JP2014072519A - パッド構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体のパッドなどのパッドに関連する剥離を軽減する一つ以上の技術またはシステムが提供される。ある具体例において、剥離を軽減するパッド構造は、第一領域上の接着領域を含む。ある具体例において、第一領域に関連する第一層間誘電体領域が、パッド下の層間領域中に形成される。加えて、第一領域に関連する第一金属間誘電体領域が、層間領域下の金属間領域中に形成される。ある具体例において、第一金属間領域は第一層間領域下に形成される。このように、少なくとも、第一金属間誘電体領域は誘電体材料を含み、第一層間誘電体領域は誘電体材料を含むことにより、第一金属間誘電体領域と層間誘電体領域間に誘電体-誘電体インターフェースを形成することができるので、パッド構造に関連する剥離が軽減される。
【選択図】図1
Description
図1は、具体例(some embodiments)による剥離を軽減するパッド構造100の断面図である。例えば、図1のパッド構造100は、接着領域110、パッド120、層間領域130および金属間領域140を含む。ある具体例において、接着領域110は第一領域102上に位置し、パッド120は、接着領域110下、および、第一領域102または第二領域104のうちの少なくとも一つの上に位置し、層間領域130はパッド120下に位置し、金属間領域140は層間領域130下に位置する。ある具体例において、パッド構造100は、一つ以上の追加金属間領域を含む。ある具体例において、層間領域130は、第一層間誘電体領域132および第一パッド接続122を含む。例えば、第一層間誘電体領域132は第一領域102に関連し、第一パッド接続122は、一般に、第二領域104に関連する。ある具体例において、金属間領域140は、第一金属間誘電体領域142および第二金属間領域144を含む。例えば、第一金属間誘電体領域142は第一領域102に関連し、第二金属間領域144は第二領域104に関連する。ある具体例において、第二金属間領域144は第一パッド接続122下に位置する。ある具体例において、第一領域102は、少なくとも一つの接着領域110またはパッド120下に位置する。例えば、少なくとも、接着領域110がパッド120と同一平面にはないので、第一領域102は力190に関連する。例えば、接着領域110が回路板と接触している時、力190は、接着領域110から、パッド120を経て、層間領域130または金属間領域140のうちの少なくとも一つに加えられる。ある具体例において、力190はパッケージ結合力である。ある具体例において、第二領域104は、パッド120下、且つ、接着領域110下ではない箇所に位置する。力190は、第一層間誘電体領域132または第一金属間誘電体領域142のうちの少なくとも一つに加えられることが理解できる。少なくとも、それぞれの領域は、第一領域102に関連するか、または、接着領域110下に位置するかの少なくとも一方だからである。
102 第一領域
104 第二領域
106 第三領域
110 接着領域
112 第四領域
114 第五領域
120 パッド
122 第一パッド接続
124 第二パッド接続
130 層間領域
132 第一層間誘電体領域
134 第二層間誘電体領域
136 第三層間誘電体領域
140 金属間領域
140A 第一追加金属間領域
140C 頂部金属領域
142 第一金属間誘電体領域
142A 第一追加金属間誘電体領域
142C 第一頂部金属誘電体領域
144 第二金属間領域
144A 第二追加金属層領域
144C 第二頂部金属領域
146 第三金属間領域
146A 第三追加金属間領域
146C 第三頂部金属領域
148A 第二追加金属間誘電体領域
148C 第二頂部金属誘電体領域
150 パッシベーション酸化物領域
152A 第三追加金属間誘電体領域
152C 第三頂部金属誘電体領域
160 キャリアウェハ
162A 第一ビア
162C 第一ビア
164A 第二ビア
164C 第二ビア
172 第一再分配層
174 第二再分配層
190 力
192 誘電体-誘電体インターフェース
194 第二誘電体-誘電体インターフェース
200 パッド構造
300 パッド構造
400 パッド構造
Claims (10)
- 剥離を軽減するパッド構造であって、
第一領域上に位置する接着領域と、
前記接着領域下にあり、前記第一領域または第二領域のうちの少なくとも一つの上に位置するパッドと、
前記パッド下にあり、前記第一領域に関連する第一層間誘電体領域、および、一つ以上のパッド接続を含む層間領域、および、
前記第一領域に関連する第一金属間誘電体領域、および、前記第二領域に関連する第二金属間領域を含む前記層間領域下にあり、前記第一金属間誘電体領域は、前記パッド構造に関連する剥離を軽減するように構成される金属間領域、
を含むことを特徴とするパッド構造。 - 前記層間領域は、前記第二領域に関連する前記一つ以上のパッド接続の第一パッド接続、前記パッドの少なくとも一部の下に位置する第三領域に関連する前記一つ以上のパッド接続の第二パッド接続、第四領域に関連する第二層間誘電領域、および、第五領域に関連する第三層間誘電領域を含み、
前記層間領域下の前記金属間領域は、前記第三領域に関連する第三金属間領域、前記第四領域に関連する第二金属間誘電体領域、および、前記第五領域に関連する第三金属間誘電体領域を含むことを特徴とする請求項1に記載のパッド構造。 - 前記金属間領域は、前記第二金属間領域上に位置する第一ビアを含むことを特徴とする請求項1または2に記載のパッド構造。
- 前記金属間領域下の一つ以上の追加金属間領域を含み、前記一つ以上の追加金属間領域の追加の金属間領域は、前記第一領域に関連する第一追加金属間誘電体領域、および、前記第二領域に関連する第二追加金属間領域を含むことを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか一項に記載のパッド構造。
- 前記追加金属間領域は、前記第二追加金属間領域上に位置する第一追加ビアを含むことを特徴とする請求項4に記載のパッド構造。
- 前記追加金属間領域は、第三領域に関連する第三追加金属間領域を含むことを特徴とする請求項4に記載のパッド構造。
- 前記追加金属間領域は、第四領域に関連する第二追加金属間誘電体領域、および、前記第五領域に関連する第三追加金属間誘電体領域を含むことを特徴とする請求項4に記載のパッド構造。
- パッド構造に関連する剥離を軽減する方法であって、
第一領域に関連する第一層間誘電体領域を形成し、前記第一領域が接着領域の下にある工程、および、一つ以上のパッド接続を形成する工程を含むパッド下の層間領域を形成する工程と、
前記第一領域に関連する第一金属間誘電体領域を形成する工程、および、前記第二領域に関連する第二金属間領域を形成し、前記第一金属間誘電体領域が、前記パッド構造に関連する剥離を軽減するように形成される工程を含む前記層間領域下の金属間領域を形成する工程と、を含むことを特徴とする方法。 - 前記パッド下の層間領域を形成する工程は、
前記第二領域に関連する第一パッド接続を形成する工程、および
第三領域に関連する第二パッド接続を形成する工程、
を含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。 - パッド剥離を軽減するパッド構造であって、
第一領域上に位置する接着領域と、
前記接着領域下にあり、前記第一領域、第二領域、または第三領域のうちの少なくとも一つの上に位置するパッドと、
前記パッド下にあり、前記第一領域に関連する第一層間誘電体領域、前記第二領域に関連する第一パッド接続、および、前記第三領域に関連する第二パッド接続を含む層間領域、および、
前記層間領域下にあり、前記第一領域に関連する第一金属間誘電体領域、前記第二領域に関連する第二金属間領域、前記第三領域に関連する第三金属間領域を含み、前記第一金属間誘電体領域は、前記パッド構造に関連する剥離を軽減するように構成される金属間領域、
を含むことを特徴とするパッド構造。
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