JP2014154994A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6206664B2 (ja) 2013-10-30 2017-10-04 セイコーエプソン株式会社 発振回路、発振器、発振器の製造方法、電子機器及び移動体
JP6226127B2 (ja) 2013-10-30 2017-11-08 セイコーエプソン株式会社 発振回路、発振器、発振器の製造方法、電子機器及び移動体
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JP2015088876A (ja) 2013-10-30 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体
JP2017079347A (ja) * 2015-10-19 2017-04-27 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片、圧電振動子、圧電振動子の製造方法、電子機器、および移動体
JP2022154545A (ja) * 2021-03-30 2022-10-13 株式会社大真空 圧電振動板および圧電振動デバイス
TWI776661B (zh) * 2021-08-31 2022-09-01 國立陽明交通大學 晶體振盪器及其製作方法
TWI759245B (zh) 2021-08-31 2022-03-21 國立陽明交通大學 晶體振盪器及其製作方法
TWI821100B (zh) 2023-01-07 2023-11-01 安碁科技股份有限公司 石英振盪器及其製作方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3845752B2 (ja) * 1998-03-26 2006-11-15 エプソントヨコム株式会社 Uhf帯基本波水晶振動子及びフィルタ
JP2000040938A (ja) * 1998-07-23 2000-02-08 Toyo Commun Equip Co Ltd 超高周波圧電デバイス
JP2002190717A (ja) * 2000-12-21 2002-07-05 Toyo Commun Equip Co Ltd 高周波圧電デバイス
JP2002299998A (ja) * 2001-04-02 2002-10-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電振動素子および圧電フィルタ
JP2004088137A (ja) * 2002-06-27 2004-03-18 Kinseki Ltd 小型高周波振動子
JP4196641B2 (ja) * 2002-10-23 2008-12-17 エプソントヨコム株式会社 超薄板圧電デバイスとその製造方法
JP2004207913A (ja) * 2002-12-24 2004-07-22 Toyo Commun Equip Co Ltd 水晶振動子
JP4477364B2 (ja) * 2004-01-13 2010-06-09 日本電波工業株式会社 水晶振動子
JP5796355B2 (ja) * 2011-06-03 2015-10-21 セイコーエプソン株式会社 圧電振動素子、圧電振動子、電子デバイス、及び電子機器

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