JP2014096222A - 透明導電性フィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明導電性フィルム1は、フィルム基材2の両面に形成された透明導電体層3,4を有する。透明導電体層3は、フィルム基材2の面2a側から、インジウムスズ酸化物層5と、インジウムスズ酸化物層6と、インジウムスズ酸化物層7とがこの順に積層されてなる。透明導電体層4は、フィルム基材2の面2b側から、インジウムスズ酸化物層8と、インジウムスズ酸化物層9と、インジウムスズ酸化物層10とがこの順に積層されてなる。インジウムスズ酸化物層6の酸化スズ含有量は、インジウムスズ酸化物層5の酸化スズ含有量およびインジウムスズ酸化物層7の酸化スズ含有量のいずれよりも大きい。インジウムスズ酸化物層9の酸化スズ含有量は、インジウムスズ酸化物層8の酸化スズ含有量およびインジウムスズ酸化物層10の酸化スズ含有量のいずれよりも大きい。
【選択図】図1
Description
本発明におけるフィルム基材2は、可撓性を有するシート状の部材であり、一方の主面である面2aと、他方の主面である面2bとを有する。面2aには透明導電体層3が、面2bには透明導電体層4がそれぞれ形成されている。
第1透明導電体層としての透明導電体層3は、フィルム基材2の面2aに、インジウムスズ酸化物層5、インジウムスズ酸化物層6およびインジウムスズ酸化物層7がこの順に積層されてなる三層膜である。また、インジウムスズ酸化物層6の酸化スズ含有量は、インジウムスズ酸化物層5およびインジウムスズ酸化物層7の酸化スズ含有量よりも大きい。
第2透明導電体層としての透明導電体層4は、フィルム基材2の面2bに、インジウムスズ酸化物層8、インジウムスズ酸化物層9およびインジウムスズ酸化物層10がこの順に積層されてなる三層膜である。また、インジウムスズ酸化物層9の酸化スズ含有量は、インジウムスズ酸化物層8およびインジウムスズ酸化物層10の酸化スズ含有量よりも大きい。
厚み100μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの両面に、厚み30nmメラミン樹脂を含む熱硬化性樹脂のアンダーコート層が形成された長尺状フィルム基材のロールを準備した。
(比較例1)
第1インジウムスズ酸化物層、および第4インジウムスズ酸化物層を形成しなかったこと以外は、実施例1と同様の方法で透明導電性フィルムを作製した。
(比較例2)
第1インジウムスズ酸化物層、第3インジウムスズ酸化物層、第4インジウムスズ酸化物層および第6インジウムスズ酸化物層を形成しなかったこと以外は、実施例1と同様の方法で透明導電性フィルムを作製した。
JIS K7194に準じて、4端子法により測定した。
透過型電子顕微鏡(日立製作所製 製品名「H−7650」)を用いて、倍率25,000倍で透明導電体層の表面状態を観察し、結晶粒が全面に存在するものを結晶質(結晶化)と判断した。
表1〜表2の実施例1に示すように、第1透明導電体層を三層構造とし、第2インジウムスズ酸化物層(SnO2:10wt%)の厚みを14nm、第1,第3インジウムスズ酸化物層(SnO2:3.3wt%)の厚みを7nmとし、総厚みを28nmとすると、加熱処理後の透明導電体層表面が結晶質となり、良好な表面抵抗値が得られた。また、第2透明導電体層における第5インジウムスズ酸化物層(SnO2:10wt%)の厚みを14nm、第4,第6インジウムスズ酸化物層(SnO2:3.3wt%)の厚みを7nmとし、総厚みを28nmとすると、加熱処理後の透明導電体層表面が結晶質となり、良好な表面抵抗値が得られた(135Ω/□)。
2 フィルム基材
2a,2b 面
3,4 透明導電体層
5,6,7,8,9,10 インジウムスズ酸化物層
Claims (7)
- 第1面および第2面を有するフィルム基材と、該フィルム基材の第1面側に形成された第1透明導電層と、前記フィルム基材の第2面側に形成された第2透明導電体層とを含む透明導電性フィルムであって、
前記第1透明導電体層は、前記フィルム基材の第1面側から、第1インジウムスズ酸化物層と、第2インジウムスズ酸化物層と、第3インジウムスズ酸化物層とがこの順に積層されてなり、
前記第2透明導電体層は、前記フィルム基材の第2面側から、第4インジウムスズ酸化物層と、第5インジウムスズ酸化物層と、第6インジウムスズ酸化物層とがこの順に積層されてなり、
前記第2インジウムスズ酸化物層の酸化スズ含有量は、第1インジウムスズ酸化物層の酸化スズ含有量および第3インジウムスズ酸化物層の酸化スズ含有量のいずれよりも大きく、
前記第5インジウムスズ酸化物層の酸化スズ含有量は、第4インジウムスズ酸化物層の酸化スズ含有量および第6インジウムスズ酸化物層の酸化スズ含有量のいずれよりも大きい、
ことを特徴とする透明導電性フィルム。 - 前記第2インジウムスズ酸化物層の酸化スズ含有量は、6重量%〜15重量%であり、前記第1インジウムスズ酸化物層および前記第3インジウムスズ酸化物層の酸化スズ含有量は、それぞれ1重量%〜5重量%であることを特徴とする、請求項1記載の透明導電性フィルム。
- 前記第5インジウムスズ酸化物層の酸化スズ含有量は、6重量%〜15重量%であり、前記第4インジウムスズ酸化物層および前記第6インジウムスズ酸化物層の酸化スズ含有量は、それぞれ1重量%〜5重量%であることを特徴とする、請求項1記載の透明導電性フィルム。
- 前記第2インジウムスズ酸化物層の厚みは、前記第1インジウムスズ酸化物層および前記第3インジウムスズ酸化物層の厚さのいずれよりも大きいことを特徴とする、請求項1記載の透明導電性フィルム。
- 前記第2インジウムスズ酸化物層の厚みは、5nm〜20nmであり、前記第1インジウムスズ酸化物層および前記第3インジウムスズ酸化物層の厚さは、それぞれ1nm〜10nmであることを特徴とする、請求項4記載の透明導電性フィルム。
- 前記第5インジウムスズ酸化物層の厚みは、前記第4インジウムスズ酸化物層および前記第6インジウムスズ酸化物層の厚さのいずれよりも大きいことを特徴とする、請求項1記載の透明導電性フィルム。
- 前記第5インジウムスズ酸化物層の厚みは、5nm〜20nmであり、前記第4インジウムスズ酸化物層および前記第6インジウムスズ酸化物層の厚さは、それぞれ1nm〜10nmであることを特徴とする、請求項6記載の透明導電性フィルム。
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