JP4902682B2 - 窒化物半導体レーザ - Google Patents
窒化物半導体レーザ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4902682B2 JP4902682B2 JP2009079399A JP2009079399A JP4902682B2 JP 4902682 B2 JP4902682 B2 JP 4902682B2 JP 2009079399 A JP2009079399 A JP 2009079399A JP 2009079399 A JP2009079399 A JP 2009079399A JP 4902682 B2 JP4902682 B2 JP 4902682B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- photonic crystal
- dimensional photonic
- thickness
- type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/34333—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser with a well layer based on Ga(In)N or Ga(In)P, e.g. blue laser
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
- H01S5/185—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only horizontal cavities, e.g. horizontal cavity surface-emitting lasers [HCSEL]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/11—Comprising a photonic bandgap structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2004—Confining in the direction perpendicular to the layer structure
- H01S5/2009—Confining in the direction perpendicular to the layer structure by using electron barrier layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/305—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region characterised by the doping materials used in the laser structure
- H01S5/3054—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region characterised by the doping materials used in the laser structure p-doping
- H01S5/3063—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region characterised by the doping materials used in the laser structure p-doping using Mg
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
図1に、本発明を適用した実施形態における窒化物半導体を材料としたDFB型面発光レーザの構成例を説明する断面図を示す。
本実施形態の2次元フォトニック結晶層103は、高屈折率媒質101と低屈折率媒質102が面内方向に周期的に配列されることにより構成され、面内方向に共振モードを有する。この面内方向の共振の強さ(回折の強さ)は、高屈折率媒質101と低屈折率媒質102の屈折率差が大きいほど、強くなる。よって、高屈折率媒質101はp型伝導性のInxGa1−xN(0≦x≦1)で形成され、低屈折率媒質102は、高屈折率媒質101よりも屈折率の低い媒質であり、例えば空気やSiO2などが用いられる。
ff=π×(d/2)2 (式1)
(式1)において、dは低屈折率媒質の直径である。2次回折を効果的に得るには、0.05≦ff≦0.2、もしくは、0.4≦ff≦0.8を満たすように直径dを設定する。また1次回折を効果的に得るには、0.2≦ff≦0.4を満たすように直径dを形成する。また、それと同時に、面積充填率ffは、2次元フォトニック結晶層の平均屈折率と相関関係があるため、面発光レーザ100の断面方向の光強度分布を決定するパラメータでもある。
2次元フォトニック結晶層103の厚さtPhCは、発振波長λと、共振モードの実効屈折率neffによって記述される関係式tPhC≧(λ/neff)を満足している。すなわち、2次元フォトニック結晶層103の厚さtPhCは、tPhC≧(λ/neff)である。
2次元フォトニック結晶層の厚さは、tPhC≦3.5×(λ/neff)であることが望ましい。この上限は、図1の面発光レーザ100と、図7の面発光レーザ1100との、電気抵抗の比較、および、低屈折率媒質102の形成難度、の2つの観点から決定できる。以下、それら2つについて、個別に説明する。
R100=ρ101×(t103/(1−ff))+ρ106×t106 (式2)
(式2)において、ρ101は2次元フォトニック結晶層103を構成する高屈折率媒質101の抵抗率、t103は2次元フォトニック結晶層103の厚さを表す。また、ffは2次元フォトニック結晶層103における低屈折率媒質102の面積充填率、ρ106は半導体層106の抵抗率、t106は半導体層の厚さを表す。なお、(式2)は、低屈折率媒質102が絶縁物質とした場合である。低屈折率媒質102が、電気伝導性のある媒質の場合は、(式2)に低屈折率媒質102の部分抵抗の項を追加すればよい。
R1100=ρ101×(t1101/(1−ff))+ρ1102×t1102+ρ1103×t1103 (式3)
(式3)において、t1101は2次元フォトニック結晶層1101の厚さ、ρ1102はp型クラッド層1102の抵抗率を表す。また、t1102はp型クラッド層の厚さ、ρ1103は半導体層1103の抵抗率、t1103は半導体層の厚さを表す。
本実施形態における半導体層106は、p型電極105を形成するための平坦化層としての役割を果たす。また、p型電極105への光染み出し割合の調整層としても機能する。
活性層104は、井戸層112と障壁層113で形成されたダブルへテロ構造である。なお、図1に示した面発光レーザ100では、活性層104は、1つの井戸層112からなる単一量子井戸構造であるが、複数の井戸層112と障壁層113からなる多重量子井戸構造であってもよい。
本発明の効果が発揮されるのは、井戸層112で発生した光が、p側伝導層111側へ多く染み出すときである。このため、n型クラッド層108の屈折率は、窒化物半導体で構成される一般的な端面発光レーザのn型クラッド層の屈折率と同等、もしくはそれよりも低くすることが望ましい。例えば、発振波長が400nmの面発光レーザ100の場合、n型クラッド層108はAlGaNで形成され、そのAl組成は、5〜13%であることが望ましい。また、例えば、発振波長が450nmの場合、n型AlGaNのAl組成は、0〜8%であることが望ましい。
n側電極110とp側電極105は、Au、Ni、Cu、Pt、Pd、Al、Ti、Hfのいずれかを含む合金で形成される。また、n側電極110もしくはp側電極105が透明電極である場合には、これらは次のいずれかの材料により形成される。すなわち、これらは酸化インジウムスズ(Indium Tin Oxide;ITO)、酸化インジウム亜鉛(Indium Zinc Oxide;IZO)、酸化亜鉛(Zinc Oxide;ZnO)のいずれかの材料で形成される。
上記実施形態で説明した半導体レーザの特徴は、電気抵抗の高いp型AlGaNからなるp型クラッド層1102を用いずに、平均屈折率の低い2次元フォトニック結晶層103を、p側のクラッド層として用いることである。よって、この考え方は、DFB型の面発光レーザだけでなく、1次元の端面発光型レーザにも応用できる。
(実施例1)
表1は、実施例1における面発光レーザのウエハ構造を説明するものである。
表2は、比較例1における面発光レーザのウエハ構造を説明するものである。比較例1は実施例1と比較するための面発光レーザであり、p型AlGaNクラッド層を有し、発振波長400nmである。
(実施例2)
表4は、本発明を適用した実施例2における面発光レーザのウエハ構造を説明するものである。
表5は、比較例2における面発光レーザのウエハ構造を説明するものである。比較例2は実施例2と比較するための面発光レーザであり、p型AlGaNクラッド層を有し、発振波長は450nmである。
実施例3は、半導体層106の厚さtsemiの効果を説明するための面発光レーザである。実施例3の面発光レーザの構造は、表4に示した実施例2のウエハ構造と比較して、半導体層106の厚さを138nmとしている点のみが異なり、その他の層構造は実施例2と同じである。すなわち、実施例2の半導体層106の厚さは32nmであり、この厚さは約0.17×(λ/neff)に相当するのに対して、実施例3の半導体層106の厚さは、約0.75×(λ/neff)に相当する。
101 高屈折率媒質
102 低屈折率媒質
103 2次元フォトニック結晶層
104 活性層
105 p側電極
106 半導体層
Claims (4)
- 面内方向に共振モードを有する2次元フォトニック結晶層を備えた窒化物半導体のDFB型の面発光レーザであって、
活性層と、前記2次元フォトニック結晶層と、半導体層と、電極とがこの順で設けられており、
前記2次元フォトニック結晶層の高屈折率媒質はp型伝導性のInxGa1−xN(0≦x≦1)であり、
前記半導体層はp型伝導性のInyGa1−yN(0≦y≦1)であり、
前記2次元フォトニック結晶層の厚さtPhCは、発振波長λと、共振モードの実効屈折率neffによって記述される関係式tPhC≧(λ/neff)を満足し、
前記半導体層の厚さt semi が、0.25×(λ/n eff )≦t semi ≦1.25×(λ/n eff )の関係式を満足することを特徴とするDFB型の面発光レーザ。 - 前記2次元フォトニック結晶層の厚さtPhCが、tPhC≦3.5×(λ/neff)の関係式を満足する請求項1に記載のDFB型の面発光レーザ。
- 前記2次元フォトニック結晶層と前記半導体層との間にp型伝導性のAlGaNが設けられていないことを特徴とする請求項1または2に記載のDFB型の面発光レーザ。
- 前記2次元フォトニック結晶層と前記半導体層とが接触していることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のDFB型の面発光レーザ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009079399A JP4902682B2 (ja) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | 窒化物半導体レーザ |
US12/731,837 US8737447B2 (en) | 2009-03-27 | 2010-03-25 | Nitride semiconductor laser |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009079399A JP4902682B2 (ja) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | 窒化物半導体レーザ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010232488A JP2010232488A (ja) | 2010-10-14 |
JP4902682B2 true JP4902682B2 (ja) | 2012-03-21 |
Family
ID=42784189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009079399A Expired - Fee Related JP4902682B2 (ja) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | 窒化物半導体レーザ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8737447B2 (ja) |
JP (1) | JP4902682B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102782818B (zh) | 2010-01-27 | 2016-04-27 | 耶鲁大学 | 用于GaN装置的基于导电性的选择性蚀刻和其应用 |
JP5836609B2 (ja) * | 2011-03-04 | 2015-12-24 | キヤノン株式会社 | 面発光レーザ、アレイ及び画像形成装置 |
JP5904571B2 (ja) * | 2011-03-08 | 2016-04-13 | 国立大学法人京都大学 | 端面発光型半導体レーザ素子 |
JP5633435B2 (ja) * | 2011-03-09 | 2014-12-03 | 日亜化学工業株式会社 | 面発光レーザ素子 |
JP5858659B2 (ja) * | 2011-06-21 | 2016-02-10 | キヤノン株式会社 | フォトニック結晶面発光レーザおよびその製造方法 |
JP5967749B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2016-08-10 | 国立大学法人京都大学 | 端面発光型フォトニック結晶レーザ素子 |
US11095096B2 (en) | 2014-04-16 | 2021-08-17 | Yale University | Method for a GaN vertical microcavity surface emitting laser (VCSEL) |
CN107078190B (zh) | 2014-09-30 | 2020-09-08 | 耶鲁大学 | 用于GaN垂直微腔面发射激光器(VCSEL)的方法 |
US11018231B2 (en) | 2014-12-01 | 2021-05-25 | Yale University | Method to make buried, highly conductive p-type III-nitride layers |
EP3298624B1 (en) * | 2015-05-19 | 2023-04-19 | Yale University | A method and device concerning iii-nitride edge emitting laser diode of high confinement factor with lattice matched cladding layer |
CN104966984A (zh) * | 2015-06-29 | 2015-10-07 | 中国科学院半导体研究所 | 锁模光子晶体半导体激光直接倍频产生短波长激光装置 |
JP6807643B2 (ja) * | 2016-01-08 | 2021-01-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分布帰還型半導体レーザ素子 |
JP2021057442A (ja) | 2019-09-30 | 2021-04-08 | セイコーエプソン株式会社 | 発光装置およびプロジェクター |
JP2021150373A (ja) * | 2020-03-17 | 2021-09-27 | セイコーエプソン株式会社 | 発光装置、プロジェクター、およびディスプレイ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6711200B1 (en) * | 1999-09-07 | 2004-03-23 | California Institute Of Technology | Tuneable photonic crystal lasers and a method of fabricating the same |
US7177336B2 (en) * | 2002-04-04 | 2007-02-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor laser device |
JP2006093682A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-04-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザおよびその製造方法 |
JP2006165255A (ja) | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ素子 |
US8605769B2 (en) * | 2004-12-08 | 2013-12-10 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Semiconductor laser device and manufacturing method thereof |
JP5037835B2 (ja) * | 2006-02-28 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | 垂直共振器型面発光レーザ |
JP2008130731A (ja) * | 2006-11-20 | 2008-06-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体発光装置の製造方法およびこれを用いて製造された半導体発光装置 |
JP2007049209A (ja) * | 2006-11-21 | 2007-02-22 | Mitsubishi Chemicals Corp | 半導体光デバイス装置およびその製造方法 |
JP2008135441A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-06-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 2次元フォトニック結晶面発光レーザおよびその製造方法 |
JP4566253B2 (ja) * | 2008-07-09 | 2010-10-20 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体レーザ素子 |
-
2009
- 2009-03-27 JP JP2009079399A patent/JP4902682B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-03-25 US US12/731,837 patent/US8737447B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100246625A1 (en) | 2010-09-30 |
US8737447B2 (en) | 2014-05-27 |
JP2010232488A (ja) | 2010-10-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4902682B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ | |
US7869483B2 (en) | Surface emitting laser | |
US6990132B2 (en) | Laser diode with metal-oxide upper cladding layer | |
US8897329B2 (en) | Group III nitride-based green-laser diodes and waveguide structures thereof | |
JP5735765B2 (ja) | 面発光レーザ、面発光レーザアレイ、面発光レーザアレイを光源とする表示装置、プリンタヘッドおよびプリンタ | |
US20090086785A1 (en) | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing the same | |
JP5697907B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子およびその製造方法 | |
JP7323786B2 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2007299791A (ja) | 半導体光素子 | |
JP2010109223A (ja) | 面発光レーザ | |
US9112333B2 (en) | Laser diode | |
US8228964B2 (en) | Surface emitting laser, surface emitting laser array, and image formation apparatus | |
JP4780999B2 (ja) | 半導体レーザ素子の製造方法 | |
KR20110093839A (ko) | 수직 방출 방향을 갖는 표면 방출 반도체 레이저 소자 | |
JP5717640B2 (ja) | オプトエレクトロニクス半導体チップおよびオプトエレクトロニクス半導体チップの製造方法 | |
JP2009188238A (ja) | 面発光レーザ及びその製造方法 | |
JP2017204579A (ja) | 垂直共振器型発光素子及び垂直共振器型発光素子の製造方法 | |
JP5836609B2 (ja) | 面発光レーザ、アレイ及び画像形成装置 | |
US10218152B1 (en) | Semiconductor laser diode with low threshold current | |
US20110116525A1 (en) | Side light emitting type semiconductor laser diode having dielectric layer formed on active layer | |
JP4698181B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子 | |
JP6887482B2 (ja) | 発光素子 | |
WO2024084898A1 (ja) | 垂直共振器型発光素子 | |
JP2010087172A (ja) | 半導体発光素子および端面出射型半導体レーザ素子 | |
JP5304428B2 (ja) | 半導体レーザ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100630 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110322 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110516 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111206 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111228 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150113 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |