JP4443871B2 - 半導体デバイス収納装置 - Google Patents
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Description
2:画像検査用カメラ
3:移動式カバー
4:キャリアテープ収納部
5:キャリアテープガイド
6:圧電素子
7:キャリアテープ上面カバー
8:半導体デバイス
9:配管
Claims (1)
- 収納部に半導体デバイスを挿入する手段と、該収納部を移動させることなく、挿入された前記半導体デバイスの外観および収納姿勢を検査する手段と、前記収納部を振動させる手段と、前記収納部上面を移動式カバーで覆う手段と、前記収納部を移動し、蓋部形成部で蓋部を形成する手段とを備え、
前記半導体デバイスを前記収納部に挿入した後、該収納部を移動させることなく、前記半導体デバイスの外観検査および収納姿勢検査を行い、外観検査結果が不良の場合、前記半導体デバイスを収納部から取出し、収納姿勢検査が不良の場合、正常な収納姿勢とするため前記収納部を振動させ、収納姿勢が正常状態とならない場合、前記半導体デバイスを前記収納部から取出し、外観検査、収納姿勢検査ともに良の場合、前記収納部上面を前記移動式カバーで覆った後、前記蓋部形成部へ前記収納部を移動させ、前記収納部上面に前記蓋部を形成する半導体デバイス収納装置において、
前記半導体デバイスを前記収納部に挿入する際、前記収納部底面に開けられた穴を通して、前記半導体デバイスを吸引する手段を設けたことを特徴とする半導体デバイス収納装置。
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JP2003274477A JP4443871B2 (ja) | 2003-07-15 | 2003-07-15 | 半導体デバイス収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2003274477A JP4443871B2 (ja) | 2003-07-15 | 2003-07-15 | 半導体デバイス収納装置 |
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2003
- 2003-07-15 JP JP2003274477A patent/JP4443871B2/ja not_active Expired - Lifetime
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