JP2014218042A - 透明断熱シート及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明な基体シート上に、金属薄膜と、当該金属薄膜の上下に各1層積層されたセラミック薄膜とを含む積層構造を設けてなる透明断熱シートであって、前記金属薄膜はPd、Nd及び/又はNiを0.5〜10wt%ドーピングした銀からなる膜であり、前記セラミック薄膜はアルミニウム及び/又はアルミニウム合金の窒化物膜であり、波長550nmにおける透過率(T550)と波長1000nmにおける透過率(T1000)との比T550/T1000が2.5〜10.0であることを特徴とする透明断熱シート。
【選択図】図1
Description
しかしながら、レアメタルであるインジウムは価格が高く、汎用的・大量に使用される透明断熱シートの材料としてはコストが見合わないという問題があった。
この文献には、TiO2膜やITO膜を用いてAg膜を挟み込んだ積層膜では、Ag膜におけるAg原子の酸化やマイグレーションが生じるために、耐久性が十分得られないという課題に対して、Ag膜の上下にAlN膜を配置することで、耐久性に優れた熱線反射膜を得たことが開示されている。
本発明では窒化アルミニウム薄膜とPd、Nd及び/又はNiが微量にドープされた銀薄膜とを組み合わせることによって、赤外光の反射性(断熱性)を確保しながら、高い可視光透過性を維持できることが見いだされた。さらにアルミニウムは可視光域で光吸収の少ない金属であるところ、Cu、Sn及び/又はTiを少量含有する窒化アルミニウム合金を用いることで、より良好な特性の透明断熱シートを得ることができる。
上記範囲の金属薄膜とセラミック薄膜とを組み合わせることで、より良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性を両立することができる。また、これらを用いた積層膜(金属薄膜とセラミック薄膜の積層膜)は、可視光での反射防止効果に優れる。
この範囲の透明断熱シートは、可視光と赤外光の選択透過性が高いだけでなく、可視光透過率が高いために窓等に貼付した場合に屋内・車内の明るさが損なわれず、かつ、赤外光透過率が低いために屋内や社内の温度上昇等を抑制して快適な環境を提供することができる。
本発明の透明断熱シートは、高い可視光透過性によって採光性、眺望性、開放感に優れるとともに、可視光での反射率が低く外界等の映り込みも少ないため、例えば、住居、大規模建築物、車両等の窓材や採光部材として広汎に適用することが可能である。
本発明の透明断熱シートに用いられる透明な基体シートとしては、透光性の良好な各種の高分子フィルム及び/又はシート(いわゆるプラスチックフィルムやシート)を用いることができる。シートを構成する高分子は、特に限定されないが、例えば、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)、ポリフェニレンスルフィド(PPS)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリ塩化ビニール(PVC)、ポリイミド(PI)、ポリアミド(PA)等が挙げられる。
他種のドーパントとしては例えば、銅(Cu)、金(Au)、白金(Pt)、ゲルマニウム(Ge)、セリウム(Ce)、ガドリニウム(Gd)等が挙げられる。Pd、Nd及び/又はNiがドープされた銀は、純銀よりも再結晶化温度が高くなりかつ耐食性が向上するため、銀本来の高透明性が発揮され、耐久性も向上するものと考えられている。なお、金属薄膜は上記の異種金属ドープ銀を成膜して得られるものであるが、本発明の効果を妨げない限りにおいて、他の成分を含んでもよい。
図1に示す透明断熱シートはプラスチックの基体シート(B)上に積層されており、例えばパラジウムドープ銀薄膜である金属薄膜(AP)の上下両側を、例えば屈折率の高い(屈折率2.1)窒化物半導体膜である窒化アルミニウム薄膜(AN)で挟み込んだ3層構造の積層膜である。
本発明の透明断熱シートは、大略的には、基体シート上に順次、セラミック薄膜と金属薄膜とを成膜することで製造される。セラミック薄膜と金属薄膜の成膜方法としては、真空蒸着法やスパッタ法等の物理的蒸着(PVD)法、及び化学的蒸着(CVD)法等が挙げられる。より好ましい成膜方法として、PVD法の一種であるNew Magnetic Hollow-cathode V型スパッタ法(以下 N−MHVS法という)があり、かかる方法によれば、優れた金属薄膜やセラミック薄膜を安定的に形成することができる。
基体シートとして、100mm×100mm×100μmのPETフィルム(波長500nmの可視光透過率92%)を脱脂・洗浄・乾燥した。当該フィルム上に、図2に示すN−MHVスパッタ装置によって、所定の薄膜を成膜した。各種の薄膜は次の条件で成膜した。
アルミニウムAl(純度5N)、125mm×300mmをターゲットとして用いた。
当該Alをターゲットホルダーに設置し、前記PETフィルムを基板ホルダーにセットした。続いて真空チャンバー内を10−5Pa以下に真空排気した後、スパッタガスであるArガス及び反応ガスであるN2ガスを順次供給して、真空チャンバー内を、Arガス0.3Pa、N2ガス0.15Paとした。スパッタ電力は500Wとし、所望の膜厚に応じてスパッタ時間を調整し、所定の膜厚のAlN薄膜を得た。
パラジウムPdを1wt%含有する銀(以下AgPdと表記する)、125mm×300mmをターゲットとして用いた。当該AgPdをターゲットホルダーに設置し、前記PETフィルム(表面にAlN膜が成膜されたもの)を基板ホルダーにセットした。続いて真空チャンバー内を10−5Pa以下に真空排気した後、スパッタガスとして流量99sccmのArガスを供給して、真空チャンバー内をArガス1.0Paとした。スパッタ電力は500Wとし、所望の膜厚に応じてスパッタ時間を調整し、所定の膜厚のAgPd薄膜を得た。
上記の成膜条件に基づき、AlN(20nm)/AgPd(18nm)/AlN(20nm)の積層膜を作成した。AlN20nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は4分、AgPd18nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は90秒とした。
AlN膜を30nm(スパッタリング時間6分)とする以外は実施例1と同様に積層膜を作成した。
AlN膜を30nm(スパッタリング時間6分)、AgPd膜を20nm(スパッタリング時間100秒)とする以外は実施例1と同様に積層膜を作成した。
AlN膜を40nm(スパッタリング時間8分)とする以外は実施例1と同様に積層膜を作成した。
AlN膜を40nm(スパッタリング時間8分)、AgPd膜を20nm(スパッタリング時間100秒)とする以外は実施例1と同様に積層膜を作成した。
AlN膜を40nm(スパッタリング時間8分)、AgPd膜を22nm(スパッタリング時間110秒)とする以外は実施例1と同様に積層膜を作成した。
AlN膜を50nm(スパッタリング時間10分)とする以外は実施例1と同様に積層膜を作成した。
AlN膜を50nm(スパッタリング時間10分)、AgPd膜を20nm(スパッタリング時間100秒)とする以外は実施例1と同様に積層膜を作成した。
AlN膜を50nm(スパッタリング時間10分)、AgPd膜を22nm(スパッタリング時間110秒)とする以外は実施例1と同様に積層膜を作成した。
透過率は、朝日分光株式会社製、分光光度計HUS−100Sを用い、各基材でのリファレンスにて測定を行った。
金属薄膜層として、1%パラジウムドープ銀の代わりに純銀(純度5N)を用いた以外は実施例の成膜条件と同様に積層膜を作成した。
AlN(20nm)/純Ag(18nm)/AlN(20nm)の積層膜を作成した。AlN20nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は4分、純Ag18nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は90秒とした。
AlN(30nm)/純Ag(20nm)/AlN(30nm)の積層膜を作成した。AlN30nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は6分、純Ag20nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は100秒とした。
AlN(40nm)/純Ag(20nm)/AlN(40nm)の積層膜を作成した。AlN40nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は8分、純Ag20nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は100秒とした。
AlN(40nm)/純Ag(22nm)/AlN(40nm)の積層膜を作成した。AlN40nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は8分、純Ag22nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は110秒とした。
AlN(50nm)/純Ag(20nm)/AlN(50nm)の積層膜を作成した。AlN50nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は10分、純Ag20nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は100秒とした。
AlN(50nm)/純Ag(22nm)/AlN(50nm)の積層膜を作成した。AlN50nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は10分、純Ag22nm薄膜の成膜(スパッタリング)時間は110秒とした。
透過率は、朝日分光株式会社製、分光光度計HUS−100Sを用い、各基材でのリファレンスにて測定を行った。
また、データは示していないが、T550/T1000についても、本発明の積層膜は同一膜厚の比較例の積層膜に対して3〜30%(平均12.5%)高いT550/T1000を有することがわかった。
2 真空チャンバー
3 スパッタ電力供給用電源
4 基板ホルダー
5 排気装置
6 ガス供給装置
6’ スパッタガス導入供給口
6’’ 反応ガス供給口
10a,10b ターゲット
10a’,10b’ スパッタ面(対向面)
11a,11b ターゲットホルダー
12a,12b バッキングプレート
20a,20b ターゲット間磁場発生手段
30a,30b 補助磁場発生手段
K プラズマ発生空間
B 基体シート
B’ 被成膜面
AP 導電性金属薄膜
AN 窒化物半導体薄膜
Claims (7)
- 透明な基体シート上に、金属薄膜と、当該金属薄膜の上下に各1層設けられたセラミック薄膜とを含む積層構造を設けてなる透明断熱シートであって、
前記金属薄膜はPd、Nd及び/又はNiを0.5〜10wt%ドーピングした銀からなる膜であり、前記セラミック薄膜はアルミニウム及び/又はアルミニウム合金の窒化物膜であり、
波長550nmにおける透過率(T550)と波長1000nmにおける透過率(T1000)との比T550/T1000が2.5〜10.0であること
を特徴とする透明断熱シート。 - 前記セラミック薄膜が、窒化アルミニウム薄膜、又は、Cu、Sn及び/又はTiを0.1〜10wt%含む窒化アルミニウム薄膜であることを特徴とする請求項1に記載の透明断熱シート。
- 前記金属薄膜の厚みが5〜50nmであり、前記セラミック薄膜の厚みが10〜100nmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の透明断熱シート。
- 波長550nmにおける透過率(T550)が70%〜95%、かつ、波長1000nmにおける透過率(T1000)が5%〜30%であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の透明断熱シート。
- アルミニウム及び/又はアルミニウム合金をターゲットとし、不活性ガスであるスパッタガス及び窒素ガスを含有する反応ガスを用いて、対向ターゲットスパッタ法によってセラミック薄膜を成膜する工程と、
Pd、Nd及び/又はNiを0.5〜10wt%ドーピングした銀をターゲットとし、不活性ガスであるスパッタガスを用いて対向ターゲットスパッタ法によって金属薄膜を成膜する工程と、
を含む、請求項1〜4のいずれかに記載の透明断熱シートの製造方法。 - 前記対向ターゲットスパッタ法に用いられる装置が、
間隔をおいて互いに対向すると共に、一方の側方位置に配置される成膜対象となる基板側に開口するように互いに対向する面を傾斜させて一対のターゲットが配置され、
前記一対のターゲットの各々を囲むようにその周縁に沿って配置される筒状の一対の永久磁石を備える補助磁場発生手段を有することを特徴とする対向ターゲットスパッタ装置である、請求項5に記載の透明断熱シートの製造方法。 - 前記成膜工程が、基板を加熱することなく行われることを特徴とする、請求項5又は6に記載の透明断熱シートの製造方法。
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