JP2014052269A - テーピングユニット及び電子部品検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】テーピング不良を低減し、電子部品の除去、排出、及び再充填を効率よく行う。
【解決手段】テーピングユニット１は、移送部１０と、外観検査部２０と、保持部３０とを備える。移送部１０は、収容位置Ｐ１でポケットＵに収容された電子部品Ｄを移送路Ｌに沿って移送する。外観検査部２０は、収容位置Ｐ１より移送方向下流側の検査位置Ｐ２に配置され、移送される電子部品Ｄの検査を行う。保持部３０は、移送路Ｌの上方の収容位置Ｐ１と検査位置Ｐ２との間で直線状に移動する。保持部３０は、外観検査部２０の検査結果に応じて検査位置Ｐ２に位置するポケットＵから電子部品Ｄを除去する。さらに、収容位置Ｐ１に位置するポケットＵから電子部品Ｄを取り出し保持し、検査位置Ｐ２に位置するポケットＵにその取り出した電子部品Ｄを収容する。
【選択図】図２

Description

本発明は、キャリアテープに電子部品を収容し、外観検査を行って不良品を除去し良品を再充填するテーピングユニット及びテーピングユニットを備えた電子部品検査装置に関する。

半導体素子等の電子部品は、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経て個片に分離された後、各種検査等の工程が行われる。この工程は、一般的にはテストハンドラーと呼ばれる電子部品検査装置で行われる。これは、メインテーブルを回転させ、搬送部の電子部品を吸着ノズル等の保持手段で保持し、各検査装置に対して搬送して検査を行うものである。検査を終えた電子部品は、テーピングユニットにおいてキャリアテープのポケットＵに収容される。

電子部品を収容したキャリアテープは巻き取りモータによって巻き取られるが、その前に外観検査を行う。外観検査は、電子部品がポケットに正しい方向で収容されていない、収容された電子部品に傷がある、ポケットが空である、等の不良を検出するためのものである。検査の方法としては、スプロケットを用いてキャリアテープを間欠的に移送し、移送路上に電子部品を撮像するカメラを配置して電子部品を撮像する。カメラの撮像画像から不良が検出された場合には、吸着ノズル等の除去手段を用いて電子部品をポケットから取り除く。そして、キャリアテープを移送方向とは逆方向に移送し、空のポケットＵを電子部品の収容位置に戻して新たな電子部品を収容する（例えば、特許文献１参照）。

国際公開 ＷＯ２０１０／０８９２７５号公報

キャリアテープの移送は、キャリアテープに設けられたスプロケット穴に、回転するスプロケットの突起が貫通することによって行われる。ここで、穴と突起の間に隙間があると、逆方向への移送でガタつきが生じ、ポケットの位置が収容する電子部品からずれてしまう可能性がある。そのため、特に小型の電子部品の場合は、そのようなガタつきを防ぐために穴と突起が隙間なく係合するように調整したり、逆方向への移送の際にテーピングユニット自体を動かす機構が必要となる場合もある。また、キャリアテープを逆方向に移送する際にキャリアテープに巻き込みが起きてテーピングユニットの動作不良が発生する可能性がある。

さらには、検査位置が収容位置から離れている場合、逆方向への移送距離が長くなる。そうなると、すでに電子部品を収容したキャリアテープがスプロケットの位置まで戻り、下向きになって中身の電子部品が脱落してしまう可能性もある。

そこで、収容位置近傍とカメラの下の移送路直上に複数のプリズムを配置して、電子部品の像をこれらのプリズムを介してカメラに導く構成とすることで、収容位置と外観検査位置を近づけてキャリアテープの逆方向への移送距離を最小限にすることが考えられる。

しかしながら、この方法でも依然としてテーピングユニットの逆方向への移送は必要である。さらに、電子部品の撮像のためには電子部品に照射する照明装置が必要となるが、移送路直上にプリズムを配置しているため十分なスペースが取れず、照明装置も小型化してしまう。これによって十分な光量の確保ができず、精密な外観検査が難しくなるという問題があった。例えば、影が落ちた箇所の外観検査が困難となったり、画像処理によってもクラックを判別できなかったりするおそれがあった。

本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、テーピングユニットの外観検査において、検査結果に応じた不良部品の除去及び良品の再充填を、キャリアテープを逆方向へ移送せずに行うことによって、テーピング不良の発生の可能性を低減し、信頼性の高いテーピングユニット及び電子部品検査装置を提供することを目的とする。

本発明に係るテーピングユニットは、長手方向に複数の収容部を並べたキャリアテープに電子部品を収容して移送路上を移送するものであり、以下を備えるものである。
（ａ）移送路上の収容位置に位置する収容部に電子部品が収容されたキャリアテープを移送路に沿って移送する移送部
（ｂ）収容位置より移送方向下流側の検査位置に配置され、移送部によって当該検査位置に移送された電子部品の検査を行う外観検査部
（ｃ）移送路の上方を、収容位置と検査位置との間で直線状に移動し、外観検査部の検査結果に応じて検査位置に位置する収容部から電子部品を除去して排出し、収容位置に位置する収容部から電子部品を取り出し保持し、検査位置に位置する収容部に保持している電子部品を収容する保持部

本発明の一態様によれば、収容位置と検査位置との間に排出位置を設け、検査位置に位置する収容部から電子部品を除去した保持部がこの排出位置に移動し、電子部品を排出するようにしても良い。

本発明の一態様によれば、外観検査部は、検査位置の移送路上方に設けられ検査位置に移送された電子部品を撮像する撮像装置と、撮像装置と垂直方向に間隔を空けて移送路直上に配置され検査位置に移送された電子部品を照射する照明装置とを含む。照明装置に移送路と移送路上方とを連通する開口部を設け、保持部が撮像装置と照明装置との間からこの開口部を介して移送路に向かって下降し、検査位置に位置する電子部品を収容部から除去する。

本発明の一態様によれば、照明装置は、複数のＬＥＤが移送路を囲むように円環状に配置されているものであっても良い。

本発明の一態様によれば、保持部は、電子部品を保持する保持機構と当該保持機構を駆動する駆動部とを含む。保持機構には電子部品に接触した際に保持機構を上方に付勢する付勢部材を設けても良い。

本発明の一態様によれば、収容位置と検査位置との間に保持部が電子部品の移送中に待機する待機位置を設けても良い。

さらに、上記テーピングユニットを備えた電子部品検査装置も、本発明の一態様である。

本発明によれば、移送路の上方を直線状に移動する保持部を用いることで、電子部品の除去、排出、及び再充填を効率よく行うことができ、さらにキャリアテープの逆方向への移送によるテーピング不良を低減した信頼性の高いテーピングユニット及び電子部品検査装置を提供することができる。

本発明の第１の実施形態に係るテーピングユニットの構成を示す図である。 本発明の第１の実施形態に係るテーピングユニットの構成を示す模式図である。 本発明の第１の実施形態に係る照明装置の構成を示し、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は長手方向断面図である。 テーピングユニットの作用を示すフローチャートである。 図４のステップＳ０１に対応したテーピングユニットの作用を示す模式図である。（ａ）はメインテーブルの状態を示し、（ｂ）は正面から見たテーピングユニットの状態を示す。 図４のステップＳ０２〜Ｓ０３に対応したテーピングユニットの作用を示す模式図である。（ａ）はメインテーブルの状態を示し、（ｂ）は正面から見たテーピングユニットの状態を示す。 図４のステップＳ０５に対応したテーピングユニットの作用を示す模式図である。（ａ）はメインテーブルの状態を示し、（ｂ）は正面から見たテーピングユニットの状態を示す。 図４のステップＳ０６に対応したテーピングユニットの作用を示す模式図である。（ａ）はメインテーブルの状態を示し、（ｂ）は正面から見たテーピングユニットの状態を示す。 図４のステップＳ０７に対応したテーピングユニットの作用を示す模式図である。（ａ）はメインテーブルの状態を示し、（ｂ）は正面から見たテーピングユニットの状態を示す。 図４のステップＳ０８に対応したテーピングユニットの作用を示す模式図である。（ａ）はメインテーブルの状態を示し、（ｂ）は正面から見たテーピングユニットの状態を示す。 図４のステップＳ０９に対応したテーピングユニットの作用を示す模式図である。（ａ）はメインテーブルの状態を示し、（ｂ）は正面から見たテーピングユニットの状態を示す。 本発明の実施形態に係るテーピングユニットの、電子部品検査装置への適用例を示す図である。（ａ）は電子部品検査装置の上面図であり、（ｂ）はその側面図である。

以下、本発明の実施形態に係るテーピングユニット及び電子部品検査装置の実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

（第１の実施形態）
（構成）
本実施形態のテーピングユニット１の全体的な構成を、図１及び図２を参照して説明する。なお、図２の模式図は、わかりやすくするために構成の一部を簡略化及び拡大して表示している。

テーピングユニット１は、電子部品検査装置における各種工程処理の一つを行うユニットである。テーピングユニット１において、様々な検査工程を経た電子部品ＤがキャリアテープＴに収容され、移送路Ｌ上を移送されて梱包される。電子部品Ｄは、電子部品検査装置のメインテーブルに設けられた搬送手段の吸着ノズル１１１によってテーピングユニット１に搬送され、キャリアテープＴに収容される。電子部品Ｄは電気製品に使用される部品であって、半導体素子が含まれる。半導体素子としては、トランジスタや集積回路が挙げられる。さらに半導体以外の電子部品として、チップコンデンサ、チップ抵抗、インダクタ、フィルタ、アイソレータ等も含まれる。キャリアテープＴは、テープにエンボス加工を施してポケットＵを設けたもので、長手方向に電子部品Ｄの収容部となる複数のポケットＵが並んでいる。

テーピングユニット１は、大別して、移送部１０と、外観検査部２０と、保持部３０とを備える。移送部１０は、収容位置Ｐ１でポケットＵに収容された電子部品Ｄを移送路Ｌに沿って移送する。外観検査部２０は、収容位置Ｐ１より移送方向下流側の検査位置Ｐ２に配置され、移送される電子部品Ｄの検査を行う。保持部３０は、移送路Ｌの上方の収容位置Ｐ１と検査位置Ｐ２との間で直線状に移動する。保持部３０は、外観検査部２０の検査結果に応じて検査位置Ｐ２に位置するポケットＵから電子部品Ｄを除去する。さらに、収容位置Ｐ１に位置するポケットＵから電子部品Ｄを取り出し保持し、検査位置Ｐ２に位置するポケットＵにその取り出した電子部品Ｄを収容する。

以下、各構成を詳説する。
移送部１０は、テーピングユニット１の本体部１ａ上に設けられたガイドレール１１と、本体部１ａの端部に設けられたスプロケット１２と、スプロケット１２を駆動する不図示のモータを有する。

ガイドレール１１は本体部１ａ上を装置長手方向に延びる。不図示の収納部からキャリアテープＴが引き出され、スプロケット１２を介してこのガイドレール１１に導かれる。スプロケット１２は、例えば、中心部をモータの回転軸が挿通しており、モータの駆動によって回転するものである。スプロケット１２の周面には等間隔で突起が設けられている。また、キャリアテープＴには、図示しないスプロケット穴が設けられている。スプロケット１２が回転されると、この突起がキャリアテープＴのスプロケット穴に貫通してキャリアテープＴをガイドレール１１に沿って移動させる。

本実施形態において「移送路Ｌ」とは、このガイドレール１１上に形成され、スプロケット１２によるキャリアテープＴの移動によって実現される電子部品Ｄが移送される通路を意味する。また、「移送方向」とは、スプロケット１２によってキャリアテープＴが巻き出される方向であり、すなわち電子部品Ｄがガイドレール１１上を不図示の巻き取りモータに向かって進む方向を意味する。

移送部１０はこの移送路Ｌに沿って、キャリアテープＴのポケットＵに収容された電子部品Ｄを、移送方向へ移送する。この移送路Ｌの移送方向上流側に電子部品Ｄの収容位置Ｐ１が設けられている。この収容位置Ｐ１に、電子部品検査装置の吸着ノズル１１１が停止し、先端に吸着された電子部品Ｄが離脱されて収容位置Ｐ１に位置しているキャリアテープＴのポケットＵに収容される。

一方、移送路Ｌの収容位置Ｐ１より移送方向下流側には、電子部品Ｄの外観検査を行う位置である検査位置Ｐ２が設けられている。移送部１０は、収容位置Ｐ１でポケットＵに収容された電子部品Ｄをこの検査位置Ｐ２まで移送する。検査位置Ｐ２には外観検査部２０が配置されている。

外観検査部２０は、検査位置Ｐ２の移送路Ｌ上方に設けられ検査位置Ｐ２に移送された電子部品Ｄを撮像する撮像装置２１と、撮像装置２１と垂直方向に間隔を空けて移送路Ｌ直上に配置され、検査位置Ｐ２に移送された電子部品Ｄに照明を照射する照明装置２２とを含む。

撮像装置２１は移送路Ｌ上方に配置されたカメラ本体２１ａと、カメラ本体２１ａから下方に延びるレンズ２１ｂとを備える。レンズ２１ｂは、検査位置Ｐ２に位置するポケットＵに臨んでいる。また、レンズ２１ｂの先端に照明装置２２による照明をさらに補強するために、レンズ先端照明２１ｃを取り付けても良い。ガイドレール１１の脇には、スタンド２４が本体部１ａから立設し、撮像装置２１は、このスタンド２４の先端に取り付けられたブラケット２３に支持されている。

照明装置２２は、ガイドレール１１の直上に載置されたリング型照明である。図３に示すように、このリング型照明には、複数の砲弾型ＬＥＤ２２ａが円環状をなし、更に高さ方向に多段に並ぶように配置され、検査位置Ｐ２に位置する電子部品Ｄを取り囲んでいる。照明装置２２の中央には移送路Ｌと移送路Ｌの上方とを連通する開口部２２ｂが設けられている。この開口部２２ｂによって、移送路Ｌ上の電子部品Ｄの像が、移送路Ｌ上方の撮像装置２１まで届く。

図２に示すように、撮像装置２１は不良検出部４０に接続されている。カメラが撮像した画像は不良検出部４０に送信される。不良検出部４０は撮像画像から電子部品Ｄの不良の有無を判定し、不良が検出された場合には不良検出信号を不図示の制御装置へ送信する。なお、「不良」とは、電子部品の外観に傷がある場合のみならず、電子部品がポケットＵ１に正しい方向又は正しい位置で収容されていない、あるいは表裏が正しい向きで収容されていない場合も含む。

保持部３０は、電子部品Ｄを保持する保持機構としてチャック３１と、チャック３１を支持しかつ移送方向及び移送方向と逆の方向に移動させ、さらに上下方向に移動させる駆動部３２とを有する。

チャック３１は、例えば、真空吸着機構のものを用いることができる。チャック３１は真空の発生により先端部で電子部品Ｄを吸着保持し、真空破壊により離脱させる。チャック３１にはバネ（不図示）が組み込まれ、チャック３１の先端部分が電子部品Ｄに接触した際に、チャック３１全体を上方に付勢する付勢部材として作用する。これによって電子部品Ｄに与えられる衝撃が緩和される。また、チャック３１には下限位置調整機構（不図示）が設けられており、電子部品Ｄの厚みの違いに対応してチャック３１が下降する下限位置が調整される。下限位置調整機構は、例えば、ストッパボルト又はマイクロメータとナット等によって構成することができる。

駆動部３２は、チャック３１に連結された気圧式又は油圧式のシリンダ機構が用いられている。駆動部３２としてはその他の駆動源も使用可能であり、例えばシリンダ装置以外のモータ装置も使用可能である。

外観検査部２０の検査結果に応じて、駆動部３２が駆動し、保持部３０を移送路Ｌ上方の、収容位置Ｐ１と検査位置Ｐ２との間で直線状に移動させる。保持部３０は収容位置Ｐ１及び検査位置Ｐ２で停止してさらに上下方向に移動し、チャック３１によって電子部品Ｄの吸着保持及び離脱を行う。

収容位置Ｐ１と検査位置Ｐ２との間には待機位置Ｐ３が設けられているが、チャック３１はキャリアテープＴ移送時にはこの待機位置Ｐ３で停止して待機する。

保持部３０全体の大きさは、検査位置Ｐ２に移動した際に、撮像装置２１と照明装置２２との間の空間に入り、これらの装置に干渉しない大きさとなっている。また、チャック３１は少なくとも先端部が照明装置２２の開口部２２ｂに入る大きさであり、先端部が開口部２２ｂに入った状態で先端が電子部品Ｄに接触する長さとなっている。

待機位置Ｐ３には、さらに排出ビン５０が設けられている。排出ビン５０は、待機位置Ｐ３で停止している保持部３０の下に配置され、保持部３０から離脱した電子部品Ｄはこの排出ビン５０に収容される。すなわち、待機位置Ｐ３は電子部品Ｄの排出位置でもある。排出ビン５０は、自重落下により不良の電子部品Ｄを排出するものであっても良く、あるいは真空吸引によって確実に不良の電子部品Ｄを吸引して排出するものであっても良い。この待機位置Ｐ３には、さらにチャック３１が電子部品Ｄを保持しているか否かを検出するセンサ（不図示）が取り付けられている。

移送部１０、外観検査部２０、保持部３０、不良検出部４０及びセンサはそれぞれ不図示の制御装置に接続されている。制御装置は移送部１０や保持部３０の移送速度や停止・駆動のタイミングを制御し、外観検査部２０の撮像装置２１の撮像タイミングを制御する。さらに、不良検出部４０から送信された不良検出信号に基づいて、保持部３０を駆動させる。

（作用）
本実施形態のテーピングユニット１の作用を、図４のフローチャートに沿って説明する。また、各ステップにおけるテーピングユニット１の動作については、電子部品検査装置のメインテーブルの動作と関連させて、図５〜図１１を参照して説明する。

（ステップＳ０１）
図５に示すように、電子部品検査装置のメインテーブルＭが旋回し、外周に設けられた搬送手段の吸着ノズル１１１に保持された電子部品Ｄ１が、テーピングユニット１の収容位置Ｐ１に搬送される。電子部品Ｄ１は、真空破壊により吸着ノズル１１１から離脱して収容位置Ｐ１に位置するキャリアテープＴのポケットＵ１に収容される。なお、このとき保持部３０は収容位置Ｐ１と検査位置Ｐ２の間の待機位置Ｐ３に位置している。

（ステップＳ０２）
図６に示すように、移送部１０のスプロケット１２が回転してキャリアテープＴが移送方向へ進行し、収容位置Ｐ１において電子部品Ｄ１を収容したポケットＵ１は移送方向下流の検査位置Ｐ２まで移動する。

（ステップＳ０３）
検査位置Ｐ２まで移送された電子部品Ｄ１は、外観検査部２０によって外観検査が行われる。具体的には、電子部品Ｄ１に照明装置２２の照明が照射される。電子部品Ｄ１の像は照明装置２２の開口部２２ｂを介して撮像装置２１に届き、撮像装置２１によって撮像される。撮像結果は、不良検出部４０に送信される。不良検出部４０は、電子部品がポケットＵ１に正しい方向又は正しい位置で収容されていない、表裏が正しい向きで収容されていない、あるいは電子部品の外観に傷がある等の不良を検出する。

（ステップＳ０４）
ステップＳ０３において、不良検出部４０が不良を検出しなかった場合（ステップＳ０３：Ｎｏ）、キャリアテープＴを移送方向へさらに進行し、隣のポケットに収容された電子部品が順次検査位置Ｐ２に移送され、外観検査部２０によって外観検査が行われる。

（ステップＳ０５）
ステップＳ０３において電子部品Ｄ１になんらかの不良が検出された場合（ステップＳ０３：Ｙｅｓ）、不良検出部４０から制御装置へ不良検出信号が送信される。制御装置はキャリアテープＴの移送を停止し、メインテーブルＭの回転も停止する。図７に示すように、このとき収容位置Ｐ１に位置するキャリアテープＴのポケットＵ２には、電子部品Ｄ２が収容されている。ここで、待機位置Ｐ３に位置していた保持部３０が検査位置Ｐ２まで移動し、撮像装置２１と照明装置２２との間に入って停止する。

（ステップＳ０６）
図８に示すように、検査位置Ｐ２に停止した保持部３０は、照明装置２２の開口部２２ｂを通って移送路Ｌに向かって下降する。保持部３０のチャック３１は、検査位置Ｐ２のポケットＵ１に収容された電子部品Ｄ１に接触すると、真空の発生により電子部品Ｄ１を吸着保持する。電子部品Ｄ１を保持した状態で保持部３０は上昇して、電子部品Ｄ１はポケットＵ１から除去される。

（ステップＳ０７）
図９に示すように、保持部３０は除去した電子部品Ｄ１を保持しながら、移送方向と逆方向に移動して、収容位置Ｐ１と検査位置Ｐ２との間に設けられた待機位置Ｐ３で停止する。ここでチャック３１は真空破壊により電子部品Ｄ１を離脱させる。チャック３１から離脱した電子部品Ｄ１は、保持部３０の下に配置されている排出ビン５０に排出される。待機位置Ｐ３に設けられたセンサでチャック３１の先端の電子部品Ｄ１の有無が検出され、電子部品Ｄ１が正しく排出されたか確認される。

（ステップＳ０８）
図１０に示すように、電子部品Ｄ１を排出した保持部３０は、さらに移送方向と逆方向に移動して、収容位置Ｐ１で停止する。この際に、メインテーブルＭは搬送方向へ１／２ピッチ回転する。これによって、搬送手段が収容位置Ｐ１に移動した保持部３０に干渉することを回避する。収容位置Ｐ１において保持部３０は移送路Ｌに向かって下降する。保持部３０のチャック３１は、収容位置Ｐ１のポケットＵ２に収容された電子部品Ｄ２に接触すると、電子部品Ｄ２を吸着保持する。電子部品Ｄ２を保持した状態で保持部３０が上昇して、電子部品Ｄ２はポケットＵ２から取り出される。
（ステップＳ０９）

図１１に示すように、電子部品Ｄ２を保持した保持部３０は移送方向へ移動して、検査位置Ｐ２で停止する。また、メインテーブルＭを１／２ピッチ搬送方向と逆方向に回転させ、退避させた吸着ノズル１１１を元の位置に戻す。検査位置Ｐ２に停止した保持部３０は、照明装置２２の開口部２２ｂを通って移送路Ｌに向かって下降する。所定の位置まで下降すると、保持部３０のチャック３１は真空破壊により電子部品Ｄ２を離脱させる。チャック３１から離脱した電子部品Ｄ２は、検査位置Ｐ２に位置する空のポケットＵ１に収容される。このようにして、不良の電子部品Ｄ１が除去されたポケットＵ１には、電子部品が再充填される。再充填後、保持部３０は待機位置Ｐ３に戻る。

その後、再びステップＳ０３に戻り、外観検査部２０によって収容された電子部品Ｄ２の外観検査が行われる。不良が検出されなかった場合は、キャリアテープＴを進行させ、次部品の検査に移る。また、メインテーブルＭの回転も再開する。

なお、再充填した電子部品Ｄ２についても不良が検出された場合には、保持部３０を用いて再び不良の電子部品Ｄ２の除去と新たな電子部品の再充填を行う。このとき、収容位置Ｐ１のポケットＵ２には新たな電子部品Ｄを収容させておく必要があるが、これはメインテーブルＭを搬送方向に１ピッチ回転させて行っても良い。
（効果）

（１）本実施形態のテーピングユニット１は、移送路Ｌの上方の、収容位置Ｐ１と検査位置Ｐ２との間で直線状に移動する保持部３０を設け、この保持部３０が外観検査部２０の検査結果に応じて検査位置Ｐ２に位置するキャリアテープＴのポケットＵ１から電子部品Ｄ１を除去し、収容位置Ｐ１に位置するポケットＵ２から電子部品Ｄ２を取り出し保持し、検査位置Ｐ２に位置するポケットＵ１に保持している電子部品Ｄ２を収容させる。

これによって、電子部品Ｄの除去及び再充填のためにキャリアテープＴを逆方向に移送する必要がなく、キャリアテープＴの弾みや巻き込みによる動作不良や、電子部品Ｄの脱落を低減することができ、信頼性の高いテーピングユニット１を提供することができる。また、保持部３０が移送路Ｌを外れることなく直線的に移動するため、電子部品Ｄの除去及び再充填を効率的に行うことができる。これによって、外観検査部２０を収容位置Ｐ１から離して、照明装置を配置するスペースを大きく確保することが可能となり、さまざまな電子部品の種類や大きさに適応した外観検査を行うことができる、利便性の高いテーピングユニットを提供することができる。

（２）また、保持部３０は、検査位置Ｐ２で除去した電子部品を収容位置Ｐ１と検査位置Ｐ２との間に設けた排出位置で排出する。これによって、電子部品排出のために、保持部３０が移送路Ｌ上から外れた位置に移動する動作が必要なく、除去、排出及び再充填の動作を直線状の移動を保ったまま効率よく行うことができる。

（３）外観検査部２０として、撮像装置２１を検査位置Ｐ２の移送路Ｌ上方に設け、照明装置２２を撮像装置２１と間隔を空けて移送路Ｌ直上に配置した。また、照明装置２２には、移送路Ｌと移送路Ｌ上方とを連通する開口部２２ｂを設けた。そして保持部３０は、撮像装置２１と照明装置２２との間に入り、開口部２２ｂを介して移送路Ｌに向かって下降し、検査位置Ｐ２に位置する電子部品ＤをポケットＵから除去する。

このように、撮像装置２１と照明装置２２を分離し、さらに移送路Ｌ直上の照明装置２２には開口部２２ｂを設けたことによって、保持部３０を用いた電子部品Ｄの除去のために外観検査部２０を退避させる必要がなくより効率よく外観検査を行うことができる。また外観検査部２０の退避のための機構を設ける必要がないため、装置の大型化を回避することができる。さらに、電子部品Ｄに対して移送路Ｌ直上で照明を照射することができるため、より正確な外観検査が可能となる。一方で照明装置２２には開口部２２ｂを設けているため、移送路Ｌ直上に配置していながら、移送路Ｌの上方に設けられた撮像装置２１が電子部品Ｄを撮像可能となる。

（４）照明装置２２は、複数のＬＥＤが移送路Ｌを囲むように円環状に配置されたリング型照明を使用している。これによって、中央の開口部２２ｂを確保するとともに、移送路Ｌに偏りなく照射して、ポケットＵ内の影の発生を防止できるため、簡易な構造で正確な検査が可能となる。

（５）収容位置Ｐ１と検査位置Ｐ２との間に保持部３０が電子部品Ｄの移送中に待機する待機位置Ｐ３が設けられている。そのため、外観検査時には直線状に移動のみで、速やかに収容位置Ｐ１及び検査位置Ｐ２に移動することができる。

（６）保持部３０の電子部品Ｄを保持するチャック３１には、電子部品Ｄに接触した際にチャック３１を上方に付勢するバネが設けられている。これによって、電子部品Ｄに接触した際に電子部品Ｄにかかる衝撃が緩和されるため、再充填する電子部品Ｄの品質を良好に保つことができる。

（７）保持部３０が収容位置Ｐ１のポケットＵから電子部品Ｄを取り出す際に、テーピングユニット１が設けられた停止位置に位置するメインテーブルＭの吸着ノズル１１１を、搬送経路に沿った順方向又は逆方向に移動して退避させる。これによって、吸着ノズル１１１が保持部３０に干渉することがなく、保持部３０を移送路Ｌの収容位置Ｐ１に移動させることができ、確実に電子部品Ｄの取出しを行うことができる。

（第２の実施形態）
第１の実施形態で示したテーピングユニット１の、電子部品検査装置への適用例を示す。図１２の（ａ）は、電子部品検査装置の上面図、（ｂ）は電子部品検査装置の側面図である。

電子部品検査装置１００は、搬送機構及び各種の工程処理機構を備えている。搬送機構は、メインテーブルＭを含んで構成される。メインテーブルＭは、下方に配置されたダイレクトドライブモータ１０１の駆動軸で中心が支持されている。このメインテーブルＭは、ダイレクトドライブモータ１０１の駆動に伴って間欠的に所定角度回転する。

メインテーブルＭの外周端には、電子部品Ｄを保持する複数の搬送手段１１０がメインテーブルＭの外周に沿って等間隔離間して取り付けられている。メインテーブルＭを回転させることで電子部品Ｄは外周方向に搬送される。搬送手段１１０の配置間隔は、メインテーブルＭの１ピッチの回転角度と等しい。

搬送手段１１０は、電子部品Ｄを吸着及び離脱させる吸着ノズル１１１を備える。この吸着ノズル１１１は、メインテーブルＭの外周部に取り付けられた支持部１１２によって、その下端をメインテーブルＭの下面に突出させるように支持されている。

搬送手段１１０の各停止位置Ｓには、ノズル駆動部１１３が配置されている。ノズル駆動部１１３は、具体的にはモータであり、操作ロッド１１４を上下動させる。操作ロッド１１４は、吸着ノズル１１１の頭部に接触し、押圧力を付与して吸着ノズル１１１を下方に押し下げる。

このような電子部品検査装置１００は、図示しない搬送制御部を備え、ダイレクトドライブモータ１０１、吸着ノズル１１１を昇降させるノズル駆動部１１３、真空発生装置、及び各種の工程処理ユニットに電気信号を送出することで、これらの動作タイミングを制御している。すなわち、搬送制御部は、制御プログラムを格納するＲＯＭ、ＣＰＵ、及びドライバを備え、制御プログラムに従い、インターフェースを介して各駆動機構に各タイミングで動作信号を出力している。なお、この搬送制御部は、テーピングユニット１の制御装置と同一のものでもよく、または制御装置と送受信が可能な別個の制御部であってもよい。

各種の工程処理機構は、メインテーブルＭを取り囲んで外周方向に等間隔離間して配置されている。配置間隔は、メインテーブルＭの１ピッチの回転角度と同一若しくは整数倍に等しい。各種の工程処理機構としては、メインテーブルＭの回転方向に順に、例えば、パーツフィーダ１０２、マーキングユニット１０３、外観検査ユニット１０４、テストコンタクトユニット１０５、分類ソートユニット１０６、姿勢補正ユニット１０７、テーピングユニット１が配置される。

以上のような電子部品検査装置１００において、テーピングユニット１の収容位置Ｐ１は、搬送手段１１０の停止位置Ｓにある。停止位置Ｓにおいて、搬送手段１１０の吸着ノズル１１１から、真空破壊により離脱した電子部品Ｄは、収容位置Ｐ１に位置するポケットＵに収容される。そして、上述の実施形態で説明したように、検査位置Ｐ２で不良の有無が検査された後、巻き取りモータへ送られる。

メインテーブルＭは、基本は１ピッチの回転角度で回転しているが、回転角度は適宜調整可能である。例えば、上述したように、テーピングユニット１の保持部３０が収容位置Ｐ１に移動する際にはメインテーブルを１／２ピッチ順方向又は逆方向に回転させることで、収容位置Ｐ１から搬送手段１１０を退避させ、保持部３０への干渉を避けることができる。
（その他の実施形態）

（１）上述の実施形態では保持部３０全体が上下に移動するような構成にしたが、保持機構であるチャック３１を伸縮自在に構成し、チャック３１の伸縮によって電子部品Ｄの取出し及び収容を行うようにしてもよい。

（２）上述の実施形態では、保持部３０の保持機構として真空吸着機構で電子部品Ｄを吸着保持するチャック３１を用いたが、これに限られない。例えば電子部品を挟持する機械式チャック機構や静電吸着機構、ベルヌーイチャック機構を用いることができる。

（３）上述の実施形態では、照明装置２２として複数の砲弾型ＬＥＤ２２ａが全体として円環状になるように配置されたリング型照明を用いたが、これに限られない。移送路Ｌ上の電子部品Ｄに十分な光が照射され、さらに保持機構が照明装置２２に干渉されることなく電子部品Ｄの取出しと収容を行えるものであればよい。例えば、矩形やその他の多角形状の照明装置や、基端部から立ち上がり内側に向かって張り出すドーム型の照明装置を用いても良い。また、複数の照明装置を間隔を設けて検査位置Ｐ２の周りに配置したものでも良い。この場合「開口部」とは、複数の照明装置の間に形成され、移送路Ｌと移送路Ｌの上方とを連通する空間であっても良い。

（４）上述の実施形態では、保持部３０の待機位置Ｐ３と、排出ビン５０が設けられた電子部品Ｄの排出位置を同位置としたが、これに限られない。収容位置Ｐ１と検査位置Ｐ２との間で、保持部３０が直線状に移動する範囲であれば、別々の位置に設けても良い。

（５）本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

１ テーピングユニット
１ａ 本体部
１０ 移送部
１１ ガイドレール
１２ スプロケット
２０ 外観検査部
２１ 撮像装置
２１ａ カメラ本体
２１ｂ レンズ
２１ｃ レンズ先端照明
２２ 照明装置
２２ａ 砲弾型ＬＥＤ
２２ｂ 開口部
２３ ブラケット
２４ スタンド
３０ 保持部
３１ チャック（保持機構）
３２ 駆動部
４０ 不良検出部
５０ 排出ビン
１００ 電子部品検査装置
１０１ ダイレクトドライブモータ
１０２ パーツフィーダ
１０３ マーキングユニット
１０４ 外観検査ユニット
１０５ テストコンタクトユニット
１０６ 分類ソートユニット
１０７ 姿勢補正ユニット
１１０ 搬送手段
１１１ 吸着ノズル
１１２ 支持部
１１３ ノズル駆動部
１１４ 操作ロッド
Ｄ，Ｄ１，Ｄ２ 電子部品
Ｌ 移送路
Ｍ メインテーブル
Ｐ１ 収容位置
Ｐ２ 検査位置
Ｐ３ 待機位置／排出位置
Ｔ キャリアテープ
Ｓ 停止位置

また、収容位置と検査位置との間に排出位置を設け、検査位置に位置する収容部から電子部品を除去した保持部がこの排出位置に移動し、電子部品を排出する。

Claims (10)

1. 長手方向に複数の収容部を並べたキャリアテープに電子部品を収容して移送路上を移送するテーピングユニットであって、
   移送路上の収容位置に位置する収容部に電子部品が収容された前記キャリアテープを移送路に沿って移送する移送部と、
   前記収容位置より移送方向下流側の検査位置に配置され、前記移送部によって当該検査位置に移送された電子部品の検査を行う外観検査部と、
   前記移送路の上方を、前記収容位置と前記検査位置との間で直線状に移動し、前記外観検査部の検査結果に応じて前記検査位置に位置する収容部から電子部品を除去し、前記収容位置に位置する収容部から電子部品を取り出し保持し、前記検査位置に位置する収容部に保持している電子部品を収容する保持部と、
   を有することを特徴とするテーピングユニット。
2. 前記保持部は、前記検査位置に位置する収容部から電子部品を除去し、当該電子部品を保持して前記収容位置と前記検査位置との間に設けられた排出位置に移動して、前記電子部品を前記排出位置に設けられた排出部に排出することを特徴とする請求項１記載のテーピングユニット。
3. 前記外観検査部は、前記検査位置の移送路上方に設けられ前記検査位置に移送された電子部品を撮像する撮像装置と、前記撮像装置と垂直方向に間隔を空けて移送路直上に配置され前記検査位置に移送された電子部品を照射する照明装置とを含み、
   前記照明装置には、前記移送路と移送路上方とを連通する開口部が設けられ、
   前記保持部は、前記撮像装置と前記照明装置との間から前記照明装置の開口部を介して前記移送路に向かって下降し、前記検査位置に位置する電子部品を収容部から除去することを特徴とする請求項１又は２記載のテーピングユニット。
4. 前記照明装置は、複数のＬＥＤが前記移送路を囲むように円環状に配置されているものであることを特徴とする請求項３記載のテーピングユニット。
5. 前記保持部は、前記電子部品を保持する保持機構と当該保持機構を駆動する駆動部とを含み、前記保持機構には前記電子部品に接触した際に前記保持機構を上方に付勢する付勢部材が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のテーピングユニット。
6. 前記収容位置と前記検査位置との間に前記保持部が前記電子部品の移送中に待機する待機位置が設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のテーピングユニット。
7. 電子部品を搬送しながら各種の工程処理を行う電子部品検査装置であって、
   前記電子部品の各種の工程処理に対する搬送経路と、
   前記電子部品を保持し、前記搬送経路に沿って間欠移動して搬送する搬送手段と、
   前記搬送手段の停止位置の一つに設けられ、前記搬送手段によって搬送された電子部品を、長手方向に複数の収容部を並べたキャリアテープに電子部品を収容して移送路上を移送するテーピングユニットと、を備え、
   前記搬送手段は、前記テーピングユニットが設けられた停止位置において、保持する電子部品を前記テーピングユニットの移送路上の収容位置に位置する収容部に収容し、
   前記テーピングユニットは、
   前記搬送手段によって収容部に収容された電子部品を前記移送路に沿って移送する移送部と、
   前記収容位置より移送方向下流側の検査位置に配置され、前記移送部によって当該検査位置に移送された電子部品の検査を行う外観検査部と、
   前記移送路の上方を、前記収容位置と前記検査位置との間で直線状に移動し、前記外観検査部の検査結果に応じて前記検査位置に位置する収容部から電子部品を除去して排出し、前記収容位置に位置する収容部から電子部品を取り出し保持し、前記検査位置に位置する収容部に保持している電子部品を収容する保持部と、を有することを特徴とする電子部品検査装置。
8. 前記保持部は、前記検査位置に位置する収容部から電子部品を除去し、当該電子部品を保持して前記収容位置と前記検査位置との間に設けられた排出位置に移動して、前記電子部品を前記排出位置に設けられた排出部に排出することを特徴とする請求項７記載の電子部品検査装置。
9. 前記外観検査部は、前記検査位置の移送路上方に設けられ前記検査位置に移送された電子部品を撮像する撮像装置と、前記撮像装置と垂直方向に間隔を空けて移送路直上に配置され前記検査位置に移送された電子部品を照射する照明装置とを含み、
   前記照明装置には、前記移送路と移送路上方とを連通する開口部が設けられ、
   前記保持部は、前記撮像装置と前記照明装置との間から前記照明装置の開口部を介して前記移送路に向かって下降し、前記検査位置に位置する電子部品を収容部から除去することを特徴とする請求項７又は８記載の電子部品検査装置。
10. 前記保持部が前記収容位置に位置する収容部から電子部品を取り出す際に、前記テーピングユニットが設けられた停止位置に位置する前記搬送手段を、前記搬送経路に沿った順方向又は逆方向に移動して退避させることを特徴とする請求項７〜９のいずれか一項に記載の電子部品検査装置。
    
    

Images