JP2008030169A - 加工水温度制御装置 - Google Patents
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 143
- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 18
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 22
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims description 18
- 239000008236 heating water Substances 0.000 claims description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 abstract 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 23
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000003578 releasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 description 1
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- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
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Abstract
【解決手段】温度計測部における計測値に応じて、制御部が第一のヒートポンプユニット及び第二のヒートポンプユニットを制御し、加工水を加温または冷却する。加温及び冷却の双方にヒートポンプユニットを使用するため、加温にヒータを使用する場合と比較して、ランニングコストを低減することができる。
【選択図】図2
Description
2;チャックテーブル
3:切削手段
30:ハウジング 31:スピンドル 32:切削ブレード 33:ブレードカバー
34:加工水ノズル 35:加工水流入口
4:操作部 5:ウェーハカセット載置部 6:仮置き領域 7:搬出入手段
8:第一の搬送手段 9:洗浄手段 10:第二の搬送手段 11:アライメント手段
12:加工水供給部
120:水源 121:ポンプ
13:加工水温度制御装置
130:加工水取入部
130a:温度計測部
131:第一のヒートポンプユニット
131a:水槽 131b:熱交換器 131c:循環路 131d:三方弁
131e:切り替え部 131f:圧縮機
132:第二のヒートポンプユニット
132a:水槽 132b:熱交換器 132c:循環路 132d:三方弁
132e:切り替え部 132f:圧縮機
133:温度設定部 134:制御部
135:加工水送出部
135a:第二の温度計測部
Claims (4)
- 加工水の温度を制御する加工水温度制御装置であって、
加工水を取り入れる加工水取入部と、取り入れた加工水の温度を計測する温度計測部と、該加工水を加温または冷却する第一のヒートポンプユニットと、該第一のヒートポンプユニットを通過した加工水を加温または冷却する第二のヒートポンプユニットと、該第二のヒートポンプユニットを通過した加工水を送り出す加工水送出部と、加工水の所望温度を設定する温度設定部と、該温度計測部で計測された温度と該温度設定部で設定された温度との温度差を算出して該第一のヒートポンプユニットまたは該第二のヒートポンプユニットを制御する制御部と
から少なくとも構成される加工水温度制御装置。 - 前記制御部は、前記温度差が前記第一のヒートポンプユニットまたは前記第二のヒートポンプユニットの加温能力または冷却能力を超えている場合に、該第一のヒートポンプユニット及び該第二のヒートポンプユニットの双方の動作を加温または冷却のいずれか一方に統一して制御する請求項1に記載の加工水温度制御装置。
- 前記制御部は、前記温度差が前記第一のヒートポンプユニット及び前記第二のヒートポンプユニットの加温能力または冷却能力の範囲内である場合に、該第一のヒートポンプユニットを加温制御する場合は該第二のヒートポンプユニットを冷却制御し、該第一のヒートポンプユニットを冷却制御する場合は該第二のヒートポンプユニットを加温制御する請求項1に記載の加工水温度制御装置。
- 前記加工水送出部には第二の温度計測部を備え、
前記制御部は、前記温度設定部で設定された温度と該第二の温度計測部で計測された温度との温度差を算出し、前記第一のヒートポンプユニットまたは前記第二のヒートポンプユニットを制御する請求項1、2または3に記載の加工水温度制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006207822A JP4891690B2 (ja) | 2006-07-31 | 2006-07-31 | 加工水温度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006207822A JP4891690B2 (ja) | 2006-07-31 | 2006-07-31 | 加工水温度制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008030169A true JP2008030169A (ja) | 2008-02-14 |
JP4891690B2 JP4891690B2 (ja) | 2012-03-07 |
Family
ID=39120109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006207822A Active JP4891690B2 (ja) | 2006-07-31 | 2006-07-31 | 加工水温度制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4891690B2 (ja) |
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JP4891690B2 (ja) | 2012-03-07 |
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