JP2014202237A - セラミックス多孔質体のシール構造 - Google Patents

セラミックス多孔質体のシール構造 Download PDF

Info

Publication number
JP2014202237A
JP2014202237A JP2013077076A JP2013077076A JP2014202237A JP 2014202237 A JP2014202237 A JP 2014202237A JP 2013077076 A JP2013077076 A JP 2013077076A JP 2013077076 A JP2013077076 A JP 2013077076A JP 2014202237 A JP2014202237 A JP 2014202237A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
porous body
ceramic porous
alumina
seal structure
sealing material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2013077076A
Other languages
English (en)
Inventor
智一 江田
Tomokazu Eda
智一 江田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Noritake Co Ltd
Original Assignee
Noritake Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Noritake Co Ltd filed Critical Noritake Co Ltd
Priority to JP2013077076A priority Critical patent/JP2014202237A/ja
Publication of JP2014202237A publication Critical patent/JP2014202237A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Porous Artificial Stone Or Porous Ceramic Products (AREA)

Abstract

【課題】ゼオライト膜を用いたセラミックス多孔質体でのシール性能を有し且つ安価なセラミックス多孔質体のシール構造、およびその製造方法を提供する。【解決手段】分離装置10、30に適用されたシール構造は、表面がゼオライト膜(分離膜)14によりコーティングされたアルミナ多孔質体(セラミックス多孔質体)12の被シール部12aおよび12bをシール材20で覆うシール構造であって、そのアルミナ多孔質体12の被シール部12aおよび12bを覆うシール材20を、20μm以上の厚みとしたことから、極めて薄い厚みの少量のシール材20によって耐酸性、耐アルカリ性が高く耐久性に優れたシール構造が得られるので、安価なセラミックス多孔質体のシール構造が得られる。【選択図】図1

Description

本発明は、表面に分離膜が積層されたセラミックス多孔質体のシール構造、およびそのシール構造を備える分離装置に関し、特に、シール膜厚を低下させても高い気密性および耐久性が得られるようにする技術に関する。
一般に、表面に分離膜が積層されたセラミックス多孔質体を用いた分離装置では、たとえば、外周が閉じられた管形状のアルミナ等のセラミックス多孔質体の表面に、分離膜としてゼオライト膜が担持されることで構成されている。そして、このセラミックス多孔質体は、緻密なセラミックス製或いは金属製の液・ガス不透過性の配管部品と接続された状態で使用され、分離された液或いはガスをその配管部品を通して導出させる。
上記液或いはガスの分離は、熱を加えた状態で行なわれることが多いが、300℃以下の比較的低温で行なわれる場合は、耐熱性の樹脂であるポリイミド樹脂をフィラーと共に溶剤に溶解したシール用ペーストや、フッ素ゴム熱収縮チューブおよびテフロン(登録商標)製熱収縮チューブを用いて、上記セラミックス多孔質体の前記配管部品に隣接した被シール部分をシール材で覆うことにより、多孔質のセラミックス多孔質体を通る漏れが封止される。たとえば、特許文献1および特許文献2に記載されたシール構造体がそれである。
特開2000−109690号公報 特開2007−046755号公報
ところで、ゼオライト膜を分離膜として用いるセラミックス多孔質体を備える分離装置は、たとえば、石油化学プラントにおいて生成される有機溶剤中から水分を分離することにも適用されている。ゼオライトは、膜化することによりその骨格構造から分子篩の機能が得られるが、600℃前後でその骨格構造が変化して分子篩としての機能を失う性質があるため、600℃よりも低い温度で使用される。このような用途では、ゼオライト膜だけでなくシール構造体は有機溶剤に対する耐久性が求められている。特に、シール構造体に関しては、有機溶剤に対する耐久性だけでなく、安価で実用性の高いシール構造体であることが望まれている。
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、ゼオライト膜を用いたセラミックス多孔質体でのシール性能を有し且つ安価なセラミックス多孔質体のシール構造を提供することにある。
本発明者等は、以上の事情を背景として種々検討を重ねた結果、セラミックス多孔質体の配管部品との接続部分に用いるシール材料として、有機溶剤や酸・アルカリ溶剤に対する耐久性の高いパーフルオロエーテル系フッ素エラストマーを溶剤に溶解させたスラリーを作製し、そのスラリーをセラミックス多孔質体の配管部品との接続部分にコーティングし且つ加熱することで、スラリーを固化させたシール材セラミックス多孔質体の被シール部分を覆うようにしたシール構造を構成すると、数十ミクロン程度に膜厚を薄くしても耐酸性、耐アルカリ性が高く耐久性に優れたシール構造が得られるという新たな事実を見いだした。本発明はかかる知見に基づいてなされたものである。
すなわち、本発明の要旨とするところは、(a)表面が分離膜によりコーティングされたセラミックス多孔質体の被シール部分をシール材で覆うセラミックス多孔質体のシール構造であって、該セラミックス多孔質体の被シール部分を覆うシール材を、20μm以上の厚みとしたことにある。
このように構成されたセラミックス多孔質体のシール構造によれば、セラミックス多孔質体の被シール部分を覆うシール材が20μm以上の厚みとされていることから、極めて薄い厚みの少量のシール材によって耐酸性、耐アルカリ性が高く耐久性に優れたシール構造が得られるので、安価なセラミックス多孔質体のシール構造が得られる。
ここで、好適には、前記シール材は、パーフルオロエーテル系フッ素エラストマーを溶剤に溶解させたスラリーを塗布し加熱して溶剤を除去することにより、前記セラミックス多孔質体の被シール部分を覆うように層状に固着させたものである。このようにすれば、パーフルオロエーテル系フッ素エラストマーは有機溶剤や酸・アルカリ溶剤に対する耐久性の高い性質があるので、耐酸性、耐アルカリ性が高く耐久性に優れたシール構造が得られる。
また、好適には、前記セラミックス多孔質体は、平均粒径が10μm以下の細孔を有するものである。このようにすれば、平均粒径が10μm以下という比較的大きな細孔径を有するセラミックス多孔質体が用いられても、耐酸性、耐アルカリ性が高く耐久性に優れたシール構造が得られる。
本発明の一実施例である、表面に分離膜が積層されたセラミックス多孔質体を備える水分分離装置の構成の要部を説明する概略図である。 図1の水分分離装置の製造工程の要部を説明する工程図である。 本発明の他の実施例である、表面に分離膜が積層されたセラミックス多孔質体を備える水分分離装置の構成の要部を説明する概略図である。 図3の水分分離装置の製造工程の要部を説明する工程図である。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施例において図は適宜簡略化或いは変形されており、各部の寸法比および形状等は必ずしも正確に描かれていない。
図1は、本発明の一実施例が適用された分離装置10の要部を説明する図である。分離装置10は、たとえば円筒状に成形されたアルミナ質セラミックスから成るセラミックス多孔質体12と、そのセラミックス多孔質体12の外表面に積層されたゼオライト膜14と、たとえば緻密なアルミナ焼結体から不透過性に構成されて、セラミックス多孔質体12の一端部に嵌め入れられてその一端部を閉じる閉塞部材16と、たとえば緻密なアルミナ焼結体或いは金属から不透過性に構成されて、セラミックス多孔質体12の他端部に嵌め入れられてその他端部と接続される導出管部材18と、セラミックス多孔質体12の閉塞部材16および導出管部材18に隣接する被シール部12aおよび12bに固着されてそこに露出する細孔を封止するためにそれらの表面上に20μm以上に積層されたシール材20とを備えている。
上記セラミックス多孔質体12は、たとえば外径10mm、内径7mm程度の円筒であってその外周面に固着されたゼオライト膜14の支持体として機能し、ゼオライト膜14と共に2層構造の積層分離膜を構成している。アルミナセラミックスは、高い耐熱性を有すると同時に、ゼオライト膜との間で高い密着性を有する性質がある。上記シール材20は、たとえばゼオライト膜14を通過しない有機溶媒が管状のセラミックス多孔質体12内の空間へ浸入することを阻止するためのものであり、セラミックス多孔質体12のうちの閉塞部材16および導出管部材18に隣接する被シール部12aおよび12bに開口する細孔を閉じて気密および液密にシールするものであり、耐酸性、耐アルカリ性に対する耐久性の高いパーフルオロエーテル系フッ素エラストマーが好適に用いられる。
以上のように構成された分離装置10は、たとえば、石油化学プラントにおいて生成される有機溶剤中に設置され、その有機溶剤中の水分をゼオライト膜14を通して分離して導出管部材16を通して排出することにより、有機溶剤中の水分を除去するものである。
図2は、上記水分分離装置10の製造工程の要部を説明する図である。図2において、先ず、アルミナ多孔質体12、閉塞部材16、および導出管部材18が用意される。アルミナ多孔質体12は、たとえば、平均粒径が3μm程度のα−アルミナからなるアルミナ粉末100重量部、メチルセルローズなどのバインダー2重量部、および水20重量部が混合且つ混練され、真空押出成形機を用いて成形した成形体を乾燥し、1450℃で焼成したものである。このようにして用意されたアルミナ多孔質体12は、たとえば10μm以下、好適には1μm程度の平均細孔径と35体積%程度の気孔率とを有する多孔質である。また、閉塞部材16および導出管部材18は、緻密なセラミックス製或いは金属製の不透過性を有する物質であり、たとえば市販の高純度アルミナ質セラミックス(Al2O3:96〜99.9重量%)である。
次いで、図2のゼオライト形成工程P1では、円筒状のアルミナ多孔質体12の外周面に、水熱法を用いてゼオライト膜14が形成される。このゼオライト膜14の細孔径は用途に応じて形成されるが、たとえばアルミナ多孔質体12の細孔径よりも1/500〜1/2000である。組立工程P2では、ゼオライト膜14が外周面に形成された円筒状のアルミナ多孔質体12に、閉塞部材16および導出管部材18が組み付けられる。そして、シール材塗着工程P3では、市販のパーフルオロエーテル系フッ素エラストマーを市販の希釈剤を用いて希釈してスラリーとし、そのスラリーにアルミナ多孔質体12の閉塞部材16および導出管部材18に隣接する被シール部12aおよび12bをそれぞれ浸漬してその外周面に塗布した後に加熱することにより希釈剤を除去することで、シール材20が固着される。図1はこの状態を示している。なお、スラリーは、その付着を防止するマスキングを利用して、必要な部位に選択的に塗布される。
次に、本発明の他の実施例を説明する。なお、以下の説明において前述の実施例1と共通する部分には同一の符号を付して説明を省略する。
図3は、本発明の他の実施例が適用された分離装置30の要部を説明する図である。分離装置30は、そのアルミナ多孔質体12の外周面に固着されたゼオライト膜14とシール材20とが重なっていない点で相違し、その他は同様に構成されている。
図4は、上記水分分離装置30の製造工程の要部を説明する図である。図4において、先ず、前述の組み立て工程P2と同様に、組立工程P11において、円筒状のアルミナ多孔質体12に、閉塞部材16および導出管部材18が組み付けられる。次いで、シール材塗着工程P12では、前述のシール材塗着工程P3と同様に、市販のパーフルオロエーテル系フッ素エラストマーを市販の希釈剤を用いて希釈してスラリーとし、そのスラリーにアルミナ多孔質体12の閉塞部材16および導出管部材18に隣接する被シール部12aおよび12bをそれぞれ浸漬してその外周面に塗布した後に加熱することにより希釈剤を除去することで、シール材20が固着される。本実施例でも、スラリーは、その付着を防止するマスキングを利用して、必要な部位に選択的に塗布される。そして、ゼオライト形成工程P13では、円筒状のアルミナ多孔質体12の外周面に、水熱法を用いてゼオライト膜14が形成される。このゼオライト形成工程P13により形成されるゼオライト膜14は、パーフルオロエーテル系フッ素エラストマー樹脂の上には付着しないので、本実施例の分離装置30において、アルミナ多孔質体12の外周面に固着されたゼオライト膜14とシール材20とが重なっていない。
[リークテスト]
次に、シール材20の厚みとそのシール機能との関係を調べるために本発明者が行なった実験を説明する。以下に示すように作製した16種類のテストピースNo.1〜No.16について、以下に説明するリークテスト条件を用いてリークテストを行なった。
(テストピースの作製)
先ず、0.74nm、0.2μm、1μm、10μmという4種類の平均細孔径を表面に有する円筒状のアルミナ多孔質体に対して、それぞれ4種類のコーティング厚みとなるように、パーフルオロエーテル系フッ素エラストマー(信越化学工業株式会社製SIFEL2662)を1,3ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン(和光純薬工業株式会社製)に異なる濃度で希釈した4種類のスラリー中に10秒間浸漬した後で、大気雰囲気中で250℃で加熱して固着させた。このスラリーの浸漬は、リークテストが十分に可能な長さである3cmだけ局部的に行なわれ、その部分にシール材が固着された。このようにして作製した合計16種類のテストピースNo.1〜No.16において、光学顕微鏡および電子顕微鏡を用いてシール材の厚みを測定した。なお、平均細孔径が0.74nmであるテストピースNo.1〜No.4には、表面にY型ゼオライト膜が形成されたアルミナ多孔質体が用いられ、平均細孔径が0.2μm、1μm、10μmであるテストピースNo.5〜No.16には、表面にY型ゼオライト膜が形成されないアルミナ多孔質体が用いられている。
(リークテスト)
密閉容器内を0.3MPaの窒素(N2)雰囲気とし、テストピースのうちのシール材が固着された部分をその密閉容器内に収容して、大気圧であるテストピース内へ流入する窒素のリーク量(L/min)を、リークガス体積流量計を用いて測定した。
表1、表2、表3、表4は、リークテストの結果をそれぞれ示している。表1は、表面の細孔径が0.74nmであるゼオライト膜付アルミナ多孔質体に4種類の厚みのシール材が固着されたテストピースNo.1〜No.4について、リークテスト結果をそれぞれ示している。表2は、表面の細孔径が0.2μmであるアルミナ多孔質体に4種類の厚みのシール材が固着されたテストピースNo.5〜No.8について、リークテスト結果をそれぞれ示している。表3は、表面の細孔径が1μmであるアルミナ多孔質体に4種類の厚みのシール材が固着されたテストピースNo.9〜No.12について、リークテスト結果をそれぞれ示している。表4は、表面の細孔径が10μmであるアルミナ多孔質体に4種類の厚みのシール材が固着されたテストピースNo.13〜No.16について、リークテスト結果をそれぞれ示している。
Figure 2014202237
Figure 2014202237
Figure 2014202237
Figure 2014202237
表1乃至表4から明らかなように、シール材のコーティング厚みが20μm以上であれば、アルミナ多孔質体の表面の細孔径に拘わらず、リークがないことが示されている。このような厚みは、従来のコーティング厚みに比較して1/10に相当し、高価なパーフルオロエーテル系フッ素エラストマーの使用量が少なくなって分離装置10或いは分離装置30の価格が大幅に低減される。ここで、リークなしの判定は、リークガス体積流量計の検出限界値である0.1mL/min以下であることを示している。
[耐酸・耐アルカリテスト]
次に、本発明者は、酢酸50mol%水溶液が充填されたオートクレープ内で前記テストピースを150℃で2時間浸漬した後、前記リークテストを実施した。また、本発明者は、水酸化ナトリウム1mol%水溶液が充填されたオートクレープ内で前記テストピースを180℃で5時間浸漬した後、前記リークテストを実施した。これらのリークテストにおいても、シール材のコーティング厚みが20μm以上であるテストサンプルにおいては、いずれもリークは見られなかった。
上述のように、本実施例の分離装置10、30に適用されたシール構造は、表面がゼオライト膜(分離膜)14によりコーティングされたアルミナ多孔質体(セラミックス多孔質体)12の被シール部12aおよび12bをシール材20で覆うシール構造であって、そのアルミナ多孔質体12の被シール部12aおよび12bを覆うシール材20を、20μm以上の厚みとしたことから、極めて薄い厚みの少量のシール材20によって耐酸性、耐アルカリ性が高く耐久性に優れたシール構造が得られるので、安価なセラミックス多孔質体のシール構造が得られる。すなわち、分離装置10、30が安価となる。
また、本実施例のシール材20は、パーフルオロエーテル系フッ素エラストマーを溶剤に溶解させたスラリーを塗布しそのスラリーを加熱して溶剤を除去することにより、アルミナ多孔質体12の被シール部分12a、12bを覆うように層状に固着させたものであることから、パーフルオロエーテル系フッ素エラストマーは有機溶剤や酸・アルカリ溶剤に対する耐久性の高い性質があるので、耐酸性、耐アルカリ性が高く耐久性に優れたシール構造すなわち分離装置10、30が得られる。
また、本実施例のアルミナ多孔質体12は、平均粒径が10μm以下の細孔を有するものであるので、平均粒径が10μm以下という比較的大きな細孔径を有するセラミックス多孔質体12が用いられても、耐酸性、耐アルカリ性が高く耐久性に優れたシール構造が得られる。
以上、本発明の好適な実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、更に別の態様においても実施される。
例えば、前述の実施例において、ゼオライト膜14の担体として機能するアルミナ多孔質体12は、アルミナ以外の材質からなるセラミックス多孔質体であってもよい。
また、前述の実施例では、アルミナ多孔質体12は円筒状に成形されたものであったが、四角形など多角形断面の管状であってもよい。また、アルミナ多孔質体12の一端部に設けられた閉塞部材16は、板状の緻密なセラミックスであってもよい。また、その閉塞部材16に替えて、ゼオライト膜14が層状に固着された他の円筒状のアルミナ多孔質体12が連結されていてもよい。
また、前述の実施例のシール材20には、必要に応じて、アルミナ粉などの充填材が含まれていてもよい。
その他、一々例示はしないが、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更が加えられて実施されるものである。
10、30:分離装置
12:アルミナ多孔質体(セラミックス多孔質体)
12a、12b:被シール部
14:ゼオライト膜(分離膜)
20:シール材

Claims (3)

  1. 表面が分離膜によりコーティングされたセラミックス多孔質体の被シール部分をシール材で覆うセラミックス多孔質体のシール構造であって、
    該セラミックス多孔質体の被シール部分を覆うシール材を、20μm以上の厚みとしたことを特徴とするセラミックス多孔質体のシール構造。
  2. 前記シール材は、パーフルオロエーテル系フッ素エラストマーを溶剤に溶解させたスラリーを塗布し加熱して溶剤を除去することにより、前記セラミックス多孔質体の被シール部分を覆うように層状に固着されたものであることを特徴とする請求項1のセラミックス多孔質体のシール構造。
  3. 前記セラミックス多孔質体は、平均粒径が10μm以下の細孔を有するものであることを特徴とする請求項1または2のセラミックス多孔質体のシール構造。
JP2013077076A 2013-04-02 2013-04-02 セラミックス多孔質体のシール構造 Pending JP2014202237A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013077076A JP2014202237A (ja) 2013-04-02 2013-04-02 セラミックス多孔質体のシール構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013077076A JP2014202237A (ja) 2013-04-02 2013-04-02 セラミックス多孔質体のシール構造

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2014202237A true JP2014202237A (ja) 2014-10-27

Family

ID=52352872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013077076A Pending JP2014202237A (ja) 2013-04-02 2013-04-02 セラミックス多孔質体のシール構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2014202237A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018180095A1 (ja) * 2017-03-30 2018-10-04 日本碍子株式会社 分離膜モジュールの検査方法及び分離膜モジュールの製造方法
JP2019081141A (ja) * 2017-10-30 2019-05-30 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 分離膜用セラミック多孔質支持体

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62129104A (ja) * 1985-11-28 1987-06-11 Ngk Insulators Ltd セラミック管状フィルターの製造法
JPH1150910A (ja) * 1997-08-06 1999-02-23 Honda Motor Co Ltd シール構造
JP2004025377A (ja) * 2002-06-26 2004-01-29 Mitsubishi Materials Corp Cmpコンディショナおよびその製造方法
JP2006088079A (ja) * 2004-09-27 2006-04-06 Bussan Nanotech Research Institute Inc 管端部接続体
JP2006239679A (ja) * 2005-02-04 2006-09-14 Ngk Insulators Ltd 水素分離体及びその製造方法
JP2009084453A (ja) * 2007-09-28 2009-04-23 Nichias Corp ガスケット用素材及びその製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62129104A (ja) * 1985-11-28 1987-06-11 Ngk Insulators Ltd セラミック管状フィルターの製造法
JPH1150910A (ja) * 1997-08-06 1999-02-23 Honda Motor Co Ltd シール構造
JP2004025377A (ja) * 2002-06-26 2004-01-29 Mitsubishi Materials Corp Cmpコンディショナおよびその製造方法
JP2006088079A (ja) * 2004-09-27 2006-04-06 Bussan Nanotech Research Institute Inc 管端部接続体
JP2006239679A (ja) * 2005-02-04 2006-09-14 Ngk Insulators Ltd 水素分離体及びその製造方法
JP2009084453A (ja) * 2007-09-28 2009-04-23 Nichias Corp ガスケット用素材及びその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018180095A1 (ja) * 2017-03-30 2018-10-04 日本碍子株式会社 分離膜モジュールの検査方法及び分離膜モジュールの製造方法
US11872520B2 (en) 2017-03-30 2024-01-16 Ngk Insulators, Ltd. Method for inspecting separation membrane module and method for manufacturing separation membrane module
JP2019081141A (ja) * 2017-10-30 2019-05-30 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 分離膜用セラミック多孔質支持体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6238899B2 (ja) モノリス型分離膜構造体の欠陥検出方法、補修方法、およびモノリス型分離膜構造体
AU2007263408A2 (en) Ceramic filter
JP7049320B2 (ja) 分離膜モジュールの検査方法及び分離膜モジュールの製造方法
JPH07178326A (ja) 濾過膜及び該膜の製造方法
JP2016052959A (ja) ガラス被覆アルミナ構造物、分離膜エレメント、およびガラス接合剤
JP7514183B2 (ja) 多孔質セラミックス積層体及びその製造方法
JP2014202237A (ja) セラミックス多孔質体のシール構造
US11402314B2 (en) Method for inspecting separation membrane structure, method for manufacturing separation membrane module, and method for manufacturing separation membrane structure
JP6436974B2 (ja) モノリス型分離膜構造体及びモノリス型分離膜構造体の製造方法
JP5587404B2 (ja) ガス分離モジュール
JP2015186776A (ja) ゼオライト膜の評価方法
WO2015146488A1 (ja) モノリス型分離膜構造体、モノリス型分離膜構造体の製造方法及び脱水方法
JP6449859B2 (ja) 分離膜構造体、および分離膜構造体モジュール
WO2012111792A1 (ja) 炭素膜付き複合体およびその製造方法
WO2016093192A1 (ja) 分離膜構造体及びその製造方法
TWI668045B (zh) 高純度氣體純化器
JP2013031830A (ja) 分離膜付き多孔質体
JP2013203618A (ja) シリカ膜フィルタ、及びその製造方法
JP6212001B2 (ja) 分離膜構造体
JP6653004B2 (ja) 分離膜用片端封止型筒状セラミックス基材およびその製造方法
JP2013111529A (ja) 分離膜付き多孔質体
JP6636932B2 (ja) 膜構造体及びその製造方法
JP6415200B2 (ja) 片端封止型筒状セラミックスおよびその製造方法
JP2003210923A (ja) 分離体及びそれを用いた容器
JP2018079455A (ja) ゼオライト膜エレメント

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20141202

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150813

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150915

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151110

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160426

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160617

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20161004