JP2013250560A - 光吸収性層構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】観察者に不透明に見える光吸収性層構造体であって、該層構造体は、観察者に面する前面副層と、観察者に対して反対側の後面副層と、を有しており、前面副層は、導電性材料からなる粒子が第1の平均濃度で内部に埋め込まれている誘電体金属酸化物のマトリクスからなり、後面副層は、金属酸化物と、第1の平均濃度よりも高い第2の平均濃度で金属酸化物の内部に埋め込まれた導電性材料からなる粒子とのマトリクスからなり、金属酸化物は、ニオブ酸化物、チタン酸化物、モリブデン酸化物、タングステン酸化物またはバナジウム酸化物を含む。
【選択図】図1
Description
*) 要件を満たさない層
**) 境界線上の特性を有する層
符号無し 要件を満たす層
残留ガス圧:2×10−6mbar
プロセス圧:200sccmのアルゴンと1〜10sccmの酸素(スパッタリングガス中で0.5〜5%の酸素に相当)で3×10−3mbar
特定カソード電力:5W/cm2
層S1:Nb2O5+Ag6体積%;d=38nm、追加酸素フロー:1sccm
層S2:Nb2O5+Ag40体積%;d=90nm、追加酸素フロー:10sccm
シート抵抗:1.3kΩ/sq
可視光反射率(基板の非コーティング側から測定することによる約4%の反射率を減算):1.3%
可視光透過率:1%未満、典型的には0.8%未満
a*は赤−緑の軸である。負の値は緑であり、正の値は赤である。
b*は黄色−青の軸である。負の値は青であり、正の値は黄色である。
吸収率=100%−(反射率+透過率)
サーメット層S1:厚さ38nm、スパッタリング中の酸素フロー:1sccm
サーメット層S2:厚さ88nm、スパッタリング中の酸素フロー:10sccm
サーメット層S1:厚さ35nm、スパッタリング中の酸素フロー:0sccm
サーメット層S2:厚さ88nm、スパッタリング中の酸素フロー:10sccm
Claims (15)
- 観察者に不透明に見える光吸収性層構造体であって、該層構造体は、
観察者に面する前面副層(S1)と、
前記観察者に対して反対側の後面副層(S2)と、を有しており、
前記前面副層(S1)は、導電性材料からなる粒子(M1)が第1の平均濃度で内部に埋め込まれている誘電体金属酸化物のマトリクスからなり、
前記後面副層(S2)は、前記金属酸化物と、前記第1の平均濃度よりも高い第2の平均濃度で前記金属酸化物の内部に埋め込まれた前記導電性材料からなる粒子(M2)とのマトリクスからなり、
前記金属酸化物は、ニオブ酸化物、チタン酸化物、モリブデン酸化物、タングステン酸化物またはバナジウム酸化物を含む、
ことを特徴とする層構造体。 - 前記導電性材料は金属を含む、請求項1記載の層構造体。
- 前記導電性材料は貴金属、銅、ニッケルまたはこれらの物質の混合物を含み、好ましくは、銀または銀ベースの合金、を含む、請求項2記載の層構造体。
- 前記導電性材料は、前記両金属粒子の全体積に対して、最大1%のクロムを含み、好ましくは、クロムを含まない、請求項1から3のいずれか1項記載の層構造体。
- 前記導電性材料からなる粒子(M1)は、前記前面副層(S1)の全体積に対して、2〜8体積%、好ましくは4〜6体積%の濃度で前記前面副層(S1)内に存在する、請求項1から4のいずれか1項記載の層構造体。
- 前記導電性材料からなる粒子(M2)は、前記後面副層(S2)の全体積に対して、15〜45体積%、好ましくは20〜35%の平均濃度で前記後面副層(S2)内に存在する、請求項1から5のいずれか1項記載の層構造体。
- 前記前面副層(S1)の厚さは、50nm未満、好ましくは20〜40nmである、請求項1から6のいずれか1項記載の層構造体。
- 前記後面副層(S2)の厚さは、200nm未満、好ましくは70〜100nmである、請求項1から7のいずれか1項記載の層構造体。
- 前記前面副層(S1)および前記後面副層(S2)の全体厚さは、80〜300nm、好ましくは、90〜200nmである、請求項1から8のいずれか1項記載の層構造体。
- 前記前面副層(S1)内の前記導電性粒子(M1)の粒径は5nm未満であり、好ましくは、前記粒子(M1)の少なくとも80%の粒径は3nm未満である、請求項1から9のいずれか1項記載の層構造体。
- 前記後面副層(S2)内の前記導電性粒子(M2)の粒径は50nm未満であり、好ましくは、前記粒子(M2)の少なくとも80%の粒径は2〜20nmである、請求項1から10のいずれか1項記載の層構造体。
- 前記前面副層(S1)および前記後面副層(S2)からなる積層体のシート抵抗は、1kΩ/sq超、好ましくは10kΩ/sq超、特に好ましくは100kΩ/sq超である、請求項1から11のいずれか1項記載の層構造体。
- 前記前面副層(S1)は透明材料からなる基板(2)上に設けられる、請求項1から12のいずれか1項記載の層構造体。
- 眼の感度に対して標準化された、前記透明基板(2)における反射率4%を全反射から除することにより計算された前記層構造体の可視光反射率Rvは、5%未満、好ましくは2%未満である、請求項13記載の層構造体。
- 眼の感度に対して標準化された、前記層構造体の可視光透過率Tvは、5%未満、好ましくは2%未満である、請求項1から14のいずれか1項記載の層構造体。
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