JP2014139998A - 半導体発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】実施形態は、配光特性を向上させた半導体発光装置を提供する。
【解決手段】
実施形態に係る半導体発光装置は、第1の面と、その反対側の第2の面を持ち、発光層を有する半導体層を備える。前記第2の面側において、前記半導体層にp側電極およびn側電極が設けられる。さらに、前記第1の面上に設けられ、前記発光層の放射光により励起され前記放射光とは異なる波長の光を放射する複数の蛍光体と、前記複数の蛍光体を一体化し前記放射光を透過する結合材と、を含む蛍光体層を備える。前記蛍光体層において、隣り合う前記蛍光体の間の平均間隔は、前記発光層の放射光のピーク波長よりも狭い。
【選択図】図1
【解決手段】
実施形態に係る半導体発光装置は、第1の面と、その反対側の第2の面を持ち、発光層を有する半導体層を備える。前記第2の面側において、前記半導体層にp側電極およびn側電極が設けられる。さらに、前記第1の面上に設けられ、前記発光層の放射光により励起され前記放射光とは異なる波長の光を放射する複数の蛍光体と、前記複数の蛍光体を一体化し前記放射光を透過する結合材と、を含む蛍光体層を備える。前記蛍光体層において、隣り合う前記蛍光体の間の平均間隔は、前記発光層の放射光のピーク波長よりも狭い。
【選択図】図1
Description
実施形態は、半導体発光装置に関する。
半導体発光素子と、蛍光体と、を組み合わせ、白色光などの可視光やその他の波長帯の光を放射する半導体発光装置は、小型で扱い易い光源としてその用途が広がりつつある。しかしながら、このような半導体発光装置では、色割れ等、配光の不均一を生じることが有り、その改善が求められている。
実施形態は、配光特性を向上させた半導体発光装置を提供する。
実施形態に係る半導体発光装置は、第1の面と、その反対側の第2の面を持ち、発光層を有する半導体層を備える。前記第2の面側において、前記半導体層にp側電極およびn側電極が設けられる。さらに、前記第1の面上に設けられ、前記発光層の放射光により励起され前記放射光とは異なる波長の光を放射する複数の蛍光体と、前記複数の蛍光体を一体化し前記放射光を透過する結合材と、を含む蛍光体層を備える。前記蛍光体層において、隣り合う前記蛍光体の間の平均間隔は、前記発光層の放射光のピーク波長よりも狭い。
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面中の同一部分には同一番号を付してその詳しい説明は適宜省略し、異なる部分について説明する。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態の半導体発光装置1の模式断面図である。
半導体発光装置1は、発光層13を有する半導体層15を備える。半導体層15は、第1の面15aと、その反対側の第2の面15b(図7(b)参照)と、を有する。また、半導体層15は、発光層13を含む部分15eと、発光層13を含まない部分15fと、を有する。発光層13を含む部分15eは、半導体層15のうちで、発光層13が積層されている部分である。発光層13を含まない部分15fは、半導体層15のうちで、発光層13が積層されていない部分である。
図1は、第1実施形態の半導体発光装置1の模式断面図である。
半導体発光装置1は、発光層13を有する半導体層15を備える。半導体層15は、第1の面15aと、その反対側の第2の面15b(図7(b)参照)と、を有する。また、半導体層15は、発光層13を含む部分15eと、発光層13を含まない部分15fと、を有する。発光層13を含む部分15eは、半導体層15のうちで、発光層13が積層されている部分である。発光層13を含まない部分15fは、半導体層15のうちで、発光層13が積層されていない部分である。
第2の面15aの側において、発光層13を含む部分15eの上にp側電極16が設けられ、発光層を含まない部分15fの上にn側電極17が設けられる。発光層13は、p側電極16とn側電極17との間を流れる電流により発光する。そして、発光層13から放射される光は、第1の面15aから外部に出射される。
半導体発光装置1は、さらに蛍光体層30を備える。蛍光体層30は、半導体層15の第1の面15aの上に設けられ、複数の蛍光体31を含む。蛍光体31は、発光層13の放射光により励起され、その放射光とは異なる波長の光を放射する。
複数の蛍光体31は、結合材33により一体化される(図2参照)。そして、隣り合う蛍光体31の間の平均間隔は、発光層13の放射光のピーク波長よりも狭い。また、結合材33は、発光層13の放射光を透過する。
ここで「透過」とは、光の一部を吸収する場合を含む。以下、図1を参照して、半導体発光装置1の構造を詳細に説明する。
半導体層15は、第1の半導体層11と、第2の半導体層12と、発光層13と、を有する。発光層13は、第1の半導体層11と、第2の半導体層12と、の間に設けられる。第1の半導体層11および第2の半導体層12は、例えば、窒化ガリウムを含む。
第1の半導体層11は、例えば、下地バッファ層、n型GaN層を含む。第2の半導体層12は、例えば、p型GaN層である。発光層13は、青、紫、青紫、紫外光などを発光する材料を含む。
半導体層15の第2の面15bは、凹凸形状に加工される。その凸部は、発光層13を含む部分15eであり、凹部は、発光層13を含まない部分15fである。発光層13を含む部分15eの第2の面は、第2の半導体層12の表面であり、その上にp側電極16が設けられる。発光層13を含まない部分15fの第2の面は、第1の半導体層11の表面であり、その上にn側電極17が設けられる。
例えば、半導体層15の第2の面15bにおいて、発光層13を含む部分15eの面積は、発光層13を含まない部分15fの面積よりも広く設けられる。また、発光層13を含む部分15eの上に設けられるp側電極16の面積は、発光層13を含まない部分の上に設けられるn側電極17の面積よりも広い。これにより、広い発光面が得られ、光出力を高くできる。
半導体層15の第2の面側には、第1の絶縁膜(以下、絶縁膜18)が設けられる。絶縁膜18は、半導体層15、p側電極16およびn側電極17を覆う。絶縁膜18は、半導体層15の第1の面15aの上には設けられない。
絶縁膜18には、例えば、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜等の無機膜を用いる。あるいは、微細開口のパターニング性に優れたポリイミド等の樹脂を用いても良い。なお、絶縁膜18として樹脂を用いる場合、絶縁膜18と半導体層15との間に、例えば、シリコン酸化膜などの無機膜を設けても良い。無機膜は、発光層13および第2の半導体層12の側面を覆い保護する。
絶縁膜18の半導体層15とは反対側の面上には、p側配線層21とn側配線層22とが互いに離隔して設けられる。絶縁膜18は、p側電極16に連通した第1の開口(以下、開口18a)、および、n側電極17に連通した第2の開口(以下、開口18b)を含む。図1に示す例では、絶縁膜18は複数の開口18aを含むが、1つの開口を含む形態でも良い。
p側配線層21は、絶縁膜18の上、および、開口18aの内部にも設けられる。すなわち、p側配線層21は、開口18aを介してp側電極16と電気的に接続される。n側配線層22は、絶縁膜18の上、および、開口18bの内部内にも設けられ、n側電極17と電気的に接続される。
p側配線層21のp側電極16とは反対側の面上には、p側金属ピラー23が設けられる。p側配線部41は、p側配線層21およびp側金属ピラー23を含む。
n側配線層22のn側電極17とは反対側の面上には、n側金属ピラー24が設けられる。n側配線部43は、n側配線層22およびn側金属ピラー24を含む。
p側配線部41とn側配線部43との間には、第2の絶縁膜(以下、絶縁膜25)が設けられる。すなわち、絶縁膜25は、p側金属ピラー23とn側金属ピラー24との間に充填され、絶縁膜18およびp側配線部41の側面、n側配線部43の側面を覆う。
図1に表すように、絶縁膜25は、p側金属ピラー23の側面およびn側金属ピラー24の側面を覆う。一方、p側金属ピラー23のp側配線層21とは反対側の面は、絶縁膜25から露出し、p側外部端子23aとして機能する。n側金属ピラー24のn側配線層22とは反対側の面は、絶縁膜25から露出し、n側外部端子24aとして機能する。p側外部端子23aおよびn側外部端子24aは、例えば、はんだ、または、導電性の接合材を介して実装基板のランドパターンに接合される。
このように、p側外部端子23aおよびn側外部端子24aは、絶縁膜25の同じ面(図1における下面)に露出する。そして、その間隔は、絶縁膜18上におけるp側配線層21とn側配線層22との間隔よりも広くすることが好ましい。すなわち、p側外部端子23aとn側外部端子24aとの間隔は、例えば、実装時のはんだの広がりよりも大きくする。これにより、p側外部端子23aおよびn側外部端子24aの間の短絡を防ぐことができる。
これに対し、p側配線層21と、n側配線層22と、の間隔は、プロセス上の限界まで狭くすることができる。そして、p側配線層21の面積を拡大し、p側配線層21とp側金属ピラー23との接触面積を広くする。これにより、発光層13の熱の放散を促進する。
また、複数の開口18aを通じてp側配線層21がp側電極16と接する面積は、開口18bを通じてn側配線層22がn側電極17と接する面積よりも大きくする。これにより、発光層13に流れる電流の分布を均一化できる。
さらに、絶縁膜18上に設けられるn側配線層22の面積は、n側電極17の面積よりも広くできる。そして、n側配線層22の上に設けられるn側金属ピラー24の面積(すなわち、n側外部端子24aの面積)をn側電極17よりも広くできる。これにより、実装に要するn側外部端子24aの面積を維持しながら、n側電極17の面積を小さくすることが可能となる。例えば、半導体層15における発光層13を含まない部分15fの面積を縮小し、発光層13を含む部分15eの面積を拡大して光出力を向上させることが可能となる。
第1の半導体層11は、n側電極17およびn側配線層22を介してn側金属ピラー24と電気的に接続される。第2の半導体層12は、p側電極16およびp側配線層21を介してp側金属ピラー23と電気的に接続される。
例えば、p側金属ピラー23はp側配線層21よりも厚く、n側金属ピラー24はn側配線層22よりも厚い。p側金属ピラー23、n側金属ピラー24および絶縁膜25の厚さは、それぞれ半導体層15よりも厚くすることができる。なお、ここで言う「厚さ」とは、図1における上下方向の各層の幅である。
また、p側金属ピラー23およびn側金属ピラー24のそれぞれの厚さは、半導体層15、p側電極16、n側電極17および絶縁膜18を含む積層体の厚さよりも厚くすることができる。
各金属ピラー23、24のアスペクト比(平面サイズに対する厚みの比)は任意であり、例えば、1以上であっても良いし、1より小さくても良い。すなわち、金属ピラー23、24は、その平面サイズより厚くても良いし、薄くても良い。
実施形態によれば、半導体層15を形成するために使用する基板10(図7参照)が除去されても、半導体層15は、p側金属ピラー23、n側金属ピラー24および絶縁膜25により安定して支持される。このため、半導体発光装置1の機械的強度は、基板10を除去した後の処理に耐えるレベルに保持することができる。
p側配線層21、n側配線層22、p側金属ピラー23およびn側金属ピラー24の材料として、例えば、銅、金、ニッケル、銀などを用いることができる。これらのうち、銅を用いると、良好な熱伝導性、高いマイグレーション耐性および絶縁材料に対する密着性を向上させることができる。
絶縁膜25は、p側金属ピラー23およびn側金属ピラー24を補強する。絶縁膜25は、実装基板と熱膨張率が同じもしくは近いものを用いるのが望ましい。そのような絶縁膜25として、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂などを挙げることができる。
半導体発光装置1の実装過程では、p側外部端子23aおよびn側外部端子24aを基板に接続するはんだ等の部材に起因する応力が半導体層15に加わるが、p側金属ピラー23およびn側金属ピラー24は、この応力を吸収し緩和する。
本実施形態では、p側配線層21およびp側金属ピラー23を含むp側配線部41は、複数の開口18aの内部に設けられ相互に離隔された複数のビア21aを介して、p側電極16に接続される。この場合、複数のビア21aの接触面積を合わせた面積を有する1つのビアを介してp側配線部41をp側電極16に接続する場合よりも、半導体層15に加わる応力を低減できる。
一方、p側配線層21は、1つの大きな開口の内部に設けられビア21aよりも平面サイズの大きなポストを介してp側電極16に接続させても良い。これにより、p側電極16、p側配線層21およびp側金属ピラー23を介した放熱性の向上を図ることができる。
後述するように、半導体層15の形成に用いた基板10は、半導体層15から除去される。これにより、半導体発光装置1は低背化される。
さらに、基板10を除去した半導体層15の第1の面15aには、微小な凹凸を形成する。例えば、第1の面15aに対して、アルカリ系溶液を使ったウェットエッチング(フロスト処理)を行い凹凸を形成する。これにより、発光層13の放射光を全反射させることなく、第1の面15aから外側に取り出すことが可能となる。
さらに、基板10を除去した半導体層15の第1の面15aには、微小な凹凸を形成する。例えば、第1の面15aに対して、アルカリ系溶液を使ったウェットエッチング(フロスト処理)を行い凹凸を形成する。これにより、発光層13の放射光を全反射させることなく、第1の面15aから外側に取り出すことが可能となる。
半導体発光装置1は、蛍光体層30と、半導体層15と、の間に設けられた中間層36をさらに備える。中間層36は、例えば、シリコーン樹脂またはエポキシ樹脂を含み、発光層13の放射光を透過する。
中間層36は、例えば、半導体層15の中央部の上に設けられた部分の厚さDcが半導体層15の外周に沿って設けられた部分の厚さDpよりも厚くなるように設ける。また、半導体層15の外周に沿って設けられた部分の厚さDpは、半導体層15の外縁と、蛍光体層30の外縁と、の間隔の半分以下であることが好ましい。さらに、蛍光体層30の屈折率を、中間層36の屈折率よりも大きくする。これにより、中間層36の中を伝播し、その側面36aから外部に放射される光を抑制することができる。
次に、図2〜図5を参照して、本実施形態に係る半導体発光装置1の特性を説明する。
図2は、第1実施形態に係る半導体発光装置1の断面を表すSEM像である。
図2に表すように、半導体発光装置1は、半導体層15の第1の面15a側に設けられた蛍光体層30を含む。そして、蛍光体層30は、蛍光体31と、結合材33と、を含む。
蛍光体31は、例えば、発光層13の放射光により励起される黄色蛍光体、赤色蛍光体および緑色蛍光体の少なくともいずれか1つを含む。また、蛍光体31は、セラミック系の微粒子であっても良い。
結合材33には、例えば、シリコーン樹脂、または、シリカを用いることができる。結合材33の屈折率は、中間層36の屈折率よりも大きいことが望ましい。例えば、結合材33は、高屈折率粒子を含む。また、結合材33の屈折率は、例えば、1.5よりも大きい。
例えば、蛍光体層30における蛍光体31の含有量を少なくすれば、蛍光体間の平均間隔が広くなる。そして、発光層13から放射される励起光は、蛍光体31により散乱を受けながら長い距離を伝播する。このため、蛍光体層30の側方(半導体層15の第1の面15aに平行な方向)に放射される光に含まれる励起光の割合が大きくなる。
図3は、比較例に係る半導体発光装置の配光特性を表すグラフである。縦軸は、色度座標Cx、Cyであり、横軸は放射角(チップ中心からの角度)である。
比較例に係る半導体発光装置の蛍光体層では、蛍光体31の含有量が少なく、蛍光体間の平均間隔が広い。このため、図3に示すように、放射角の絶対値が大きくなると、放射光の色度座標Cx、Cyの値が小さくなる。すなわち、発光層13から放射される青色の励起光の比率が高くなる傾向を表している。
比較例に係る半導体発光装置の蛍光体層では、蛍光体31の含有量が少なく、蛍光体間の平均間隔が広い。このため、図3に示すように、放射角の絶対値が大きくなると、放射光の色度座標Cx、Cyの値が小さくなる。すなわち、発光層13から放射される青色の励起光の比率が高くなる傾向を表している。
図4(a)および図4(b)は、本実施形態に係る半導体発光装置の特性を表すグラフである。縦軸は、色座標Cyのズレ量ΔCyであり、横軸は、放射角(チップ中心からの角度)である。ΔCyは、放射角が0度の時の色座標を基準として、放射角を変化させた場合の変化量を表している。
図4(a)は、半導体発光装置の発光色の相対色温度(Correlated Color Temperature:CCT)が2700ケルビン(K)の場合のΔCyと放射角の関係を表している。同図中に示す3つのグラフは、それぞれサンプルLT1、LT2およびLT3の特性を表している。サンプルLT1の蛍光体層は、45重量パーセント(wt%)の蛍光体を含み、サンプルLT2の蛍光体層は50wt%、サンプルLT3の蛍光体層は54w%の蛍光体を含む。
図4(b)は、CCTが5000Kの場合のΔCyと放射角の関係を表している。同図中に示す3つのグラフは、それぞれサンプルHT1、HT2およびHT3の特性を表している。サンプルHT1の蛍光体層は、40wt%の蛍光体を含み、サンプルHT2の蛍光体層は45wt%、サンプルHT3の蛍光体層は50w%の蛍光体を含む。
図4(a)および図4(b)に示すように、放射角が大きくなるとΔCyも大きくなる。そして、蛍光体層に含まれる蛍光体の量が多くなるにつれて色温度のずれ量ΔCyは小さくなる。
図5(a)および図5(b)は、本実施形態に係る半導体発光装置の別の特性を表すグラフである。縦軸は、放射角80°における色座標Cyのズレ量ΔCyである。図5(a)の横軸は、蛍光体層に含まれる蛍光体の濃度であり、図5(b)の横軸は、蛍光体層における隣り合う蛍光体間の平均間隔である。
図5(a)に示すように、蛍光体濃度を増やすとΔCyは小さくなる。例えば、ΔCyを0.005以下にするためには、CCT=5000KのサンプルHTでは、蛍光体濃度を48wt%以上とすれば良く、CCT=2700Kのサンプルでは約50wt%以上とすれば良いことがわかる。
図5(b)は、蛍光体間の平均間隔が狭くなるほど、ΔCyが小さくなることを表している。例えば、ΔCyを0.005以下とするためには、サンプルHTでは、平均間隔をおおよそ1μm以下とすれば良く、サンプルLTでは、400nm以下とすれば良いことが分かる。
図5(b)に示すサンプルでは、発光層はGaN系半導体を材料を含み、その放射光のピーク波長は約450nmである。したがって、図5(b)に示すように、蛍光体間の平均間隔を発光層の放射光のピーク波長450nmよりも狭くすることにより、ΔCyを0.005以下にすることが可能である。Cxのズレ量ΔCxも同じ傾向を示す。
例えば、色度管理基準として用いられるMacAdam楕円がある。MacAdam楕円に基づく管理基準によれば、ΔC<0.005であれば人間の目による色の違いの識別が困難になる。すなわち、蛍光体層に含まれる蛍光体間の平均間隔を発光層の放射光のピーク波長よりも狭くすることにより、ΔCを0.005以下にすることができる。そして、放射角の絶対値が大きい領域でのCxおよびCyの低下を抑制し、半導体発光装置の発光色の均一性を向上させることが可能となる。
図6は、本実施形態に係る半導体発光装置をX線CTを用いて測定した画像を表している。図6に示すサンプルでは、蛍光体層に含まれる蛍光体の濃度が54wt%である。
図6に示すように、CT画像は蛍光体層の構造を3次元的に表すことが可能であり、そこに含まれる蛍光体粒子を鮮明に表わす。したがって、蛍光体層に含まれる蛍光体間の平均間隔は、X線CTを用いて計測することができる。すなわち、CTスキャンにより蛍光体の位置を3次元測定し、そのデータを統計処理することにより平均間隔を求めることができる。
次に、図7(a)〜図15(b)を参照して、実施形態に係る半導体発光装置1の製造方法について説明する。図7(a)〜図15(b)は、実施形態に係る半導体発光装置1の製造過程を表す模式図である。
図7(a)は、基板10の主面上に形成された第1の半導体層11、第2の半導体層12および発光層13を表す断面図である。例えば、MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)法を用いて、基板10の上に第1の半導体層11、発光層13および第2の半導体層12を順に成長させる。基板は、例えば、シリコン基板である。また、基板10としてサファイア基板を用いても良い。第1の半導体層11、発光層13および第2の半導体層12は、例えば、窒化物半導体であり、窒化ガリウム(GaN)を含む。
第1の半導体層11は、例えば、n形GaN層である。また、第1の半導体層11は、基板10の上に設けられたバッファ層と、バッファ層の上に設けられたn形GaN層と、を含む積層構造を有しても良い。第2の半導体層12は、例えば、発光層13の上に設けられたp形AlGaN層と、その上に設けられたp形GaN層と、を含む。
図7(b)および図7(c)は、第2の半導体層12および発光層13を選択的に除去した状態を表している。図7(b)は断面図であり、図7(c)は、基板10の上面側を表す平面図である。
図7(b)に示すように、例えば、RIE(Reactive Ion Etching)法を用いて、第2の半導体層12および発光層13を選択的にエッチングし、第1の半導体層11を露出させる。
図7(c)に示すように、半導体層12および発光層13は島状にパターニングされ、基板10の上に複数の発光領域(発光層13を含む部分15e)が形成される。
次に、図8(a)および図8(b)に表すように、第1の半導体層11を選択的に除去し、基板10の上に複数の半導体層15を形成する。
図8(a)は、基板10およびその上に形成された半導体層15の断面を表している。例えば、第2の半導体層12および発光層13を覆うエッチングマスク(図示しない)を第1の半導体層11の上に設ける。続いて、RIE法を用いて第1の半導体層11をエッチングし、基板10に至る深さの溝80を形成する。
図8(b)は、半導体層15が設けられた基板10の上面を表している。溝80は、基板10の上に格子状に設けられ、第1の半導体層11を分離し複数の半導体層15を形成する。
半導体層15の第1の面15aは、基板10に接する面であり、第2の面15bは、第1の半導体層11および第2の半導体層12の表面である。また、溝80は、基板10の上面をエッチングし、第1の面15aよりも深く形成される。
溝80は、p側電極16およびn側電極17を形成した後(図9参照)に形成しても良い。
次に、図9(a)および図9(b)に表すように、半導体層15の第2の面15bにp側電極16とn側電極17とを形成する。図9(a)は断面図であり、図9(b)は、基板10の上面を表す平面図である。
p側電極16は、第2の半導体層12の上に形成する。n側電極17は、第1の半導体層11の上に形成する。p側電極16は、n側電極よりも広い面積を有する。
p側電極16およびn側電極17は、例えば、スパッタ法、蒸着法等で形成する。p側電極16とn側電極17は、どちらを先に形成してもよいし、同じ材料で同時に形成してもよい。p側電極16は、発光層13の放射光を反射するように形成する。例えば、p側電極16は、銀、銀合金、アルミニウム、アルミニウム合金等を含む。また、p側電極16の硫化、酸化防止のため、金属保護膜(バリアメタル)を含む構成であってもよい。また、各電極と半導体層との間のオーミックコンタクトを形成するために、熱処理を必要に応じて実施する。
次に、図10(a)に表すように、基板10の上面に絶縁膜18を形成する。図10(a)は、基板10および半導体層15の断面を表す模式図である。
絶縁膜18は、基板10の上に設けられた構造体を覆い、第1の開口(以下、開口18a)および第2の開口(以下、18b)を有する。
絶縁膜18は、例えば、シリコン酸化膜またはシリコン窒化膜であり、CVD(Chemical Vapor Deposition)法を用いて形成することができる。開口18aおよび18bは、例えば、レジストマスクを用いたウェットエッチングにより形成する。開口18aは、p側電極16に連通する。開口18bは、n側電極17に連通する。本実施形態では、絶縁膜18は、複数の開口18aと、1つの開口18bと、を含む。
絶縁膜18として、例えば、ポリイミドなどの有機膜を用いても良い。また、絶縁膜18に感光性ポリイミド、ベンゾシクロブテン(Benzocyclobutene)などの有機膜を用いると、直接露光および現像ができる。このため、開口18aおよび18bのパターニングが容易になる。
次に、図10(b)〜図11(b)は、p側配線層21およびn側配線層22の形成過程を表している。図10(b)〜図11(a)は、基板10および半導体層15の断面を表す模式図であり、図11(a)は、基板10の上面を表す平面図である。
図10(b)に表すように、絶縁膜18の表面、第1の開口18aの内面(側壁および底面)、および第2の開口18bの内面(側壁および底面)に、金属膜19を形成する。金属膜19は、メッキ工程におけるシードメタルとして機能する。
金属膜19は、例えば、絶縁膜18側から順にチタン(Ti)および銅(Cu)を含むように、スパッタ法を用いて形成する。チタンの代わりにアルミニウムを用いても良い。
次に、図10(c)に示すように、金属膜19上にレジストマスク91を形成する。レジストマスク91は、開口91aと開口92bとを含む。開口91aは、p側電極16の上に設けられ、開口92bは、n側電極17の上に設けられる。
続いて、図11(a)および図11(b)に表すように、電界銅メッキを用いてp側配線層21およびn側配線層22を形成する。すなわち、金属膜19を電流経路として、レジストマスク91の開口91aおよび91bの内部に銅(Cu)層を選択的に形成する。
図11(a)に表すように、p側配線層21は、絶縁膜18の上、および、開口18aの内部にも形成される。p側配線層21は、p側電極16に電気的に接続される。n側配線層22は、絶縁膜18の上、および、開口18bの内部にも形成される。n側配線層22は、n側電極17に電気的に接続される。
図11(b)に表すように、p側配線層21とn側配線層22は、レジストマスク91gを挟んで向き合う。すなわち、p側配線層21とn側配線層22の間隔は、フォトリソグラフィの限界まで狭く設けることができる。
次に、図12(a)〜図12(c)は、p側配線層21およびn側配線層22の形成過程を表している。図12(a)および図12(b)は、基板10および半導体層15の断面を表す模式図であり、図12(c)は、基板10の上面を表す平面図である。
図12(a)に表すように、開口92aと開口92bとを有するレジストマスク92を形成する。例えば、レジストマスク91を溶剤もしくは酸素プラズマを使って除去した後、フォトリソグラフィを用いて新たにレジストマスク91を形成する。また、レジストマスク91の上に、レジストマスク92を重ねて形成しても良い。
続いて、図12(b)に示すように、開口92aおよび92bの内部にそれぞれp側金属ピラー23およびn側金属ピラー24を形成する。p側金属ピラー23およびn側金属ピラー24は、例えば、電界Cuメッキを用いて形成する。
図12(c)に示すように、p側金属ピラー23とn側金属ピラー24は、レジストマスク92gを挟んで向き合う。p側金属ピラー23とn側金属ピラー24の間隔は、実装時の短絡を防ぐために、p側配線層21とn側配線層22の間隔よりも広く形成する。
図13(a)〜図13(c)は、図12(c)に続く工程を表す模式断面図である。
図13(a)に表すように、レジストマスク92を、例えば、溶剤もしくは酸素プラズマを用いて除去する。続いて、図13(b)に表すように、金属ピラー23、n側金属ピラー24、p側配線層21およびn側配線層22をマスクとして、金属膜19の露出部分をウェットエッチングにより除去する。これにより、p側配線層21とn側配線層22との間の電気的な接続が分断される。
図13(a)に表すように、レジストマスク92を、例えば、溶剤もしくは酸素プラズマを用いて除去する。続いて、図13(b)に表すように、金属ピラー23、n側金属ピラー24、p側配線層21およびn側配線層22をマスクとして、金属膜19の露出部分をウェットエッチングにより除去する。これにより、p側配線層21とn側配線層22との間の電気的な接続が分断される。
次に、図13(c)に表すように、絶縁膜18の上に第2の絶縁膜(以下、絶縁膜25)を積層する。絶縁膜25は、p側配線層21、n側配線層22、p側金属ピラー23およびn側金属ピラー24を覆う。
絶縁膜25は、p側配線部41からn側配線部43を絶縁する。絶縁膜25は、例えば、カーボンブラックを含有し、発光層13の放射光を遮光する。また、絶縁膜25は、例えば、酸化チタンなど、発光層13の放射光を反射する部材を含有しても良い。
次に、図14(a)〜図14(c)に示すように、半導体層15の第1の面15aの側の処理を行う。図14(a)〜図14(c)は、各工程を表す模式断面図である。
図14(a)に示すように、半導体層15から基板10を除去する。基板10がシリコン基板の場合、例えば、ウェットエッチングにより基板10を選択的に除去することができる。基板10がサファイア基板の場合には、例えば、レーザーリフトオフ法により基板10を除去する。
基板10の上に形成した構造体は、基板10を除去した後も絶縁膜25により支持され、ウェーハ状態を保つ。半導体層15は、p側金属ピラー23、n側金属ピラー24および絶縁膜25により支持される。これらは、半導体層15に比べて柔軟な材料であり、その応力を緩和する。例えば、基板の10上にエピタキシャル成長された半導体層は、大きな内部応力を含む。そして、その応力が基板10の剥離時に一気に開放されたとしても、p側金属ピラー23、n側金属ピラー24および絶縁膜25は、その応力を吸収する。このため、基板10を除去する過程における半導体層15の破損を回避することができる。
次に、半導体層15の第1の面15aに微細な凹凸を形成する。例えば、KOH(水酸化カリウム)水溶液やTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)等で、第1の半導体層11をウェットエッチングする。このエッチングでは、結晶面方位に依存したエッチング速度の違いが生じる。このため、図14(a)に表すように、第1の面15aに凹凸を形成することができる。また、第1の面15aの上にレジストマスクを形成し、第1の半導体層11の表面を選択的にエッチングしても良い。このように、第1の面15aに凹凸を形成することにより、発光層13の放射光の取り出し効率を向上させることができる。
次に、図14(b)に表すように、第1の面15aの上に中間層36を形成する。中間層36は、例えば、シリコーン樹脂またはエポキシ樹脂を含み、第1の面15aに設けられた凹凸を被覆する。
隣り合う半導体層15の間の絶縁膜18は、溝80の底面に形成された部分である。したがって、図14(b)における絶縁膜18の上面18cは、第1の面15aよりも上方に突出する。このため、中間層36は、絶縁膜18の上に設けられる部分が第1の面15aの上に設けられる部分よりも薄くなる。
次に、図14(c)に示すように、中間層36の上に蛍光体層30を形成する。蛍光体層30は、蛍光体31と結合材33(図2参照)とを含有し、例えば、印刷、ポッティング、モールド、圧縮成形などの方法を用いて形成される。
また、蛍光体層30として、蛍光体31を結合材33を介して焼結させた焼結蛍光体を貼着しても良い。例えば、第1の面15aにエポキシ樹脂等を含む接着材を塗布し、蛍光体31を焼結したプレートを圧着させる。これにより、蛍光体層30は、接着層を介して第1の面15aに貼着される。この場合、中間層36は、接着材が硬化した接着層であり、蛍光体層30を半導体層15および絶縁膜18に接合する。
蛍光体31は、例えば、黄色光を発光する黄色蛍光体、赤色光を発光する赤色蛍光体、緑色光を発光する緑色蛍光体、またはこれらの混合である。蛍光体31には、例えば、セラミック系の微粒子を用いることができる。結合材33は、例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、フェニル樹脂を用いる。結合材33は、例えば、シリカなどのフィラーを含有しても良い。また、結合材33として、シリカを含むガラス材を用いても良い。
続いて、半導体層15の第2の面15bの側において、絶縁膜25の表面を研削し、p側金属ピラー23およびn側金属ピラー24を露出させる。p側金属ピラー23の露出面は、p側外部端子23aであり、n側金属ピラー24の露出面は、n側外部端子24aである。
次に、図15(a)および図15(b)に示すように、隣り合う半導体層15の間において、蛍光体層30、中間層36、絶縁膜18および絶縁膜25を切断する。これにより、半導体層15を含む半導体発光装置1を個片化する。図15(a)は、半導体発光装置1の断面を表し、図15(b)は、p側外部端子23aおよびn側外部端子24aが露出した絶縁膜25の表面を表している。
蛍光体層30、中間層36、絶縁膜18および絶縁膜25の切断は、例えば、ダイシングブレードを用いて行う。また、レーザ照射により切断しても良い。
半導体層15は、溝80に存在しないためダイシングによるダメージを受けることがない。また、個片化された時点で、半導体層15の端部(側面)が絶縁膜18で覆われ保護された構造が得られる。
なお、半導体発光装置1は、ひとつの半導体層15を含むシングルチップ構造でも良いし、複数の半導体層15を含むマルチチップ構造であっても良い。
ダイシングする前の工程は、ウェーハ状態で一括して行われるため、個片化された個々のデバイスごとに、配線およびパッケージングを行う必要がなく、大幅なコストの低減が可能になる。すなわち、個片化された状態で、すでに配線およびパッケージングが施されている。このため、本実施形態によれば、生産性を高めることが可能で有り、製造コストを低減できる。
図16は、第1実施形態の第1の変形例に係る半導体発光装置2を表す模式断面図である。半導体発光装置2では、蛍光体層30の上に発光層13の放射光および蛍光体31の放射光を透過する層38が設けられる。層38は、例えば、シリコン酸化膜およびシリコン窒化膜などの無機膜であり、蛍光体層30を保護する。また、層38は、発光層13の放射光および蛍光体31の放射光を透過するシリコーン樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂膜であっても良い。
層38は、蛍光体層30を保護する。また、層38に蛍光体層30よりも屈折率の低い材料を用いることにより、蛍光体層30からの光取り出しを向上させることができる。
図17は、第1実施形態の第2の変形例に係る半導体発光装置3を表す模式図である。図17(a)は、半導体発光装置3の断面を表している。図17(b)は、第2の面15bの側から見たp側配線層51およびn側配線層52の配置を表す平面図である。
図17(a)および図17(b)に示すように、半導体発光装置3では、n側配線層51が半導体層15の外縁を越えて延在する。そして、n側配線層52の延在部52aは、p側配線層51を囲み、半導体層15の側面15cを覆う。これにより、発光層13から放射される光のうちの側面15cから放射される光を遮り、半導体発光装置3の配光特性を改善することができる。すなわち、蛍光体層30を通過しないで半導体発光装置3の側面から放射される励起光を抑制し、色割れ等を防ぐことが可能となる。
図18は、第1実施形態の第3の変形例に係る半導体発光装置を表す平面図である。図18(a)および図18(b)は、それぞれ第2の面15bの側から見たp側配線層51およびn側配線層52の配置を表している。
図18(a)に示すように、p側配線層51が半導体層15の外縁を越えて延在しても良い。p側配線層51の延在部51aは、n側配線層52を囲み、半導体層15の側面15cを覆う。これにより、発光層13から放射される光のうちの側面15cから放射される光を遮る。
また、図18(b)に示すように、p側配線層51およびn側配線層52を囲み、半導体層15の側面15cを覆う遮光層56を設けても良い。遮光層56は、例えば、p側配線層51およびn側配線層52と同じ金属層であり、p側配線層51およびn側配線層52から離隔して設けられる。そして、遮光層56は、発光層13から放射される光のうちの側面15cから放射される光を遮る。
したがって、図18(a)および図18(b)に示す構造を用いることにより、蛍光体層30を通過しないで半導体発光装置の側面から放射される励起光を抑制し、配光特性を向上させることができる。
図19は、第1実施形態の第4の変形例に係る半導体発光装置4を表す模式断面図である。半導体発光装置4では、n側配線層52が半導体層15の外縁を越えて延在する。そして、n側配線層の延在部52aは、p側配線層21を囲み、半導体層15の側面15cを覆う。また、蛍光体層30の上に、発光層13の放射光および蛍光体31の放射光を透過する層38が設けられる。
これにより、蛍光体層30を通過しないで半導体発光装置の側面から放射される励起光を抑制し、色割れ等を防ぐことが可能となる。また、層38は、蛍光体層30を保護する。さらに、層38に蛍光体層30よりも屈折率の低い材料を用いることにより、蛍光体層30からの光取り出しを向上させることができる。
本実施形態のさらなる変形例として、p側金属ピラー23およびn側金属ピラー24を設けずに、p側配線層21およびn側配線層22を実装基板のパッドに対して接合させる構造であってもよい。
また、p側配線層21とp側金属ピラー23とが別体であることに限らず、p側配線層21とp側金属ピラー23とが一体に設けられたp側配線部41を備えても良い。同様に、n側配線層22とn側金属ピラー24とが別体であることに限らず、n側配線層22とn側金属ピラー24とが一体に設けられたn側配線部43を備えても良い。
(第2実施形態)
図20(a)は、第2実施形態の変形例の半導体発光装置5の模式斜視図である。図20(b)は、図20(a)におけるA−A断面図である。図20(c)は、図20(a)におけるB−B断面図である。また、図21は、半導体発光装置5を基板310上に実装した構成を有する発光モジュールの模式断面図である。
図20(a)は、第2実施形態の変形例の半導体発光装置5の模式斜視図である。図20(b)は、図20(a)におけるA−A断面図である。図20(c)は、図20(a)におけるB−B断面図である。また、図21は、半導体発光装置5を基板310上に実装した構成を有する発光モジュールの模式断面図である。
図20(a)および(c)に表すように、p側金属ピラー23の一部の側面は、半導体層15の第1の面15aおよび第2の面15bと異なる面方位の第3の面25bで、絶縁膜25から露出している。その露出面は、外部基板に実装するためのp側外部端子23bとして機能する。
例えば、第3の面25bは、半導体層15の第1の面15aおよび第2の面15bに対して略垂直な面である。絶縁膜25は、例えば、矩形状の4つの側面を有し、そのうちのひとつの側面が第3の面25bである。
その同じ第3の面25bにおいて、n側金属ピラー24の一部の側面が絶縁膜25から露出している。その露出面は、外部基板に実装するためのn側外部端子24bとして機能する。
また、図20(a)に表すように、p側配線層21の一部の側面21bも、第3の面25bで絶縁膜25から露出し、p側外部端子として機能する。同様に、n側配線層22の一部の側面22bも、第3の面25bで絶縁膜25から露出し、n側外部端子として機能する。
p側金属ピラー23において、第3の面25bに露出しているp側外部端子23b以外の部分は、絶縁膜25に覆われる。また、n側金属ピラー24において、第3の面25bに露出しているn側外部端子24b以外の部分は、絶縁膜25に覆われる。
また、p側配線層21において、第3の面25bで露出している側面21b以外の部分は、絶縁膜25に覆われる。さらに、n側配線層22において、第3の面25bに露出している側面22b以外の部分は、絶縁膜25に覆われる。
一方、第1の面15aと、蛍光体層30と、の間には、中間層36が設けられる。中間層36は、例えば、蛍光体層30と半導体層15とを接合する。蛍光体層30は、蛍光体31と結合材33とを含む。そして、蛍光体層30は、蛍光体31を高濃度に含有し、蛍光体層30における蛍光体31の平均間隔は、発光層13の放射光のピーク波長よりも狭い。これにより、配光特性を向上させる。
図21に示すように、半導体発光装置5は、第3の面25bを基板310の実装面301に向けた姿勢で実装される。第3の面25bに露出しているp側外部端子23bおよびn側外部端子24bは、それぞれ、実装面301に設けられたパッド302にはんだ303を介して接合される。基板310の実装面301には、例えば、外部回路につながる配線パターンが設けられ、パッド302はその配線パターンに接続される。
第3の面25bは、光の主な出射面である第1の面15aに対して略垂直である。したがって、第3の面25bを実装面301側に向けた姿勢で、第1の面15aは実装面301に平行な横方向に向く。すなわち、半導体発光装置5は、いわゆるサイドビュータイプの半導体発光装置であり、実装面301に平行な横方向に光を放出する。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1〜4・・・半導体発光装置、 10・・・半導体基板、 11・・・第1の半導体層、 12・・・第2の半導体層、 13・・・発光層、 15・・・半導体層、 15a・・・第1の面、 15b・・・第2の面、 15c、21b、22b、36a・・・側面、 16・・・p側電極、 17・・・n側電極、 18・・・絶縁膜、 18a、18b、91a、91b、92a、92b・・・開口、 18c・・・上面、 19・・・金属膜、 21、51・・・p側配線層、 21a・・・ビア、 22、52・・・n側配線層、 23・・・p側金属ピラー、 23a、23b・・・p側外部端子、 24・・・n側金属ピラー、 24a、24b・・・n側外部端子、 25・・・絶縁膜、 25b・・・第3の面、 30・・・蛍光体層、 31・・・蛍光体、 33・・・結合材、 36・・・中間層、 38・・・放射光を透過する層、 41・・・p側配線部、 43・・・n側配線部、 51a、52a・・・延在部、 56・・・遮光層、 80・・・溝、 91、92、91g、92g・・・レジストマスク、 301・・・実装面、 302・・・パッド、 310・・・基板
Claims (11)
- 第1の面と、その反対側の第2の面を持ち、発光層を有する半導体層と、
前記第2の面側において、前記半導体層に設けられたp側電極と、
前記第2の面側において、前記半導体層に設けられたn側電極と、
前記第1の面上に設けられ、前記発光層の放射光により励起され前記放射光とは異なる波長の光を放射する複数の蛍光体と、前記複数の蛍光体を一体化し前記放射光を透過する結合材と、を含む蛍光体層であって、隣り合う前記蛍光体の間の平均間隔が前記発光層の放射光のピーク波長よりも狭い蛍光体層と、
を備えた半導体発光装置。 - 前記蛍光体層と、前記半導体層と、の間に設けられ、前記発光層の放射光を透過する中間層をさらに備えた請求項1記載の半導体発光装置。
- 前記結合材の屈折率は、前記中間層の屈折率よりも大きい請求項1または2に記載の半導体発光装置。
- 前記結合材は、高屈折率粒子を含む請求項3記載の半導体発光装置。
- 前記結合材の比屈折率は、1.5よりも大きい請求項3記載の半導体発光装置。
- 前記蛍光体層の屈折率は、前記中間層の屈折率よりも大きい請求項2〜5のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
- 前記蛍光体層の上に設けられ、前記発光層の放射光および前記蛍光体の放射光を透過する層をさらに備えた請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
- 第1の面と、その反対側の第2の面を持ち、発光層を有する半導体層と、
前記第2の面側において、前記半導体層に設けられたp側電極と、
前記第2の面側において、前記半導体層に設けられたn側電極と、
前記第1の面上に設けられ、前記発光層の放射光により励起され前記放射光とは異なる波長の光を放射する蛍光体を含む焼結蛍光体と、
前記半導体層と前記焼結蛍光体との間に設けられ、前記焼結蛍光体を前記半導体層に接合する中間層と、
を備えた半導体発光装置。 - 前記中間層は、前記半導体層の中央部の上に設けられた部分の厚さが前記半導体層の外周に沿って設けられた部分の厚さよりも厚い請求項2〜8のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
- 前記中間層の外周に沿って設けられた前記部分の厚さは、前記半導体層の外縁と、前記蛍光体層の外縁と、の間隔の半分以下である請求項9記載の半導体発光装置。
- (発光面の凹凸)
前記第1の面に凹凸が設けられ、前記中間層は前記凹凸を被覆する請求項2〜10のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
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