JP2017063171A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 固体撮像装置の隔壁グリッドに関する撮像装置を提供する。
【解決手段】 固体撮像装置は、画素アレイ内に配置された複数の光電変換素子を含む基板、前記光電変換素子の上方に配置された複数のカラーフィルタセグメントを含むカラーフィルタ層、および複数の隔壁を含み、各前記隔壁は、2つの隣接するカラーフィルタセグメントの間に配置された隔壁グリッドを含み、前記カラーフィルタ層と前記隔壁グリッドは、同じ層に配置され、前記隔壁は、前記画素アレイの中心線に配置された第1の隔壁と前記画素アレイの端部に配置された第2の隔壁を含み、前記第2の隔壁は、前記第1の隔壁の上部幅より大きい上部幅を有する。
【選択図】 図1
Description
102 基板
102F 表面
102R 裏面
104 配線層
106 フォトダイオード
107 パッシベーション層
108 隔壁グリッド
108’ 部分隔壁グリッド
108P、108P−1、108P−2、108P−3、108P−4、108P−5、108P−CL、108P−E 隔壁
108P−A 隔壁
108P−B 隔壁
110 画素アレイ
120 カラーフィルタ層
120−S、120−A、120−B、120−C、120−D カラーフィルタセグメント
130 マイクロレンズ構造
140、141 入射光線
150 ユニット
P、Pixel 画素
C、center 画素アレイの中心部
E、edge 画素アレイの端部
CL 画素アレイの中心線
WCL、WE、TW1、TW2、TW3、TW4、TW5、TWA、TWB 上部幅
BW1、BW2、BW3、BW4、BW5、BWA、BWB 底部幅
H、H1、H2、H3、H4、H5 高さ
A1 第1の領域
A2 第2の領域
Claims (10)
- 画素アレイ内に配置された複数の光電変換素子を含む基板、
前記光電変換素子の上方に配置された複数のカラーフィルタセグメントを含むカラーフィルタ層、および
複数の隔壁を含み、各前記隔壁は、2つの隣接するカラーフィルタセグメントの間に配置された隔壁グリッドを含み、
前記カラーフィルタ層と前記隔壁グリッドは、同じ層に配置され、
前記隔壁は、前記画素アレイの中心線に配置された第1の隔壁と前記画素アレイの端部に配置された第2の隔壁を含み、前記第2の隔壁は、前記第1の隔壁の上部幅より大きい上部幅を有する固体撮像装置。 - 前記隔壁グリッドは、前記カラーフィルタ層の前記屈折率より低い屈折率を有し、前記隔壁グリッドの材料は、ケイ素酸化物または有機フォトレジストを含む請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記画素アレイの前記中心線から前記端部の隔壁は、互いに異なる上部幅を有し、前記隔壁の上部幅は、前記画素アレイの中心線から端部へ徐々に増加する請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記画素アレイの前記中心線から前記端部の隔壁は、互いに異なる高さを有し、前記隔壁の高さは、前記画素アレイの中心線から端部へ徐々に増加する請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記画素アレイの第1の領域に配置された前記隔壁は、第1の上部幅を有し、前記画素アレイの第2の領域に配置された前記隔壁は、第2の上部幅を有し、入射光は、0から±20度の角度で前記第1の領域を照射し、前記入射光は、±20度より大きい角度で前記第2の領域を照射し、前記第2の上部幅は、前記第1の上部幅より大きく、前記画素アレイの前記第1の領域に配置された前記隔壁は、第1の底部幅を有し、前記画素アレイの前記第2の領域に配置された前記隔壁は、第2の底部幅を有し、前記第1の上部幅は、前記第1の領域の前記第1の底部幅より小さく、前記第2の上部幅は、前記第2の領域の前記第2の底部幅と等しい請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記画素アレイの第1の領域に配置された前記隔壁は、互いに異なる上部幅を有し、前記画素アレイの第2の領域に配置された前記隔壁は、互いに異なる上部幅を有し、入射光は、0から±20度の角度で前記第1の領域を照射し、前記入射光は、±20度より大きい角度で前記第2の領域を照射し、前記第2の領域の前記隔壁の前記上部幅は、前記第1の領域の前記隔壁の前記上部幅より大きく、前記第1の領域と前記第2の領域の隔壁の前記上部幅は、前記画素アレイの中心線から端部の方向に沿って徐々に増加する請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記画素アレイの前記第1の領域の前記隔壁の各々は、前記隔壁の前記上部幅より大きい底部幅を有し、前記画素アレイの前記第2の領域の前記隔壁の各々は、前記隔壁の前記上部幅と等しい底部幅を有する請求項6に記載の固体撮像装置。
- 前記画素アレイの前記中心線から前記端部の前記隔壁は、互いに異なる上部幅と、互いに異なる底部幅を有し、前記隔壁の前記上部幅は、前記画素アレイの前記中心線から前記端部へ徐々に増加し、前記隔壁の前記底部幅は、前記画素アレイの前記中心線から前記端部へ徐々に減少する請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記隔壁の各々は、前記上部幅対前記底部幅の比率を有し、前記隔壁の比率は、前記画素アレイの前記中心線から前記端部へ徐々に増加し、前記画素アレイの前記端部にある前記隔壁の比率は、1に等しい請求項4〜請求項6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 画素アレイ内に配置された複数の光電変換素子を含む基板、
前記光電変換素子の上方に配置された複数のカラーフィルタセグメントを含むカラーフィルタ層、および
複数の隔壁を含み、各前記隔壁は、1つのカラーフィルタセグメントを囲む隔壁グリッドを含み、
前記カラーフィルタ層と前記隔壁グリッドは、同じ層に配置され、
前記カラーフィルタ層は、複数のカラーフィルタセグメントのユニットを有し、前記ユニットの1つのカラーフィルタセグメントは、第1の隔壁で囲まれ、前記ユニットのもう1つのカラーフィルタセグメントは、第2の隔壁で囲まれ、前記第1の隔壁は、前記第2の隔壁の上部幅より大きい上部幅を有する固体撮像装置。
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