JP2015211399A - 表面実装型圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】小型化に対応させ、電気的特性の優れたより信頼性の高い表面実装型圧電デバイスを提供する。
【解決手段】矩形状で一主面のみに収納部が形成されたベース1と、収納部10に搭載される矩形圧電振動素子3Aと音叉型圧電振動素子3Bと集積回路素子2とがあり、収納部には内底面10aと保持台10bとがベースの平面視長辺方向に隣接して形成される。内底面には音叉型圧電振動素子3Bと集積回路素子2とがお互いに接触しない状態でベースの長辺方向に隣接して搭載される。保持台と音叉型圧電振動素子3Bとの間に集積回路素子2が介在した状態で、保持台と集積回路素子2と音叉型圧電振動素子3Bとがベース1の長辺方向に沿って配置されている。保持台に矩形圧電振動素子3Aの一短辺側のみを固定して搭載するとともに、矩形圧電振動素子3Aの他短辺を集積回路素子2に対して平面視重畳させた。
【選択図】図1
【解決手段】矩形状で一主面のみに収納部が形成されたベース1と、収納部10に搭載される矩形圧電振動素子3Aと音叉型圧電振動素子3Bと集積回路素子2とがあり、収納部には内底面10aと保持台10bとがベースの平面視長辺方向に隣接して形成される。内底面には音叉型圧電振動素子3Bと集積回路素子2とがお互いに接触しない状態でベースの長辺方向に隣接して搭載される。保持台と音叉型圧電振動素子3Bとの間に集積回路素子2が介在した状態で、保持台と集積回路素子2と音叉型圧電振動素子3Bとがベース1の長辺方向に沿って配置されている。保持台に矩形圧電振動素子3Aの一短辺側のみを固定して搭載するとともに、矩形圧電振動素子3Aの他短辺を集積回路素子2に対して平面視重畳させた。
【選択図】図1
Description
本発明は、絶縁性のベースの一つの収納部の上に圧電振動素子と集積回路素子が実装された表面実装型圧電発振器などの表面実装型圧電デバイスに関するものであって、特に、メガヘルツ(MHz)帯で振動してなる圧電振動素子とキロヘルツ(KHz)帯で振動してなる音叉型圧電振動素子と集積回路素子とがベース基板の一つの収納部のみに搭載されたシングルパッケージ構造の表面実装型圧電発振器などの表面実装型圧電デバイスを改善するものである。
水晶振動板等の圧電振動素子を用いた圧電デバイスは、安定して精度の高い発振周波数を得ることができるため、主としてメガヘルツ帯の圧電振動素子は電子機器等の基準周波数源として多種の分野で使用され、キロヘルツ帯の圧電振動素子は時刻の基準源として多種の分野で使用されている。
表面実装型圧電発振器では、絶縁性のベースとしてセラミック多層基板を用い、当該ベースの収納部に発振回路等の集積回路素子を配置するとともに、当該集積回路素子の上方に圧電振動素子を支持固定し、蓋により気密封止を行ったものである。このような構成はC−MOS等のインバータ増幅器(発振用増幅器)を内蔵したワンチップの集積回路素子のカスタム化により比較的部品点数が少なく、シンプルな構成であり、低コスト化に寄与している。
ところで、メガヘルツ帯の表面実装型圧電デバイスとキロヘルツ帯の表面実装型圧電デバイスは個別のパッケージで取り扱われることが多いが、近年、回路基板に搭載される部品点数を減らすことが求められており、特許文献1に示すように、これらの表面実装型圧電デバイスを一体化したものが提案されている。
しかしながら、表面実装型電子部品の軽薄短小化が求められているなか、特許文献1に記載している表面実装型圧電デバイスでは不十分であり改良できる余地があるのが現状である。また、表面実装型圧電デバイスを小型化する場合には、製造上の制限があったり、従来では問題となり得なかった電気的特性の劣化など小型化特有の新たな問題が生じることがあるのが現状である。
特に、表面実装型圧電発振器に収納された集積回路素子の出力パッドと接続される出力ライン(出力用外部端子から出力配線パターン等)では外部ノイズの影響を受けやすい。
そこで、上記課題を解決するために、本発明は、異なる周波数帯域の複数の圧電振動素子を一つのパッケージに収納してなる表面実装型圧電デバイスについて、小型化に対応させながら、電気的特性の優れたより信頼性の高い表面実装型圧電デバイスを提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明の特許請求項1に示すように、平面視矩形状で一主面側のみに一つの収納部が形成され、他主面側に外部端子が形成された絶縁性のベースと、前記ベースの収納部に搭載され、メガヘルツ帯で振動してなる一つの矩形圧電振動素子と、前記ベースの収納部に搭載され、キロヘルツ帯で振動してなる一つの音叉型圧電振動素子と、前記ベースの収納部に搭載され、前記矩形圧電振動素子と前記音叉型圧電振動子とに接続される一つの集積回路素子とがあり、前記ベースの収納部には、内底面と当該内底面より高さの高い矩形圧電振動素子搭載用の保持台とがベースの平面視長辺方向に隣接して形成され、前記内底面には、前記音叉型圧電振動素子と前記集積回路素子とがお互いに接触しない状態でベースの長辺方向に隣接して搭載され、前記保持台と前記音叉型圧電振動素子との間に前記集積回路素子が介在した状態で、前記保持台と前記集積回路素子と前記音叉型圧電振動素子とがベースの長辺方向に沿って配置されており、前記保持台に前記矩形圧電振動素子の一短辺側のみを固定して搭載するとともに、前記矩形圧電振動素子の他短辺を前記集積回路素子に対して平面視重畳する位置に配置させた。
この構成により、ベースの一主面側のみに一つの収納部が形成されたシングル封止構成のパッケージ構造とするとともに、一つの収納部に収納される部品を矩形圧電振動素子と音叉型圧電振動素子とこれらと接続される一つの集積回路素子のみとすることで、部品点数を減らしベースの低背化や小型化をさらに実現とすることができる。このようなシングル封止構成のパッケージでは、小型化や低背化を進めることでベースの収納部に搭載された各部品の搭載位置が近接してお互いに干渉しあうことが懸念される。しかしながら、本発明では、前記保持台に前記矩形圧電振動素子の一短辺側のみを固定して搭載するとともに、前記矩形圧電振動素子の他短辺を前記集積回路素子に対して平面視重畳する位置に配置させているので、矩形圧電振動素子の他短辺が内底面のある下方向に傾くことがあっても、集積回路素子を補助枕としてその傾きを抑制することができる。特に、保持台上部の高さのある位置で圧電振動素子を片持ち保持により搭載すると、外部衝撃等により圧電振動素子に傾きが生じやすくなることがあるが、音叉型圧電振動素子ではなく矩形圧電振動素子を保持台に固定して集積回路素子の上部に配置することで、圧電振動素子が傾くことにより集積回路素子と接触することがあっても発振停止を招く危険性を低くできる。これは、音叉型圧電振動素子の場合、振動による変位が脚部の先端側で大きく、接触による振動阻害することの影響度が高い。これに対して矩形圧電振動素子の場合、素子の中央に比較して端部側では振動を阻害する影響が低いためである。さらに、矩形圧電振動素子の他短辺が集積回路素子の端部から隣接する前記音叉型圧電振動素子の方へはみ出すことがないため、矩形型圧電振動素子と音叉型圧電振動素子とがお互いに接触することなく、お互いの振動特性に悪影響を与えることもない。また、周波数調整工程に伴う調整物質(プラズマ粒子や電極屑等)の発生量が比較的少ない矩形圧電振動素子を保持台に固定して集積回路素子の上部に配置することで、下側に配置される音叉型圧電振動素子に対して周波数調整工程に伴う調整物質(プラズマ粒子や電極屑等)が届くことが抑制される。
また、上述の構成に加え、前記集積回路素子には、前記矩形圧電振動素子とのみ接続され当該矩形圧電振動素子の周波数信号のみを増幅するメガヘルツ用発振回路部と、前記音叉型圧電振動素子とのみ接続され当該音叉型圧電振動素子の周波数信号のみを増幅するキロヘルツ用発振回路部とを有し、前記メガヘルツ用発振回路部の接続経路と前記キロヘルツ用発振回路部の接続経路とは一つの集積回路素子の内部で電気的に独立して形成されており、前記ベースの他主面側に形成される外部端子には、前記矩形圧電振動素子のみに関連するメガヘルツ用外部端子群と前記音叉型圧電振動素子のみに関連するキロヘルツ用外部端子群とを有しており、前記メガヘルツ用外部端子群には、少なくともメガヘルツ用外部電源端子と、メガヘルツ用外部出力端子と、メガヘルツ用外部グランド端子とが含まれ、前記キロヘルツ用外部端子群には、少なくともキロヘルツ用外部電源端子と、キロヘルツ用外部出力端子と、キロヘルツ用外部グランド端子とが含まれており、前記メガヘルツ用発振回路部から前記メガヘルツ用外部端子群の各外部端子に至るまでの電気的な接続経路と、前記キロヘルツ用発振回路部から前記キロヘルツ用外部端子群の各外部端子に至るまでの電気的な接続経路とが、電気的に独立して形成されている。
上記構成により、前記メガヘルツ用発振回路部の接続経路と前記キロヘルツ用発振回路部の接続経路とは一つの集積回路素子の内部で電気的に独立して形成されており、かつ、前記メガヘルツ用発振回路部から前記メガヘルツ用外部端子群の各外部端子に至るまでの電気的な接続経路と前記キロヘルツ用発振回路部から前記キロヘルツ用外部端子群の各外部端子に至るまでの電気的な接続経路とが電気的に独立して形成されているため、周波数の異なる2つの圧電振動素子(矩形圧電振動素子と音叉型圧電振動素子)を近接配置してもお互いに電気的な干渉を与えることがなくなる。特に、外部電源端子と外部グランド端子とは、メガヘルツ用外部電源端子とメガヘルツ用外部グランド端子、キロヘルツ用外部電源端子とキロヘルツ用外部グランド端子としてそれぞれパッケージ内部で共通接続されることがないので、お互いの周波数信号に疑似信号として混入することがなくなるため、電気的な特性の劣化につながることがない。また、必要に応じて矩形圧電振動素子と音叉型圧電振動素子との駆動を使い分けることができ、必要のない側の圧電振動子の駆動を休止することができるため、省エネルギーに貢献できる。特に、比較的消費電力が小さく時刻の基準源としての音叉型圧電振動素子のみを常時駆動させる一方で、比較的消費電力が大きく電子機器等の基準周波数源としての矩形圧電振動素子の動作を必要な時のみ駆動させるようなことが、お互いに電気的な接続経路が独立しているがゆえに外部回路上の操作により容易に実現できる。
また、上述の構成に加え、前記矩形圧電振動素子の表裏主面の中央部分には、周波数調整される励振電極が形成され、前記音叉型圧電振動素子は、基部と当該基部に接続された複数の脚部とを有し、当該脚部の先端には周波数調整される錘電極が形成されており、前記矩形圧電振動素子の励振電極と前記音叉型圧電振動素子の錘電極とは、ベースの短辺方向に沿ってお互いにずれた位置に配置されてなる。
上記構成により、前記矩形圧電振動素子の励振電極と前記音叉型圧電振動素子の錘電極とは、ベースの短辺方向に沿ってお互いにずれた位置、つまりベースの長辺方向において前記矩形圧電振動素子の励振電極と前記音叉型圧電振動素子の錘電極とが同一直線上から外れる位置に配置しているので、お互いに独立した領域とするだけでなく離隔して配置することができる。結果として、各電極を周波数調整する際には個別に行うことができ、お互いに干渉されることがない。特に、先端に周波数調整領域を有する音叉型圧電振動素子ではなく、中央に周波数調整領域を有する矩形圧電振動素子を保持台に固定して集積回路素子の上部に配置することで、お互いの周波数調整領域を離隔させることができ、下側に配置される圧電振動素子に対して周波数調整工程に伴う調整物質(プラズマ粒子や電極屑等)が届くことが抑制されるので、周波数調整する場合にお互いの干渉をなくすうえでより望ましい構成とすることができる。
また、上述の構成に加え、前記集積回路素子の厚みに対して前記音叉型圧電振動素子の厚みが薄くてもよい。この構成では、矩形圧電振動素子の他短辺が音叉型圧電振動素子に接触することがより一層なくなる。
また、上述の構成に加え、前記集積回路素子の厚みに対して前記音叉型圧電振動素子の厚みが厚くてもよい。この構成では、前記矩形圧電振動素子の他短辺を前記集積回路素子に対して平面視重畳する位置に配置しているので、前記矩形圧電振動素子が前記音叉型圧電振動素子に干渉することなく、矩形圧電振動素子の保持台の位置を低くすることができる。結果として、さらなる低背化に有利な構成とできる。
以上のように、本発明は、メガヘルツ帯の矩形圧電振動素子とキロヘルツ帯の音叉型圧電振動素子とこれらと接続される集積回路素子とを一つのパッケージに収納してなる表面実装型圧電デバイスについて、小型化に対応させながら、各圧電振動素子の物理的な干渉だけでなく電気的な干渉をもなくし、特性の優れたより信頼性の高い表面実装型圧電デバイスを提供することができる。
以下、本発明による好ましい実施形態につきセラミック多層基板のベースを用いた表面実装型水晶発振器(表面実装型圧電デバイス)を例にとり図面とともに説明する。
図1乃至図6は本発明の実施形態を示すものである。
表面実装型水晶発振器6は、上部が開口した凹部を有する絶縁性のセラミック多層基板からなるベース1(以下、ベースと称する)と、当該ベースの中に収納される一つの集積回路素子2と、同じく当該ベース中の上部に収納されるメガヘルツ帯で振動してなる一つの矩形水晶振動素子(矩形圧電振動素子)3Aと、キロヘルツ帯で振動してなる一つの音叉型水晶振動素子(音叉型圧電振動素子)3Bと、ベースの開口部に接合される蓋4とからなる。この表面実装型水晶発振器では、ベース1と蓋4とが封止材5を用いて接合されて気密封止され、表面実装型水晶発振器6が構成されている。以下、この表面実装型水晶発振器6の各構成について説明する。
セラミック多層基板のベース1は全体として直方体で、最下層であるアルミナ等のセラミック材料からなる平面視矩形状の一枚板の底部11と、この底部11上に積層した中間層のセラミック材料の平面視枠形状の堤部12と、最上層のセラミック材料の平面視枠形状の堤部13とから構成され、ベース1の一主面のみに一つの収納部10を有する断面凹形の箱状体(外装部14)に形成されている。収納部10には、内底面10aと当該内底面から上部に突き出し、内底面より高さの高い保持台10bとがベース1の平面視長辺方向に隣接して形成されている。
内底面10aの上面には後述する集積回路素子2と音叉型水晶振動素子3Bとがお互いに接触しない状態でベース1の長辺方向に隣接して搭載される。この時、保持台10bに近接する方に集積回路素子2が配置され、保持台10bに隔離する方に音叉型水晶振動素子3Bが配置され、結果として保持台10bと音叉型圧電振動素子3Bとの間に集積回路素子2が介在した状態で、保持台10bと集積回路素子2と音叉型圧電振動素子3Bとがベース1の長辺方向に沿って配置されている。
保持台10bの上面には矩形水晶振動素子3Aが搭載される。この時、矩形水晶振動素子3Aの一短辺33Aの方のみを保持台10bに固定して搭載するとともに、矩形水晶振動素子の他短辺34Aの方を内底面10aの方に延出し、当該他端辺34Aの少なくとも中心部341Aが集積回路素子2の上面の領域に対して平面視重畳する位置に配置している。結果として矩形水晶振動素子3Aの他短辺34Aが集積回路素子2の上部稜線のうち音叉型水晶振動素子3Bに近接する稜線21を超えて音叉型水晶振動素子3Bの方へはみ出すことがない。なお、セラミック多層基板として本形態のように3層構造のベースに限定されるものではなく、ベースの収納部の構造に応じて4層以上で構成してもよい。
前記セラミック多層基板のベース1の最上層である堤部13の上面(端面)は平坦であり、後述する蓋4との接合領域(金属膜)13aである。この接合領域13aは、タングステンあるいはモリブデン等のメタライズ材料からなるメタライズ層と、このメタライズ層に積層されたニッケル層と、このニッケル層に積層された金層とから構成される。タングステンあるいはモリブデンは厚膜印刷技術を活用してメタライズ技術によりセラミック焼成時に一体的に形成され、メタライズ層上にニッケル層、金層の順でメッキ形成される。
ベース1の外周壁の4角には上下方向に伸長するキャスタレーションC1,C2,C5,C6がそれぞれ形成され、ベース1の外周壁の一方(ベースの外装部底面の長辺15側)の長辺中央の一部には上下方向に伸長する半長円状のキャスタレーションC3,C4が形成され、ベース1の外周壁の他方(ベースの外装部底面の長辺16側)の長辺中央の一部には上下方向に伸長する半長円状のキャスタレーションC7,C8が形成されている。当該キャスタレーションはベースの外周壁に対して円弧状あるいは半長円状の切り欠きが上下方向に形成された構成である。
なお、前記接合領域13aはベースの堤部12,13を上下に貫通接続する図示しない導電ビアやキャスタレーション上部に形成された図示しない配線パターンのいずれか少なくとも一方により、ベース底面側に形成された外部端子に電気的に導出してもよい。この外部端子をアース接続することにより、後述する金属製の蓋が接合領域13a、導電ビアやキャスタレーション上部の配線パターンなどを介して接地され、表面実装型水晶発振器の電磁気的なシールド効果を得ることができる。
前記セラミック多層基板のベース1の最下層である底部11の下面(ベースの他主面)には、図3に示すように、4角と長辺中央に実装用の外部端子として外部端子GT1A,GT2A,GT3A,GT4A,GT1B,GT2B,GT3B,GT4Bが構成される。これらの実装用の外部端子のうち、矩形水晶振動素子3Aのみに関連するメガヘルツ用外部端子群の一部が外部端子GT1A,GT2A,GT3A,GT4Aとなり、音叉型水晶振動素子3Bのみに関連するキロヘルツ用外部端子群の一部がGT1B,GT2B,GT3B,GT4Bとなる。
外部端子GT1A,GT2A,GT3A,GT4A,GT1B,GT2B,GT3B,GT4Bは、それぞれ4角と長辺中央のキャスタレーションC8,C1,C2,C3,C6,C5,C4,C7を介してベース1の最下層である底部11の側面(底面層のセラミック基板の側面)にも引き回し電極GT11A,GT21A,GT31A,GT41A,GT11B,GT21B,GT31B,GT41Bが形成されている。また、外部端子GT1A,GT2A,GT3A,GT4A,GT1B,GT2B,GT3B,GT4Bは、引き回し電極GT11A,GT21A,GT31A,GT41A,GT11B,GT21B,GT31B,GT41Bを介して、後述する配線パターンH11A,H12A,H13A,H14A,H11B,H12B,H13B,H14Bに電気的に導出されている。
例えば、本形態では、外部端子GT1Aは矩形水晶振動素子3A用の第1外部電源端子(VCC1、メガヘルツ用外部電源端子)、外部端子GT1Bは音叉型水晶振動素子3B用の第2外部電源端子(VCC2、キロヘルツ用外部電源端子)として構成している。
外部端子GT2Aは矩形水晶振動素子3A用の第1外部出力端子(OUT1、メガヘルツ用外部出力端子)、外部端子GT2Bは音叉型水晶振動素子3B用の第2外部出力端子(OUT2、キロヘルツ用外部出力端子)として構成している。
外部端子GT3Aは矩形水晶振動素子3A用の第1外部グランド端子(GND1、メガヘルツ用外部グランド端子)、外部端子GT3Bは音叉型水晶振動素子3B用の第2外部グランド端子(GND2、キロヘルツ用外部グランド端子)として構成している。
外部端子GT4Aは矩形水晶振動素子3A用の第1外部他端子(TA1、メガヘルツ用外部他端子)、外部端子GT4Bは音叉型水晶振動素子3B用の第2外部他端子(TA2、キロヘルツ用外部他端子)として構成しており、外部出力制御端子(OE)や外部周波数制御端子(VCONT)、外部調整端子、外部NC端子などいずれかとして構成される。
本発明では、ベース1の底部11の下面(ベースの他主面)の対角位置に、矩形水晶振動素子3A用の第1外部出力端子(OUT1)である外部端子GT2Aと、音叉型水晶振動素子3B用の第2外部出力端子(OUT2)である外部端子GT2Bとを配置しており、これらの外部出力端子を隔離した位置に配置していることが特徴点の一つでもある。このような構成により、周波数の異なる矩形水晶振動素子3Aの出力電気信号と音叉型水晶振動素子3Bの出力電気信号とがお互いに干渉することがなくなり、これら2つの素子のうちいずれか一方が他方の疑似信号ノイズとして含まれることが軽減するうえでより望ましい。さらに、外部回路基板における出力ラインを流れる高周波信号は、不要な輻射ノイズが発生しているため、この不要な輻射ノイズが水晶発振器としての電気的な特性に悪影響を与えることがあるが、これらの影響も軽減することができる。
セラミック多層基板のベース1の最下層である底部11の上面(内底面10a)には、図4に示すように、後述する集積回路素子2と接続される複数の配線パターンH11A,H12A,H13A,H14A,H15A,H16A,H11B,H12B,H13B,H14B,H15B,H16Bが並んで形成されている。
セラミック多層基板のベース1の中間層である堤部12の上面には、後述する矩形水晶振動素子3Aを搭載する保持台10bが形成されており、その上面には後述する矩形水晶振動素子3Aと接続される矩形水晶振動素子用の第1の入力側の保持台配線パターンH25Aと矩形水晶振動素子用の第1の出力側の保持台配線パターンH26Aとが形成されている。保持台10bは堤部12の一部が収納部10の方に突出することで構成されている。この第1の入力側の保持台配線パターンH25Aは、下部に貫通接続する導電ビアVを介して、矩形水晶振動素子用の第1の入力側の配線パターンH15Aに電気的に導出されている。第1の出力側の保持台配線パターンH26Aは、下部に貫通接続する導電ビアVを介して、矩形水晶振動素子用の第1の出力側の配線パターンH16Aに電気的に導出されている。
セラミック多層基板のベース1の中間層である堤部12の一対の短辺中央には、キャスタレーションC9,C10,C11,C12の一部がそれぞれ形成されている。
堤部12の一短辺中央のキャスタレーションC9の上部には、第1の入力側の保持台配線パターンH25Aと接続され、後述する集積回路素子2の発振用増幅器の入力側に相当し、後述する矩形水晶振動素子3Aの他方の励振電極32Aと直接接続された矩形水晶振動素子3Aの特性測定用の第1外部入力側測定端子GT5A(X1A、メガヘルツ用第1外部入力側測定端子)が構成される。堤部12の一短辺中央のキャスタレーションC10の上部には、第1の出力側の保持台配線パターンH26Aと接続され、後述する集積回路素子2の発振用増幅器の出力側に相当し、後述する矩形水晶振動素子3Aの一方の励振電極31Aと直接接続された矩形水晶振動素子3Aの特性測定用の第1外部出力側測定端子GT6A(X2A、メガヘルツ用第1外部出力側測定端子)が構成される。
つまり、第1外部入力側測定端子GT5Aと第1外部出力側測定端子GT6Aは、中間層である堤部12の上面にのみ形成されているので、底部11の下面(ベースの他主面)と最上層である堤部13の接合領域(金属膜)13aとから離隔した状態で形成されている。なお、第1外部入力側測定端子GT5Aと第1外部出力側測定端子GT6Aに対して、圧電振動素子特性装置のコンタクトプローブを接触することで、他の回路部品が介在しない発振回路全体としての特性ではなく、後述する矩形水晶振動素子3A単独の特性を測定することができる。
本発明では、矩形水晶振動素子3A用の第1外部出力端子である外部端子GT2Aと、後述する集積回路素子2の発振用増幅器の入力側に相当し、後述する矩形水晶振動素子3Aの他方の励振電極32Aと直接接続された矩形水晶振動素子3Aの特性測定用の第1外部入力側測定端子GT5Aとの形成位置が特定されていることが特徴点の一つでもある。すなわち、後述する集積回路素子2の発振用増幅器の入力側に相当し、後述する矩形水晶振動素子3Aの他方の励振電極32Aと直接接続された矩形水晶振動素子3Aの特性測定用の第1外部入力側測定端子GT5Aは、矩形水晶振動素子3A用の第1外部出力端子に近接する側面の上部よりの位置には形成しない。言い換えると、堤部12の一短辺のうち、矩形水晶振動素子3A用の第1外部出力端子から遠ざかる側の位置よりに形成することで、不要な輻射ノイズの悪影響を軽減するうえでより望ましい。これは、C−MOSなどのインバータ増幅器(発振用増幅器)を内蔵した発振回路構成では、インバータ増幅器(発振用増幅器)の入力側(ゲート側G)とその出力側(ドレイン側D)とで発振回路特性に与える影響度は大きく異なっており、インバータ増幅器(発振用増幅器)の入力側(ゲート側G)から不要なノイズを拾うと、そのノイズも増幅され、水晶発振器としての電気的な特性に与える影響度も大きくなるためである。また、前記インバータ増幅器(発振用増幅器)の入力側(ゲート側G)がその出力側(ドレイン側D)に比較して入力抵抗が高いため、他の外部端子からの干渉を受けやすく、矩形水晶振動素子3Aに異常な電圧を発生させ、水晶発振器として正常な発振起動を妨げることがあった。これらの悪影響を軽減するため、矩形水晶振動素子3Aの特性測定用の第1外部入力側測定端子GT5Aを、矩形水晶振動素子3A用の第1外部出力端子から遠ざかる側の位置よりに形成することが望ましい。
また、堤部12の他短辺中央のキャスタレーションC11の上部には、音叉型水晶振動素子3B用の入力側の配線パターンH15Bと接続され、後述する集積回路素子2の発振用増幅器の入力側に相当し、後述する音叉型水晶振動素子3Bの他方の励振電極32Bと直接接続された音叉型水晶振動素子3Bの特性測定用の第2外部入力側測定端子GT5B(X1B、キロヘルツ用第2外部入力側測定端子)が構成される。堤部12の他短辺中央のキャスタレーションC12の上部には、音叉型水晶振動素子3B用の出力側の配線パターンH16Bと接続され、後述する集積回路素子2の発振用増幅器の出力側に相当し、後述する音叉型水晶振動素子3Bの一方の励振電極31Bと直接接続された音叉型水晶振動素子3Bの特性測定用の第2外部出力側測定端子GT6B(X2B、キロヘルツ用第2外部出力側測定端子)が構成される。
つまり、第2外部入力側測定端子GT5Bと第2外部出力側測定端子GT6Bは、中間層である堤部12の上面にのみ形成されているので、底部11の下面(ベースの他主面)と最上層である堤部13の接合領域(金属膜)13aとから離隔した状態で形成されている。なお、第2外部入力側測定端子GT5Bと第2外部出力側測定端子GT6Bに対して、圧電振動素子特性装置のコンタクトプローブを接触することで、他の回路部品が介在しない発振回路全体としての特性ではなく、後述する音叉型水晶振動素子3B単独の特性を測定することができる。
本発明では、音叉型水晶振動素子3B用の第1外部出力端子である外部端子GT2Bと、後述する集積回路素子2の発振用増幅器の入力側に相当し、後述する音叉型水晶振動素子3Bの他方の励振電極32Bと直接接続された音叉型水晶振動素子3Bの特性測定用の第2外部入力側測定端子GT5Bとの形成位置が特定されていることが特徴点の一つでもある。すなわち、後述する集積回路素子2の発振用増幅器の入力側に相当し、後述する音叉型水晶振動素子3Bの他方の励振電極32Bと直接接続された音叉型水晶振動素子3Bの特性測定用の第2外部入力側測定端子GT5Bは、音叉型水晶振動素子3B用の第2外部出力端子に近接する側面の上部よりの位置には形成しない。言い換えると、堤部12の一短辺のうち、音叉型水晶振動素子3B用の第2外部出力端子から遠ざかる側の位置よりに形成することで、不要な輻射ノイズの悪影響を軽減するうえでより望ましい。これは、C−MOSなどのインバータ増幅器(発振用増幅器)を内蔵した発振回路構成では、インバータ増幅器(発振用増幅器)の入力側(ゲート側G)とその出力側(ドレイン側D)とで発振回路特性に与える影響度は大きく異なっており、インバータ増幅器(発振用増幅器)の入力側(ゲート側G)から不要なノイズを拾うと、そのノイズも増幅され、水晶発振器としての電気的な特性に与える影響度も大きくなるためである。また、前記インバータ増幅器(発振用増幅器)の入力側(ゲート側G)がその出力側(ドレイン側D)に比較して入力抵抗が高いため、他の外部端子からの干渉を受けやすく、音叉型水晶振動素子3Bに異常な電圧を発生させ、水晶発振器として正常な発振起動を妨げることがあった。これらの悪影響を軽減するため、音叉型水晶振動素子3Bの特性測定用の第2外部入力側測定端子GT5Bを、音叉型水晶振動素子3B用の第2外部出力端子から遠ざかる側の位置よりに形成することが望ましい。
以上のような構成のベース1は周知のセラミック積層技術やメタライズ技術を用いて形成される。各外部端子、各引き回し電極、各測定用外部端子、各配線パターン、接合領域13aの形成と同様にタングステンあるいはモリブデン等によるメタライズ層の上面にニッケルメッキ層、金メッキ層の各層が形成された構成である。
内底面10aに搭載される集積回路素子2は、C−MOSなどのインバータ増幅器(発振用増幅器)を内蔵したワンチップの集積回路素子であり、矩形水晶振動素子3A用の発振回路および音叉型水晶振動素子3B用の発振回路の2つを構成し、集積回路素子2の底面側には複数のパッドP1、P2が形成されており、集積回路素子2の平面側には電気的に機能しない非有効面として形成されている。
また、一つの集積回路素子2の中には、矩形水晶振動素子3Aとのみ接続され当該矩形水晶振動素子3Aの周波数信号のみを増幅するメガヘルツ用発振回路部2Aを構成する領域と、音叉型水晶振動素子3Bとのみ接続され当該音叉型水晶振動素子3Bの周波数信号のみを増幅するキロヘルツ用発振回路部2Bを構成する領域とを有している。さらに、メガヘルツ用発振回路部2Aを構成する領域から各パッドP1までの接続経路と、キロヘルツ用発振回路部2Bを構成する領域から各パッドP2までの接続経路についても一つの集積回路素子2の内部で電気的に独立して形成されている。
C−MOSインバータの発振回路構成としては、C−MOSインバータの入力側(ゲート)と出力側(ドレイン)にそれぞれ容量素子(分割コンデンサC1,C2)が直列で接続されており、このC−MOSインバータと前記容量素子との間に、圧電振動素子と帰還抵抗Rとが並列で接続されている。本発明の集積回路素子2では、図5に示すように、このような発振回路構成のものについて、内部に矩形水晶振動素子3Aのみ関連するメガヘルツ発振回路部2Aと、音叉型水晶振動素子3Bのみ関連するキロ発振回路部2Bとで個別に独立した状態で形成されている。
このように形成された集積回路素子2は、例えば金などの金属バンプCを介してFCBにより接続される。集積回路素子2のうちメガヘルツ用(矩形水晶振動素子3Aに関連する部分)の複数のパッドP1とベース1に形成されたメガヘルツ用(矩形水晶振動素子3Aに関連する部分)の配線パターンH11A,H12A,H13A,H14A,H15A,H16Aとを接続し、集積回路素子2の複数のキロヘルツ用(音叉型水晶振動素子3Bに関連する部分)の複数のパッドP2とベース1に形成されたキロヘルツ用(音叉型水晶振動素子3Bに関連する部分)の配線パターンH11B,H12B,H13B,H14B,H15B,H16Bとを接続している。
この時、集積回路素子2のうちメガヘルツ用の電源に相当するパッドP1を外部端子GT1Aと接続される電源用の配線パターンH11Aに接続する。集積回路素子2のうちキロヘルツ用の電源に相当するパッドP2を外部端子GT1Bと接続される電源用の配線パターンH11Bに接続する。集積回路素子2のうちメガヘルツ用の出力に相当するパッドP1を外部端子GT2Aと接続される出力用の配線パターンH12Aに接続する。集積回路素子2のうちキロヘルツ用の出力に相当するパッドP2を外部端子GT2Bと接続される出力用の配線パターンH12Bに接続する。集積回路素子2のうちメガヘルツ用のグランド部に相当するパッドP1を外部端子GT3Aと接続されるグランド用の配線パターンH13Aに接続する。集積回路素子2のうちキロヘルツ用のグランド部に相当するパッドP2を外部端子GT3Bと接続されるグランド用の配線パターンH13Bに接続する。集積回路素子2のうちメガヘルツ用の他のパッドP1を外部端子GT4Aと接続される他の配線パターンH14Aに接続する。集積回路素子2のうちキロヘルツ用の他のパッドP2を外部端子GT4Bと接続される他の配線パターンH14Bに接続する。
また、図5における集積回路素子2のうちメガヘルツ用の発振用増幅器の出力側に相当し、後述する矩形水晶振動素子3Aの一方の励振電極31Aに接続されるパッドP1を第1外部出力側測定端子GT6Aと接続される第1の出力側の配線パターンH16Aに接続する。集積回路素子2のうちメガヘルツ用の発振用増幅器の入力側に相当し、後述する矩形水晶振動素子3Aの他方の励振電極32Aに接続されるパッドP1を第1外部入力側測定端子GT5Aと接続される第1の入力側の配線パターンH15Aに接続する。
また、図5における集積回路素子2のうちキロヘルツ用の発振用増幅器の出力側に相当し、後述する音叉型水晶振動素子3Bの一方の励振電極31Bに接続されるパッドP2を第2外部出力側測定端子GT6Bと接続される第2の出力側の配線パターンH16Bに接続する。集積回路素子2のうちキロヘルツ用の発振用増幅器の入力側に相当し、後述する音叉型水晶振動素子3Bの他方の励振電極32Bに接続されるパッドP2を第2外部入力側測定端子GT5Bと接続される第2の入力側の配線パターンH15Bに接続する。
以上のように各構成要素を接続することで、集積回路素子2のうちメガヘルツ用発振回路部2Aからメガヘルツ用外部端子群の各外部端子(GT1A,GT2A,GT3A,GT4A,GT5A,GT6A)に至るまでの電気的な接続経路と、集積回路素子2のキロヘルツ用発振回路部2Bからキロヘルツ用外部端子群の各外部端子(GT1B,GT2B,GT3B,GT4B,GT5B,GT6B)に至るまでの電気的な接続経路とが、電気的に独立して形成される。
集積回路素子2の上方で、収納部10の保持台10bの上面には所定の間隔を持って矩形水晶振動素子3Aが搭載される。矩形水晶振動素子3Aは、例えばメガヘルツ(MHz)帯で厚みすべり振動してなるATカット水晶振動板であり、その裏面に一方の矩形状の励振電極31Aとこの引出電極が形成され、その表面に他方の矩形状の励振電極32Aとこの引出電極が形成されており、これら一対の励振電極31A,32Aが表裏面の中央部分で対向して形成されている。表面に形成される他方の励振電極32Aの形成領域については、電極材料を増減することで周波数調整する領域として活用される。これらの電極は、例えば、クロムまたはニッケルの下地電極層と、銀または金の中間電極層と、クロムまたはニッケルの上部電極層とから構成された積層薄膜、クロムやニッケルの下地電極層と、銀または金の上部電極層とから構成された積層薄膜である。これら各電極は真空蒸着法やスパッタリング法等の薄膜形成手段により形成することができる。
矩形水晶振動素子3Aの一短辺33Aの方のみを保持台10bに導電性接合材Sにより固定して搭載するとともに、矩形水晶振動素子3Aの他短辺34Aの方を内底面10aの方に延出し、当該他端辺34Aの少なくとも中心部341Aが集積回路素子2の上面の領域に対して平面視重畳する位置に配置している。導電性接合材Sとしては、例えばペースト状であり銀フィラー等の金属微小片を含有するシリコーン系の導電樹脂接着剤を用いている。配線パターンH25A,H26Aのうちの一部の上面に塗布されるとともに、導電性接合材Sを矩形水晶振動素子3Aと保持台10bの間に介在させ硬化させることで、お互いを電気的機械的に接合している。以上により、矩形水晶振動素子3Aの他短辺34Aをベース1の内底面に搭載された集積回路素子2の上面から隙間を設けながら、矩形水晶振動素子3Aの一短辺33Aの方のみをベースの保持台10bに接合して、片持ち保持される。なお、本形態では、シリコーン系の導電樹脂接着剤により接合した構成を例にしているが、この導電性接合材として他の導電性樹脂接着剤や金属バンプ、金属メッキバンプなどを用いてもよい。
この時、矩形水晶振動素子3Aの一方の励振電極31Aに接続される引出電極を、図5における集積回路素子2のうちメガ用の発振用増幅器の出力側に相当し、第1外部出力側測定端子GT6Aと接続される第1の出力側の保持台配線パターンH26Aに接続する。矩形水晶振動素子3Aの他方の励振電極32Aに接続される引出電極を、図5における集積回路素子2のうちメガ用の発振用増幅器の入力側に相当し、第1外部入力側測定端子GT5Aと接続される第1の入力側の保持台配線パターンH25Aに接続する。
収納部10の内底面10aの上面のうち、集積回路素子2に隣接し保持台10bに隔離する方には、音叉型水晶振動素子3Bが配置搭載される。音叉型水晶振動素子3Bは、例えばキロヘルツ(KHz)帯で屈曲振動してなるXY’カットの音叉型水晶振動片であり、基部と当該基部に接続された一対の脚部とを有している。このうち一方の脚部の表裏面と他方の脚部の両側面には少なくとも一方の励振電極31B(一部のみ図示)が形成されており、一方の励振電極31Bを基部にまで引き出す引出電極が形成され、このうち他方の脚部の表裏面と一方の脚部の両側面には少なくとも他方の励振電極32B(一部のみ図示)が形成されており、他方の励振電極32Bを基部にまで引き出す引出電極が形成されている。また、各脚部の先端部分には、電極材料を増減することで周波数調整する領域としての錘電極35Bが形成されている。これらの電極は、クロムやニッケルの下地電極層と、銀または金の上部電極層とから構成された積層薄膜である。これら各電極は真空蒸着法やスパッタリング法等の薄膜形成手段により形成することができる。
音叉型水晶振動素子3Bの基部を内底面10aの配線パターンH15B,H16Bの端部に導電性接合材Sにより固定して搭載するとともに、音叉型水晶振動素子3Bの脚部をベースの長辺方向の堤部12の方に延出して配置している。このため、ベース1に搭載された矩形水晶振動素子3Aの他方の励振電極32Aと、音叉型水晶振動素子3Bの錘電極35Bとは、ベースの短辺方向に沿ってお互いにずれた位置に配置されてなる。導電性接合材Sとしては、例えばペースト状であり銀フィラー等の金属微小片を含有するシリコーン系の導電樹脂接着剤を用いている。配線パターンH15B,H16Bのうちの一部の上面に塗布されるとともに、導電性接合材Sを音叉型水晶振動素子3Bと内底面10aの間に介在させ硬化させることで、お互いを電気的機械的に接合している。以上により、音叉型水晶振動素子3Bの脚部側をベース1の内底面10aから隙間を設けながら、音叉型水晶振動素子3Bの基部のみをベースの内底面10aに接合して、片持ち保持される。なお、本形態では、シリコーン系の導電樹脂接着剤により接合した構成を例にしているが、この導電性接合材として他の導電性樹脂接着剤や金属バンプ、金属メッキバンプなどを用いてもよい。
この時、音叉型水晶振動素子3Bの一方の励振電極31Bに接続される引出電極を、図5における集積回路素子2のうちキロ用の発振用増幅器の出力側に相当し、第2外部出力側測定端子GT6Bと接続される第1の出力側の配線パターンH16Bに接続する。音叉型水晶振動素子3Bの他方の励振電極32Bに接続される引出電極を、図5における集積回路素子2のうちキロ用の発振用増幅器の入力側に相当し、第2外部入力側測定端子GT5Bと接続される第1の入力側の配線パターンH15Bに接続する。
なお、本形態では、図1に示すように、集積回路素子2の厚みに対して音叉型水晶振動素子3Bの厚みの方が薄く形成されており、内底面10aに搭載された集積回路素子2の高さに対して内底面10aに搭載された音叉型水晶振動素子3Bの高さの方が低く形成されている。このため、矩形水晶振動素子3Aの他短辺34Aが音叉型水晶振動素子3Bに接触することがより一層なくなる構成とできる。
しかしながら、図6に示すように、音叉型水晶振動素子3Bの厚みに対して集積回路素子2の厚みの方を薄く形成してもよい(内底面10aに搭載された集積回路素子2の高さに対して内底面10aに搭載された音叉型水晶振動素子3Bの高さの方が高く形成される。)。この構成では、図6に示すように、保持台10bの高さを低く設定することができるため、パッケージ全体としての低背化に有利なものとできる。
ベース1を気密封止する蓋4は、例えば、コバール等からなるコア材に金属ろう材(封止材)が形成された構成である。この金属ろう材からなる封止材5がベース1の接合領域(金属膜)13aと接合される構成となる。金属製の蓋4の平面視外形はセラミックベースの当該外形とほぼ同じであるか、若干小さい構成となっている。
収納部10に集積回路素子2と矩形水晶振動素子3Aと音叉型水晶振動素子3Bとが格納されたベース1の接合領域13aに対して金属製の蓋4にて被覆し、金属製の蓋4の封止材5とベースの接合領域13aを溶融硬化させ、気密封止を行うことで表面実装型水晶発振器6の完成となる。
このように構成された表面実装型水晶発振器6は、図1に示すように、回路基板7の配線パターン71に対してはんだなどの接合材72を用いて接合される。つまり、各外部端子に接合材を用いて回路基板の配線パターンへ接合する。
上記実施形態により、ベース1の一主面側のみに一つの収納部10が形成されたシングル封止構成のパッケージ構造とするとともに、一つの収納部10に収納される部品を一つの集積回路素子2と一つの矩形水晶振動素子3Aと一つの音叉型水晶振動素子3Bのみとすることで、部品点数を減らしベース1の低背化や小型化をさらに実現とすることができる。このようなシングル封止構成のパッケージでは、小型化や低背化を進めることでベースの収納部10に搭載された各部品の搭載位置が近接してお互いに干渉しあうことが懸念される。しかしながら、本発明では、保持台10bに矩形水晶振動素子3Aの一短辺33Aのみを固定して搭載するとともに、矩形水晶振動素子3Aの他短辺34Aの少なくとも中心部341Aが集積回路素子2の上面の領域に対して平面視重畳する位置に配置しているので、矩形水晶振動素子3Aの他短辺34Aが内底面10aのある下方向に傾くことがあっても、集積回路素子2を補助枕としてその傾きを抑制することができる。特に、内底面10aに対して高さのある保持台10bの位置で水晶振動素子を片持ち保持により搭載すると、外部衝撃等により水晶振動素子に傾きが生じやすくなることがあるが、音叉型水晶振動素子3Bではなく矩形水晶振動素子3Aを保持台10bに固定して集積回路素子2の上部に配置することで、矩形水晶振動素子3Aが傾くことにより集積回路素素子2と接触することがあっても発振停止を招く危険性を低くできる。さらに、矩形水晶振動素子3Aの他短辺34Aが集積回路素子2の上部稜線のうち音叉型水晶振動素子3Bに近接する稜線21を超えて音叉型水晶振動素子3Bの方へはみ出すことがないため、矩形水晶振動素子3Aと音叉型水晶振動素子3Bとがお互いに接触することなく、お互いの振動特性に悪影響を与えることもない。また、周波数調整工程に伴う調整物質(プラズマ粒子や電極屑等)の発生量が比較的少ない矩形水晶振動素子3Aを保持台10bに固定して集積回路素子2の上部に配置することで、下側に配置される音叉型水晶振動素子3Bに対して周波数調整工程に伴う調整物質(プラズマ粒子や電極屑等)が届くことが抑制される。以上のように、メガヘルツ帯の矩形水晶振動素子3Aとキロヘルツ帯の音叉型水晶振動素子3Bとこれらと接続される集積回路素子2とを一つのベース1(パッケージ)に収納してなる表面実装型圧電デバイスについて、小型化に対応させながら、各圧電振動素子の物理的な干渉だけでなく電気的な干渉をもなくし、特性の優れたより信頼性の高い表面実装型水晶発振器を提供することができる。
また、メガヘルツ用発振回路部2Aの接続経路とキロヘルツ用発振回路部2Bの接続経路とは一つの集積回路素子2の内部で電気的に独立して形成されており、かつ、集積回路素子2のうちメガヘルツ用発振回路部2Aからメガヘルツ用外部端子群の各外部端子(GT1A,GT2A,GT3A,GT4A,GT5A,GT6A)に至るまでの電気的な接続経路と、集積回路素子2のキロヘルツ用発振回路部2Bからキロヘルツ用外部端子群の各外部端子(GT1B,GT2B,GT3B,GT4B,GT5B,GT6B)に至るまでの電気的な接続経路とが、電気的に独立して形成されるため、周波数の異なる2つの圧電振動素子(メガヘルツ帯の矩形水晶振動素子3Aとキロヘルツ帯の音叉型水晶振動素子3B)を近接配置してもお互いに電気的な干渉を与えることがなくなる。特に、外部電源端子と外部グランド端子とは、メガヘルツ用外部電源端子GT1Aとメガヘルツ用外部グランド端子GT3A、キロヘルツ用外部電源端子GT1Bとキロヘルツ用外部グランド端子GT3Bとしてそれぞれベース1の配線パターンとしても独立しており、パッケージ内部で共通接続されることがないので、お互いの周波数信号に疑似信号として混入することがなくなるため、電気的な特性の劣化につながることがない。また、必要に応じてメガヘルツ帯の矩形水晶振動素子3Aとキロヘルツ帯の音叉型水晶振動素子3Bとの駆動を使い分けることができ、必要のない側の圧電振動子の駆動を休止することができるため、省エネルギーに貢献できる。特に、比較的消費電力が小さく時刻の基準源としてのキロヘルツ帯の音叉型水晶振動素子3Bのみを常時駆動させる一方で、比較的消費電力が大きく電子機器等の基準周波数源としてのメガヘルツ帯の矩形水晶振動素子3Aの動作を必要な時のみ駆動させるようなことが、お互いに電気的な接続経路が独立しているがゆえに外部回路上の操作により容易に実現できる。
また、周波数調整領域としての矩形水晶振動素子3Aの他方の励振電極32Aと音叉型水晶振動素子3Bの錘電極35Bとは、ベース1の短辺方向に沿ってお互いにずれた位置、つまりベースの長辺方向において矩形水晶振動素子3Aの励振電極32Aと音叉型水晶振動素子3Bの錘電極35Bとが同一直線上から外れる位置に配置されているため、お互いに独立した領域とするだけでなく離隔して配置することができる。結果として、各電極を周波数調整する際には個別に行うことができ、お互いに干渉されることがない。特に、先端に錘電極35Bを有する音叉型水晶振動素子3Bではなく、中央に周波数調整領域でもある励振電極を有する矩形水晶振動素子3Aを保持台10bに固定して集積回路素子2の上部に配置することで、お互いの周波数調整領域を離隔させることができ、下側に配置される音叉型水晶振動素子3Bに対して周波数調整工程に伴う調整物質(プラズマ粒子や電極屑等)が届くことが抑制されるので、周波数調整する場合にお互いの干渉をなくすうえでより望ましい構成とすることができる。
なお、上記した本実施例では、圧電振動素子として水晶を材料としているが、これに限定されるものではなく、圧電セラミックスやLiNbO3等の圧電単結晶材料を用いてもよい。すなわち、任意の圧電振動素子が適用可能である。
また、本実施例では、金属ろう材による封止を例にしたが、これに限定されるものではなく、シーム封止、ビーム封止(例えば、レーザビーム、電子ビーム)やガラス封止等でも適用することができる。
本発明は、その思想または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施例はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
本発明は、表面実装型圧電振動発振器に適用できる。
1 ベース
2 集積回路素子
3A 矩形水晶振動素子
3B 音叉型水晶振動素子
4 蓋
5 封止材
6 表面実装型水晶発振器
7 表面実装型水晶発振器
S 導電樹脂接着剤(導電性接合材)
C 金属バンプ
V 導電ビア
2 集積回路素子
3A 矩形水晶振動素子
3B 音叉型水晶振動素子
4 蓋
5 封止材
6 表面実装型水晶発振器
7 表面実装型水晶発振器
S 導電樹脂接着剤(導電性接合材)
C 金属バンプ
V 導電ビア
Claims (3)
- 表面実装型圧電デバイスであって、
平面視矩形状で一主面側のみに一つの収納部が形成され、他主面側に外部端子が形成された絶縁性のベースと、
前記ベースの収納部に搭載され、メガヘルツ帯で振動してなる一つの矩形圧電振動素子と、
前記ベースの収納部に搭載され、キロヘルツ帯で振動してなる一つの音叉型圧電振動素子と、
前記ベースの収納部に搭載され、前記矩形圧電振動素子と前記音叉型圧電振動子とに接続される一つの集積回路素子とがあり、
前記ベースの収納部には、内底面と当該内底面より高さの高い矩形圧電振動素子搭載用の保持台とがベースの平面視長辺方向に隣接して形成され、
前記内底面には、前記音叉型圧電振動素子と前記集積回路素子とがお互いに接触しない状態でベースの長辺方向に隣接して搭載され、
前記保持台と前記音叉型圧電振動素子との間に前記集積回路素子が介在した状態で、前記保持台と前記集積回路素子と前記音叉型圧電振動素子とがベースの長辺方向に沿って配置されており、
前記保持台に前記矩形圧電振動素子の一短辺側のみを固定して搭載するとともに、前記矩形圧電振動素子の他短辺を前記集積回路素子に対して平面視重畳する位置に配置させた
ことを特徴とする表面実装型圧電デバイス。 - 請求項1記載の表面実装型圧電デバイスであって、
前記集積回路素子には、前記矩形圧電振動素子とのみ接続され当該矩形圧電振動素子の周波数信号のみを増幅するメガヘルツ用発振回路部と、前記音叉型圧電振動素子とのみ接続され当該音叉型圧電振動素子の周波数信号のみを増幅するキロヘルツ用発振回路部とを有し、
前記メガヘルツ用発振回路部の接続経路と前記キロヘルツ用発振回路部の接続経路とは一つの集積回路素子の内部で電気的に独立して形成されており、
前記ベースの他主面側に形成される外部端子には、前記矩形圧電振動素子のみに関連するメガヘルツ用外部端子群と前記音叉型圧電振動素子のみに関連するキロヘルツ用外部端子群とを有しており、
前記メガヘルツ用外部端子群には、少なくともメガヘルツ用外部電源端子と、メガヘルツ用外部出力端子と、メガヘルツ用外部グランド端子とが含まれ、
前記キロヘルツ用外部端子群には、少なくともキロヘルツ用外部電源端子と、キロヘルツ用外部出力端子と、キロヘルツ用外部グランド端子とが含まれており、
前記メガヘルツ用発振回路部から前記メガヘルツ用外部端子群の各外部端子に至るまでの電気的な接続経路と、
前記キロヘルツ用発振回路部から前記キロヘルツ用外部端子群の各外部端子に至るまでの電気的な接続経路とが、電気的に独立して形成されている
ことを特徴とする表面実装型圧電デバイス。 - 請求項1、または請求項2記載の表面実装型圧電デバイスであって、
前記矩形圧電振動素子の表裏主面の中央部分には、周波数調整される励振電極が形成され、
前記音叉型圧電振動素子は、基部と当該基部に接続された複数の脚部とを有し、当該脚部の先端には周波数調整される錘電極が形成されており、
前記矩形圧電振動素子の励振電極と前記音叉型圧電振動素子の錘電極とは、ベースの短辺方向に沿ってお互いにずれた位置に配置されてなる
ことを特徴とする表面実装型圧電デバイス。
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JP2014093067A JP2015211399A (ja) | 2014-04-28 | 2014-04-28 | 表面実装型圧電デバイス |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10843637B2 (en) | 2018-12-28 | 2020-11-24 | Seiko Epson Corporation | Vibration device, electronic apparatus and vehicle |
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- 2014-04-28 JP JP2014093067A patent/JP2015211399A/ja active Pending
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