JP2014225667A - Bsi型cmosイメージセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】裏面照射型CMOSイメージセンサは、フォトダイオードアレイを含む基板、フォトダイオードアレイ上に配置された保護層、保護層上に形成された複数のカラーフィルターを含み、各カラーフィルターは、フォトダイオードアレイの1つのフォトダイオードに対応するカラーフィルターアレイ、保護層上に形成され、複数のカラーフィルター間の間隙に充填され、約1.46より低い屈折率と、複数のカラーフィルターの屈折率より低い屈折率を有する第1のグリッド、および複数のカラーフィルター間の第1のグリッドと位置合わせされ、ゼロより大きい消衰係数を有する金属グリッドを含む。
【選択図】図1A
Description
100A ユニット画素
102 フォトダイオードアレイ
104 第1の保護層
106 第2の保護層
108 酸化物グリッド
108P 周期的間隔
110 カラーフィルター
112、212、312、412 金属グリッド
114 マイクロレンズ構造
116 配線層
118 保護層
PA 受光領域
420 追加のグリッド
506、606 第2の保護層
510、610 カラーフィルター
510a 凹状インターフェース
610a 凸状インターフェース
730 第1のグリッド
732 第2のグリッド
732a 第2のグリッド732の第1の部分
732b 第2のグリッド732の第2の部分
830 グリッド
830a グリッドの第1の部分
830b グリッドの第2の部分
930 グリッド
932 第2のグリッド
1030 グリッド
1122 カラーフィルター間の間隙
Claims (10)
- 裏面照射型CMOSイメージセンサであって、
フォトダイオードアレイを含む基板、
前記フォトダイオードアレイ上に配置された保護層、
前記保護層上に形成された複数のカラーフィルターを含み、前記各カラーフィルターは、前記フォトダイオードアレイの1つのフォトダイオードに対応するカラーフィルターアレイ、
前記保護層上に形成され、前記複数のカラーフィルター間の間隙に充填され、約1.46より低い屈折率と、前記複数のカラーフィルターの屈折率より低い屈折率を有する第1のグリッド、および
前記複数のカラーフィルター間の前記第1のグリッドと位置合わせされ、ゼロより大きい消衰係数を有する金属グリッドを含む裏面照射型CMOSイメージセンサ。 - 前記第1のグリッドは、前記カラーフィルターアレイの側壁を囲む第1の部分と、前記第1のグリッドの第1の部分の上部から延伸する第2の部分とを有し、前記カラーフィルターアレイと位置合わせされた複数のマイクロレンズユニットを含む請求項1に記載の裏面照射型CMOSイメージセンサ。
- 前記第1のグリッドは、前記カラーフィルターアレイの高さと実質的に同じ高さを有する請求項1に記載の裏面照射型CMOSイメージセンサ。
- 前記第1のグリッド上の第2のグリッドを更に含み、前記第2のグリッドは、前記カラーフィルターアレイの側壁の部分を囲む第1の部分と、前記第2のグリッドの第1の部分の上部から延伸する第2の部分とを有し、前記カラーフィルターアレイと位置合わせされた複数のマイクロレンズユニットを含む請求項1に記載の裏面照射型CMOSイメージセンサ。
- 前記第1のグリッドは、前記カラーフィルターアレイの側壁の下部を囲み、前記第2のグリッドは、前記カラーフィルターアレイの側壁の上部を囲む請求項4に記載の裏面照射型CMOSイメージセンサ。
- 前記第2のグリッドは、前記第1のグリッドの屈折率より低い屈折率を有する請求項4に記載の裏面照射型CMOSイメージセンサ。
- 前記第2のグリッドは、前記第1のグリッドの屈折率より大きく、約1.46より低く、前記複数のカラーフィルターの屈折率より低い屈折率を有する請求項4に記載の裏面照射型CMOSイメージセンサ。
- 前記第1と第2のグリッドは、顔料または染料でドープされた高分子材料を含む請求項4に記載の裏面照射型CMOSイメージセンサ。
- 裏面照射型CMOSイメージセンサを形成する方法であって、
フォトダイオードアレイを含む基板を提供するステップ、
前記フォトダイオードアレイ上に金属層を形成するステップ、
前記金属層をパターン化し、ゼロより大きい消衰係数を有する金属グリッドを形成するステップ、
前記金属グリッドを被覆する保護層を形成するステップ、
前記保護層上に、前記保護層を露出する複数のホールを形成し、前記金属グリッド間の間隙の間隔に位置合わせする複数のカラーフィルターを含むカラーフィルターアレイを形成するステップ、および
前記ホールに、約1.46より低い屈折率と、前記カラーフィルターの屈折率より小さい屈折率を有する第1のグリッドを充填するステップを含む方法。 - 前記第1のグリッドは、前記複数のホール上に過充填部分を有し、前記第1のグリッドの前記過充填の部分は、パターン化されて、前記複数のカラーフィルターと位置合わせされた複数のマイクロレンズユニットを含む請求項9に記載の方法。
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