JP2014218411A - シリコンエピタキシャルウェーハ及びシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
しかしながら、上記のように最近では素子の微細化が進んでいると同時に素子形成領域の厚みを薄くする要求がある。特にIG効果が優れている炭素添加CZシリコン基板の利点を最大限に生かすべく、素子領域の厚みが薄くてもデバイス特性を阻害しないウェーハを提案する必要がある。
まず、図1及び図2を参照しながら、本発明のシリコンエピタキシャルウェーハ及びその製造方法について以下説明する。
まず、石英ルツボ53a内に高純度シリコンの多結晶を装入し、例えば目標の導電型がn型の場合にはドーパントとして例えばリン(P)を添加する。
p/n境界(p型導電層と中間エピタキシャル層(n+)の境界領域)の位置は熱プロセスによる中間エピタキシャル層(n+)の拡散能力に依存し、p/n境界の位置ずれが起きないようにするためには、中間エピタキシャル層(n+)の拡散距離がチップ内において均一でなければならない。
但しその際、シリコン基板10の炭素濃度は3×1016〜2×1017atoms/cm3の範囲内とする。シリコン基板10の炭素濃度が3×1016atoms/cm3以上の場合、素子形成領域であるエピタキシャル層30内のp/n境界の位置ずれが発生するという問題が生じるため、第2の中間エピタキシャル層22の形成は必須である。またシリコン基板10の炭素濃度が2×1017atoms/cm3以下の場合には大きな析出物が発現することなく、作製した素子の電気特性に悪影響を及ぼすことがない。
炭素をドープして引き上げたシリコン単結晶棒59は、炭素の偏析によって引き上げ単結晶棒59内へ取り込まれる量が異なる。そのため、シリコン単結晶棒59の炭素濃度は通常、成長方向のコーン側が最も低く、テール側が最も高くなる。したがって、例えば切り出したシリコン基板が単結晶成長方向のコーン側前半部であれば第2の中間エピタキシャル層22の厚みを薄く成長させ、テール側後半部であれば第2の中間エピタキシャル層22の厚みを前半部から切り出したシリコン基板の第2の中間エピタキシャル層22より厚く成長させるという調整が可能である。
(実施例)
まず、炭素をドープしたシリコン基板10を準備する。
図5のシリコン単結晶棒の引き上げ装置50のメインチャンバー51a内に設置された直径32インチ(800mm)の石英ルツボ53a内に、シリコン多結晶原料360kgと、さらに抵抗調整用のリンドーパントとを充填し、ヒーター55により加熱し、原料融液52を得た。
(3段熱処理条件)
1段目・・・650℃窒素雰囲気中・20分間
2段目・・・800℃・4時間ドライ酸化
3段目・・・1000℃・14時間ドライ酸化処理後冷却
実施例と同様の方法で同様の仕様の炭素をドープしたシリコン基板10を準備した。
次に、シリコン基板10上にリンを3×1017atoms/cm3でドープしたn+型の第1の中間エピタキシャル層21と、リンを1.5×1014atoms/cm3でドープしたn−型の素子形成領域であるエピタキシャル層30を順次積層させた。
この3段熱処理後のシリコンエピタキシャルウェーハの断面についてもキャリア濃度を測定の上、p/n境界を同定し、炭素拡散分布を評価した。その結果、ウェーハ表面からの深さに対するキャリア濃度および炭素濃度の関係は図7Cのようになっていた。設計段階のp/n境界の位置を0μmとした場合、図7Cに示したとおり、実際のp/n境界の位置のずれがウェーハ表面側へ0.9μmであり、その後固体撮像素子を作製し画像むらを評価したところ、強い画像むらが確認された。
21…第1の中間エピタキシャル層、 22…第2の中間エピタキシャル層、
30…素子形成領域であるエピタキシャル層、 30p…p型導電層、
50…シリコン単結晶棒の引き上げ装置、
51a…メインチャンバー、 51b…プルチャンバー、
52…原料融液、 53a…石英ルツボ、 53b…黒鉛ルツボ、
54a…支持軸、 54b…受け皿、 55…メインヒーター、 56…断熱材、
57…ガス整流筒、 58…種結晶、 59…シリコン単結晶棒。
しかしながら、上記のように最近では素子の微細化が進んでいると同時に素子形成領域の厚みを薄くする要求がある。特にIG効果が優れている炭素添加CZシリコン基板の利点を最大限に生かすべく、素子形成領域の厚みが薄くてもデバイス特性を阻害しないウェーハを提案する必要がある。
Claims (8)
- 炭素をドープしたシリコン基板上にドーパントをドープした第1の中間エピタキシャル層を有し、該第1の中間エピタキシャル層上に素子形成領域であるエピタキシャル層が積層されたシリコンエピタキシャルウェーハであって、
前記シリコン基板は、CZ法により炭素濃度が3×1016〜2×1017atoms/cm3として育成されたシリコン単結晶棒を切り出して製造されたものであり、
前記シリコン基板と前記第1の中間エピタキシャル層との間に、第2の中間エピタキシャル層を有するものであることを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハ。 - 前記第2の中間エピタキシャル層の厚みは、0.5μm以上2μm以下であることを特徴とする請求項1に記載のシリコンエピタキシャルウェーハ。
- 前記第2の中間エピタキシャル層の厚みは、前記シリコン基板にドープされた炭素の量に応じて調整されたものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のシリコンエピタキシャルウェーハ。
- 前記第2の中間エピタキシャル層の厚みは、前記シリコン基板を前記シリコン単結晶棒から切り出した位置に応じて調整されたものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のシリコンエピタキシャルウェーハ。
- 炭素をドープしたシリコン基板を準備し、該シリコン基板上にドーパントをドープした第1の中間エピタキシャル層を形成し、該第1の中間エピタキシャル層上に素子形成領域であるエピタキシャル層を積層するシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法において、
前記シリコン基板の準備は、CZ法により炭素濃度が3×1016〜2×1017atoms/cm3として育成されたシリコン単結晶棒を切り出して製造したものを準備し、
前記第1の中間エピタキシャル層の形成前に、前記シリコン基板上に第2の中間エピタキシャル層を形成することを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。 - 前記第2の中間エピタキシャル層の厚みを、0.5μm以上2μm以下とすることを特徴とする請求項5に記載のシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記第2の中間エピタキシャル層の厚みは、前記シリコン基板にドープされた炭素の量に応じて調整することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。
- 前記第2の中間エピタキシャル層の厚みは、前記シリコン基板を前記シリコン単結晶棒から切り出した位置に応じて調整することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。
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