以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して説明する。
(第1の実施形態)
図1は本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の構造を示す断面図、図2は同じくその半導体装置の上面の一部を示す図、図3は同じくその半導体装置のダミー配線及びダミープラグを示す模式的斜視図である。
なお、図1は図2のI−I線における断面を示している。また、図1のSは所望の電子回路を構成するトランジスタ又はその他の素子(半導体素子)が形成される領域(以下、「素子領域」という)を示しており、Tはそれ以外の領域(以下、「非素子領域」という)を示している。本実施形態では、非素子領域Tの上方に電極パッドを形成し、素子領域Sの上方には電極パッドを形成しないものとする。
以下の説明において、有効配線及び有効プラグは、それぞれ所望の電子回路を構成するトランジスタ又はその他の素子と電気的に接続される配線及びプラグである。また、ダミー配線及びダミープラグは、それぞれ前記所望の電子回路を構成するトランジスタ又はその他の素子と電気的に分離された配線及びプラグである。
図1に示すように、半導体基板10には素子分離膜11が形成されており、この素子分離膜11により半導体基板10の表面が複数の素子領域Sに分離されている。各素子領域Sには、電子回路を構成するトランジスタ12及びその他の素子が形成される。
素子領域Sの半導体基板10の上にはゲート絶縁膜を介してゲート電極13が形成されている。また、このゲート電極13の両側の基板表層部には、トランジスタ12のソース/ドレインとなる一対の不純物領域14が設けられている。
半導体基板10の上にはシリコン酸化膜からなる第1の層間絶縁膜16が形成されている。この第1の層間絶縁膜16内には、層間絶縁膜16を厚さ方向に貫通する柱状の有効プラグ17が埋め込まれている。図1では、トランジスタ12を構成する不純物領域14の一方と接続する有効プラグ17を図示している。本実施形態では、半導体基板10の上の第1の層間絶縁膜16として、被覆性、耐湿性及び密着性が優れていることから、上述の如くシリコン酸化膜を採用している。
第1の層間絶縁膜16の上には、比誘電率がシリコン酸化膜よりも低い材料からなる第2の層間絶縁膜20が形成されている。本実施形態では、第2の層間絶縁膜20がNCS(ナノクラスタリングシリカ)により形成されているものとする。NCS膜の比誘電率は3.0以下であり、ヤング率は8GPa程度である。この第2の層間絶縁膜20には所定のパターンで溝が設けられており、それらの溝内に銅又はタングステン等の導電材料を埋め込むことにより、ダミー配線21a及び有効配線21bが形成されている。図1に示す例では、有効配線21bが有効プラグ17を介して不純物領域14の一方と電気的に接続されている。また、ダミー配線21aは、非素子領域Tのみに形成されている。
第2の層間絶縁膜20の上には、NCS(又はその他の低誘電率材料)からなる第3の層間絶縁膜25が形成されている。この第3の層間絶縁膜25には、所定のパターンの溝と、それら溝の底部からダミー配線21a又は有効配線21bに到達する孔とが設けられている。そして、それらの溝内及び孔内に銅又はタングステン等の導電材料を埋め込むことにより、ダミー配線26a、有効配線26b、ダミープラグ27a及び有効プラグ27bが形成されている。
図1からわかるように、ダミー配線26aはダミー配線21aの上方に配置されており、ダミー配線21aとダミー配線26aとは1:1に対応している。また、ダミー配線21aとその上方のダミー配線26aとの間には柱状の複数のダミープラグ27aが配置されている。更に、有効配線26bのうちの特定の配線は、第3の層間絶縁膜25内の有効プラグ27bを介して有効配線21bのうちの特定の配線と電気的に接続されている。
第3の層間絶縁膜25の上には、NCS(又はその他の低誘電率材料)からなる第4の層間絶縁膜30が形成されている。この第4の層間絶縁膜30には、所定のパターンの溝と、それらの溝の底部からダミー配線26a又は有効配線26bに到達する孔とが設けられている。そして、それらの溝内及び孔内に銅又はタングステン等の導電材料を埋め込むことにより、ダミー配線31a、有効配線31b、ダミープラグ32a及び有効プラグ(図示せず)が形成されている。
図1からわかるように、ダミー配線31aはダミー配線26aの上方に配置されており、ダミー配線26aとダミー配線31aとは1:1に対応している。また、ダミー配線26aとその上方のダミー配線31aとの間には柱状の複数のダミープラグ32aが配置されている。更に、図1では図示していないが、有効配線31bのうちの特定の配線は、第4の層間絶縁膜30内の有効プラグを介して有効配線26bのうちの特定の配線に電気的に接続されている。更にまた、図1からわかるように、第4の層間絶縁膜30では、非素子領域Tのダミー配線31a間にも有効配線31bが形成されている。この非素子領域Tの有効配線31bは、図示されていない他の有効配線及び有効プラグを介して、電子回路を構成するトランジスタ又はその他の素子に電気的に接続されている。
第4の層間絶縁膜30の上には、NCS(又はその他の低誘電率材料)からなる第5の層間絶縁膜35が形成されている。この第5の層間絶縁膜35には、所定のパターンの溝と、それらの溝の底部からダミー配線31a又は有効配線31bに到達する孔とが設けられている。そして、それらの溝内及び孔内に銅又はタングステン等の導電材料を埋め込むことにより、ダミー配線36a、有効配線36b、ダミープラグ37a及び有効プラグ(図示せず)が形成されている。
図1からわかるように、ダミー配線36aはダミー配線31aの上方に配置されており、ダミー配線31aとダミー配線36aとは1:1に対応している。また、ダミー配線31aとその上方のダミー配線36aとの間には柱状の複数のダミープラグ37aが配置されている。更に、図1では図示していないが、有効配線36bのうちの特定の配線は、第5の層間絶縁膜35内の有効プラグを介して有効配線31bのうちの特定の配線に電気的に接続されている。更にまた、図1からわかるように、第5の層間絶縁膜35では、非素子領域Tのダミー配線36a間にも有効配線36bが形成されている。この非素子領域Tの有効配線36bは、図示されていない他の有効配線及び有効プラグを介して、電子回路を構成するトランジスタ又はその他の素子に電気的に接続されている。
なお、図3は、第3の層間絶縁膜30及び第5の層間絶縁膜35に設けられたダミー配線31a,36a、それらの間に配置された有効配線31b,36b、及びダミープラグ32a,37aを示している。
第5の層間絶縁膜35の上には、NCS(又はその他の低誘電率材料)からなる第6の層間絶縁膜40が形成されている。この第6の層間絶縁膜40には、所定のパターンの溝と、それらの溝の底部からダミー配線36a又は有効配線36bに到達する孔とが設けられている。そして、それらの溝内及び孔内に銅又はタングステン等の導電材料を埋め込むことにより、ダミー配線41a、有効配線41b、ダミープラグ42a及び有効プラグ(図示せず)が形成されている。
図1からわかるように、ダミー配線41aはダミー配線36aの上方に配置されており、ダミー配線36aとダミー配線41aとは1:1に対応している。また、ダミー配線36aとその上方のダミー配線41aとの間には柱状の複数のダミープラグ42aが配置されている。更に、有効配線41bのうちの特定の配線は、図示しない有効プラグを介して有効配線36bのうちの特定の配線に電気的に接続されている。
これらのNCSにより形成された第2〜第6の層間絶縁膜20,25,30、35,40を、本実施形態では下層側層間絶縁膜Aという。下層側層間絶縁膜A(第2〜第6の層間絶縁膜20,25,30,35,40)内には幅が狭い配線(有効配線)が高密度に形成されるので、本実施形態では上述の如く下層側層間絶縁膜A(第2〜第6の層間絶縁膜20,25,30,35,40)として、比誘電率が3.0以下と低いNCS膜を採用して、寄生容量に起因する信号の遅延を防止している。非素子形成領域T上の下層側層間絶縁膜A(第2〜第6の層間絶縁膜20,25,30,35,40)内には、ダミー配線やダミープラグだけでなく、必要に応じて有効配線や有効プラグが形成される。
第6の層間絶縁膜40の上には、SiO2又はSiOC等の耐湿性及び密着性が高い材料からなる第7の層間絶縁膜45が形成されている。この第7の層間絶縁膜45を構成する材料(SiO2又はSiOC等)は、下層側層間絶縁膜A(第2〜第6の層間絶縁膜20,25,30,35,40)を構成する材料(NCS等)よりも比誘電率が高く、ヤング率も10〜70GPaと高い。本実施形態では、第7の層間絶縁膜45がSiO2により形成されているものとする。
この第7の層間絶縁膜45には、所定のパターンの溝と、それらの溝の底部からダミー配線41a又は有効配線41bに到達する孔とが設けられている。そして、それらの溝内及び孔内に銅又はタングステン等の導電材料を埋め込むことにより、ダミー配線46a、有効配線46b、ダミープラグ47a及び有効プラグ(図示せず)が形成されている。
本実施形態では、図1からわかるように、2つのダミー配線41aに対し1つのダミー配線46aが形成されており、それらのダミー配線41aとその上方のダミー配線46aとの間には柱状の複数のダミープラグ47aが配置されている。また、図1では図示していないが、有効配線46bのうちの特定の配線は、第7の層間絶縁膜45内の有効プラグを介して有効配線41bに電気的に接続されている。
第7の層間絶縁膜45の上には、SiO2(又はSiOC等)からなる第8の層間絶縁膜50が形成されている。この第8の層間絶縁膜50には、所定のパターンの溝と、それらの溝の底部からダミー配線46a又は有効配線46bに到達する孔とが設けられている。そして、それらの溝内及び孔内に銅又はタングステン等の導電材料を埋め込むことにより、ダミー配線51a、有効配線51b、ダミープラグ52a及び有効プラグ(図示せず)が形成されている。
図1からわかるように、ダミー配線51aはダミー配線46aの上方に配置されており、ダミー配線46aとダミー配線51aとは1:1に対応している。また、ダミー配線46aとその上方のダミー配線51aとの間には柱状の複数のダミープラグ52aが配置されている。更に、図1では図示していないが、有効配線51bのうちの特定の配線は、第8の層間絶縁膜50内の有効プラグを介して有効配線46bのうちの特定の配線に電気的に接続されている。
第8の層間絶縁膜50の上には、SiO2(又はSiOC等)からなる第9の層間絶縁膜55が形成されている。この第9の層間絶縁膜55には、所定のパターンの溝と、それらの溝の底部からダミー配線51a又は有効配線51bに到達する孔が設けられている。そして、それらの溝内及び孔内に銅又はタングステン等の導電材料を埋め込むことにより、ダミー配線56a、有効配線56b、ダミープラグ57a及び有効プラグ(図示せず)が形成されている。
図1からわかるように、ダミー配線56aはダミー配線51aの上方に配置されており、ダミー配線51aとダミー配線56aとは1:1に対応している。また、ダミー配線51aとその上方のダミー配線56aとの間には柱状の複数のダミープラグ57aが配置されている。更に、図1では図示していないが、有効配線56bのうちの特定の配線は、第9の層間絶縁膜55内の有効プラグを介して有効配線51bのうちの特定の配線に電気的に接続されている。
これらのSiO2(又はSiOC膜等)により形成された第7〜第9の層間絶縁膜45,50,55を、本実施形態では上層側層間絶縁膜Bという。上層側層間絶縁膜B(第7〜第9の層間絶縁膜45,50,55)内には、有効配線が比較的大きな間隔で形成される。また、本実施形態では、図1に示すように非素子領域T(電極パッドが配置される領域)の上層側層間絶縁膜B(第7〜第9の層間絶縁膜45,50,55)内には、ダミー配線及びダミープラグのみが存在し、有効配線及び有効プラグは配置されていない。これらの上層側層間絶縁膜B(第7〜第9の層間絶縁膜45,50,55)を構成するSiO2膜(又はSiOC膜等)のヤング率は10〜70GPa程度である。すなわち、これらの上層側層間絶縁膜B(第7〜第9の層間絶縁膜45,50,55)の機械的強度は、下層側層間絶縁膜A(第2〜第6の層間絶縁膜20,25,30,35,40)の機械的強度よりも高い。
第9の層間絶縁膜55の上には第10の層間絶縁膜60が形成されている。この第10の層間絶縁膜60は上層側層間絶縁膜Bと同じ材料、すなわちSiO2又はSiOCにより形成してもよく、上層側層間絶縁膜Bよりも機械的強度が高い絶縁膜(例えばヤング率が30〜100GPaの絶縁膜)により形成してもよい。ここでは、第10の層間絶縁膜60を、SiO2膜により形成するものとする。
第10の層間絶縁膜60には、所定のパターンの溝と、それらの溝の底部からダミー配線56a又は有効配線56bに到達する孔とが設けられている。そして、それらの溝内及び孔内には銅又はタングステン等の導電材料を埋め込むことにより、ダミー配線61a、有効配線61b、ダミープラグ62a及び有効プラグ(図示せず)が形成されている。
本実施形態では、1つのダミー配線56aに対し2つのダミー配線61aが形成されており、ダミー配線56aとその上方のダミー配線61aとの間には柱状の複数のダミープラグ62aが配置されている。また、図1では図示していないが、有効配線61bのうちの特定の配線は、第10の層間絶縁膜60内の有効プラグを介して有効配線56bのうちの特定の配線に電気的に接続されている。更に、図1からわかるように、第10の層間絶縁膜60では、非素子領域Tのダミー配線61a間にも有効配線61bが形成されている。この非素子領域Tの有効配線61bは、図示されていない他の有効配線及び有効プラグを介して、電子回路を構成するトランジスタまたはその他の素子に電気的に接続されている。
第10の層間絶縁膜60の上には、カバー膜65が形成されている。このカバー膜65は、例えば第10の層間絶縁膜60と同じくSiO2により構成される。このカバー膜65には有効配線61bに到達する孔が設けられており、それらの孔内に銅又はタングステン等の導電材料を埋め込むことにより有効プラグ67bが形成されている。この有効プラグ67bは非素子領域Tの有効配線61bに接続されている。
カバー膜65の上には電極パッド70が形成されている。この電極パッド70は、有効プラグ67b及び有効配線61b等を介して電子回路を構成するトランジスタ又はその他の素子と電気的に接続されている。
本実施形態においては、上述したように、幅が狭い配線が高密度に形成される下層側層間絶縁膜A(第2〜第6の層間絶縁膜20,25,30,35,40)をヤング率が小さい膜により構成し、配線間の間隔が広い上層側層間絶縁膜B(第7〜第9の層間絶縁膜45,50,55)をヤング率が大きい膜により構成している。そのため、ワイヤボンディングする際に電極パッド70に応力が印加されると、下層側層間絶縁膜Aに比べて上層側層間絶縁膜Bにより大きな応力が印加される。例えば、下層側層間絶縁膜Aをヤング率が8GPaのNCS膜により構成し、上層側層間絶縁膜Bをヤング率が12GPaのSiO2膜により構成すると、ボンディング時に下層側層間絶縁膜A内のプラグに印加される最大応力は0.82GPaとなり、上層側層間絶縁膜B内のプラグに印加される最大応力は0.96GPaとなる。つまり、本実施形態では、電極パッド70に応力が印加されたときに、下層側層間絶縁膜Aに印加される応力は上層側層間絶縁膜Bに印加される応力よりも小さくなるので、下層側層間絶縁膜A内に形成されている有効配線及び有効プラグの破壊が回避される。
プラグが銅により形成されている場合、プラグは1〜1.4GPa程度の応力で破壊される可能性がある。しかし、本実施形態では、上層側層間絶縁膜B内には有効配線及び有効プラグが形成されていないので、仮に上層側層間絶縁膜B内のダミー配線やダミープラグが破壊されたとしても、下層側層間絶縁膜A内の有効配線及び有効プラグに損傷がなければ、電子回路の動作に支障はない。
なお、本実施形態では下層側層間絶縁膜Aが4層、上層側層間絶縁膜Bが3層の場合について説明しているが、下層側層間絶縁膜A及び上層側層間絶縁膜Bはそれぞれ1層以上であればよい。
図4は、横軸に下層側層間絶縁膜のヤング率をとり、縦軸にボンディング時に下層側層間絶縁膜内のプラグに印加される応力及び上層側層間絶縁膜内のプラグに印加される応力をとって、下層側層間絶縁膜及び上層側層間絶縁膜のヤング率とプラグに印加される応力との関係を計算により求めた結果を示す図である。この図4において、曲線Cは下層側層間絶縁膜内のプラグにかかる応力を示しており、曲線Cより上側の領域は下層側層間絶縁膜内のプラグにかかる応力PAが上層側層間絶縁膜内のプラグにかかる応力PBよりも小さい(PA<PB)領域を示し、曲線Cよりも下側の領域は下層側層間絶縁膜内のプラグにかかる応力PAが上層側層間絶縁膜内のプラグにかかる応力PBよりも大きい(PA>PB)領域を示している。
本実施形態においては、下層側層間絶縁膜のヤング率と上層側層間絶縁膜のヤング率とを適切に設定することにより、下層側層間絶縁膜内のプラグ又は配線に印加される応力を、上層側層間絶縁膜内のプラグ又は配線に印加される応力よりも小さく(Pa<PB)する。
本願発明者は、下層側層間絶縁膜及び上層側層間絶縁膜のヤング率を種々変化させて、ワイヤボンディング時に下層側層間絶縁膜中に発生する最大応力を調べた。その結果を図5に示す。なお、図5の評価結果の欄の×は下層側層間絶縁膜内のプラグに破壊が発生したことを示し、○は下層側層間絶縁膜内のプラグに破損が発生しなかったことを示している。
この図5からわかるように、No2,No4,No5の試料では、下層側層間絶縁膜に印加される最大応力が1GPa以下であり、下層側層間絶縁膜内のプラグに破壊は発生しなかった。これらの試料の下層側層間絶縁膜のヤング率と上層側層間絶縁膜のヤング率との関係は、図4の曲線Cよりも上側になる。一方、No1,No3の試料は、下層側層間絶縁膜のヤング率と上層側層間絶縁膜のヤング率との関係が図4の曲線Cよりも下側となる。これらのNo1,No3の試料では、ワイヤボンディング時に下層側層間絶縁膜内のプラグに破壊が発生した。
以下、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を、図6〜図9を参照して説明する。
まず、図6に示すように、公知のSTI(Shallow Trench Isolation)法又はLOCOS(Local Oxidation of Silicon)法により半導体基板(シリコン基板)10の表面に素子分離膜11を形成し、半導体基板10の表面を複数の素子領域Sと非素子領域Tとに分離する。その後、素子領域Sの基板表面を熱酸化させてゲート絶縁膜を形成し、その上にポリシリコン膜を形成する。そして、フォトリソグラフィ法によりポリシリコン膜をパターニングして、ゲート電極13を形成する。
次に、ゲート電極13をマスクとして素子領域Sに不純物を浅く且つ低濃度にイオン注入し、エクステンション領域を形成する。その後、CVD法により、半導体基板10の上側全面にSiO2膜を形成する。そして、このSiO2膜をエッチバックしてゲート電極13の両側部のみにSiO2膜を残すことにより、サイドウォールを形成する。次いで、ゲート電極13及びサイドウォールをマスクとして素子領域Sに不純物をエクステンション領域よりも深く且つ高濃度にイオン注入して、不純物領域14を形成する。このようにして、エクステンションソース/ドレイン構造のトランジスタ12が形成される。
次に、第1の層間絶縁膜16として、CVD法により半導体基板10の上側全面にSiO2膜を例えば300nmの厚さに形成する。そして、フォトリソグラフィ法及びエッチング法を用いて、第1の層間絶縁膜16の上面から所定の不純物領域14に通じるコンタクトホールを形成する。その後、スパッタ法等により全面にバリアメタル(図示せず)を形成して、コンタクトホールの内面をバリアメタルで被覆する。本実施形態では、バリアメタルとして、厚さが30nmのTi膜と、厚さが50nmのTiN膜との積層膜を使用する。
次に、例えば電気めっき法を用いてバリアメタルの上にCu(銅)膜を形成するとともに、コンタクトホール内にCuを充填する。その後、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法により第1の層間絶縁膜16が露出するまでCu膜及びバリアメタルを研磨する。このようにして、第1の層間絶縁膜16内に有効プラグ17が形成される。
次に、図7に示すように、第2の層間絶縁膜20として、第1の層間絶縁膜16の上側全面にNCS膜を例えば150nmの厚さに形成する。このNCS膜は、例えば触媒化成工業株式会社製のナノクラスタリングシリカ(セラメートNCS)を用い、スピンコート法により形成される。その後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により、第2の層間絶縁膜20に所定のパターンで溝を形成するとともに、溝の底部から有効プラグ17に通じる孔を形成する。次いで、スパッタ法等により全面にバリアメタル(Ti膜及びTiN膜:図示せず)を形成して、溝及び孔の内面をバリアメタルで被覆する。その後、電気めっき法等により、バリアメタルの上にCu膜を形成するとともに、溝内にCuを充填する。次いで、CMP法により第2の層間絶縁膜20が露出するまでCu膜及びバリアメタルを研磨する。このようにして、第2の層間絶縁膜20内にダミー配線21a及び有効配線21bが形成される。なお、第2の層間絶縁膜20の孔内に充填されたCuは有効プラグ17と一体化して有効プラグ17の一部となる。
次に、第3の層間絶縁膜25として、第2の層間絶縁膜20の上側全面にNCS膜を例えばスピンコート法により200nmの厚さに形成する。その後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により、第3の層間絶縁膜25に所定のパターンで溝を形成するとともに、溝の底部からダミー配線21a又は有効配線21bに到達する孔を形成する。次いで、スパッタ法等により全面にバリアメタル(Ti膜及びTiN膜:図示せず)を形成して、溝及び孔の内面をバリアメタルで被覆する。その後、電気めっき法等により、バリアメタルの上にCu膜を形成するとともに、溝内及び孔内にCuを充填する。次いで、CMP法により第3の層間絶縁膜25が露出するまでCu膜及びバリアメタルを研磨する。このようにして、第3の層間絶縁膜25内にダミー配線26a、有効配線26b、ダミープラグ27a及び有効プラグ27bが形成される。なお、本実施形態ではダミープラグ27aの直径を例えば100nmとする。
次に、第4の層間絶縁膜30として、第3の層間絶縁膜25の上側全面にNCS膜を例えばスピンコート法により200nmの厚さに形成する。その後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により、第4の層間絶縁膜30に所定のパターンで溝を形成するとともに、溝の底部からダミー配線26a又は有効配線26bに到達する孔を形成する。次いで、スパッタ法等により全面にバリアメタル(Ti膜及びTiN膜:図示せず)を形成して、溝及び孔の内面をバリアメタルで被覆する。その後、電気めっき法等により、バリアメタルの上にCu膜を形成するとともに、溝内及び孔内にCuを充填する。次いで、CMP法により第4の層間絶縁膜30が露出するまでCu膜及びバリアメタルを研磨する。このようにして、第4の層間絶縁膜30内にダミー配線31a、有効配線31b、ダミープラグ32a及び有効プラグ(図示せず)が形成される。
次に、第5の層間絶縁膜35として、第4の層間絶縁膜30の上側全面にNCS膜を例えばスピンコート法により200nmの厚さに形成する。その後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により、第5の層間絶縁膜35に所定のパターンで溝を形成するとともに、溝の底部からダミー配線31a又は有効配線31bに到達する孔を形成する。次いで、スパッタ法等により全面にバリアメタル(Ti膜及びTiN膜:図示せず)を形成して、溝及び孔の内面をバリアメタルで被覆する。その後、電気めっき法等により、バリアメタルの上にCu膜を形成するとともに、溝内及び孔内にCuを充填する。次いで、CMP法により第5の層間絶縁膜35が露出するまでCu膜及びバリアメタルを研磨する。このようにして、第5の層間絶縁膜35内にダミー配線36a、有効配線36b、ダミープラグ37a及び有効プラグ(図示せず)が形成される。
次に、第6の層間絶縁膜40として、第5の層間絶縁膜35の上側全面にNCS膜を例えばスピンコート法により200nmの厚さに形成する。その後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により、第6の層間絶縁膜40に所定のパターンで溝を形成するとともに、溝の底部からダミー配線36a又は有効配線36bに到達する孔を形成する。次いで、スパッタ法等により全面にバリアメタル(Ti膜及びTiN膜:図示せず)を形成して、溝及び孔の内面をバリアメタルで被覆する。その後、電気めっき法等により、バリアメタルの上にCu膜を形成するとともに、溝内及び孔内にCuを充填する。次いで、CMP法により第6の層間絶縁膜40が露出するまでCu膜及びバリアメタルを研磨する。このようにして、第6の層間絶縁膜40内にダミー配線41a、有効配線41b、ダミープラグ42a及び有効プラグ(図示せず)が形成される。また、このようにして、下層側層間絶縁膜A(第2〜第6の層間絶縁膜20,25,30,35,40)が形成される。
次に、図8に示すように、第7の層間絶縁膜45として、第6の層間絶縁膜40の上側全面に、例えばプラズマCVD法によりSiO2膜(又はSiOC膜)を400nmの厚さに形成する。その後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により、第7の層間絶縁膜45に所定のパターンで溝を形成するとともに、溝の底部からダミー配線41a又は有効配線41bに到達する孔を形成する。次いで、スパッタ法等により全面にバリアメタル(Ti膜及びTiN膜:図示せず)を形成して、溝及び孔の内面をバリアメタルで被覆する。その後、電気めっき法等により、バリアメタルの上にCu膜を形成するとともに、溝内及び孔内にCuを充填する。次いで、CMP法により第7の層間絶縁膜45が露出するまでCu膜及びバリアメタルを研磨する。このようにして、第7の層間絶縁膜45内にダミー配線46a、有効配線46b、ダミープラグ47a及び有効プラグ(図示せず)が形成される。
次に、第8の層間絶縁膜50として、第7の層間絶縁膜45の上側全面に、例えばプラズマCVD法によりSiO2膜(又はSiOC膜)を400nmの厚さに形成する。その後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により、第8の層間絶縁膜50に所定のパターンで溝を形成するとともに、溝の底部からダミー配線46a又は有効配線46bに到達する孔を形成する。次いで、スパッタ法等により全面にバリアメタル(Ti膜及びTiN膜:図示せず)を形成して、溝及び孔の内面をバリアメタルで被覆する。その後、電気めっき法等により、バリアメタルの上にCu膜を形成するとともに、溝内及び孔内にCuを充填する。次いで、CMP法により第8の層間絶縁膜50が露出するまでCu膜及びバリアメタルを研磨する。このようにして、第8の層間絶縁膜50内にダミー配線51a、有効配線51b、ダミープラグ52a及び有効プラグ(図示せず)が形成される。
次に、第9の層間絶縁膜55として、第8の層間絶縁膜50の上側全面に、例えばプラズマCVD法によりSiO2膜(又はSiOC膜)を400nmの厚さに形成する。その後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により、第9の層間絶縁膜55に所定のパターンで溝を形成するとともに、溝の底部からダミー配線51a又は有効配線51bに到達する孔を形成する。次いで、スパッタ法等により全面にバリアメタル(Ti膜及びTiN膜:図示せず)を形成して、溝及び孔の内面をバリアメタルで被覆する。その後、電気めっき法等により、バリアメタルの上にCu膜を形成するとともに、溝内及び孔内にCuを充填する。次いで、CMP法により第9の層間絶縁膜55が露出するまでCu膜及びバリアメタルを研磨する。このようにして、第9の層間絶縁膜55内にダミー配線56a、有効配線56b、ダミープラグ57a及び有効プラグ(図示せず)が形成される。また、このようにして、上層側層間絶縁膜B(第7〜第9の層間絶縁膜45,50,55)が形成される。
次に、図9に示すように、第10の層間絶縁膜60として、第9層間絶縁膜55の上側全面に、例えばプラズマCVD法によりSiO2膜(又はSiOC膜)を500nmの厚さに形成する。その後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により、第10の層間絶縁膜60に所定のパターンで溝を形成するとともに、溝の底部からダミー配線56a又は有効配線56bに到達する孔を形成する。次いで、スパッタ法等により全面にバリアメタル(Ti膜及びTiN膜:図示せず)を形成して、溝及び孔の内面をバリアメタルで被覆する。その後、電気めっき法等により、バリアメタルの上にCu膜を形成するとともに、溝内及び孔内にCuを充填する。次いで、CMP法により第10の層間絶縁膜60が露出するまでCu膜及びバリアメタルを研磨する。このようにして、第10の層間絶縁膜60内にダミー配線61a、有効配線61b、ダミープラグ62a及び有効プラグ62bが形成される。
次に、カバー膜65として、第10の層間絶縁膜60の上側全面に、例えばプラズマCVD法によりSiO2膜(又はSiOC膜)を400nmの厚さに形成する。その後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により、カバー膜65の所定の位置に有効配線62bに到達する孔を形成する。次いで、スパッタ法等により全面にバリアメタル(Ti膜及びTiN膜:図示せず)を形成して、孔の内面をバリアメタルで被覆する。その後、電気めっき法等により、バリアメタルの上にCu膜を形成するとともに、孔内にCuを充填する。次いで、CMP法によりカバー膜65が露出するまでCu膜及びバリアメタルを研磨する。このようにして、カバー膜65内に有効プラグ67bが形成される。
次に、スパッタ法により、カバー膜65の上側全面にアルミニウム合金等の金属からなる導電膜を形成し、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により導電膜をパターニングして、電極パッド70を形成する。このようにして、本実施形態に係る半導体装置が完成する。
なお、上述の製造方法においては、バリアメタルの上に銅(Cu)を電気めっきしてダミー配線、有効配線、ダミープラグ及び有効プラグを形成しているが、電気めっき法に代えて、又は電気めっき法とともに、CVD法、無電解めっき法又はスパッタ法等を用いてもよい。また、その材料はCu(銅)に限定されるものではなく、タングステン(W)、アルミニウム(Al)若しくはニッケル(Ni)などの金属、又はTaNなどの窒化物、ダイヤモンドやフラーレン、カーボンナノチューブを用いることも可能である。
また、本実施形態では下層側層間絶縁膜AをNCSにより形成し、上層側層間絶縁膜BをSiO2又はSiOCにより形成しているが、その他に層間絶縁膜として、例えばダウケミカル社のSiOC膜(登録商標名SIL)、SOG膜、Novellus Systems社の低誘電率CVD−SiOC膜(登録商標名Coral)、あるいはApplied Materials社の低誘電率CVD−SiOC膜(登録商標名Black Diamond)、さらには低誘電率FSG(Fluorinated Silicate Glass)膜(いわゆるlowFSG膜)、MSQ(Metyl Hydrogen Silsesquioxane)膜、HSQ(Hydrogen Silsesquioxane)膜、FSQ(Fluorinated hydrogen Silsesquioxane)膜を使用することができる。
また、ダウコーニングシリコーン社のHSQ塗付膜、旭化成株式会社の全芳香族アリールエーテル塗付膜(登録商標名ALCAP−E)、ハネウエル社のアリールエーテル塗付膜(登録商標名FLARE)、ダウケミカル社のアリールエーテル塗付膜(登録商標名SiLK)、ダウケミカル社のベンゾシクロブテン(BCB)塗付膜、ダウケミカル社のベンゾシクロブテン(BCB)CVD膜、アプライドマテリアル社の無機あるいは有機SiOCH−CVD膜(登録商標名Black Diamond)、富士通及びトリケミカル社から市販されているFSQ(フッ素含有水素シルセスキオキサン)塗付膜、JSR社の無機あるいは有機メチルシルセスキオキサン(MSQ)塗付膜(登録商標名LKD−T200)、前記Novellus Systems社の無機あるいは有機SiOCH−CVD膜(登録商標名Coral)、ASM社の無機あるいは有機SiOCH−CVD膜(登録商標Aurora)、ハネウエル社の無機あるいは有機MSQ塗付膜(登録商標名HOSP)、ダウコーニングシリコーン社からポーラスHSQとして市販されている無機ポーラス化HSQ塗付膜、住友化学株式会社の有機ポーラス化アリールエーテル塗付膜(登録商標名ALS−400)、触媒化成株式会社の無機あるいは有機SiH系ポーラス塗布膜(登録商標名IPS)、ハネウエル社の無機あるいは有機SiOCH塗布膜(登録商標名Nanoglass-E)、JSR社の無機あるいは有機ポーラス化MSQ塗布膜(登録商標名LKD−T400)、旭化成株式会社の無機ポーラスシリカ塗布膜(登録商標名ALCAP−S)、ダウケミカル社からポーラスSiLKとして市販されている有機ポーラス化アリールエーテル塗布膜、ハネウエル社からポーラス化FLAREとして市販されている有機ポーラス化アリールエーテル塗付膜、神戸製鋼所からsilica aerogelとして市販されている無機高圧乾燥ポーラスシリカ膜などを使用してもよい。
(第2の実施形態)
第1の実施形態では、ヤング率が異なる材料により下層側層間絶縁膜A及び上層側層間絶縁膜Bを形成し、下層側層間絶縁膜Aにかかる最大応力を上層側層間絶縁膜Bにかかる最大応力よりも小さくしているが、ダミープラグやダミー配線の面積率又は配置を調整することにより、下層側層間絶縁膜Aにかかる最大応力を上層側層間絶縁膜Bにかかる最大応力よりも小さくしてもよい。
図10は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。この図10において、図1と同一物には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
本実施形態では、図10に示すように、上層側層間絶縁膜B(第7〜第9の層間絶縁膜45,50,55)内のダミープラグの数を下層側層間絶縁膜A(第2〜第6の層間絶縁膜20,25,30,35,40)内のダミープラグの数よりも少なくしている。例えば、第1の実施形態では1つのダミー配線(上層側層間絶縁膜B内のダミー配線)に対し20本のダミープラグがあるとすると、本実施形態では1つのダミー配線に対しダミープラグの数を8本とする。これにより、ワイヤボンディング時に上層側層間絶縁膜B内のダミープラグにかかる応力(ダミープラグ1個あたりの応力)が下層側層間絶縁膜A内のダミープラグにかかる応力よりも大きくなり、下層側層間絶縁膜A内の有効配線及び有効プラグが破壊されにくくなる。
また、図11(a),(b)に示すように、上層側層間絶縁膜Bのダミー配線の面積を小さくしてもよい。図11(a),(b)はいずれも上層側層間絶縁膜B内のダミー配線を示す平面図であり、図11(a)に示すダミー配線81aではその面積を電極パッド70の面積の75%とし、図11(b)に示すダミー配線82aではその面積を電極パッド70の面積の50%としている。
図12に、下層側層間絶縁膜Aのヤング率を8GPaとし、上層側層間絶縁膜Bのヤング率を16GPaとしたときの比較例、実施例1及び実施例2の半導体装置における下層側層間絶縁膜A及び上層側層間絶縁膜Bにかかる最大応力を計算した結果を示す。但し、比較例の半導体装置は図1に示す断面構造を有し、図11(a)に示すダミー配線(上層側層間絶縁膜B内のダミー配線)を有している。また、実施例1は図10に示す断面構造を有し、図11(a)に示すダミー配線(上層側層間絶縁膜B内のダミー配線)を有している。更に、実施例2は図10に示す断面構造を有し、図11(b)に示すダミー配線(上層側層間絶縁膜B内のダミー配線)を有している。
この図12からわかるように、上層側層間絶縁膜B内のダミープラグの数を変えたり、ダミー配線の面積を変えることにより、下層側層間絶縁膜A及び上層側層間絶縁膜Bにかかる最大応力が変化する。このような方法で、下層側層間絶縁膜Aにかかる最大応力を上層側層間絶縁膜Bにかかる最大応力よりも小さくしてもよい。
なお、上述した実施形態ではいずれも電極パッド70の下方(直下域)を非素子領域として電子回路を構成するための素子を設けていないが、電極パッド70の下方(直下域)に電子回路を構成するための素子を設けてもよい。また、上述した実施形態では上層側層間絶縁膜B内にダミー配線及びダミープラグの両方を設けているが、ダミー配線の面積を小さくした場合にはダミープラグを設けなくてもよい。
以下、本発明の諸態様を、付記としてまとめて記載する。
(付記1)半導体素子が形成された半導体基板と、
前記半導体基板の上方に形成された下層側層間絶縁膜と、
前記下層側層間絶縁膜の上方に形成された上層側層間絶縁膜と、
前記上層側層間絶縁膜の上方に配置され、前記下層側層間絶縁膜及び前記上層側層間絶縁膜内に形成された有効配線及び有効プラグを介して前記半導体素子と電気的に接続された電極パッドと、
前記電極パッドの直下域の前記上層側層間絶縁膜内に形成されたダミー部材とを有し、
前記電極パッドに応力が印加されたときに前記下層側層間絶縁膜よりも前記上層側層間絶縁膜に印加される応力が大きくなるように前記下層側層間絶縁膜及び前記上層側層間絶縁膜のヤング率が設定されていることを特徴とする半導体装置。
(付記2)前記下層側層間絶縁膜の誘電率が前記上層側層間絶縁膜の誘電率よりも低いことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記3)前記ダミー部材が、前記有効配線と同一材料からなるダミー配線と、そのダミー配線の下方に形成されたダミープラグとにより構成されていることを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記4)前記ダミープラグの数が、前記電極パッドに応力が印加されたときに前記下層側層間絶縁膜よりも前記上層側層間絶縁膜に印加される応力が大きくなるように設定されていることを特徴とする付記3に記載の半導体装置。
(付記5)前記ダミー配線の大きさが、前記電極パッドに応力が印加されたときに前記下層側層間絶縁膜よりも前記上層側層間絶縁膜に印加される応力が大きくなるように設定されていることを特徴とする付記3に記載の半導体装置。
(付記6)前記電極パッドの直下域の前記上層側層間絶縁膜内に、前記有効配線及び前記有効プラグがないことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記7)前記電極パッドの直下域の前記下層側層間絶縁膜内に、前記有効配線の一部が配置されていることを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記8)前記ダミー部材は、前記半導体素子と電気的に分離されていることを特徴とする付記5に記載の半導体装置。
(付記9)前記電極パッドの直下域の前記下層側層間絶縁膜内にも、前記半導体素子と電気的に分離されたダミー部材が設けられていることを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記10)半導体基板に半導体素子を形成する工程と、
前記半導体基板の上方に前記半導体素子と電気的に接続された有効配線及び有効プラグを包含する下層側層間絶縁膜を形成する工程と、
前記下層側層間絶縁膜の上方に前記下層側層間絶縁膜よりもヤング率が高く、且つ前記半導体素子と電気的に接続された有効配線及び有効プラグと、前記半導体素子と電気的に分離されたダミー部材とを包含する上層側層間絶縁膜を形成する工程と、
前記上層側層間絶縁膜の上方に前記有効配線及び前記有効プラグを介して前記半導体素子と電気的に接続される電極パッドを形成する工程とを有し、
前記ダミー部材は前記電極パッドの直下域の前記上層側層間絶縁膜内に形成し、且つ前記電極パッドの直下域の前記上層側層間絶縁膜内には前記有効配線及び有効パッドを形成しないことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記11)前記下層側層間絶縁膜及び前記上層側層間絶縁膜は、前記電極パッドに応力が印加されたときに前記下層側層間絶縁膜よりも前記上層側層間絶縁膜に印加される応力が大きくなるように選択された材料により形成することを特徴とする付記10に記載の半導体装置の製造方法。
(付記12)前記下層側層間絶縁膜を、前記上層側層間絶縁膜よりも誘電率が低い材料により形成することを特徴とする付記10に記載の半導体装置の製造方法。
(付記13)前記電極パッドの直下域の前記下層側層間絶縁膜内に、前記有効配線の一部を配置することを特徴とする付記10に記載の半導体装置の製造方法。