付孔２０を通してねじ孔３３にそれぞれ固定ネジ１７をねじ止めすると、チャック１５とチャックベース１４とが、チャックテーブル１２の中心Ｏを同心として一体に固定される。なお、取付孔２０の上部には、ザグリ２０Ａを設けている。また、ザグリ２０Ａの一部は、チャック側枠体１９の外周面に開口されており、固定ネジ１７の側部をチャック側枠体１９の外周面側に露出させている。

恒温制御部１６は、チャックベース１４の上面にチャック１５と対向して設けられている。恒温制御部１６は、断面Ｕ字に掘削した溝として形成されており、その溝の上面をチャック１５の下面（界面）で覆って塞いだ、水路２１でなる。

その水路２１は、図３に示すように、同心状にして形成された複数個（本実施例では、２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄの４つ）の環状水路部２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄと、これら各環状水路部２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄ同士を順に連通している連通水路部２１Ｅとよりなる。

また、チャックベース１４の中心側に設けられた環状水路部２１Ａには、給水口２１Ｆとしての貫通孔が設けられ、チャックベース１４の最外周側に設けられた環状水路部２１Ｄには排水口２１Ｇが設けられている。なお、給水口２１Ｆは、ロータリジョイント１３内を通って配設された給水配管２２を介して、恒温チラー水源２３と接続されている。一方、排水口２１Ｇは、チャックベース１４の外周部に開放されている。さらに、チャックベース１４の中心には、チャック用配管２４が設けられている。このチャック用配管２４の一端側は、吸引板１８の下端部に連結されている。

恒温チラー水源２３は、水路２１内に供給する恒温チラー水を例えば略３０℃の温度に調整して供給するものであり、チャック１５の全体を略３０℃に温度調整できるようになっている。一方、真空源２５は、チャック用配管２４を介して吸引板１８に真空引きをして吸引力を付与し、吸引板１８の吸着面１８ＡにウエハＷを吸着保持できるようになっている。

また、チャックベース１４の外周面には、リング状をしたベース側枠体２６が取り付けられている。ベース側枠体２６の上面はチャックベース１４の上面よりも若干低く、水路２１の排水口２１Ｇの前面を塞がない高さに設定して設けられている。一方、ベース側枠体２６の下面には、下面から上面に向かって切り込まれたラビリンス用の凹溝２６Ａが全周に亘って形成されている。ラビリンス用の凹溝２６Ａには、装置本体１１内に侵入しようとする処理水を封止し、モータ２９Ａ、動力伝達ベルト２９Ｂ、プーリ２９Ｃ、プーリ２９Ｄ等を有する動力部２９やロータリジョイント１３等を保護するラビリンスカバー３０の、一部が配置されている。

また、チャック側枠体１９には、チャック１５の外周側面の略全体を覆って環状をしたカバー２７が設けられている。カバー２７はチャック側枠体１９と同じアルミナで形成されており、本体部２７Ａの内径はチャック１５の外径よりも大きく形成されている。そして、チャック側枠体１９とチャック１５との間に、排水口２１Ｇから排出された恒温チラー水を溜める恒温チラー水貯溜室２８を形成してなる隙間が形成されている。また、本体部２７Ａの下端側には、外側に折り曲げられた固定鍔部２７Ｂを有し、上端側には、チャック１５の外周側面に向かって内側に折り曲げられた隙間調整鍔部２７Ｃが設けられている。また、固定鍔部２７Ｂには、固定鍔部２７Ｂの外周から内周まで通じている排出口２７Ｄが設けられている。排出口２７Ｄは、断面略Ｕ字状に凹ませた溝として形成されている。

カバー２７は、ベース側枠体２６の上面に固定鍔部２７Ｂを略密着させて、固定ネジ３２でベース側枠体２６に固定されている。また、図３の（Ｂ）に示すように、カバー２７がベース側枠体２６に固定された状態でのカバー２７の高さＨは、チャックベース１４にチャック１５を取り付けている固定ネジ１７の頭部１７Ａの高さと略等しい。すなわち、カバー２７は固定ネジ１７の頭部１７Ａと略同じ高さまで延伸されている。さらに、本体部２７Ａの内周面とチャックベース１４の外周面との間には、水路２１の排水口２１Ｇを塞がないように全周に亘って隙間δ１が設けられている。また、カバー２７の隙間調整鍔部２７Ｃの内周面とチャック１５の外周面との間にも、所定の隙間δ２が設けられている。隙間調整鍔部２７Ｃの内周面とチャック１５の外周面との間の隙間δ２は、恒温チラー水貯溜室２８内に溜められた恒温チラー水が上昇したときに、その恒温チラー水が固定ネジ１７の頭部１７Ａの側面に流れ込みやすくする機能と、恒温チラー水貯溜室２８内から排出口２７Ｄで排出しきれずに溢れた恒温チラー水を隙間δ２を通してカバー２７の外側に逃す機能と、を持たせている。

動力部２９は、制御装置５０の制御で回転するモータ２９Ａの回転を、モータ２９Ａの出力軸に設けたプーリ２９Ｄとロータリジョイント１３の回転部に設けたプーリ２９Ｃとの間に掛け渡した動力伝達ベルト２９Ｂを介してチャックテーブル１２側に伝達し、またチャックテーブル１２を所定の速度で定速回転させる。

次に、このように構成された加工装置の動作を説明する、まず、研削加工が行われる前に、恒温チラー水源２３から給水配管２２を通して、恒温制御部１６に向けて略３０℃の恒温チラー水が流される。この恒温チラー水は、給水口２１Ｆから水路２１内に入り、その後、排水口２１Ｇから出て恒温チラー水貯溜室２８内に排出される。この恒温チラー水の排出量は、カバー２７の排出口２７Ｄから排出される量よりも若干多くなるように制御装置５０で調整される。そして、チャックテーブル１２のチャックベース１４及びチャック１５の全体が、それぞれ恒温チラー水と同じ略３０℃に近づく温度に調整される。

また、排水口２１Ｇから排出された恒温チラー水は、恒温チラー水貯溜室２８内に溜まり、時間の経過と共に恒温チラー水貯溜室２８内を上昇する。ここでのカバー２７の高さは、固定ネジ１７の頭部１７Ａと略同じ高さまで延伸されているので、恒温チラー水貯溜室２８内に排出された恒温チラー水は固定ネジ１７の頭部１７Ａの略頂部まで上昇する。そして、恒温チラー水が、固定ネジ１７の頭部１７Ａの側面まで上昇すると、その恒温チラー水の中に固定ネジ１７の頭部１７Ａの側面が徐々に浸る。これにより、恒温チラー水の熱で、固定ネジ１７も恒温チラー水と略同じ温度に調整される。すなわち、チャックテーブル１２の全体が恒温チラー水の温度（３０℃）と近似の温度に調整される。

また、チャックテーブル１２の全体、すなわちチャックベース１４とチャック１５と固定ネジ１７等がそれぞれ恒温チラー水と略等しい温度に調整された頃を見計らって、チャック１５における吸引板１８の吸着面１８Ａ上にウエハＷを配置する。そして、制御装置５０の制御により、真空源２５が吸着面１８Ａ上を負圧すると、ウエハＷが吸着面１８Ａ上に吸着保持される。その後、制御装置５０の制御によりモータ２９Ａが回転駆動され、モータ２９Ａの駆動力によりチャックテーブル１２が回転する。また同時に、図示しない研削部が駆動されて、ウエハの表面の研削加工が行われる。

また、研削加工中、チャックベース１４には、恒温チラー水源２３から、恒温制御部１６に向けて略３０℃の恒温チラー水が給水配管２２を通して流され、チャックベース１４及びチャック１５が一定の温度に保たれるとともに、排水口２１Ｇから排出されて恒温チラー水貯溜室２８内に溜められた恒温チラー水が固定ネジ１７の頭部１７Ａの側面を浸し、その恒温チラー水の熱で固定ネジ１７も恒温チラー水と略同じ温度に調整される。これにより、研削加工中はチャックテーブル１２の全体、すなわちチャックベース１４とチャック１５及び固定ネジ１７が、それぞれ略恒温チラー水と略同じ温度に保たれる。

したがって、本実施例における加工装置では、恒温チラー水供給手段である恒温チラー水源２３から恒温チラー水をチャックテーブル１２に流すことにより、チャック１５及び吸引板１８が略定温に保たれる。また、チャックテーブル１２に供給された恒温チラー水をチャックテーブル１２の外周側面から排出させ、その排出された恒温チラー水を、チャックテーブル１２の外周側面全体を覆って設けられている環状のカバー２７とチャックテーブル１２との隙間である恒温チラー水貯溜室２８で受け、恒温チラー水貯溜室２８内に溜められた恒温チラー水で固定ネジ１７の温度調整を積極的に行うので、固定ネジ１７がチャック１５及びチャックテーブル１２と同じ温度になるまでの時間を短縮できるととも、加工時における固定ネジ１７の熱膨張変化を最小限に抑えることができる。これにより、チャック１５を固定する軸力の変化を抑えてチャック１５の形状を略一定に保持することができる。これにより、ウエハの１枚目の加工からＮ枚目の加工までの間の加工精度差を無くすことができ、ウエハの高精度な加工が可能になる。また、環状のカバー２７とチャックテーブル１２との隙間で余った恒温チラー水は、カバー２７に設けられている排出口２７Ｄ及びカバー２７とチャック１５との間に設けられた隙間δ１を通してチャックテーブル１２の外に排出することができる。

図４は、図３に示した回転機構部１０の一変形例を示す部分拡大図であり、（Ａ）はその斜視図、（Ｂ）は（Ａ）のＣ－Ｃ線断面矢視図である。なお、図４に示す変形例は、チャック１５とチャックベース１４とを固定している固定ネジ１７を通す、チャック１５側の取付孔２０の箇所において、チャック１５の外周側面から取付孔２０の内周側面内まで連通する状態にして切欠されて、取付孔２０内に開口しているスリット３１をチャック１５に設けたものである。また、図４における他の構成は、図１から図３の構成と同じであるから図１から図３と同じ構成部材には同じ符号を付して説明を省略し、異なる構造の部分についてのみ説明する。なお、スリット３１の開口幅は、固定ネジ１７のネジ径よりも小さく、スリット３１から固定ネジ１７が抜け出ないように考慮される。

図４に示した回転機構部１０の構造では、恒温チラー水源２３から、恒温制御部１６に供給されて、チャック１５及びチャックベース１４の温度調整を行い、その後、チャックベース１４の排水口２１Ｇから排出されて、恒温チラー水貯溜室２８内に貯留された恒温チラー水は、スリット３１を通って取付孔２０内に入り、固定ネジ１７の外周側面をより多く浸す。これにより、固定ネジ１７も、恒温チラー水の熱で恒温チラー水と略同じ温度に積極的に調整される。この場合、固定ネジ１７が恒温チラー水に浸る面積は、図３に示した構造の場合よりも多いので、固定ネジ１７が恒温チラー水の温度と略等しくなるまでの時間が早まる。したがって、チャックテーブル１２のチャックベース１４とチャック１５及び固定ネジ１７の全体が、それぞれ恒温チラー水と同じ略３０℃に近づく温度がより早められる。

なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を成すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

１０ ：回転機構部
１１ ：装置本体
１２ ：チャックテーブル
１４ ：チャックベース
１５ ：チャック
１６ ：恒温制御部
１７ ：固定ネジ
１７Ａ ：頭部
１８ ：吸引板
１８Ａ ：吸着面
２０ ：取付孔
２０Ａ ：ザグリ
２１ ：水路
２１Ｆ ：給水口
２１Ｇ ：排水口
２２ ：給水配管
２３ ：恒温チラー水源（恒温チラー水供給手段）
２４ ：チャック用配管
２５ ：真空源
２６ ：ベース側枠体
２６Ａ ：凹溝
２７ ：カバー
２７Ｄ ：排出口
２８ ：恒温チラー水貯溜室
３１ ：スリット
３３ ：ねじ孔
５０ ：制御装置
Ｗ ：ウエハ
δ１、δ２：隙間

Claims (3)

1. ウエハを吸引保持するチャックと前記チャックと一体に回転するチャックベースとの間を複数個の固定ネジで固定したチャックテーブルを備えるウエハ加工装置であって、
   前記チャックテーブルに恒温チラー水を供給して前記チャックを略定温に保持する恒温チラー水供給手段と、
   前記チャックテーブルの外周側面から排出される前記恒温チラー水を前記チャックテーブルの前記外周側面との間に貯溜して前記固定ネジ側に供給する、少なくとも前記チャックの外周側面の略全体を覆って設けられた環状のカバーと、
   を備えることを特徴とするウエハ加工装置。
2. 前記カバーは、前記固定ネジの頭部と略同じ高さまで延伸され、前記固定ネジの頭部が前記恒温チラー水に浸る位置まで前記恒温チラー水を貯溜可能である、ことを特徴とする請求項１に記載のウエハ加工装置。
3. 前記チャックは、前記チャックの外周側面から前記固定ネジを取り付けた取付孔の内周側面まで切欠しているスリットを有する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ加工装置。

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