JP2014132652A - 半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 GaNからなる基板の上に、窒化物半導体からなり屈折率が基板よりも高い発光層を有する半導体レーザ素子であって、基板と発光層との間に、基板の側から順に、AlGaNからなる第1窒化物半導体層と、第1窒化物半導体層よりAl組成比が大きいAlGaNからなる第2窒化物半導体層と、InGaNからなる第3窒化物半導体層と、第1窒化物半導体層よりAl組成比が大きいAlGaNからなり、且つ、第2窒化物半導体層より膜厚が大きい第4窒化物半導体層と、を有する。
【選択図】図1
Description
GaNからなる基板の上に、窒化物半導体からなり屈折率が基板よりも高い発光層を有する半導体レーザ素子であって、
基板と発光層との間に、基板の側から順に、
AlGaNからなる第1窒化物半導体層と、
第1窒化物半導体層よりAl組成比が大きいAlGaNからなる第2窒化物半導体層と、
InGaNからなる第3窒化物半導体層と、
第1窒化物半導体層よりAl組成比が大きいAlGaNからなり、且つ、第2窒化物半導体層より膜厚が大きい第4窒化物半導体層と、
を有する。
AlGaNからなる基板の上に、窒化物半導体からなり屈折率が基板よりも高い発光層を有する半導体レーザ素子であって、
基板と発光層との間に、基板の側から順に、
AlGaNからなる第1窒化物半導体層と、
第1窒化物半導体層よりAl組成比が大きいAlGaNからなる第2窒化物半導体層と、
InGaNからなる第3窒化物半導体層と、
第1窒化物半導体層よりAl組成比が大きいAlGaNからなり、且つ、第2窒化物半導体層より膜厚が大きい第4窒化物半導体層と、
を有する。
尚、実施例1および比較例1において、p側窒化物半導体層4は、活性層側から比較的Al組成比の大きいMgドープのAlGaN層、GaN層、比較的Al組成比の大きいMgドープのAlGaN層、MgドープAlGaN/AlGaN超格子層、MgドープGaN層を備えている。
基板1としては、GaNまたはAlGaNを用いる。典型的にはGaNを用いる。GaNまたはAlGaNのような窒化物半導体基板を用いる場合は、サファイア基板のような異種基板を用いる場合と比較して、基板上に形成された窒化物半導体層と基板との屈折率差が小さいため、窒化物半導体層と基板との屈折率差による光の反射が少なく、光が基板へしみ出しやすい。そこで、本実施形態では、第1〜4窒化物半導体層21〜24を設けることにより窒化物半導体層内に光を閉じ込めて、基板への光の漏れを抑制し、リップルを低減している。
図1に示す半導体レーザ素子では、基板1上に、基板1の側から順に、第1〜4窒化物半導体層21〜24が互いに接して設けられている。第1,2窒化物半導体層21,22はAlGaNからなり、基板1よりも低屈折率である。AlGaNはAl組成比が大きいほど低屈折率である。第2窒化物半導体層22を構成するAlGaNは、第1窒化物半導体層21を構成するAlGaNよりもAl組成比が大きいものとし、第2窒化物半導体層22を低屈折率の層とする。具体的には、第2窒化物半導体層22は、AlXGa1−XN(0<X<1)とする。第2窒化物半導体層22は、AlXGa1−XN(0.04<X≦0.1)であることが好ましく、さらにはAlXGa1−XN(0.06≦X≦0.1)であることが好ましい。第1窒化物半導体層21は、AlYGa1−YN(0<Y<X)であり、AlYGa1−YN(0<Y≦0.04)であることが好ましい。このような組成範囲は、半導体レーザ素子の発振波長が480nm以上である場合に特に好ましく、さらには好ましくは480〜550nm、より好ましくは505〜550nmのピーク波長のレーザ光を発振する半導体レーザ素子に用いる。また、第4窒化物半導体層24の材料は、第2窒化物半導体層22と同じ組成範囲のAlGaNを用いることができる。さらには、第4窒化物半導体層24および第2窒化物半導体層22は実質的に同じ組成のAlGaNからなる層とすることができる。
p側窒化物半導体層4は、Mg等のp型不純物が含有されたp型窒化物半導体層を含み、n側窒化物半導体層2は、Si等のn型不純物が含有されたn型窒化物半導体層を含む。第1〜4窒化物半導体層21〜24は、上述したようにある程度の厚みを有することが好ましいため、例えばn側窒化物半導体層2として設ける場合は、Si等のn型不純物が含有されたn型窒化物半導体層であることが好ましい。
活性層3は発光層を含む層であり、井戸層(発光層)と、これを挟む障壁層とを備えた量子井戸構造とすることが好ましく、例えば図2に示すように、複数の障壁層3b,3c,3dと複数の井戸層3aとが交互に積層された多重量子井戸構造とすることができる。井戸層としては、InaGa1−aN(0<a<1)を用いることができ、障壁層としては、井戸層よりバンドギャップエネルギーが大きいInGaN、GaN、又はAlGaN等を用いることができる。
実施例1として、n型GaN基板上に発光層を有し、ピーク波長が約505nmのレーザ光を発振する半導体レーザ素子を作製した。下面(n型GaN基板の裏面)にはn電極が設けられ、上面にはp電極が設けられている。実施例1の半導体レーザ素子は、基板1の側から順に、SiドープGaN層(第6窒化物半導体層26)、約2000nmのSiドープAl0.018Ga0.982N層(第1窒化物半導体層21)、約400nmのSiドープAl0.08Ga0.92N層(第2窒化物半導体層22)、約150nmのSiドープIn0.05Ga0.95N層(第3窒化物半導体層23)、約600nmのSiドープAl0.08Ga0.92N層(第4窒化物半導体層24)、SiドープGaN層(第5窒化物半導体層25)、SiドープInGaN障壁層、SiドープGaN障壁層、In0.25Ga0.75N井戸層(発光層)、GaN障壁層、In0.25Ga0.75N井戸層(発光層)、InGaN障壁層、MgドープAlGaN層、GaN層、MgドープAlGaN層、MgドープAlGaN/AlGaN超格子層、MgドープGaN層、を備える。
1 基板
2 n側窒化物半導体層
21 第1窒化物半導体層
22 第2窒化物半導体層
23 第3窒化物半導体層
24 第4窒化物半導体層
25 第5窒化物半導体層
26 第6窒化物半導体層
3 活性層
3a 井戸層(発光層)、3b,3c,3d 障壁層
4 p側窒化物半導体層
4a リッジ
5a 第1絶縁膜、5b 第2絶縁膜
6 p電極
7 パッド電極
8 n電極
Claims (9)
- GaNからなる基板の上に、窒化物半導体からなり屈折率が前記基板よりも高い発光層を有する半導体レーザ素子であって、
前記基板と前記発光層との間に、前記基板の側から順に、
AlGaNからなる第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層よりAl組成比が大きいAlGaNからなる第2窒化物半導体層と、
InGaNからなる第3窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層よりAl組成比が大きいAlGaNからなり、且つ、前記第
2窒化物半導体層より膜厚が大きい第4窒化物半導体層と、を有することを特徴とする半導体レーザ素子。 - AlGaNからなる基板の上に、窒化物半導体からなり屈折率が前記基板よりも高い発光層を有する半導体レーザ素子であって、
前記基板と前記発光層との間に、前記基板の側から順に、
前記基板よりAl組成比が大きいAlGaNからなる第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層よりAl組成比が大きいAlGaNからなる第2窒化物半導体層と、
InGaNからなる第3窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層よりAl組成比が大きいAlGaNからなり、且つ、前記第
2窒化物半導体層より膜厚が大きい第4窒化物半導体層と、を有することを特徴とする半導体レーザ素子。 - 前記半導体レーザ素子は、ピーク波長が480nm以上のレーザ光を発振する半導体レーザ素子であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体レーザ素子。
- 前記第2窒化物半導体層及び前記第4窒化物半導体層は、膜厚が100nm以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。
- 前記第3窒化物半導体層は、膜厚が50nm以上であることを特徴とする請求項4に記載の半導体レーザ素子。
- 前記第1窒化物半導体層は、膜厚が100nm以上であることを特徴とする請求項5に記載の半導体レーザ素子。
- 前記第1窒化物半導体層の膜厚は、前記第2窒化物半導体層及び前記第4窒化物半導体層の膜厚よりも大きいことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。
- 前記第1窒化物半導体層の膜厚は、前記第2窒化物半導体層及び前記第4窒化物半導体層の合計膜厚よりも大きいことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。
- 前記発光層は井戸層であり、前記井戸層を挟む障壁層をさらに有し、
前記第1窒化物半導体層、前記第2窒化物半導体層及び前記第4窒化物半導体層は、前記障壁層より屈折率が低いことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。
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