JP2014084270A - 酸化ガリウム粉末及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】粒子の平均長短軸比が1〜2.5であって、粒子の長軸方向に直交する断面の面積が該長軸方向における中心から両端に向かい漸減する酸化ガリウム粒子を主成分として含むことを特徴とする酸化ガリウム粉末を提供する。また、ガリウムイオン濃度が0.1Mより大きく0.4M未満のガリウム塩溶液に、アルカリ性沈澱剤を該溶液のpH値が8より大きく9未満となるように添加しガリウム塩沈澱物を生成する生成ステップと、該沈殿物を分離するステップと、該沈殿物を乾燥させるステップと、該沈殿物を焼成するステップとを含み、該生成ステップでの該溶液の液温が15〜50℃、該焼成ステップにおける焼成温度が700℃以上であることを特徴とする酸化ガリウム粉末の製造方法を提供する。
【選択図】図1
Description
図1には、本発明に係る酸化ガリウム粉末の好ましい実施例における酸化ガリウム粒子を、走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope、以下SEM)を用いて観察して得られた像が示されている。図中、aは酸化ガリウム粒子の長軸(長さ)を、bは短軸(幅)をそれぞれ示している。
以下(1−a)〜(1−d)は、上記表1から得られる分析結果である。
実施例1−2および比較例1−3の比較から分かるように、酸化ガリウム粉末における酸化ガリウム粒子の長短軸比が近似しており、結晶構造が同じくβ相であるという条件下においても、本発明に係る「各酸化ガリウム粒子の長軸方向に直交する断面の面積が、該粒子の長軸方向における中心から両端に向かって漸減している形状」の酸化ガリウム粉末(実施例1−2)を用いて得られた焼結体は、その結晶相がスパッタリングターゲットとして用いるに相応しい単相(つまり実質的にβ相しか有しない)となった一方で、「各酸化ガリウム粒子の長軸方向に直交する断面の面積が、該粒子の長軸方向における中心においてと両端においてで実質等しい形状」の酸化ガリウム粉末(比較例1−3)を用いて得られた焼結体は、その結晶相がスパッタリングターゲットとして用いるに相応しくない多相(つまりβ相以外の結晶相をも含んでいる)となった。また、実施例1−2の酸化ガリウム粉末を用いて得られたスパッタリングターゲット(焼結体)の密度は99.5%に達し、比較例1−3の酸化ガリウム粉末を用いて得られたものと比べて1.2%高い。
実施例1−1および比較例1−1の比較から分かるように、酸化ガリウム粉末における酸化ガリウム粒子の長短軸比が近似しており、また、酸化ガリウム粒子の等体積球相当径の中位径が共に1〜3μmの範囲内であり、且つ、粒子の形状が同じく楕円状(E)であるという条件下においても、結晶構造がβ相である酸化ガリウム粉末(実施例1−1)は、結晶構造がα相である酸化ガリウム粉末(比較例1−1)と比べて、等体積球相当径の中位径が0.5μmより小さくなるまで粉砕するのにかかる粉砕時間が遥かに短かい。なお、比較例1−1では、20時間粉砕を行っても、酸化ガリウム粉末における粒子の等体積球相当径の中位径が0.5μm以下にならなかった。
実施例1−1および比較例1−2の比較から分かるように、酸化ガリウム粉末の酸化ガリウム粒子の形状が上記柱状である上に、その長短軸比が2.5を超える場合(比較例1−2)、該粉末を加圧成形して得られた成形物は密度が比較的低く、実施例1−1と同じ焼結条件(温度1400℃、10時間)の場合、実施例1−1での焼結体の密度が99.7%であるのに比べて、比較例1−2では97%と低く、しかも結晶相も多相となり、スパッタリングターゲットとして用いるに向かない。なお、比較例1‐2では、焼結温度を1550℃まで上げると、得られる焼結体の結晶相が単相となりまた密度も98.2%と多少向上したが、焼結温度を高くすれば製造コストも上がる。
実施例1−1および実施例1−2の比較から分かるように、酸化ガリウム粉末において酸化ガリウム粒子の長短軸比が1〜1.5の範囲内である場合には、該粒子の等体積球相当径の中位径が0.5μmになるまでにかかる粉砕時間も比較的短くて済む。また、スパッタリングターゲットとするために焼結する際の焼結温度も比較的低く、且つ、焼結後に得られる焼結体の密度も99.5%以上と比較的高い。
以下、本発明に係る酸化ガリウムの製造方法の実施形態、およびその具体例として実施例を説明する。
ガリウムイオン濃度が0.5M未満のガリウム塩溶液に、アルカリ性沈澱剤を、該アルカリ性沈澱剤を入れた後の該ガリウム塩溶液のpH値が7より大きく且つ10未満となるように添加してガリウム塩沈澱物を生成する。
得られたガリウム塩沈殿物を、固液分離法によりガリウム塩溶液から分離する。
ガリウム塩溶液から分離したガリウム塩沈殿物を乾燥させる。
乾燥したガリウム塩沈殿物を焼成して酸化ガリウム粉末を得る。焼成温度は700℃を超えることが好ましい。
具体的な製造例を以下に挙げる。
以下(2−a)〜(2−e)は、上記表2から得られる分析結果である。また、図1は表2の実施例2−1により得られた酸化ガリウム粉末のSEM像であり、図3〜図6は、それぞれ表2の比較例2−1〜比較例2‐4により得られた酸化ガリウム粉末を示すSEM像である。
実施例2‐1(図1)、実施例2−2ならびに比較例2−2(図4)の比較から分かるように、ガリウム塩溶液のガリウムイオン濃度が0.5Mを超え0.6Mに達している場合(比較例2−2)、たとえアルカリ性沈澱剤を入れた後のガリウム塩溶液のpH値が8〜9の範囲内であってもそれにより得られた酸化ガリウム粉末の酸化ガリウム粒子の形状は、粒子の長軸方向に直交する断面の面積が、該粒子の長軸方向における中心においてと両端においてで実質等しい形状、つまり柱状となってしまった(図4参照)。一方、ガリウム塩溶液のガリウムイオン濃度が0.5M未満である場合(実施例2‐1、実施例2−2)、それにより得られた酸化ガリウム粉末の主成分である酸化ガリウム粒子の形状は、上述した本発明に係る酸化ガリウム粉末のように、それが含む酸化ガリウム粒子の長軸方向に直交する断面の面積が、該粒子の長軸方向における中心から両端に向かって漸減している形状、つまり楕円状となった(図1参照)。よって、本発明に係る酸化ガリウム粉末を得るには、ガリウム塩溶液のガリウムイオン濃度が0.5M未満である必要がある。
実施例2‐1(図1)、実施例2−2ならびに比較例2−3(図5)の比較から分かるように、アルカリ性沈澱剤を入れた後のガリウム塩溶液のpH値が10以上である場合(比較例2−3)、たとえガリウム塩溶液のガリウムイオン濃度が0.5M未満であっても、それにより得られる酸化ガリウム粉末の主成分である酸化ガリウム粒子の形状は、上記柱状となってしまった(図5参照)。一方、アルカリ性沈澱剤を入れた後のガリウム塩溶液のpH値が10未満である場合(実施例2−1、実施例2−2)、それにより得られる酸化ガリウム粉末の主成分である酸化ガリウム粒子は、上記楕円状となった(図1参照)。よって、本発明に係る酸化ガリウム粉末を得るには、アルカリ性沈澱剤を入れた後のガリウム塩溶液のpH値が7より大きく(つまりアルカリ性であり)且つ10未満である必要がある。
実施例2‐1(図1)、実施例2−2ならびに比較例2−4(図6)の比較から分かるように、アルカリ性沈殿剤とガリウム塩溶液とが反応を起こす際の溶液温度(つまり上記沈殿物生成ステップにおけるガリウム塩溶液の液温)が、50℃を超えて60℃に達している場合、それにより得られる酸化ガリウム粉末の主成分である酸化ガリウム粒子の形状は、上記柱状となってしまった(図6参照)。一方、上記溶液温度が50℃を超えない場合(実施例2‐2)、それにより得られる得られる酸化ガリウム粉末の主成分である酸化ガリウム粒子は、上記楕円状となった。よって、上記溶液温度としては15℃〜50℃が好ましい。
実施例2‐1(図1)、実施例2−2ならびに比較例2−1(図3)の比較から分かるように、焼成温度が700℃以上である場合(実施例2‐1、実施例2−2)、得られる酸化ガリウム粉末の結晶構造はβ相であった。一方、比較例2−1のように、焼成温度が700℃を下回る場合、得られる酸化ガリウム粉末の結晶構造はα相であった。よって、焼成温度は700℃以上であることが好ましい。
実施例2−1および実施例2−2から分かるように、ガリウム塩溶液のガリウムイオン濃度が0.4Mである場合、得られる酸化ガリウム粉末の主成分である酸化ガリウム粒子の平均長短軸比が2.23であり、該ガリウムイオン濃度が0.2Mである場合、得られる酸化ガリウム粉末の主成分である酸化ガリウム粒子の平均長短軸比が1.32であった。よって、ガリウム塩溶液のガリウムイオン濃度は、0.1Mより大きく0.4M未満であることがより好ましい。
Claims (5)
- 粒子の平均長短軸比が1〜2.5であって、該粒子の長軸方向に直交する断面の面積が、該粒子の長軸方向における中心から両端に向かって漸減している酸化ガリウム粒子を主成分として含有することを特徴とする酸化ガリウム粉末。
- 前記酸化ガリウム粒子の平均長短軸比が1〜1.5である
ことを特徴とする請求項1に記載の酸化ガリウム粉末。 - 前記酸化ガリウム粒子の結晶構造がβ相である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の酸化ガリウム粉末。 - 前記酸化ガリウム粒子の等体積球相当径の中位径(D50)が1〜3μmである
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸化ガリウム粉末。 - ガリウムイオン濃度が0.1Mより大きく0.4M未満のガリウム塩溶液に、アルカリ性沈澱剤を、該アルカリ性沈澱剤を入れた後の該ガリウム塩溶液のpH値が8より大きく9未満となるように添加してガリウム塩沈澱物を生成する沈殿物生成ステップと、
固液分離法により該ガリウム塩沈殿物を該ガリウム塩溶液から分離する沈殿物分離ステップと、
分離した該ガリウム塩沈殿物を乾燥させる沈殿物乾燥ステップと、
乾燥した該ガリウム塩沈殿物を焼成して酸化ガリウム粉末を得る焼成ステップと、
を含んでおり、
前記沈殿物生成ステップにおける前記ガリウム塩溶液の液温が15℃〜50℃であり、
前記焼成ステップにおける焼成温度が700℃以上である
ことを特徴とする酸化ガリウム粉末の製造方法。
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