TW202211312A - 切削裝置及被加工物之切削方法 - Google Patents

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福岡武臣
宮崎高志
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日商迪思科股份有限公司
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Abstract

[課題]提供一種可以比以往更減少切削刀片的振動之切削裝置及被加工物之切削方法。 [解決手段]一種切削裝置，具有保持被加工物之工作夾台、以透過安裝座而固定於主軸的前端之切削刀片對已保持於工作夾台之被加工物進行切削之切削單元、及對切削刀片供給切削水之噴嘴，切削刀片以厚度0.2mm以下且用刀尖伸出量/刀刃厚度來表示之長寬比為30以上之條件固定在安裝座，前述切削裝置具備噴嘴，前述噴嘴將切削水以和切削刀片的側面平行的方式從外周來朝向切削刀片的外周面供給，且噴嘴在內部具備有對切削水的流動進行整流之區隔板。

Description

切削裝置及被加工物之切削方法
本發明是有關於一種切削裝置及被加工物之切削方法。
已知有一種切削裝置及被加工物之切削方法，其是在高速旋轉之主軸的前端固定切削刀片，以將形成有半導體器件之晶圓或樹脂封裝基板、陶瓷基板、玻璃基板等各種板狀的被加工物分割成晶片、或形成溝(參照例如專利文獻1)。 先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本特開2015-023222號公報
發明欲解決之課題
切削刀片因為用刀尖伸出量/刀刃厚度來表示之長寬比越高會越容易振動，因而會使切削溝蛇行、或使已切削之晶片的側面帶有鋸痕，所以必須配合切削刀片的剛性來適度地調整長寬比。然而，因為藉由將切削溝的溝寬設得較窄，分割預定線(切割道)也可以變細，且可以收取之晶片的數量會增加，所以一直以來經常被要求的是依據高的長寬比所進行之加工。此外，相較於以螺帽等而以機械性的方式來將切削刀片固定在安裝座，以真空力(負壓)來將切削刀片固定在安裝座之所謂的真空凸緣已出現以下問題：有較容易產生切削刀片的振動之疑慮，且在高的長寬比的條件下，更加重刀片振動之疑慮。
本發明是有鑒於所述之問題點而作成的發明，其目的在於提供一種可以比以往更減少切削刀片的振動之切削裝置及被加工物之切削方法。 用以解決課題之手段
為了解決上述之課題並達成目的，本發明之切削裝置具有保持被加工物之工作夾台、以透過安裝座而固定於主軸的前端之切削刀片對已保持於該工作夾台之被加工物進行切削之切削單元、及對該切削刀片供給切削水之噴嘴，該切削刀片以厚度0.2mm以下且用刀尖伸出量/刀刃厚度來表示之長寬比為30以上之條件固定在該安裝座，前述切削裝置的特徵在於：具備噴嘴，前述噴嘴將切削水以和該切削刀片的側面平行的方式從外周來朝向該切削刀片的外周面供給，該噴嘴在內部具備有對切削水的流動進行整流之區隔板。
亦可為：該安裝座具備：支撐安裝座，嵌合於該主軸的前端且支撐該切削刀片；及固定安裝座，將已支撐於該支撐安裝座之該切削刀片固定於該支撐安裝座， 該支撐安裝座在內部具有從旋轉自如地支撐該主軸之主軸殼體側即後方側貫通到面對於該固定安裝座的支撐面之吸引路，且透過該支撐安裝座的該吸引路讓來自設置在該主軸殼體的前方之旋轉接頭的負壓作用於該固定安裝座，而將該固定安裝座吸引固定於該支撐安裝座的該支撐面，藉此以該支撐安裝座與該固定安裝座來夾持該切削刀片。
為了解決上述課題並達成目的，本發明的被加工物之切削方法是使用了上述之任一種切削裝置的被加工物之切削方法，其特徵在於進行以下步驟：一面將來自該噴嘴之該切削水以和該切削刀片的側面平行的方式從外周來朝向該切削刀片的外周面供給，一面以該切削刀片對以該工作夾台所保持之該被加工物進行切削，而一邊抑制起因於從該噴嘴所供給的切削水之該切削刀片的振動一邊對被加工物進行切削。 發明效果
本發明可以比以往更減少切削刀片的振動。
用以實施發明之形態
針對用於實施本發明之形態(實施形態)，一面參照圖式一面詳細地說明。本發明並非因以下的實施形態所記載之內容而受到限定之發明。又，在以下所記載之構成要素中，包含所屬技術領域中具有通常知識者可以容易地設想得到的構成要素、實質上相同的構成要素。此外，以下所記載之構成是可適當組合的。又，在不脫離本發明之要旨的範圍內，可進行構成之各種省略、置換或變更。
[實施形態] 依據圖式來說明本發明的實施形態之切削裝置1。圖1是顯示實施形態之切削裝置1的構成例的立體圖。如圖1所示，實施形態之切削裝置1具有工作夾台10、切削單元20、噴嘴30與控制單元40。
在本實施形態中，如圖1所示，切削裝置1所加工之加工對象即被加工物100為例如以矽、藍寶石、碳化矽(SiC)、砷化鎵等作為母材之圓板狀的半導體晶圓或光器件晶圓等。被加工物100在平坦的正面101的藉由形成為格子狀的複數條分割預定線(切割道)102所區劃出的區域中形成有晶片尺寸的器件103。在本實施形態中，雖然被加工物100在正面101的背側之背面104貼附黏著膠帶105，且在黏著膠帶105的外緣部裝設有環狀的框架106，但在本發明中並非限定於此。又，在本發明中，被加工物100亦可為具有被樹脂所密封的複數個器件之矩形狀的封裝基板、陶瓷板、或玻璃板等。
工作夾台10具備形成有凹部之圓盤狀的框體、與嵌入於凹部內之圓盤形狀的吸附部。工作夾台10的吸附部是由具備有多數個多孔(porous)孔的多孔陶瓷等所形成，且已透過未圖示之真空吸引路徑來和未圖示之真空吸引源連接。工作夾台10的吸附部的上表面是可載置被加工物100，並吸引保持已載置之被加工物100的保持面11。保持面11與工作夾台10的框體的上表面是配置在同一平面上，且平行於水平面即XY平面地形成。工作夾台10藉由未圖示之X軸移動單元而在水平方向的一個方向即X軸方向上移動自如地設置，且藉由未圖示之旋轉驅動源而繞著作為鉛直方向且正交於XY平面之Z軸旋轉自如地設置。
切削單元20是以切削刀片21對已保持於工作夾台10之被加工物100進行切削。如圖1所示，切削單元20相對於已保持在工作夾台10之被加工物100，藉由Y軸移動單元而在Y軸方向上移動自如地設置，且藉由Z軸移動單元而在Z軸方向上移動自如地設置。切削裝置1一邊使切削單元20的切削刀片21旋轉一邊藉由X軸移動單元、Y軸移動單元以及Z軸移動單元來使切削單元20的切削刀片21相對於已保持在工作夾台10之被加工物100沿著分割預定線102相對地移動，藉此對被加工物100進行切削加工而形成沿著分割預定線102之切削溝200(參照圖7)。
如圖1所示，切削裝置1更具有片匣載置台91、洗淨單元92與未圖示之搬送單元。片匣載置台91是載置用於容置複數個被加工物100之容置器即片匣95的載置台，且使所載置之片匣95在Z軸方向上升降。洗淨單元92將切削加工後的被加工物100洗淨，並將附著於被加工物100的切削屑等的異物去除。未圖示之搬送單元會將切削加工前的被加工物100從片匣95內搬送至工作夾台10上，並將切削加工後的被加工物100從工作夾台10上搬送至洗淨單元92，且將洗淨後的被加工物100從洗淨單元92搬送至片匣95內。
圖2是顯示圖1之切削單元20的構成例的剖面圖。圖3是顯示圖1之切削單元20的正面圖。如圖2以及圖3所示，切削單元20具備切削刀片21、主軸22、主軸殼體23、安裝座24、旋轉接頭25與刀片蓋26。
切削刀片21透過安裝座24而固定於主軸22的前端，並且伴隨於主軸22的旋轉動作，而繞著和作為水平方向的另外一個方向且為正交於X軸方向之Y軸方向平行之軸心而旋轉。切削刀片21在本實施形態中是所謂的無輪轂刀片，並具有圓盤狀(圓環狀)的切刃21-1。切削刀片21在中央具有用於將切削刀片21固定於安裝座24之孔即裝設孔21-2。切刃21-1的外周面是軸方向的長度具備預定厚度，且在以切削刀片21進行切削加工時會成為切削面。切刃21-1的兩側的側面21-3是互相平行地形成，且任一個皆正交於切刃21-1的外周面。切刃21-1是由鑽石或CBN(立方氮化硼，Cubic Boron Nitride)等之磨粒、及金屬或樹脂等之黏結材(結合材)所形成，且形成為預定厚度。
主軸22在使前端從主軸殼體23露出於外部之狀態下，以可繞著和Y軸方向平行的軸心旋轉的方式被主軸殼體23所支撐，且被容置在主軸殼體23內。如圖2所示，主軸22的前端是部分地以外徑隨著朝向前端而逐漸地縮小的方式形成為錐形。在主軸22的基端部連結有用於使主軸22旋轉之未圖示的馬達。
如圖2所示，安裝座24具備支撐安裝座50與固定安裝座60。支撐安裝座50嵌合於主軸22的前端，且從主軸殼體23側即後方側(+Y方向側)來支撐切削刀片21。支撐安裝座50具備凸座部51、支撐凸緣部52與圓筒部53。凸座部51形成為朝主軸22的旋轉軸的方向即Y軸方向伸長之圓筒狀。支撐凸緣部52是從凸座部51的後方側朝凸座部51的徑方向向外延伸而形成為圓盤狀(圓環狀)。圓筒部53是突出於支撐凸緣部52的後方側而形成。凸座部51、支撐凸緣部52與圓筒部53是一體地形成，並且各自的中心軸相互重疊而沿著Y軸方向布置。
支撐安裝座50在內側形成有裝設孔54。裝設孔54是部分地以內徑隨著朝向前端而逐漸地縮小的方式形成為錐形，且無間隙地嵌合於主軸22的前端的外周。支撐安裝座50藉由以下方式而固定於主軸22的前端：將主軸22的前端插入裝設孔54，並將於內周形成有螺紋溝之鎖緊螺帽27從主軸22的前端側即前方側(-Y方向側)螺合並鎖緊於形成在主軸22的前端之螺紋溝22-1。
凸座部51可插入固定安裝座60的裝設孔61，並以外周側從裝設孔61的內周側來支撐固定安裝座60。圓筒部53以可繞著Y軸旋轉的方式無間隙地對旋轉接頭25的容置孔25-1嵌合。
支撐凸緣部52具有朝向前方側之支撐面52-1與環狀凹部52-2。支撐面52-1圍繞環狀凹部52-2，並在支撐凸緣部52之朝向前方側之面的徑方向外側形成為環狀，且支撐切削刀片21的後方側之面。環狀凹部52-2圍繞凸座部51，且比支撐面52-1更朝後方側凹陷而形成，並可供固定安裝座60的環狀凸部63嵌合。
支撐安裝座50具有從支撐凸緣部52涵蓋至圓筒部53而形成於內部之吸引路55。吸引路55是前方側連通於環狀凹部52-2的底面52-3，並連通至支撐面52-1。又，吸引路55在已將支撐安裝座50的圓筒部53嵌合於旋轉接頭25的容置孔25-1時，後方側會和旋轉接頭25的吸引路25-2連通。
固定安裝座60從前方側覆蓋在已支撐於支撐安裝座50的支撐面52-1之切削刀片21並裝設在凸座部51的外周側，藉此將切削刀片21固定於支撐安裝座50。固定安裝座60在內側形成有裝設孔61。裝設孔61是無間隙地嵌合於支撐安裝座50的凸座部51的外周。
固定安裝座60具有朝向後方側之支撐面62與環狀凸部63。支撐面62圍繞環狀凸部63，並在固定安裝座60之朝向後方側之面的徑方向外側形成為環狀，且支撐切削刀片21的前方側之面。環狀凸部63比支撐面62更朝後方側突出而形成，且在將固定安裝座60裝設於支撐安裝座50時圍繞凸座部51，並嵌合於切削刀片21的裝設孔21-2以及支撐安裝座50的環狀凹部52-2。
當固定安裝座60以讓切削刀片21夾在中間的方式來裝設到支撐安裝座50時，支撐安裝座50的支撐面52-1與固定安裝座60的支撐面62即隔著切削刀片21而相互在Y軸方向上相向。又，當同樣地將固定安裝座60裝設於支撐安裝座50時，支撐安裝座50的環狀凹部52-2的底面52-3與固定安裝座60的環狀凸部63的凸面64會在Y軸方向上面對面，而形成密閉空間75。
旋轉接頭25設置於主軸殼體23的前方。旋轉接頭25於內側形成有容置孔25-1。容置孔25-1從前方側供支撐安裝座50的圓筒部53嵌合。旋轉接頭25朝徑方向向外延伸而形成有吸引路25-2。吸引路25-2是外周側已和將負壓導入吸引路25-2之吸引源79連接。吸引路25-2在已將支撐安裝座50的圓筒部53嵌合於旋轉接頭25的容置孔25-1時，內周側會和支撐安裝座50的吸引路55連通。
安裝座24讓來自旋轉接頭25的負壓透過支撐安裝座50的吸引路55以及密閉空間75作用於固定安裝座60，而將固定安裝座60朝向支撐安裝座50側(後方側)吸引固定，藉此以支撐安裝座50的支撐面52-1與固定安裝座60的支撐面62來夾持切削刀片21。
再者，安裝座24在本發明中並不限定於上述之形態。在本發明中，安裝座24亦可為例如以下之形態：固定安裝座60從前方側覆蓋鎖緊螺帽27以及支撐安裝座50的凸座部51。又，在本發明中，安裝座24亦可為以下之形態：將具有切刃21-1與設置於切刃21-1的內周的基台之所謂的輪轂型刀片的基台部分，以和上述同樣的形狀之支撐安裝座50與固定安裝座60來夾持。又，在本發明中，安裝座24並不限定於藉由來自旋轉接頭25的負壓將切削刀片21固定於主軸22的前端之所謂的真空凸緣構造之形態，亦可為僅藉由螺合到設置於凸座部51的前端之公螺絲的螺帽的鎖緊等來將切削刀片21固定於主軸22的前端之形態。
切削刀片21的切刃21-1是以如下之條件來固定在安裝座24：以刀尖伸出量71除以刀刃厚度72之值所表示之長寬比(無因次量)為30以上。在此，刀尖伸出量71是切削刀片21的切刃21-1從支撐切刃21-1之構件的外周緣突出的徑方向的長度。如圖2所示，在如本實施形態，切削刀片21為無輪轂刀片的情況下，刀尖伸出量71是從安裝座24的外周緣到切刃21-1之外周緣為止之徑方向的長度。再者，安裝座24的外周緣是指夾持切削刀片21之支撐面52-1的外周緣與支撐面62的外周緣當中位於外周側的那個外周緣。又，在切削刀片21為輪轂型刀片的情況下，刀尖伸出量71是從基台之外周緣到切刃21-1的外周緣為止之徑方向的長度。如圖2所示，刀刃厚度72是切削刀片21的切刃21-1之刀尖伸出之部分的厚度。在本實施形態中，刀刃厚度72為0.2mm以下。長寬比是藉由以下方式來計算：使刀尖伸出量71和刀刃厚度72的單位一致，再將刀尖伸出量71之數值除以刀刃厚度72之數值。
如圖3所示，刀片蓋26裝設於主軸殼體23的前方側，且覆蓋切削刀片21以及主軸22的前方側的至少一部分。刀片蓋26於內部形成有複數條水路26-1、26-2。
如圖3所示，噴嘴30具備噴嘴31與噴嘴32。噴嘴31大致為圓筒狀，且形成有將切削水供給至前端之大致圓形的供給口31-1。噴嘴31是隔著旋動部36以及旋動部37而設置於水路26-1的下端，且將從水路26-1的上端透過切削水供給部33從切削水供給源39所供給之切削水，以和切削刀片21的側面21-3平行的方式從外周來朝向切削刀片21的外周面供給。噴嘴32設置於水路26-2的下端，且將從水路26-2的上端透過切削水供給部34從切削水供給源39所供給之切削水，供給到切削刀片21的切刃21-1的側邊。切削水為例如純水。
在此，所謂噴嘴31以和切削刀片21的側面21-3平行的方式從外周來朝向切削刀片21的外周面供給是以如下方式來供給切削水：如圖3地沿著從切削刀片21的外周朝向切削刀片21的中心之徑方向成分81來朝向切刃21-1的外周面供給切削水、或沿著切削刀片21的圓周方向之圓周方向成分82來朝向切削刀片21的切刃21-1的外周面供給切削水。在此，切削水的供給方向80正交於噴嘴31的供給口31-1之面。又，切削水的供給方向80會和切削刀片21的切刃21-1的外周面交叉。噴嘴31可以藉由旋動部36、37在平行於切削刀片21的切刃21-1的側面21-3的預定之面內變更切削水的供給方向80。
圖4是顯示圖3之噴嘴31的局部剖面圖。圖4所顯示的是圖3之噴嘴31的供給口31-1附近的前端區域之通過供給口31-1的中心且包含供給方向80之面上的剖面。圖5是顯示圖3之噴嘴31的剖面圖。圖5是圖3之噴嘴31的前端區域之平行於供給口31-1的面上的剖面圖，且為沿著圖4之V-V線的剖面圖。如圖4以及圖5所示，噴嘴31具備區隔板38。區隔板38設置在噴嘴31之切削水流動的內部之供給口31-1附近的前端區域，並對即將從供給口31-1朝供給方向80供給前之切削水的流動進行整流。區隔板38是沿著切削水的供給方向80延伸之1個或複數個薄的板狀的構件，在圖5所示的例子中，是插入噴嘴31的內部而設置之沿著切削水的供給方向80延伸的7個圓筒狀的構件。
圖6是說明圖3之噴嘴31的供給口31-1與切削刀片21的位置關係的圖。圖6是從和供給方向80相反的相反方向，隔著切削刀片21的切刃21-1來觀看噴嘴31的供給口31-1的圖。如圖6所示，噴嘴31的供給口31-1是定位成從供給方向80觀看為在厚度方向上跨越切削刀片21的切刃21-1的外周面，且朝向切削刀片21的切刃21-1的外周面。在圖6所示的例子中，噴嘴31的供給口31-1是配置成供給方向80會和切削刀片21的切刃21-1的外周面的厚度方向的中央部分交叉。
控制單元40會控制切削裝置1的各種構成要素之動作，並使切削裝置1實施被加工物100的切削加工處理。控制單元40會控制旋動部36、37，來控制噴嘴31之供給口31-1的方向，亦即由噴嘴31所進行之切削水的供給方向80。控制單元40藉由控制來自切削水供給源39之切削水的供給量以及供給壓力，而控制來自噴嘴31、32之切削水的供給量以及供給壓力。
在本實施形態中，控制單元40包含電腦系統。控制單元40所包含的電腦系統具有運算處理裝置、記憶裝置及輸入輸出介面裝置，前述運算處理裝置具有如CPU(中央處理單元，Central Processing Unit)之微處理器，前述記憶裝置具有如ROM(唯讀記憶體，Read Only Memory)或RAM(隨機存取記憶體，Random Access Memory)之記憶體。控制單元40的運算處理裝置會依照已記憶於控制單元40的記憶裝置的電腦程式實施運算處理，並透過控制單元40的輸入輸出介面裝置將用於控制切削裝置1的控制訊號輸出至切削裝置1的各個構成要素。
接著，本說明書依據圖式來說明實施形態的被加工物之切削方法。實施形態的被加工物之切削方法是利用實施形態之切削裝置1來實施。圖7是顯示實施形態的被加工物之切削方法之一例的剖面圖。
如圖7所示，實施形態的被加工物之切削方法一面將來自噴嘴31的切削水以和切削刀片21的側面21-3平行的方式從外周來朝向切削刀片21的外周面供給，一面使旋轉中的切削刀片21相對於以工作夾台10的保持面11所保持之被加工物100沿著分割預定線102(在圖7中為沿著X軸方向)相對地移動，藉此對被加工物100進行切削加工而形成沿著分割預定線102的切削溝200。實施形態的被加工物之切削方法，由於在噴嘴31的內部設置區隔板38，來對從噴嘴31所供給之切削水進行整流，因此可以抑制在從噴嘴31供給至切削刀片21的切刃21-1的外周面之切削水所產生之搖晃，藉此，可以一邊抑制起因於從噴嘴31所供給的切削水之切削刀片21的振動一邊對被加工物100進行切削加工。
具有如以上之構成的實施形態之切削裝置1，由於在將切削水以和切削刀片21的側面21-3平行的方式從外周來朝向切削刀片21的外周面供給之噴嘴31的內部設置區隔板38，來對從噴嘴31供給之切削水進行整流，因此即使在切削刀片21為厚度0.2mm以下且長寬比為30以上之在以往會容易讓切削刀片21振動的條件下，也會發揮可以讓起因於從噴嘴31所供給的切削水之切削刀片21之振動減少的作用效果。藉此，實施形態之切削裝置1會發揮以下的作用效果：可以抑制切削溝200的蛇行，且可以抑制使已切削之晶片的側面帶有鋸痕之情形。
又，實施形態之切削裝置1會發揮以下的作用效果：即使在安裝座24為具備有使來自旋轉接頭25之負壓作用到固定安裝座60，而以支撐安裝座50的支撐面52-1與固定安裝座60的支撐面62來夾持切削刀片21之所謂的真空凸緣構造之在以往會更容易讓切削刀片21振動的條件下，仍然可以讓起因於從噴嘴31所供給的切削水之切削刀片21的振動減少。
其次，本發明的發明人們已確認了實施形態之切削裝置1及被加工物之切削方法的作用效果。圖8是說明實施形態之切削裝置1及被加工物之切削方法的作用效果的圖。圖8是將確認到作用效果時所得到的結果彙整來顯示。
圖8是顯示在實施形態之切削裝置1或已從實施形態之切削裝置1將噴嘴31的內部的區隔板38卸除後之實質上相當於以往的切削裝置中，使用厚度50μm之金屬刀片來作為切削刀片21，使用樹脂黏結之修整板來作為被加工物100，將旋轉中之切削刀片21之對被加工物100的相對速度即加工進給速度設為10mm/s，並將切削刀片21的刀尖伸出量71/刀刃厚度72所表示之長寬比分別設為25、30、40、45，且各自顯示有以切削刀片21形成之切削溝200的蛇行評價之結果。再者，作為切削刀片21而使用之金屬刀片，和一般之對晶圓等進行切削加工之含有磨粒的刀片相比較，振動的容易性是同等的。又，作為被加工物100而使用之樹脂黏結的修整板之由金屬刀片所造成之切削性，和一般的母材的晶圓之由含有磨粒的刀片所造成之切削性是同等的。
圖8之「有區隔板噴嘴」之行表示以下情況之結果：使用了實施形態之切削裝置1，且前述切削裝置1具備設置有區隔板38之噴嘴31；圖8之「無區隔板噴嘴」之行則表示以下情況之結果：使用了已將噴嘴31的內部的區隔板38卸除之相當於以往的切削裝置。圖8之「○」表示以下結果：切削溝200之蛇行在預定的閾值以下，圖8之「×」表示以下結果：切削溝200之蛇行比預定的閾值更大。在此，在切削溝200的蛇行評價中所使用之預定的閾值，是依據現行的評價基準來決定之閾值，前述現行的評價基準是在對作為被加工物100而使用之樹脂黏結的修整板進行切削加工，且將經切削加工而得到之小片假定為製品來處理的情況下，評價經切削之面作為製品為合格或不合格。
如圖8所示，在使用實施形態之切削裝置1的情況下，雖然在長寬比為25、30、40時，切削溝200的蛇行會成為預定之閾值以下，但在長寬比為45時，切削溝200的蛇行會變得比預定的閾值更大。另一方面，在使用相當於以往的切削裝置的情況下，雖然在長寬比為25時切削溝200的蛇行會成為預定的閾值以下，但在長寬比為30、40、45時，切削溝200的蛇行會變得比預定的閾值更大。
藉此，很清楚的是，在圖8所示之實施例中，在長寬比為30以上且40以下時，和使用相當於以往之切削裝置的情況相比較，藉由使用具備設置有區隔板38之噴嘴31的實施形態之切削裝置1，可以充分地將切削溝200的蛇行抑制至所期望之等級。又，藉此，也很清楚的是，在長寬比為30以上且40以下時，和使用相當於以往之切削裝置的情況相比較，藉由使用具備設置有區隔板38之噴嘴31的實施形態之切削裝置1，可以充分地抑制切削刀片21的振動。
再者，本發明並不限定於上述實施形態。亦即，在不脫離本發明之要點的範圍內，可以進行各種變形來實施。
1:切削裝置 10:工作夾台 11:保持面 20:切削單元 21:切削刀片 21-1:切刃 21-2,54,61:裝設孔 21-3:側面 22:主軸 22-1:螺紋溝 23:主軸殼體 24:安裝座 25:旋轉接頭 25-1:容置孔 25-2,55:吸引路 26:刀片蓋 26-1,26-2:水路 27:鎖緊螺帽 30,31,32:噴嘴 31-1:供給口 33,34:切削水供給部 36,37:旋動部 38:區隔板 39:切削水供給源 40:控制單元 50:支撐安裝座 51:凸座部 52:支撐凸緣部 52-1,62:支撐面 52-2:環狀凹部 52-3:底面 53:圓筒部 60:固定安裝座 63:環狀凸部 64:凸面 71:刀尖伸出量 72:刀刃厚度 75:密閉空間 79:吸引源 80:供給方向 81:徑方向成分 82:圓周方向成分 91:片匣載置台 92:洗淨單元 95:片匣 100:被加工物 101:正面 102:分割預定線(切割道) 103:器件 104:背面 105:黏著膠帶 106:框架 200:切削溝 V-V:線 X,Y,Z:方向
圖1是顯示實施形態之切削裝置的構成例的立體圖。 圖2是圖1之切削單元的剖面圖。 圖3是圖1之切削單元的正面圖。 圖4是顯示圖3之噴嘴的局部剖面圖。 圖5是顯示圖3之噴嘴的剖面圖。 圖6是說明圖3之噴嘴的供給口與切削刀片的位置關係的圖。 圖7是顯示實施形態的被加工物之切削方法之一例的剖面圖。 圖8是說明實施形態之切削裝置及被加工物之切削方法的作用效果的圖。
20:切削單元
21:切削刀片
21-3:側面
22:主軸
24:安裝座
26:刀片蓋
26-1,26-2:水路
27:鎖緊螺帽
30,31,32:噴嘴
31-1:供給口
33,34:切削水供給部
36,37:旋動部
38:區隔板
39:切削水供給源
50:支撐安裝座
60:固定安裝座
80:供給方向
81:徑方向成分
82:圓周方向成分
X,Y,Z:方向

Claims (3)

  1. 一種切削裝置，具有保持被加工物之工作夾台、以透過安裝座而固定於主軸的前端之切削刀片對已保持於該工作夾台之被加工物進行切削之切削單元、及對該切削刀片供給切削水之噴嘴，該切削刀片以厚度0.2mm以下且用刀尖伸出量/刀刃厚度來表示之長寬比為30以上之條件固定在該安裝座，前述切削裝置的特徵在於： 具備噴嘴，前述噴嘴將切削水以和該切削刀片的側面平行的方式從外周來朝向該切削刀片的外周面供給， 該噴嘴在內部具備有對切削水的流動進行整流之區隔板。
  2. 如請求項1之切削裝置，其中該安裝座具備： 支撐安裝座，嵌合於該主軸的前端且支撐該切削刀片；及 固定安裝座，將已支撐於該支撐安裝座之該切削刀片固定於該支撐安裝座， 該支撐安裝座在內部具有從旋轉自如地支撐該主軸之主軸殼體側即後方側貫通到面對於該固定安裝座的支撐面之吸引路， 且透過該支撐安裝座的該吸引路讓來自設置在該主軸殼體的前方之旋轉接頭的負壓作用於該固定安裝座，而將該固定安裝座吸引固定於該支撐安裝座的該支撐面，藉此以該支撐安裝座與該固定安裝座來夾持該切削刀片。
  3. 一種被加工物之切削方法，是使用了如請求項1或2之切削裝置的被加工物之切削方法，其特徵在於進行以下步驟： 一面將來自該噴嘴之該切削水以和該切削刀片的側面平行的方式從外周來朝向該切削刀片的外周面供給，一面以該切削刀片對以該工作夾台所保持之該被加工物進行切削，而一邊抑制起因於從該噴嘴所供給的切削水之該切削刀片的振動一邊對被加工物進行切削。
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