JP2014086493A - 半導体ウェハ及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のショット領域12にパターンがそれぞれ転写された半導体ウェハ10であって、複数のショット領域の各々には、チップ領域14a、14bが複数ずつ形成され、複数のショット領域の各々の複数のチップ領域のうちの第1のチップ領域14aには、第1の態様で繰り返し配列された複数の第1のダミーパターン76cが形成されており、複数のショット領域の各々の複数のチップ領域のうちの第2のチップ領域14bには、第1の態様と異なる第2の態様で繰り返し配列された複数の第2のダミーパターン76dが形成されている。
【選択図】図2
Description
第1実施形態による半導体ウェハ及び半導体装置の製造方法を図1乃至図14を用いて説明する。
まず、本実施形態による半導体ウェハについて図1乃至図3を用いて説明する。
次に、本実施形態による半導体装置の製造方法について図4乃至図14を用いて説明する。図4乃至図8並びに図10乃至図14は、本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
次に、本実施形態による半導体ウェハの変形例(その1)について図15を用いて説明する。図15は、本変形例による半導体ウェハの一部を拡大して示す平面図である。
次に、本実施形態による半導体ウェハの変形例(その2)について図16を用いて説明する。図16は、本変形例による半導体ウェハの一部を拡大して示す平面図である。
次に、本実施形態による半導体ウェハの変形例(その3)について図17を用いて説明する。図17は、本変形例による半導体ウェハの一部を拡大して示す平面図である。
第2実施形態による半導体ウェハ及び半導体装置の製造方法を図18及び図19を用いて説明する。図1乃至図17に示す第1実施形態による半導体ウェハ及び半導体装置の製造方法と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
次に、本実施形態による半導体装置の製造方法について図19を用いて説明する。図19は、本実施形態による半導体装置の製造方法において用いられるレチクルを示す平面図である。
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
複数のショット領域にパターンがそれぞれ転写された半導体ウェハであって、
前記複数のショット領域の各々には、チップ領域が複数ずつ形成され、
前記複数のショット領域の各々の複数の前記チップ領域のうちの第1のチップ領域には、第1の態様で繰り返し配列された複数の第1のダミーパターンが形成されており、
前記複数のショット領域の各々の前記複数のチップ領域のうちの第2のチップ領域には、前記第1の態様と異なる第2の態様で繰り返し配列された複数の第2のダミーパターンが形成されている
ことを特徴とする半導体ウェハ。
付記1記載の半導体ウェハにおいて、
前記第1のダミーパターンの形状と前記第2のダミーパターンの形状とは、互いに異なっている
ことを特徴とする半導体ウェハ。
付記1又は2記載の半導体ウェハにおいて、
前記第1のダミーパターンの配列方向と前記第2のダミーパターンの配列方向とは、互いに異なっている
ことを特徴とする半導体ウェハ。
付記1乃至3のいずれかに記載の半導体ウェハにおいて、
前記第1のダミーパターン及び前記第2のダミーパターンは、複数の金属配線層のうちの最上層の金属配線層に形成されている
ことを特徴とする半導体ウェハ。
付記1乃至4のいずれかに記載の半導体ウェハにおいて、
前記第2のチップ領域は、前記複数のショット領域の各々に1つずつ設けられており、
前記第2のチップ領域以外の前記複数の半導体チップは、いずれも前記第1のチップ領域である
ことを特徴とする半導体ウェハ。
付記1乃至4のいずれかに記載の半導体ウェハにおいて、
前記第2のチップ領域は、各々の前記ショット領域における中央部に位置しており、
各々の前記ショット領域では、前記第2のチップ領域を中心として、複数の第3のチップ領域が第1の方向に配列されており、複数の第4のチップ領域が前記第1の方向に交差する第2の方向に配列されており、
各々の前記第3のチップ領域には、前記第1の態様と異なる第3の態様で繰り返し配列された複数の第3のダミーパターンが形成されており、
各々の前記第4のチップ領域には、前記第1の態様と異なる第4の態様で繰り返し配列された複数の第4のダミーパターンが形成されている
ことを特徴とする半導体ウェハ。
複数のパターン領域を有するレチクルであって、前記複数のパターン領域のうちの第1のパターン領域には、第1の態様で繰り返し配列された複数の第1のダミーパターンが形成されており、前記複数のパターン領域のうちの第2のパターン領域には、前記第1の態様と異なる第2の態様で繰り返し配列された複数の第2のダミーパターンが形成されているレチクルを用いて、半導体ウェハ上の複数のショット領域の各々に順次露光を行う工程を有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記7記載の半導体装置の製造方法において、
前記露光を行う工程の前に、前記半導体ウェハ上に導電膜を形成する工程と;前記導電膜上にフォトレジスト膜を形成する工程とを更に有し、
前記露光を行う工程では、前記フォトレジスト膜に対して露光を行い、
前記露光を行う工程の後に、前記フォトレジスト膜を現像する工程と;前記フォトレジスト膜をマスクとして導電膜をエッチングする工程とを有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記7又は8記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のダミーパターンの形状と前記第2のダミーパターンの形状とは、互いに異なっている
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記7乃至9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のダミーパターンの配列方向と前記第2のダミーパターンの配列方向とは、互いに異なっている
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記7乃至10のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のダミーパターン及び前記第2のダミーパターンは、複数の金属配線層のうちの最上層の金属配線層に形成される
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記7乃至11のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第2のパターン領域の数は、1つであり、
前記第2のパターン領域以外の前記複数のパターン領域は、いずれも前記第1のパターン領域である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
付記7乃至11のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記第2のパターン領域は、前記レチクルの中央部に位置しており、
前記第2のパターン領域を中心として、複数の第3のパターン領域が第1の方向に配列されており、複数の第4のパターン領域が前記第1の方向と交差する第2の方向に配列されており、
各々の前記第3のパターン領域には、前記第1の態様と異なる第3の態様で繰り返し配列された複数の第3のダミーパターンが形成されており、
各々の前記第4のパターン領域には、前記第1の態様と異なる第4の態様で繰り返し配列された複数の第4のダミーパターンが形成されている
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
4a、4b…デバイスパターンが形成される領域
10…半導体ウェハ
12…ショット領域
14a…通常チップ領域
14b…目印チップ領域
14c、14d…補助目印チップ領域
16…素子領域
18…素子分離領域
20…トランジスタ
22…ゲート絶縁膜
24…ゲート電極
25…サイドウォール絶縁膜
26…ソース/ドレイン拡散層
28…層間絶縁膜
29…コンタクトホール
30…導体プラグ
31…絶縁膜
32…絶縁膜
34…層間絶縁膜
36…配線
38…絶縁膜
40…絶縁膜
42…層間絶縁膜
44…配線
46…導体プラグ
48…絶縁膜
50…絶縁膜
52…層間絶縁膜
54…配線
56…導体プラグ
58…絶縁膜
60…絶縁膜
62…層間絶縁膜
64…配線
66…導体プラグ
68…絶縁膜
70…絶縁膜
72…層間絶縁膜
73…コンタクトホール
74…導体プラグ
76…導電膜
76a…デバイスパターン
76b…電極パッド
76c〜76i…ダミーパターン
78…シリコン酸化膜
80…シリコン窒化膜
82…保護膜
84…開口部
86…保護膜
88…開口部
90…フォトレジスト膜
92、92a…レチクル
94a…通常チップ用のパターン領域
94b…目印チップ用のパターン領域
96a…デバイスパターン
96c、96d…ダミーパターン
SL…スクライブライン
Claims (8)
- 複数のショット領域にパターンがそれぞれ転写された半導体ウェハであって、
前記複数のショット領域の各々には、チップ領域が複数ずつ形成され、
前記複数のショット領域の各々の複数の前記チップ領域のうちの第1のチップ領域には、第1の態様で繰り返し配列された複数の第1のダミーパターンが形成されており、
前記複数のショット領域の各々の前記複数のチップ領域のうちの第2のチップ領域には、前記第1の態様と異なる第2の態様で繰り返し配列された複数の第2のダミーパターンが形成されている
ことを特徴とする半導体ウェハ。 - 請求項1記載の半導体ウェハにおいて、
前記第1のダミーパターンの形状と前記第2のダミーパターンの形状とは、互いに異なっている
ことを特徴とする半導体ウェハ。 - 請求項1又は2記載の半導体ウェハにおいて、
前記第1のダミーパターンの配列方向と前記第2のダミーパターンの配列方向とは、互いに異なっている
ことを特徴とする半導体ウェハ。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体ウェハにおいて、
前記第1のダミーパターン及び前記第2のダミーパターンは、複数の金属配線層のうちの最上層の金属配線層に形成されている
ことを特徴とする半導体ウェハ。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体ウェハにおいて、
前記第2のチップ領域は、前記複数のショット領域の各々に1つずつ設けられており、
前記第2のチップ領域以外の前記複数の半導体チップは、いずれも前記第1のチップ領域である
ことを特徴とする半導体ウェハ。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体ウェハにおいて、
前記第2のチップ領域は、各々の前記ショット領域における中央部に位置しており、
各々の前記ショット領域では、前記第2のチップ領域を中心として、複数の第3のチップ領域が第1の方向に配列されており、複数の第4のチップ領域が前記第1の方向に交差する第2の方向に配列されており、
各々の前記第3のチップ領域には、前記第1の態様と異なる第3の態様で繰り返し配列された複数の第3のダミーパターンが形成されており、
各々の前記第4のチップ領域には、前記第1の態様と異なる第4の態様で繰り返し配列された複数の第4のダミーパターンが形成されている
ことを特徴とする半導体ウェハ。 - 複数のパターン領域を有するレチクルであって、前記複数のパターン領域のうちの第1のパターン領域には、第1の態様で繰り返し配列された複数の第1のダミーパターンが形成されており、前記複数のパターン領域のうちの第2のパターン領域には、前記第1の態様と異なる第2の態様で繰り返し配列された複数の第2のダミーパターンが形成されているレチクルを用いて、半導体ウェハ上の複数のショット領域の各々に順次露光を行う工程を有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7記載の半導体装置の製造方法において、
前記露光を行う工程の前に、前記半導体ウェハ上に導電膜を形成する工程と;前記導電膜上にフォトレジスト膜を形成する工程とを更に有し、
前記露光を行う工程では、前記フォトレジスト膜に対して露光を行い、
前記露光を行う工程の後に、前記フォトレジスト膜を現像する工程と;前記フォトレジスト膜をマスクとして導電膜をエッチングする工程とを有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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